CN115090613A - 一种液刀及液刀的清洁方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及显示面板技术领域,尤其涉及一种液刀及液刀的清洁方法。本发明提供的液刀,包括液刀本体和清洁机构,液刀本体设置有出液口,清洁机构与液刀本体连接,清洁机构设置有出风口,出风口的末端朝向出液口的末端。通过将出风口朝向出液口设置,在液刀使用完毕后,清洁机构的出风口朝向出液口吹风,形成气帘,对出液口形成防护作用,驱散位于出液口附近的微粒以及雾化药液,避免环境中的微粒和雾化药液在出液口积聚结晶,从而防止出液口堵塞,进而能够保证后续液刀使用的工作性能。
Description
技术领域
本发明涉及显示面板技术领域,尤其涉及一种液刀及液刀的清洁方法。
背景技术
在薄膜晶体管-液晶显示曝光显影工艺中,需要用到显影装置来去除玻璃基板上被曝光的光阻层,从而形成所需要的光阻图案。在这一环节当中,当显影液和光阻反应之后,需要使用液刀喷水对玻璃基板进行冲洗,以将玻璃基板上的显影液、以及显影液与光阻反应之后形成的混合液等从玻璃基板的表面清除。
现有技术中的液刀的流道较窄,刀口处没有防护,结构单一,在不使用液刀时,刀口暴露在环境中,环境中的微粒以及经雾化后的显影药液会附着在刀口周围,形成结晶化的杂质,造成刀口堵塞,导致后续使用液刀时喷洒不均匀。
因此亟需一种液刀及液刀的清洁方法以解决上述问题。
发明内容
本发明提供一种液刀,能够及时清洁刀口,避免刀口残留药液而结晶,避免刀口堵塞,提升液刀的工作性能。
为达此目的,本发明采用了以下方案:
一种液刀,包括液刀本体和清洁机构,所述液刀本体设置有出液口,所述清洁机构与所述液刀本体连接,所述清洁机构设置有出风口,所述出风口的末端朝向所述出液口的末端。
作为可选方案,所述清洁机构与所述液刀本体可拆卸连接。
作为可选方案,所述清洁机构与所述液刀本体螺接。
作为可选方案,所述清洁机构设置有进风通道和气体流道,所述气体流道一端与所述出风口连通,所述气体流道另一端与所述进风通道连通。
作为可选方案,所述气体流道设置于所述清洁机构与所述液刀本体抵接的侧面上。
作为可选方案,所述液刀本体还包括液体流道和进液通道,所述液体流道一端与所述进液通道连通,所述液体流道另一端与所述出液口连通。
作为可选方案,所述液刀本体包括第一刀体和第二刀体,所述第一刀体和所述第二刀体对向拼接,所述液体流道设置于所述第一刀体与所述第二刀体的抵接面上,所述进液通道设置于所述第一刀体和所述第二刀体的至少其一上。
作为可选方案,所述第一刀体与所述第二刀体的至少其一开设有缓存槽,所述缓存槽设置于所述液体流道上。
作为可选方案,所述第一刀体与所述第二刀体之间螺纹连接。
本发明提供一种液刀的清洁方法,能够及时清洁刀口,避免刀口残留药液而结晶,避免刀口堵塞,提升液刀的工作性能。
为达此目的,本发明采用了以下方案:
一种液刀的清洁方法,采用上述任一项的液刀,包括:
关闭所述液刀本体的药液供给,使所述出液口停止出液;
开启所述清洁机构的出风供应,使所述出风口朝向所述出液口吹风,形成气帘。
本发明的有益效果为:
本发明提供的液刀,通过将出风口朝向出液口设置,在液刀使用完毕后,清洁机构的出风口朝向出液口吹风,形成气帘,对出液口形成防护作用,驱散位于出液口附近的微粒以及雾化药液,避免环境中的微粒和雾化药液在出液口积聚结晶,从而防止出液口堵塞,进而能够保证后续液刀使用的工作性能。
本发明提供的一种液刀的清洁方法,能够及时清洁刀口,避免刀口残留药液而结晶,避免刀口堵塞,提升液刀的工作性能。
附图说明
图1是本发明提供的液刀的结构示意图;
图2是本发明提供的液刀的爆炸视图;
图3是图1中A处的局部放大图;
图4是本发明提供的液刀的清洁方法的流程图。
图中:
100、液刀本体;110、出液口;120、第一刀体;130、第二刀体;140、液体流道;150、进液通道;160、缓存槽;200、清洁机构;210、出风口;220、进风通道;230、气体流道。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部。
本发明中限定了一些方位词,在未作出相反说明的情况下,所使用的方位词如“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”,这些方位词是为了便于理解而采用的,因而不构成对本发明保护范围的限制。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本发明的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图1~图3所示,本实施例提供了一种液刀,包括液刀本体100和清洁机构200,液刀本体100设置有出液口110,清洁机构200与液刀本体100连接,清洁机构200设置有出风口210,出风口210的末端朝向出液口110的末端。通过将出风口210朝向出液口110设置,在液刀使用完毕后,清洁机构200的出风口210朝向出液口110吹风,形成气帘,对出液口110形成防护作用,驱散位于出液口110附近的微粒以及雾化药液,避免环境中的微粒和雾化药液在出液口110积聚结晶,从而防止出液口110堵塞,进而能够保证后续液刀使用的工作性能。
具体地,本实施例中的清洁机构200与液刀本体100可拆卸连接。通过设置清洁机构200与液刀本体100可拆卸连接,能够保证及时更换清洁机构200,提高液刀的使用寿命,同时也能保证清洁机构200的可回收利用,在液刀本体100需要更换时,可以继续使用清洁机构200,降低生产成本。
进一步地,本实施例中的清洁机构200与液刀本体100螺接。通过将清洁机构200与液刀本体100螺接,一方面能够实现清洁机构200与液刀本体100的可拆卸连接,另一方面能够通过螺纹连接提升清洁机构200与液刀本体100之间的连接稳定性。具体地,清洁机构200与液刀之间可以通过螺纹紧固件进行连接,以提升连接稳定性。
进一步地,本实施例中的清洁机构200设置有进风通道220和气体流道230,气体流道230一端与出风口210连通,气体流道230另一端与进风通道220连通。进风通道220用于外接供气装置,为清洁机构200提供气源。气体流道230连通进风通道220和出风口210,为气流提供导向作用。
进一步地,本实施例中的气体流道230设置于清洁机构200与液刀本体100抵接的侧面上。通过在清洁机构200的侧面开设气体流道230,能够降低工艺复杂程度,无需在清洁机构200内部进行开孔开槽,能够提高生产效率。在清洁机构200与液刀本体100连接时,开设在清洁机构200侧面的气体流道230与液刀本体100的侧壁形成导流空间,能够引导气流至出风口210。
具体地,本实施例中的,液刀本体100还包括液体流道140和进液通道150,液体流道140一端与进液通道150连通,液体流道140另一端与出液口110连通。液体流道140用于外接供液装置,为液刀本体100提供药液来源。气体流道230连通进液通道150和出液口110,为药液提供导向作用。
进一步地,本实施例中的液刀本体100包括第一刀体120和第二刀体130,第一刀体120和第二刀体130对向拼接,液体流道140设置于第一刀体120与第二刀体130的抵接面上,进液通道150设置于第一刀体120和第二刀体130的至少其一上。将液体流道140设置在第一刀体120与第二刀体130的抵接面上,能够降低液体流道140的加工难度,避免在第一刀体120和第二刀体130内部进行开孔开槽,能够提高生产效率。具体地,本实施例中的液体流道140可以是有两个分设于第一刀体120与第二刀体130上的两个半槽道拼接而成,第一刀体120和第二刀体130对向拼接时,由于第一刀体120与第二刀体130的侧面抵接,两个半槽道能够形成导流空间,能够引导药液流至出液口110。
进一步地,本实施例中的第一刀体120与第二刀体130的至少其一开设有缓存槽160,缓存槽160设置于液体流道140上。通过设置缓存槽160,能够在液刀工作中为流动的药液提供缓冲作用,避免药液在液体流道140内产生的压力过大而造成液刀喷液不均匀的情况发生。
优选地,本实施例中的第一刀体120与第二刀体130之间螺纹连接。通过螺纹连接,能够保证第一刀体120与第二刀体130之间连接紧密,保证药液能够顺畅从出液口110喷出。
如图4所示,本实施例还提供了一种液刀的清洁方法,包括:关闭液刀本体100的药液供给,使出液口110停止出液;开启清洁机构200的出风供应,使出风口210朝向出液口110吹风,形成气帘。
本实施例提供的液刀的清洁方法通过将出风口210朝向出液口110设置,在液刀使用完毕后,清洁机构200的出风口210朝向出液口110吹风,形成气帘,对出液口110形成防护作用,驱散位于出液口110附近的微粒以及雾化药液,避免环境中的微粒和雾化药液在出液口110积聚结晶,从而防止出液口110堵塞,进而能够保证后续液刀使用的工作性能。
显然,本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例,而并非是对其实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种液刀,其特征在于,包括液刀本体(100)和清洁机构(200),所述液刀本体(100)设置有出液口(110),所述清洁机构(200)与所述液刀本体(100)连接,所述清洁机构(200)设置有出风口(210),所述出风口(210)的末端朝向所述出液口(110)的末端。
2.根据权利要求1所述的液刀,其特征在于,所述清洁机构(200)与所述液刀本体(100)可拆卸连接。
3.根据权利要求2所述的液刀,其特征在于,所述清洁机构(200)与所述液刀本体(100)螺接。
4.根据权利要求3所述的液刀,其特征在于,所述清洁机构(200)设置有进风通道(220)和气体流道(230),所述气体流道(230)一端与所述出风口(210)连通,所述气体流道(230)另一端与所述进风通道(220)连通。
5.根据权利要求4所述的液刀,其特征在于,所述气体流道(230)设置于所述清洁机构(200)与所述液刀本体(100)抵接的侧面上。
6.根据权利要求1所述的液刀,其特征在于,所述液刀本体(100)还包括液体流道(140)和进液通道(150),所述液体流道(140)一端与所述进液通道(150)连通,所述液体流道(140)另一端与所述出液口(110)连通。
7.根据权利要求6所述的液刀,其特征在于,所述液刀本体(100)包括第一刀体(120)和第二刀体(130),所述第一刀体(120)和所述第二刀体(130)对向拼接,所述液体流道(140)设置于所述第一刀体(120)与所述第二刀体(130)的抵接面上,所述进液通道(150)设置于所述第一刀体(120)和所述第二刀体(130)的至少其一上。
8.根据权利要求7所述的液刀,其特征在于,所述第一刀体(120)与所述第二刀体(130)的至少其一开设有缓存槽(160),所述缓存槽(160)设置于所述液体流道(140)上。
9.根据权利要求8所述的液刀,其特征在于,所述第一刀体(120)与所述第二刀体(130)之间螺纹连接。
10.一种液刀的清洁方法,采用如权利要求1-9任一项所述的液刀,其特征在于,包括:
关闭所述液刀本体(100)的药液供给,使所述出液口(110)停止出液;
开启所述清洁机构(200)的出风供应,使所述出风口(210)朝向所述出液口(110)吹风,形成气帘。
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