CN113042231B - 一种液刀及液体喷射装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及喷射装置技术领域，公开了一种液刀及液体喷射装置，包括第一液刀板；第二液刀板，其与所述第一液刀板相对盖合固定连接，所述第二液刀板和所述第一液刀板之间配合形成喷射流道，所述喷射流道包括依次连通的入液腔、容置腔室和喷口通道；分流块组件，其固定于所述容置腔室内，所述分流块组件将所述容置腔室分割成至少两条分流支路，且各所述分流支路分别串接连通所述喷口通道和所述入液腔。与传统的单通道结构的液刀相比，本发明的液刀在容置腔室内设置了分流块组件，进入形成了至少两条串接连通喷口通道和入液腔的分流支路，因此喷射流道不易堵塞，喷射形成的瀑布均匀稳定、不易分叉。

Description

一种液刀及液体喷射装置

技术领域

本发明涉及喷射装置技术领域，尤其涉及一种液刀及液体喷射装置。

背景技术

液刀主要用于喷射出均匀、等厚的瀑布，并且要求瀑布无分叉，无流量不均匀的现象。其中，清洗机、剥离机、刻蚀机、涂布机及显影机上广泛使用带有液刀的液体喷射装置。

传统液刀设计、制造、均以水为媒介进行测试，在实际应用中，应对不同粘度的其它液体时，液刀无法得到比较好的瀑布，存在喷射不均、开叉等问题。

目前市面上的液刀，内部结构总体较为单一，用于喷射瀑布的流道多为单通路结构，该设计的缺点在于易堵塞，进而瀑布易分叉，不同位置的压力流量波动差异大，从而造成瀑布的均匀性无法有效控制。

因此，亟需提供一种液刀及液体喷射装置，其液刀不易堵塞、喷射形成的瀑布均匀稳定、不易分叉。

发明内容

本发明的一个目的在于提出一种液刀，其不易堵塞、喷射形成的瀑布均匀稳定、不易分叉。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种液刀，包括：

第一液刀板；

第二液刀板，其与所述第一液刀板相对盖合固定连接，所述第二液刀板和所述第一液刀板之间配合形成喷射流道，所述喷射流道包括依次连通的入液腔、容置腔室和喷口通道；

分流块组件，其固定于所述容置腔室内，所述分流块组件将所述容置腔室分割成至少两条分流支路，且各所述分流支路分别串接连通所述喷口通道和所述入液腔。

可选地，所述容置腔室为沿垂直于所述喷射流道的导流方向延伸的长腔，所述分流块组件包括：

多个位于所述容置腔室中的分流块，且所述分流块呈沿垂直于所述喷射流道导流方向延伸的长块，所述分流块的长度方向的端部固定于所述容置腔室的侧壁上，相邻两个所述分流块之间和/或所述分流块的侧壁与所述容置腔室的内壁之间间隔形成所述分流支路。

可选地，所述分流块的长度方向的端部通过螺栓紧固连接于所述容置腔室的侧壁上。

可选地，所述分流支路连通所述入液腔的一端的孔径大于所述分流支路连通所述喷口通道的一端的孔径。

可选地，所述喷口通道的孔径大于所述分流支路连通所述喷口通道的一端的孔径。

可选地，所述第一液刀板和所述第二液刀板两者中至少一个上开设有入液槽、容置槽和喷口导槽，所述第二液刀板与所述第一液刀板相对盖合固定连接时，所述入液槽、所述容置槽和所述喷口导槽分别用于形成所述入液腔、所述容置腔室和所述喷口通道。

可选地，所述第一液刀板和/或所述第二液刀板上开设有与所述喷射流道连通的进液口。

可选地，所述第一液刀板和所述第二液刀板通过紧固件紧固连接。

可选地，还包括：

密封件，夹设于所述第一液刀板和所述第二液刀板之间，以使液体通过所述喷射流道导出。

本发明的另一个目的在于提出一种液体喷射装置，其装配的液刀不易堵塞、喷射形成的瀑布均匀稳定、不易分叉。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种液体喷射装置，包括如上所述的液刀。

本发明的有益效果：

与传统的单通道结构的液刀相比，本发明的液刀在容置腔室内设置了分流块组件，分流块组件将容置腔室分割成至少两条串接连通喷口通道和入液腔的分流支路。由于对喷射流道进行了支路改进设计，因此当其中一条分流支路发生部分堵塞时，其它分流支路依然可以保持畅通，故液刀的喷射流道不易堵塞，喷射形成的瀑布均匀稳定、不易分叉。

附图说明

图1是本发明提供的液刀的截面示意图；

图2是图1中A处的局部放大图；

图3是本发明提供的液刀的隐去分流块组件后的截面示意图；

图4是本发明提供的拆分的流块组件的侧视示意图；

图5是本发明提供的第一液刀板的截面示意图。

图中：

1、第一液刀板；11、入液槽；12、容置槽；13、喷口导槽；

2、第二液刀板；21、进液口；

3、分流块组件；31、第一分流块；32、第二分流块；33、第三分流块；34、第四分流块；35、第五分流块；36、第六分流块；

4、入液腔；5、容置腔室；6、喷口通道；

100、第一支路；101、第二支路；102、第三支路；103、第四支路；104、第五支路；105、第六支路。

具体实施方式

为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1-4所示，本实施例提供了一种液刀，还提供了一种包括该液刀的液体喷射装置(图中未示出)，具体主要使用在半导体，平板显示(LCD、AMOLED)，光伏等涉及WET工艺的设备上，主要可应用于清洗机、剥离机、刻蚀机、涂布机和显影机等。液刀包括第一液刀板1、第二液刀板2和分流块组件3。其中，第二液刀板2与第一液刀板1相对盖合固定连接，第二液刀板2和第一液刀板1之间配合形成喷射流道，喷射流道包括依次连通的入液腔4、容置腔室5和喷口通道6；分流块组件3固定于容置腔室5内，分流块组件3将容置腔室5分割成至少两条分流支路，且各分流支路分别串接连通喷口通道6和入液腔4。

与传统的单通道结构的液刀相比，本实施例的液刀在容置腔室5内设置了分流块组件3，分流块组件3将容置腔室5分割成至少两条串接连通喷口通道6和入液腔4的分流支路。由于对喷射流道进行了支路改进设计，因此当其中一条分流支路发生部分堵塞时，其它分流支路依然可以保持畅通，故液刀的喷射流道不易堵塞，喷射形成的瀑布均匀稳定、不易分叉。而且，通过设计分流支路，有利于保持喷口通道6的入口端的液体导入供应充裕，进而也有利于形成稳定的瀑布。

为了形成入液腔4、容置腔室5和喷口通道6。如图1-5所示，本实施例中，第一液刀板1和第二液刀板2两者中至少一个上开设有入液槽11、容置槽12和喷口导槽13，第二液刀板2与第一液刀板1相对盖合固定连接时，入液槽11、容置槽12和喷口导槽13分别用于形成入液腔4、容置腔室5和喷口通道6。具体而言，第一液刀板1和第二液刀板2上均开设有一个容置槽12以及一个喷口导槽13，两个容置槽12拼合形成容置腔室5，两个喷口导槽13拼合形成喷口通道6。第一液刀板1开设一个入液槽11，入液槽11朝向第二液刀板2且拼合形成入液腔4。同时，第二液刀板2上开设有与喷射流道的入液腔4连通的进液口21，进而保证能够相喷射流道输送液体。其它实施例中，也可以只在第一液刀板1和第二液刀板2两者中的一个上设计一个容置槽12、一个喷口导槽13，只要第一液刀板1和第二液刀板2能够拼合形成喷射流道即可。

具体而言，如图3所示，本实施例中，容置腔室5为沿垂直于喷射流道的导流方向延伸的长腔(垂直于图纸的方向为长腔的长度延伸方向)，分流块组件3包括多个位于容置腔室5中的分流块，且分流块呈沿垂直于喷射流道导流方向延伸的长块，分流块的长度方向的端部固定于容置腔室5的侧壁上，相邻两个分流块之间和/或分流块的侧壁与容置腔室5的内壁之间间隔形成分流支路。更具体地，如图2-4所示，本实施例中，多个分流块具体包括第一分流块31、第二分流块32、第三分流块33、第四分流块34、第五分流块35和第六分流块36。第一分流块31、第二分流块32、第三分流块33、第四分流块34、第五分流块35和第六分流块36配合形成菱形形状。

其中，本实施例中，第一分流块31、第二分流块32、第四分流块34、第五分流块35为与角钢形状类似的结构，第三分流块33和第六分流块36为三棱柱状的结构。第一分流块31与容置腔室5一侧的侧壁之间间隔形成第一支路100；第一分流块31与第二分流块32之间间隔形成第二支路101；第二分流块32与第三分流块33之间间隔形成第三支路102；第四分流块34与容置腔室5另一侧的侧壁之间间隔形成第六支路105；第四分流块34与第五分流块35之间间隔形成第五支路104；第六分流块36与第五分流块35之间间隔形成第四支路103；第三分流块33与第六分流块36合并，进而第三分流块33和第六分流块36拼合呈类似于四棱柱状的菱柱体结构。

可以想到的是，本实施例通过两个分流块形成了六条分流支路。在其它实施例中，也可以有一个、两个、三个、四个、五个或者六个以上的分流块来形成两条以上的分流支路，而分流块的形状也可以是其它能够形成分流支路的形状，具体可根据实际需要进行适应性设计调整。

进一步地，本实施例中，如图2-4所示，分流块的长度方向的端部通过螺栓紧固连接于容置腔室5的侧壁上。分流块采用可拆卸连接的方式固定，便于实现单独拆卸更换，相比直接焊接连接，维护灵活，且成本低。本实施例中，螺栓为标准螺栓，容置腔室5的侧壁上开设的螺孔为标准螺孔，加工及装配精度高，能够保证各分流支路的孔径的精度。

此外，本实施例采用设计分流支路来改善堵塞、瀑布分叉的问题。进一步地，如图1-4所示，分流支路连通入液腔4的一端的孔径大于分流支路连通喷口通道6的一端的孔径。更具体地，本实施例中，分流支路包括上游段和下游段，上游段为沿流通方向孔径渐窄的通道结构，下游段为孔径不变的通道结构，进而能够使得异物阻挡在分流支路的上游段，尽量保证分流支路的下游段的通畅。

进一步地，如图2-4所示，本实施例中，喷口通道6的孔径大于分流支路连通喷口通道6的一端的孔径，因此喷射压力流量稳定，喷射均匀，能够进一步防止喷口通道6堵塞，喷出的瀑布更不易分叉。

进一步地，本实施例中，第一液刀板1和第二液刀板2通过紧固件紧固连接。具体而言，通过螺栓紧固连接(图中未示出)。

此外，液刀还包括密封件。密封件夹设于第一液刀板1和第二液刀板2之间，以使液体通过喷射流道导出。具体而言，密封件为密封橡胶垫，其围绕在喷射流道的外周，保证密封第一液刀板1和第二液刀板2之间的间隙，使得液体仅从喷射流道导出。

以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (7)

1.一种液刀，其特征在于，包括：

第一液刀板(1)；

第二液刀板(2)，其与所述第一液刀板(1)相对盖合固定连接，所述第二液刀板(2)和所述第一液刀板(1)之间配合形成喷射流道，所述喷射流道包括依次连通的入液腔(4)、容置腔室(5)和喷口通道(6)；

分流块组件(3)，其固定于所述容置腔室(5)内，所述分流块组件(3)将所述容置腔室(5)分割成至少两条分流支路，且各所述分流支路分别串接连通所述喷口通道(6)和所述入液腔(4)；

所述分流支路连通所述入液腔(4)的一端的孔径大于所述分流支路连通所述喷口通道(6)的一端的孔径，所述分流支路包括上游段和下游段，所述上游段为沿流通方向孔径渐窄的通道结构，所述下游段为孔径不变的通道结构；

所述容置腔室(5)为沿垂直于所述喷射流道的导流方向延伸的长腔，所述分流块组件(3)包括：

多个位于所述容置腔室(5)中的分流块，且所述分流块呈沿垂直于所述喷射流道导流方向延伸的长块，所述分流块的长度方向的端部固定于所述容置腔室(5)的侧壁上，相邻两个所述分流块之间和/或所述分流块的侧壁与所述容置腔室(5)的内壁之间间隔形成所述分流支路；

多个所述分流块配合形成菱形形状，具体为最内的两个所述分流块为三棱柱状，外侧的分流块为角钢形状，多个所述分流块合并拼合呈四棱柱状的棱柱体结构；

所述喷口通道(6)的孔径大于所述分流支路连通所述喷口通道(6)的一端的孔径。

2.如权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述分流块的长度方向的端部通过螺栓紧固连接于所述容置腔室(5)的侧壁上。

3.如权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述第一液刀板(1)和所述第二液刀板(2)两者中至少一个上开设有入液槽(11)、容置槽(12)和喷口导槽(13)，所述第二液刀板(2)与所述第一液刀板(1)相对盖合固定连接时，所述入液槽(11)、所述容置槽(12)和所述喷口导槽(13)分别用于形成所述入液腔(4)、所述容置腔室(5)和所述喷口通道(6)。

4.如权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述第一液刀板(1)和/或所述第二液刀板(2)上开设有与所述喷射流道连通的进液口(21)。

5.如权利要求1所述的液刀，其特征在于，所述第一液刀板(1)和所述第二液刀板(2)通过紧固件紧固连接。

6.如权利要求1所述的液刀，其特征在于，还包括：

密封件，夹设于所述第一液刀板(1)和所述第二液刀板(2)之间，以使液体通过所述喷射流道导出。

7.一种液体喷射装置，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一项所述的液刀。

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