CN114100881B - 一种双刃液刀及液体喷射装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及喷射装置技术领域，公开了一种双刃液刀及液体喷射装置。该双刃液刀包括第一液刀板、第二液刀板及第三液刀板，第一液刀板上设置有第一分流通道，第二液刀板与第一液刀板相对盖合连接，配合形成入液腔，第二液刀板上设置有第二分流通道，第一分流通道和第二分流通道均与入液腔相连通。第三液刀板设置有两个，其中一个第三液刀板与第一液刀板相对盖合连接形成第一喷口通道，另一个第三液刀板与第二液刀板相对盖合连接形成第二喷口通道，第一喷口通道和第二喷口通道均为弯折通道，能够保证出液口的压力稳定，从而使液刀喷射形成的瀑布不易分叉，喷洒较为均匀，极大地提高了产品质量。

Description

一种双刃液刀及液体喷射装置

技术领域

本发明涉及喷射装置技术领域，尤其涉及一种双刃液刀及液体喷射装置。

背景技术

平板显示行业、AMOLED行业、印刷电路板行业、光伏行业等行业中，液刀在整个制程中属于核心部件，主要用于喷射出均匀、等厚的瀑布。其中，清洗机、剥离机、刻蚀机、涂布机及显影机上广泛应用带有液刀的液体喷射装置。

如图1所示为目前市面上的双刃液刀，仅将传统的单刃液刀结构拼接而成，结构笨重，两侧需要同时配置入液口，难以保证两个入液口的压力一致性，而且，空间占用较大，不利安装调试。另一方面，液刀的内部结构单一，液刀喷射形成的瀑布易分叉，喷洒不均匀，极易造成产品不良。

发明内容

本发明的目的在于提出一种双刃液刀，解决了现有双刃液刀两个入液口的压力不一致、液刀喷射形成的瀑布易分叉造成的喷洒不均匀的问题。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种双刃液刀，包括：

第一液刀板，所述第一液刀板上设置有第一分流通道；

第二液刀板，与所述第一液刀板相对盖合连接，所述第一液刀板和所述第二液刀板之间配合形成入液腔，所述第二液刀板上设置有第二分流通道，所述第一分流通道和所述第二分流通道均与所述入液腔相连通；及

第三液刀板，设置有两个，其中一个所述第三液刀板与所述第一液刀板相对盖合连接形成第一喷口通道，所述第一喷口通道与所述第一分流通道相连通，另一个所述第三液刀板与所述第二液刀板相对盖合连接形成第二喷口通道，所述第二喷口通道与所述第二分流通道相连通，所述第一喷口通道和所述第二喷口通道均为弯折通道。

作为可选方案，所述第一液刀板和/或所述第二液刀板上设置有入液口，所述入液口与所述入液腔相连通。

作为可选方案，所述第一喷口通道和所述第二喷口通道由与所述入液腔相连的一端垂直弯折多次后形成出液口。

作为可选方案，所述第一分流通道和所述第二分流通道均为弧形结构。

作为可选方案，所述第一液刀板和所述第二液刀板上均设置有容置腔室，所述容置腔室内设置有分流块组件，所述分流块组件将所述容置腔室分成至少两条分流支路，至少两条所述分流支路形成所述第一分流通道和所述第二分流通道。

作为可选方案，所述分流块组件包括多个分流块，所述分流块为垂直于所述第一分流通道和所述第二分流通道导流方向延伸的长块，相邻两个所述分流块之间和/或所述分流块的侧壁与所述容置腔室的内壁之间间隔形成所述分流支路。

作为可选方案，所述分流块的长度方向的两端与所述容置腔室的侧壁通过螺栓相连接。

作为可选方案，所述第一液刀板与所述第二液刀板之间、所述第一液刀板和所述第二液刀板与所述第三液刀板之间通过紧固件紧固相连。

作为可选方案，所述第一液刀板和/或所述第二液刀板上开设有入液槽，所述第一液刀板和所述第二液刀板上开设有容置槽，所述第一液刀板和/或所述第三液刀板上开设有喷口槽，所述第二液刀板和/或所述第三液刀板上也开设有喷口槽，所述第二液刀板、所述第三液刀板和所述第一液刀板相对盖合连接时，所述入液槽、所述容置槽和所述喷口槽分别用于形成所述入液腔、所述容置腔室、所述第一喷口通道和所述第二喷口通道。

一种液体喷射装置，包括如上所述的双刃液刀。

本发明的有益效果：

本发明提出的双刃液刀，通过设置第一喷口通道和第二喷口通道均与同一入液腔相连通，能够保证两个喷口通道的进液压力一致；并将第一喷口通道和第二喷口通道设置为弯折通道，能够保证出液口的压力稳定，从而液刀喷射形成的瀑布不易分叉，喷洒较为均匀，极大地提高了产品质量。

附图说明

图1是现有技术中的双刃液刀的结构示意图；

图2是本发明提供的双刃液刀的结构示意图；

图3是本发明提供的双刃液刀的爆炸图。

图中：

100、第一液刀板；110、入液槽；120、容置槽；

200、第二液刀板；

300、第三液刀板；310、喷口槽；

400、分流块组件；410、分流块；

1、入液口；

2、入液腔；

3、第一分流通道；

4、第二分流通道；

5、第一喷口通道；

6、第二喷口通道。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、“左”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图2所示，本实施例提供一种双刃液刀，主要使用在半导体，平板显示(LCD、AMOLED)，光伏等涉及湿法工艺设备上，主要可应用于清洗机，剥离机，刻蚀机，涂布机，显影机等。该双刃液刀包括第一液刀板100、第二液刀板200和第三液刀板300，第一液刀板100上设置有第一分流通道3，第二液刀板200与第一液刀板100相对盖合连接，第一液刀板100和第二液刀板200之间配合形成入液腔2，第二液刀板200上设置有第二分流通道4，第一分流通道3和第二分流通道4均与入液腔2相连通。第三液刀板300置有两个，其中一个第三液刀板300与第一液刀板100相对盖合连接形成第一喷口通道5，第一喷口通道5与第一分流通道3相连通，另一个第三液刀板300与第二液刀板200相对盖合连接形成第二喷口通道6，第二喷口通道6与第二分流通道4相连通，第一喷口通道5和第二喷口通道6均为弯折通道。

本实施例的双刃液刀，液体流经的两条通路由同一入液腔2分流而来，第一分流通道3和第二分流通道4的液体压力一致，从而有利于调节第一喷口通道5和第二喷口通道6的出液口的压力的一致性。弯折设计的第一喷口通道5和第二喷口通道6能够使液体流通的压力稳定，从而保证出液口喷洒的均匀性。

进一步地，如图2所示，第一液刀板100和/或第二液刀板200上设置有入液口1，入液口1与入液腔2相连通，也即入液口1可设置于第一液刀板100或第二液刀板200上，也可在第一液刀板100和第二液刀板200上均设置入液口1，液体通过两个入液口1进入入液腔2汇合。

进一步地，第一液刀板100和第二液刀板200上均设置有容置腔室，容置腔室内设置有分流块组件400，分流块组件400将容置腔室分成至少两条分流支路，至少两条分流支路形成第一分流通道3和第二分流通道4，入液腔2内的液体分流进入第一分流通道3和第二分流通道4。第一分流通道3的进液口和出液口分别位于第一液刀板100的相邻的两个侧壁上，同样地，第二分流通道4也是如此设置。优选地，第一分流通道3和第二分流通道4的结构形状相同，截面均为圆弧形，能够增加液体蓄液量，避免喷射空穴现象造成的喷洒不均。

具体而言，分流块组件400包括多个分流块410，分流块410为垂直于第一分流通道3和第二分流通道4导流方向延伸的长块，相邻两个分流块410之间和/或分流块410的侧壁与容置腔室的内壁之间间隔形成分流支路。本实施例中分流块410设置有两个，两个分流块410与容置腔室的内壁共同形成三条分流支路，在其他实施例中也可设置一个或三个及以上的分流块410，根据实际需要设置即可，在此不做限制。

如图3所示，分流块410的沿长度方向的两端设置有多个螺孔，容置腔室的侧壁的对应位置也设置有螺孔，采用螺钉穿过容置腔室和分流块410上的螺孔将分流块410固定于容置腔室的侧壁上。本实施例中，螺孔经过精密定位，加工及装配精度高，能够保证各分流支路的孔径的精度。

进一步地，如图2所示，第一喷口通道5和第二喷口通道6由与入液腔2相连的一端垂直弯折多次后形成出液口。液体经多次弯折流通后，更有利于保持压力稳定，从而保证出液口喷洒的均匀性。

具体而言，第三液刀板300分别与第一液刀板100和第二液刀板200配合形成第一喷口通道5和第二喷口通道6。以第三液刀板300与第一液刀板100的配合为例进行说明，第一喷口通道5包括依次垂直设置的第一段、第二段、第三段和第四段，第一段水平设置，与第一分流通道3相连通，第二段垂直向下连接于第二段的左端，第三段水平向左连接于第二段的下端，第四段垂直向下连接于第三段的右端，第四段的下端从第二液刀板200的下侧穿出。第三液刀板300的左侧面上设置有方形的凸起，第一液刀板100上对应设置有凹槽，凹槽和凸起配合形成多段90°弯折的第一喷口通道5，第一喷口通道5的入口与第一分流通道3的出口相连通。第三液刀板300与第二液刀板200配合形成的第二喷口通道6与第一喷口通道5的结构相同，在此不再详述。

进一步地，第一液刀板100和/或第二液刀板200上开设有入液槽110，第一液刀板100和第二液刀板200上开设有容置槽120，第一液刀板100和/或第三液刀板300上开设有喷口槽310，第二液刀板200和/或第三液刀板300上也开设有喷口槽310，第二液刀板200、第三液刀板300和第一液刀板100相对盖合连接时，入液槽110、容置槽120和喷口槽310分别用于形成入液腔2、容置腔室、第一喷口通道5和第二喷口通道6。

本实施例中，如图3所示，在第一液刀板100上设置入液槽110，第一入液槽110与容置槽120相连处的槽深一致，且入液槽110由与容置槽120相连的一端向另一端槽深逐渐增大，后保持恒定槽深延伸。入液口1设置于第二液刀板200上，优选地，入液口1正对入液槽110的槽深恒定的位置，有利于液体积蓄在入液槽110后进入容置槽120。可以理解的是，也可以在第二液刀板200上设置上述的入液槽110，还可以在第一液刀板100和第二液刀板200上均开设入液槽110，能够在第一液刀板100和第二液刀板200盖合后形成入液腔2即可。第三液刀板300上设置有喷口槽310，第三液刀板300与第一液刀板100盖合时形成第一喷口通道5和第二喷口通道6，当然，也可以将喷口槽310设置于第一喷口通道5和第二喷口通道6上，或第一喷口通道5和第二喷口通道6与第三液刀板300上均开设上述的喷口槽310。

进一步地，如图3所示，第一液刀板100和第二液刀板200上对称设置有容置槽120，容置槽120由第一液刀板100和第二液刀板200相对的一侧向对应的板内延伸，从第一液刀板100和第二液刀板200的下侧穿出。

进一步地，第一液刀板100与第二液刀板200之间、第一液刀板100和第二液刀板200与第三液刀板300之间通过紧固件紧固相连，具体而言通过螺栓紧固连接。第一液刀板100、第二液刀板200和第三液刀板300上设置有螺孔，对接时使用标准垫片放在间隙孔内，再锁紧螺栓，最后将垫片取出，以较好的控制两个液刀板之间的间隙。

本实施例还一种液体喷射装置，该液体喷射装置包括如上所述的双刃液刀。

显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种双刃液刀，其特征在于，包括：

第一液刀板(100)，所述第一液刀板(100)上设置有第一分流通道(3)；

第二液刀板(200)，与所述第一液刀板(100)相对盖合连接，所述第一液刀板(100)和所述第二液刀板(200)之间配合形成入液腔(2)，所述第二液刀板(200)上设置有第二分流通道(4)，所述第一分流通道(3)和所述第二分流通道(4)均与所述入液腔(2)相连通；及

第三液刀板(300)，设置有两个，其中一个所述第三液刀板(300)与所述第一液刀板(100)相对盖合连接形成第一喷口通道(5)，所述第一喷口通道(5)与所述第一分流通道(3)相连通，另一个所述第三液刀板(300)与所述第二液刀板(200)相对盖合连接形成第二喷口通道(6)，所述第二喷口通道(6)与所述第二分流通道(4)相连通，所述第一喷口通道(5)和所述第二喷口通道(6)均为弯折通道。

2.根据权利要求1所述的双刃液刀，其特征在于，所述第一液刀板(100)和/或所述第二液刀板(200)上设置有入液口(1)，所述入液口(1)与所述入液腔(2)相连通。

3.根据权利要求1所述的双刃液刀，其特征在于，所述第一喷口通道(5)和所述第二喷口通道(6)由与所述入液腔(2)相连的一端垂直弯折多次后形成出液口。

4.根据权利要求1所述的双刃液刀，其特征在于，所述第一分流通道(3)和所述第二分流通道(4)均为弧形结构。

5.根据权利要求1-4任一项所述的双刃液刀，其特征在于，所述第一液刀板(100)和所述第二液刀板(200)上均设置有容置腔室，所述容置腔室内设置有分流块组件(400)，所述分流块组件(400)将所述容置腔室分成至少两条分流支路，至少两条所述分流支路形成所述第一分流通道(3)和所述第二分流通道(4)。

6.根据权利要求5所述的双刃液刀，其特征在于，所述分流块组件(400)包括多个分流块(410)，所述分流块(410)为垂直于所述第一分流通道(3)和所述第二分流通道(4)导流方向延伸的长块，相邻两个所述分流块(410)之间和/或所述分流块(410)的侧壁与所述容置腔室的内壁之间间隔形成所述分流支路。

7.根据权利要求6所述的双刃液刀，其特征在于，所述分流块(410)的长度方向的两端与所述容置腔室的侧壁通过螺栓相连接。

8.根据权利要求1-4任一项所述的双刃液刀，其特征在于，所述第一液刀板(100)与所述第二液刀板(200)之间、所述第一液刀板(100)和所述第二液刀板(200)与所述第三液刀板(300)之间通过紧固件紧固相连。

9.根据权利要求6所述的双刃液刀，其特征在于，所述第一液刀板(100)和/或所述第二液刀板(200)上开设有入液槽(110)，所述第一液刀板(100)和所述第二液刀板(200)上开设有容置槽(120)，所述第一液刀板(100)和/或所述第三液刀板(300)上开设有喷口槽(310)，所述第二液刀板(200)和/或所述第三液刀板(300)上也开设有喷口槽(310)，所述第二液刀板(200)、所述第三液刀板(300)和所述第一液刀板(100)相对盖合连接时，所述入液槽(110)、所述容置槽(120)和所述喷口槽(310)分别用于形成所述入液腔(2)、所述容置腔室、所述第一喷口通道(5)和所述第二喷口通道(6)。

10.一种液体喷射装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的双刃液刀。

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