KR101020778B1 - 에어나이프 장치 - Google Patents

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KR101020778B1
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Abstract

평판표시소자용 기판을 향하여 듀얼(dual) 분사 방식으로 건조용 공기를 분사하면서 기판을 간편하게 건조할 수 있는 에어나이프 장치를 개시한다.
그러한 에어나이프 장치는, 내부에 공기유입구를 구비한 본체와, 상기 본체 내측에 형성되어 상기 공기유입구로부터 건조용 공기를 공급받는 제1 챔버부와, 상기 제1 챔버부와 이격 형성되는 제2 챔버부와, 복수 개의 토출용 블레이드로 구성되며 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부의 건조용 공기를 외부로 분사하기 위한 통로를 제공하는 토출부 그리고, 상기 토출부 내측에서 상기 제1 챔버부의 건조용 공기를 어느 한 방향으로 분사할 수 있는 제1 토출팁을 갖도록 형성되는 제1 토출슬릿과, 상기 제2 챔버부의 건조용 공기를 상기 제1 토출슬릿과 서로 다른 방향으로 분사할 수 있는 제2 토출팁을 갖도록 상기 토출부 내측에 형성되는 제2 토출슬릿을 포함한다.
본체, 제1 챔버부, 제2 챔버부, 듀얼(dual) 분사 방식, 복수 개의 토출용 블레이드, 제1 토출슬릿, 제2 토출슬릿, 제1 및 제2 토출팁, 팁 조절수단, 팁(tip) 형태 조절, 작업 호환성 및 건조 효율 향상

Description

에어나이프 장치{air knife apparatus}
본 발명은 에어나이프 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 평판표시소자용 기판을 건조하는 작업에 사용되며, 특히 듀얼(dual) 분사 방식으로 건조용 공기를 분사하면서 기판을 간편하게 건조할 수 있는 에어나이프 장치에 관한 것이다.
일반적으로 에어나이프(air knife)는 평판표시소자용 기판의 세정 작업시 기판 표면에 달라붙어 있는 잔존 세정액(예: deionized water)을 건조용 공기로 불어내면서 제거 및 건조하기 위한 수단으로 사용된다.
이처럼, 에어나이프를 이용하여 기판을 건조할 때에는 기판으로부터 잔존 세정액이 원활하게 분리 제거될 수 있도록 기판을 향하여 건조용 공기를 일정 압력 및 방향으로 분사하는 것이 매우 중요하다.
예를들어, 세정된 기판 측에 잔존 세정액이 묻어 있으면 기판 표면에 얼룩(water spot)이 발생하여 세정 품질을 저하시키는 한 요인이 될 수 있다.
상기한 에어나이프의 구조를 간략하게 설명하면, 장방형의 본체 하부에 토출부가 설치되어 상기 본체 내부로 유입된 건조용 공기가 상기 토출부를 통해 기판을 향하여 분사될 수 있도록 구성된다.
그리고, 상기 토출부는 한 개의 토출슬릿을 갖는 싱글 분사 타입 또는, 두 개의 토출슬릿(전방 및 후방 토출슬릿)을 갖는 듀얼 분사 타입으로 이루어진다.
특히, 상기 두 가지의 분사 타입 중에서 듀얼 분사 타입은, 기판의 세정액을 전방 측의 토출슬릿으로 불어내면서 1차로 제거한 다음, 후방 측의 토출슬릿으로 다시 한 번 더 불어내면서 2차로 제거하는 방식으로 건조 작업을 진행할 수 있으므로 하나의 에어나이프(듀얼 분사 타입)로 두 개의 에어나이프(싱글 분사 타입)를 설치한 효과를 얻을 수 있다.
하지만, 이러한 듀얼 분사 타입의 에어나이프에 제공되는 두 개의 토출슬릿은 대부분 기판을 향하여 동일한 분사 방향(경사진 상태 또는 세워진 상태)으로 건조용 공기를 분사하는 단순한 토출 구조(토출팁)를 갖는다.
이와 같은 토출팁 구조에 의하면, 상기 전방 및 후방 측의 토출슬릿으로 기판을 향하여 건조용 공기를 분사하면서 세정액을 1차 및 2차로 분리 제거할 때 만족할 만한 제거 효율을 기대할 수 없다.
예를들어, 상기 전방 및 후방 측의 토출슬릿에 의해 기판 표면을 향하여 거의 세워진 상태의 동일한 분사 방향으로 건조용 공기를 분사하면, 특히 세정액을 1차로 제거할 때 기판으로부터 세정액이 위로 튀어 오르는 현상이 쉽게 발생하여 건조 작업 중에 기판의 오염(water spot)을 유발할 수 있다.
그리고, 상기 전방 및 후방 측의 토출슬릿이 기판 표면을 향하여 경사진 상태의 동일한 방향으로 건조용 공기를 분사하면, 특히 2차 제거시 분사력이 손실되어 세정액이 비정상으로 제거될 수 있다.
또한, 상기 전방 및 후방 측의 토출슬릿이 동일한 방향으로 건조용 공기를 분사하면, 이들 사이의 공간에 불규칙한 기류(예: 와류 현상)가 쉽게 형성되면서 세정액의 제거력을 저하시키는 한 요인이 될 수 있다.
상기와 같은 문제들은 에어나이프에 제공되는 전방 및 후방 측의 토출슬릿이 동일한 방향으로만 건조용 공기를 분사하는 토출 구조(토출팁)로 이루어져 있기 때문이다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서,
본 발명의 목적은, 듀얼(dual) 분사 방식으로 기판의 건조 작업을 진행할 때 건조용 공기의 분사 효율을 대폭 향상시킬 수 있는 에어나이프 장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여,
내부에 공기유입구를 구비한 본체;
상기 본체 내측에 형성되어 상기 공기유입구로부터 건조용 공기를 공급받는 제1 챔버부;
상기 제1 챔버부와 이격 형성되는 제2 챔버부;
복수 개의 토출용 블레이드로 구성되며 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부의 건조용 공기를 외부로 분사하기 위한 통로를 제공하는 토출부;
상기 토출부 내측에서 상기 제1 챔버부의 건조용 공기를 어느 한 방향으로 분사할 수 있는 제1 토출팁을 갖도록 형성되는 제1 토출슬릿;
상기 제2 챔버부의 건조용 공기를 상기 제1 토출슬릿과 서로 다른 방향으로 분사할 수 있는 제2 토출팁을 갖도록 상기 토출부 내측에 형성되는 제2 토출슬릿;
을 포함하는 에어나이프 장치를 제공한다.
이와 같은 본 발명은, 본체 측에 설치된 토출부로 건조용 공기를 듀얼(dual) 분사 방식으로 분사하면서 기판에 묻은 세정액을 간편하게 제거 및 건조할 수 있다.
특히, 상기 토출부 측에 제공되는 제1 토출슬릿 및 제2 토출슬릿은 기판을 향하여 건조용 공기를 각기 다른 방향으로 분사할 수 있는 토출팁을 갖도록 형성된다.
이와 같은 구조에 의하면, 기판의 세정액을 1차 및 2차로 불어낼 때 기판 표면을 향하여 각기 다른 방향으로 건조용 공기를 분사하면서 기판으로부터 세정액을 더욱 간편하게 제거할 수 있다.
그러므로, 본 발명은 하나의 에어나이프를 이용하여 듀얼 분사 방식으로 건조용 공기를 분사하면서 기판을 건조할 때 상기 제1 및 제2 토출슬릿의 작용에 의해 세정액의 제거력을 대폭 높일 수 있다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
본 발명의 실시예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.
따라서, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 바람직한 설치 상태를 개략적으로 나타낸 도면으로서, 도면 부호 2는 본체를 지칭하며, 이 본체(2)는 도면에서와 같은 건조용 챔버(D1)와 이송수단(D2)을 구비한 통상의 기판건조장치(D) 내부에 설치될 수 있다.
상기 이송수단(D2)은 상기 건조용 챔버(D1) 내부 일측에서 타측으로 기판(G)을 이송하기 위한 것으로서 복수 개의 이송용 로울러(R)들로 구성되는 통상의 로울러 컨베이어 타입의 구조로 이루어질 수 있다.
즉, 상기 본체(2)는 상기 건조용 챔버(D1) 내부에서 기판(G)의 일면(윗면)과 대응하도록 도 1에서와 같이 상기 이송수단(D2)의 이송 구간 내에 설치된다.
상기 본체(2)는 좌/우로 연장 형성된 통상의 장방형 타입으로 형성되며, 상기 기판건조장치(D)의 건조용 챔버(D1) 내부에 다음과 같이 설치하면 좋다.
예를들어, 도 2를 기준으로 할 때 기판(G) 이송 구간과 대응하는 임의의 수직 기준선(K1)으로부터 소정의 경사각도(Q1) 범위 내로 경사지게 설치할 수 있다. 상기 경사각도(Q1)는 대략 30도 내지 38도 범위로 형성하면 좋다.
만일, 상기한 경사각도(Q1) 범위보다 크면 후술하는 제1 및 제2 챔버부(4, 6)로 기판(G)을 향하여 건조용 공기(A)의 분사할 때 분사 압력이 쉽게 손실되어 만족할 만한 제거 효율을 얻기가 어렵고, 상기한 경사각도(Q1) 범위보다 작으면 건조용 공기(A)의 분사 압력에 의해 기판(G)에 묻어 있는 잔존 세정액(W, 예: deionized water)이 불규칙하게 튀는 현상이 발생할 수 있다.
상기 본체(2) 내측에는 외부에서 건조용 공기(A, 예: Clean Dry Air)가 공급되는 공기유입구(H)가 마련된다.
상기 공기유입구(H)는 상기 본체(2) 일측 단부에서 타측 단부를 향하여 연장 형성된다.
상기 공기유입구(H)는 도면에는 나타내지 않았지만 기판(G)의 건조 작업에 사용하는 통상의 공기공급장치로부터 건조용 공기(A)를 공급받도록 관체로 연결되며, 건조용 공기(A)의 공급 라인 상에는 유량계와 압력계, 필터와 같은 각종 유체 공급 및 제어용 주변 기기들이 설치된다.
상기 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치는, 제1 챔버부(4)와 제2 챔버부(6)를 포함한다.
상기 제1 챔버부(4)와 제2 챔버부(6)는 상기 공기유입구(H)로부터 건조용 공기(A)를 공급받을 수 있도록 상기 본체(2) 내측에 각각 형성된다.
즉, 상기 제1 챔버부(4)는 도 2에서와 같이 상기 공기유입구(H)의 건조용 공기(A)가 일정량 담겨질 수 있는 크기의 챔버로 이루어진다.
상기 제1 챔버부(4)는 상기 본체(2) 내측에서 상기 공기유입구(H)를 사이에 두고 일측편에 형성된다.
그리고, 상기 제2 챔버부(6)는 도 2에서와 같이 상기 공기유입구(H)의 건조용 공기(A)가 일정량 담겨질 수 있는 크기의 챔버로 이루어지며, 상기 본체(2) 내측에서 상기 공기유입구(H)를 사이에 두고 상기 제1 챔버부(4)와 이격 형성된다.
상기 본체(2)의 하부 측에는 상기 제1 챔버부(4) 및 제2 챔버부(6)와 대응하는 토출부(8)가 설치된다.
상기 토출부(8)는 상기 제1 및 제2 챔버부(4, 6)의 건조용 공기(A)를 외부로 분사하기 위한 통로를 제공하기 위한 것으로서 복수 개의 블레이드 결합에 의해 형성된다.
즉, 상기 토출부(8)는, 도 2 및 도 3에서와 같이, 상기 제1 챔버부(4)와 제2 챔버부(6) 사이에 위치하는 제1 토출용 블레이드(B1)와, 이 제1 토출용 블레이드(B1)의 일면과 마주하는 상태로 배치되어 통로를 형성하는 제2 토출용 블레이드(B2)와, 상기 제1 토출용 블레이드(B1)의 타면과 마주하는 상태로 배치되어 통로를 형성하는 제3 토출용 블레이드(B3)를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기한 토출용 블레이드(B1, B2, B3)들은 상기 본체(2) 길이와 대응하는 길이를 갖는 장방향의 블레이드 형태로 각각 이루어지며, 상기 제1 토출용 블레이드(B1)는 도 2에서와 같이 상기 제1 및 제2 챔버부(4, 6) 사이에 형성된 격벽(2a)의 하부와 일측이 연결 상태로 상기 본체(2) 측에 설치된다.
그리고, 상기 제2 및 제3 토출용 블레이드(B2, B3)는 상기 제1 토출용 블레이드(B1)의 일면 및 타면과 대응하도록 배치된 상태로 상기 본체(2) 측에 설치된다.
상기한 토출부(8)는 예를들어, 건조용 공기(A)의 분사 중에 상기 제1 및 제2, 제3 토출용 블레이드(B1, B2, B3)의 결합 틈새 사이로 압력이 손실되지 않도록 도면에는 나타내지 않았지만 통상의 방법(예: 시일재)으로 시일 처리된다.
한편, 상기 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치는 제1 토출슬릿(8a)과 제2 토출슬릿(8b)을 포함한다.
상기 제1 토출슬릿(8a)과 제2 토출슬릿(8b)은 상기 토출부(8) 내측에서 기판(G)을 향하여 서로 다른 방향으로 건조용 공기(A)를 분사할 수 있도록 형성된다.
즉, 도 2 및 도 3에서와 같이 상기 제1 토출슬릿(8a)은 상기 제1 토출용 블레이드(B1)와 제2 토출용 블레이드(B2) 사이의 통로 측에 형성되고, 상기 제2 토출슬릿(8b)은 상기 제1 토출용 블레이드(B1)와 제3 토출용 블레이드(B2) 사이의 통로 측에 형성될 수 있다.
상기 제1 및 제2 토출슬릿(8a, 8b)의 일측(위쪽) 단부는 상기 제1 및 제2 챔버부(4, 6)와 각각 연통되고, 타측(아래쪽) 단부는 하측으로 진행하면 점차 폭이 좁아지는 형태로 이루어진다.(도 2 참조)
그리고, 상기 제1 및 제2 토출슬릿(8a, 8b)의 좌/우측 단부 사이에는 도 3에서와 같이 복수 개의 지점에 보강판(8c)들이 이격 형성된 구조를 갖는다.
상기 보강판(8c)들은 상기 토출용 블레이드(B1, B2, B3)들이 도 2에서와 같이 서로 겹쳐진 상태로 결합할 때 형태가 변화되지 않도록 안정적으로 지지하는 역할을 한다.
즉, 상기한 제1 및 제2 토출슬릿(6a, 6b)의 토출 끝단은 상기 토출용 블레이 드(B1, B2, B3)들에 의해 도 4에서와 같이 슬릿(slit) 형태로 연장되면서 서로 평행한 상태로 위치되며, 상기 보강판(6c)들에 의해 복수 개로 분할 형성된 토출 단부를 갖는다.
상기한 제1 및 제2 토출슬릿(8a, 8b)은 서로 다른 방향으로 건조용 공기(A)를 분사할 수 있는 제1 토출팁(T1)과 제2 토출팁(T2)을 갖도록 셋팅된다.
상기 제1 및 제2 토출팁(T1, T2)은 듀얼 분사 방식으로 기판(G)을 건조할 때 세정액(W)을 원활하게 제거할 수 있는 방향으로 건조용 공기(A)의 분사가 가능한 팁(tip) 형태로 이루어진다.
즉, 상기 제1 토출팁(T1)은 상기 제2 토출용 블레이드(B2) 끝단이 상기 제1 토출용 블레이드(B1) 끝단보다 높은 지점에 위치하는 팁 형태로 이루어질 수 있다.(도 2참조)
이와 같은 팁 구조에 의하면, 도 2에서와 같이 상기 본체(2)가 경사각도(Q1) 범위 내로 경사지게 설치된 상태에서 상기 제1 토출슬릿(8a)을 통해 건조용 공기(A)를 기판(G) 측에 분사할 때 상기 본체(2)의 전방을 향하여 아래쪽으로 경사진 상태로 분사할 수 있다.
상기 제2 토출팁(T2)은 상기 제3 토출용 블레이드(B3) 끝단이 상기 제1 토출용 블레이드(B1) 끝단과 거의 동일하거나 약간 높은 지점에 위치하는 팁 형태로 이루어질 수 있다.(도 2참조)
이와 같은 팁 구조에 의하면, 도 2에서와 같이 상기 제2 토출슬릿(8b)을 통해 건조용 공기(A)를 기판(G) 측에 분사할 때 상기 본체(2)의 아래쪽을 향하여 거 의 세워진 수직 방향으로 분사할 수 있다.
그리고, 상기 제1 및 제2 토출슬릿(8a, 8b) 내부에는 도 2에서와 같은 보조 챔버(C1, C2)를 각각 형성하면 좋다.
이처럼, 보조 챔버(C1, C2)를 구비하면, 건조용 공기(A)가 상기 제1 토출슬릿(8a) 또는 제2 토출슬릿(8b)으로 유입될 때 상기 보조 챔버(C1, C2)들의 내부 공간에 균일하게 담겨진 상태로 분사될 수 있다.
그러므로, 상기 제1 및 제2 토출슬릿(8a, 8b) 내부에서 건조용 공기(A)가 분사되기 전에 일정량이 균일하게 담겨질 수 있는 공간(챔버)을 확보하여 건조용 공기(A)를 더욱 균일하게 분사할 수 있다. 만일 상기와 같은 보조 챔버(C1, C2)들이 없으면 상기 제1 및 제2 토출슬릿(8a, 8b)의 길이 방향 내에서 갭 크기의 편차가 발생하여 건조용 공기(A)가 불균일하게 분사될 수 있다.
따라서, 상기한 구조로 이루어지는 본 발명의 에어나이프 장치는, 도 1 및 도 2에서와 같이 상기 건조용 챔버(D1) 내에서 상기 이송수단(D2)에 의해 상기 기판(G)이 이송될 때 상기 제1 및 제2 토출슬릿(8a, 8b)에 의해 서로 다른 방향으로 건조용 공기(A)를 분사하면서 듀얼 분사 방식으로 기판(G)의 건조 작업을 진행할 수 있다.
즉, 상기 제1 토출슬릿(8a)은 상기 제2 토출슬릿(8b)의 전방에 위치된 상태에서 상기 제1 챔버부(4)로부터 건조용 공기(A)를 공급받아서 도 2에서와 같이 상기 본체(2)의 전방 아래쪽을 향하여 경사진 상태로 분사하면서 기판(G)의 잔존 세정액(W)을 1차로 불어낼 수 있다.
그리고, 상기 제2 토출슬릿(8b)은 상기 제1 토출슬릿(8a)의 후방에 위치된 상태에서 상기 제2 챔버부(6)로부터 건조용 공기(A)를 공급받아서 도 2에서와 같이 기판(G) 표면을 향하여 거의 세워진 상태로 분사하면서 잔존 세정액(W)을 2차로 불어낼 수 있다.
그러므로, 건조 작업시 상기 제1 토출슬릿(8a)과 제2 토출슬릿(8b)에 의해 기판(G)을 향하여 서로 다른 분사 방향으로 건조용 공기(A)를 분사하면서 두 번(1차, 2차)에 걸쳐서 세정액(W)을 제거할 수 있다.
특히, 이처럼 듀얼 분사 방식으로 건조 작업을 진행할 때 상기와 같이 제1 토출슬릿(8a)과 제2 토출슬릿(8b)에 의해 서로 다른 방향으로 건조용 공기(A)를 분사하는 구조는 다음과 같은 이점이 있다.
즉, 상기 제1 토출슬릿(8a)에 의해 기판(G) 표면을 향하여 경사진 방향으로 건조용 공기(A)를 분사하면 클리닝 면적이 확대되므로 1차 제거시 많은 양의 세정액(W)을 기판(G)으로부터 제거할 수 있다.
그리고, 상기 제2 토출슬릿(8b)에 의해 기판(G) 표면을 향하여 거의 세워진 방향으로 건조용 공기(A)를 분사하면 분사 압력의 손실을 방지할 수 있으므로 2차 제거시 기판(G)에 존재하는 잔존 세정액(W)의 제거력을 더욱 높일 수 있다.
상기에서는 에어나이프 장치를 도 1에서와 같이 이송수단(D2)의 이송 구간 내에서 기판(G)의 일면(윗면)과 대응하도록 설치한 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 본 발명이 상기한 구조에 한정되는 것은 아니다.
예를들어, 상기 이송수단(D2)의 이송 구간 내에서 기판(G)의 일면(윗면) 및 타면(저면)과 대응하도록 도 5에서와 같이 이송 구간의 상측 및 하측 지점에 각각 이격 설치할 수도 있으며, 이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 기판(G)의 이송 구간 내에서 한 군데 이상의 지점에 설치할 수도 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 기판(G)의 이송 중에 기판(G)의 일면 및 타면을 향하여 한 군데 이상의 지점에서 건조용 공기(A)를 분사하면서 건조 작업을 진행할 수 있다.
상기 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치는, 도 6에서와 같은 팁 조절수단(10)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 팁 조절수단(10)은, 상기 토출용 블레이드(B1, B2, B3)들의 위치를 조절하면서 상기 제1 및 제2 토출팁(T1, T2) 형태를 여러 가지 타입으로 셋팅할 수 있도록 구성된다.
이를 위하여 본 실시예에서는 도 6에서와 같이 상기 팁 조절수단(10)이 제1 및 제2 조절나사(12, 14)로 구성되어 이 조절나사(12, 14)들의 정/역 회전에 의한 나사 조절 방식으로 상기 제2 및 제3 토출용 블레이드(B2, B3)의 높낮이 위치를 조절하면서 팁 형태를 변화시킬 수 있도록 하고 있다.
상기 제1 및 제2 조절나사(12, 14)는 외부면에 나사산이 형성된 나사부(S1)와, 이 나사부(S1) 일단에 형성된 헤드부(S2)를 구비한 통상의 나사(screw) 구조로 이루어진다.
상기 제1 및 제2 조절나사(12, 14)의 나사부(S1) 일측에는 단차부(S3)가 각각 형성되며, 이 단차부(S3)는 상기 본체(2) 외부면에 형성된 지지대(2b) 측에 끼 워진다.
이와 같은 구조에 의하면, 상기 제1 및 제2 조절나사(12, 14)가 축선을 중심으로 정/역 회전이 가능한 상태로 상기 본체(2) 측에 고정될 수 있다.
상기 제1 조절나사(12)의 나사부(S) 단부는 상기 제2 토출용 블레이드(B2) 일측과 나사 결합으로 체결되고, 상기 제2 조절나사(14)의 나사부(S1) 단부는 상기 제3 토출용 블레이드(B3) 일측과 나사 결합으로 체결된다.
그리고, 상기 제2 및 제3 토출용 블레이드(B2, B3) 일측에는 도 6에서와 같은 연장부(G1)가 형성되고, 상기 본체(2) 측에는 상기 연장부(G1)와 대응하는 홈부(G2)가 형성되어 상기 연장부(G1)가 상기 홈부(G2) 측에 각각 끼워진 상태로 위치된다.
이처럼, 상기 연장부(G1)와 홈부(G2)를 끼움 결합하면, 상기 본체(2) 측에서 상기 제2 및 제3 토출용 블레이드(B1, B2)의 높낮이 위치가 변화되더라도 상기 제1 및 제2 챔버부(4, 6) 내부를 밀폐 상태로 유지할 수 있다.
상기 연장부(G1)와 홈부(G2)의 결합 틈새는 예를들어, 통상의 시일재(G3, 예: 고무링)를 부착하여 결합 틈새를 통해 건조용 공기(A)가 외부로 유실되지 않도록 시일 처리하면 좋다.
상기한 팁 조절수단(10)의 구조에 의하면, 상기 제1 및 제2 조절나사(12, 14)의 정/역 회전에 의해 상기 제2 및 제3 토출용 블레이드(B2, B3)를 상/하 방향으로 위치를 조절할 수 있다.
그러므로, 예를들어 상기 제1 및 제2 토출팁(T1, T2)의 팁 형태를 도 7 및 도 8에서와 같은 대칭 상태 또는 도 9 및 도 10에서와 같은 비대칭 상태로 변화시키면서 작업 여건에 따라 건조용 공기(A)의 분사 방향을 동일 또는 서로 다른 방향으로 다양하게 셋팅할 수 있다.
이와 같은 팁 조절수단(10)의 작용에 의하면, 기판(G)의 건조 작업시 작업 여건에 따라 이와 부합하는 상태로 건조용 공기(A)의 분사 방향을 간편하게 설정하는 것이 가능하므로 한층 향상된 건조 품질과 작업 호환성을 얻을 수 있다.
그리고, 상기 팁 조절수단(10)은 상기와 같은 나사 조절 방식의 구조에 한정되는 것은 아니다.
예를들어, 도 11 및 도 12에서와 같이 모터(M1)나 실린더(M2)와 같은 구동원을 이용하여 상기 제2 및 제2 토출용 블레이드(B2, B3)를 밀거나 당기면서 높낮이 위치의 조절이 가능하도록 구성할 수도 있다.
이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 본 발명의 목적을 만족하는 여러 가지의 구동 방식(수동 및 자동)을 다양하게 실시할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 바람직한 설치 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 토출부의 세부 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 제1 토출슬릿 및 제2 토출슬릿의 단부 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 다른 설치 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 에어나이프 장치의 팁 조절수단 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 7 내지 도 10은 도 6의 팁 조절수단의 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 11 및 도 12는 도 6의 팁 조절수단의 다른 구조를 설명하기 위한 도면이다.
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]
2: 본체 4: 제1 챔버부 6: 제2 챔버부
8: 토출부 10: 팁 조절수단 G: 기판
W: 세정액 A: 건조용 공기 8a: 제1 토출슬 릿
8b: 제2 토출슬릿 T1: 제1 토출팁 T2: 제2 토출팁
B1: 제1 토출용 블레이드 B2: 제2 토출용 블레이드 B3: 제3 토출용 블레이드

Claims (9)

  1. 내부에 공기유입구를 구비한 본체;
    상기 본체 내측에 형성되어 상기 공기유입구로부터 건조용 공기를 공급받는 제1 챔버부;
    상기 제1 챔버부와 이격 형성되는 제2 챔버부;
    복수 개의 토출용 블레이드로 구성되며 상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부의 건조용 공기를 외부로 분사하기 위한 통로를 제공하는 토출부;
    상기 토출부 내측에서 상기 제1 챔버부의 건조용 공기를 어느 한 방향으로 분사할 수 있는 제1 토출팁을 갖도록 형성되는 제1 토출슬릿;
    상기 제2 챔버부의 건조용 공기를 상기 제1 토출슬릿과 서로 다른 방향으로 분사할 수 있는 제2 토출팁을 갖도록 상기 토출부 내측에 형성되는 제2 토출슬릿;
    상기 토출부의 토출용 블레이드 위치를 변화시키면서 상기 제1 토출팁 또는 제2 토출팁의 팁 형태를 조절하는 팁 조절수단;
    을 포함하는 에어나이프 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 챔버부 및 제2 챔버부는,
    상기 공기유입구의 건조용 공기가 일정량 담겨질 수 있는 크기를 갖는 챔버로 이루어지며,
    상기 각 챔버의 일측은 상기 공기유입구와 연결되고, 타측은 상기 제1 토출슬릿 또는 제2 토출슬릿과 연결되는 에어나이프 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 토출부는,
    상기 본체 하부에서 상기 제1 챔버부와 제2 챔버부의 경계 지점에 위치하는 제1 토출용 블레이드;
    상기 제1 토출용 블레이드의 일면과 대응하도록 배치되어 이들 사이로 상기 제1 토출슬릿의 통로를 형성하는 제2 토출용 블레이드;
    상기 제1 토출용 블레이드의 타면과 대응하도록 배치되어 이들 사이로 상기 제2 토출슬릿의 통로를 형성하는 제3 토출용 블레이드;
    를 포함하여 이루어지는 에어나이프 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 토출팁은,
    기판 표면을 향하여 경사진 방향으로 건조용 공기를 분사할 수 있는 팁(tip) 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제2 토출팁은,
    기판 표면을 향하여 수직 방향으로 건조용 공기를 분사할 수 있는 팁(tip) 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치.
  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 팁 조절수단은,
    상기 제1 토출팁 또는 제2 토출팁을 사이에 두고 위치하는 토출용 블레이드들의 끝단 위치가 서로 대칭 상태 또는 비대칭 상태가 되도록 상기 토출용 블레이드의 높낮이 위치를 변화시키면서 팁 형태를 한 가지 타입 이상으로 조절 가능하게 이루어지는 에어나이프 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 팁 조절수단은,
    나사 또는, 모터나 실린더의 동력을 이용하여 상기 토출용 블레이드들을 밀거나 당기면서 높낮이 위치를 조절할 수 있도록 셋팅되는 에어나이프 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 본체는,
    기판의 이송 방향과 대응하는 임의의 수직 기준선으로부터 소정의 경사각도 범위 내로 경사지게 설치되며,
    상기 경사각도는 30도 내지 38도 범위로 이루어지는 것을 특징으로 하는 에어나이프 장치.
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