KR100989928B1 - 유체 토출 장치 및 그의 세정 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 노즐의 잔유물을 제거하는 노즐 세정부재를 노즐에 일체화시켜 노즐의 세정 효율을 향상시킴과 아울러 내부를 관찰할 수 있도록 한 유체 토출 장치 및 그의 세정 방법에 관한 것으로, 유체 토출 장치는 유체가 공급되는 몸체; 상기 몸체에 연통되어 상기 유체를 토출하는 슬릿 노즐; 및 상기 슬릿 노즐에 설치되어 상기 슬릿 노즐에 잔류하는 잔유물을 세정하는 노즐 세정부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성에 의하여 본 발명은 노즐을 세정하기 위한 구성을 단순화함과 아울러 노즐의 세정을 간편하게 할 수 있고, 비접촉 방식으로 노즐을 세정함으로써 노즐 세정시 파티클의 발생 없이 노즐의 세정 효율을 향상시킬 수 있다.
노즐, 세정액, 에어, 일체화, 유체, 잔유물

Description

유체 토출 장치 및 그의 세정 방법{FLUID EJECTION APPARATUS AND CLEANING METHOD THEREOF}
본 발명은 유체 토출 장치 및 그의 세정 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 노즐의 잔유물을 제거하는 노즐 세정부재를 노즐에 일체화시켜 노즐의 세정 효율을 향상시킴과 아울러 내부를 관찰할 수 있도록 한 유체 토출 장치 및 그의 세정 방법에 관한 것이다.
도 1a는 일반적인 유체 토출장치를 개략적인 사시도이고, 도 1b는 도 1a의 A-A 라인의 단면을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 1a에서 알 수 있듯이, 유체 토출장치(1)는 기판(2) 위에서 소정 방향(화살표 방향 참조)으로 이동하면서 기판(2) 상에 유체를 도포하기 위한 장치이다.
도 1b에서 알 수 있듯이, 유체 토출장치(1)는 수용부(3) 및 노즐부(5)를 포함하여 구성되어, 수용부(3)에 수용된 유체(7)는 노즐부(5)를 통해 방출되면서 기판(2) 상에 도포된다.
한편, 유체(7)가 어느 정도 점성을 갖는 경우, 도포 공정이 완료된 후에 노즐부(5)의 끝단에 유체(7)가 잔유물로 잔류하게 된다. 이와 같이 노즐부(5)의 끝 단에 잔유물이 잔류하게 되면 다음 도포 공정시 원활한 도포 공정이 이루어지지 않게 되므로, 도포 공정이 완료된 후에는 노즐부(5)의 끝단에 잔류하는 잔유물을 제거해야 한다.
이에 따라, 종래에는 노즐부(5)의 끝단에 고무와 같은 부드러운 재료로 이루어진 세정부재(미도시)를 직접 접촉시켜 노즐부(5)에 잔류하는 잔유물을 세정하였다.
그러나 종래의 노즐 세정 방법은 별도의 세정부재를 유체 토출장치(1)의 노즐부(5)에 직접 접촉시키기 때문에 세정부재와 노즐부(5)의 접촉으로 인하여 노즐부(5)에 스크래치가 발생되거나, 세정부재의 마모에 의해 발생되는 파티클이 노즐부(5)에 잔존하므로 노즐의 세정 효율이 저하되는 문제점이 있었다.
또한, 종래의 노즐 세정 방법은 별도의 세정부재를 사용함으로써 노즐부(5)를 세정하는데 번거롭다는 문제점이 있다.
그리고, 종래의 유체 토출장치(1)에서는 유체(7)에 포함된 기포 및/또는 이물질 등에 의해 토출 불량 및 유체 흐름 막힘 등의 불량이 발생하게 된다. 그러나, 종래의 유체 토출장치(1)는 불투명명한 금속재질로 형성되기 때문에 내부를 관찰할 수 없다는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 노즐의 잔유물을 제거하는 노즐 세정부재를 노즐에 일체화시켜 노즐의 세정 효율을 향상시킴과 아울러 내부를 관찰할 수 있도록 한 유체 토출 장치 및 그의 세정 방법을 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 유체 토출 장치는 유체가 공급되는 몸체; 상기 몸체에 연통되어 상기 유체를 토출하는 슬릿 노즐; 및 상기 슬릿 노즐에 설치되어 상기 슬릿 노즐에 잔류하는 잔유물을 세정하는 노즐 세정부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 노즐 세정부재는 상기 슬릿 노즐의 일측면에 설치된 제 1 노즐 세정부; 및 상기 슬릿 노즐의 타측면에 설치된 제 2 노즐 세정부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 몸체는 투명 재질인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 따른 유체 토출 장치는 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부 및 상기 유체 수용부에 연통되는 슬릿을 가지는 제 1 립(Lip); 상기 제 1 립에 결합되어 상기 유체 수용부에 수용된 유체를 토출하는 슬릿 노즐을 형성하는 제 2 립; 및 상기 제 1 및 제 2 립에 설치되어 슬릿 노즐에 잔류하는 잔유물을 세정하는 노즐 세정부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 노즐 세정부재는 세정액 및 에어를 이용하여 상기 잔유물을 세정하는 것을 특징으로 한다.
상기 노즐 세정부재는 상기 제 1 립에 설치된 제 1 노즐 세정부; 및 상기 제 2 립에 설치된 제 2 노즐 세정부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 및 제 2 노즐 세정부 각각은 상기 슬릿 노즐에 상기 세정액을 분사하는 세정액 분사부; 및 상기 슬릿 노즐에 상기 에어를 분사하여 상기 잔유물을 제거하는 에어 분사부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 및 제 2 립 중 적어도 하나는 투명 재질인 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 및 제 2 립 중 투명 재질로 형성된 립의 상기 슬릿 노즐을 보호하는 노즐 보호부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 노즐 보호부재는 금속재질인 것을 특징으로 한다.
상기 투명 재질은 석영 또는 아크릴 재질인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 유체 토출 장치의 세정 방법은 몸체에 공급되는 유체를 슬릿 노즐을 통해 외부로 토출하는 유체 토출 장치의 세정 방법에 있어서, 상기 슬릿 노즐에 설치된 노즐 세정부재를 이용하여 상기 슬릿 노즐에 잔류하는 잔유물을 세정하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 유체 토출 장치의 세정 방법은 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부 및 상기 유체 수용부에 연통되는 슬릿을 가지는 제 1 립(Lip)과, 상기 제 1 립에 결합되어 상기 유체 수용부에 수용된 유체를 토출하는 슬릿 노즐을 형성하는 유체 토출 장치의 세정 방법에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 립 각각에 설치된 노즐 세정부재를 이용하여 상기 슬릿 노즐에 잔류하는 잔유물을 세정하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기 잔유물을 세정하는 단계는 상기 슬릿 노즐에 세정액을 분사하는 단계; 및 상기 슬릿 노즐에 에어를 분사하여 상기 잔유물을 제거하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 노즐의 잔유물을 제거하는 노즐 세정부재를 노즐에 일체화시킴으로써 노즐을 세정하기 위한 구성을 단순화할 수 있으며, 노즐의 세정을 간편하게 할 수 있는 효과가 있다.
둘째, 세정액 및 에어를 이용하여 비접촉 방식으로 노즐을 세정함으로써 노즐 세정시 파티클의 발생 없이 노즐의 세정 효율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
셋째, 외부에서 노즐 내부를 관찰할 수 가시할 수 있어 유체 흐름 막힘, 이물질의 축적 등의 노즐 내부의 불량을 간단하게 검출할 수 있는 효과가 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 도 2의 B-B 라인의 단면을 나타내는 단면도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 유체 토출장치(10)는 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 유체(30)가 공급되는 몸체(12); 및 몸체(12)에 연통되어 유 체(30)를 토출하는 슬릿 노즐(16); 및 슬릿 노즐(16)에 설치되어 슬릿 노즐(16)의 잔유물을 세정하는 노즐 세정부재(20)를 포함하여 구성된다.
몸체(12)는 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(30)를 수용하기 위한 유체 수용부(14)를 포함하여 구성된다. 여기서, 몸체(12)는 금속과 같은 불투명한 재질이거나, 석영(Quartz) 또는 아크릴(Acrylic)와 같은 투명한 재질로 형성될 수 있다.
슬릿 노즐(16)은 몸체(12)의 유체 수용부(14)에 연통되어 유체 수용부(14)에 수용된 유체(30)를 토출하는 슬릿(16a)을 포함하여 구성된다.
노즐 세정부재(120)는 슬릿 노즐(16)의 경사면(17a, 17b)에 설치된 제 1 및 제 2 노즐 세정부(20a, 20b)를 포함하여 구성될 수 있다.
제 1 노즐 세정부(20a)는 슬릿 노즐(16)의 일측 경사면(17a)에 세정액 및 에어를 분사하여 슬릿 노즐(16)에 잔류하는 잔유물(31)을 세정한다. 제 2 노즐 세정부(20b)는 슬릿 노즐(16)의 타측 경사면(17b)에 세정액 및 에어를 분사하여 슬릿 노즐(16)에 잔류하는 잔유물(31)을 세정한다.
이러한, 제 1 및 제 2 노즐 세정부(20a, 20b) 각각은 슬릿 노즐(16)의 경사면(17a, 17b)에 세정액을 분사하기 위한 세정액 분사부(21); 및 슬릿 노즐(16)의 경사면(17a, 17b)에 에어를 분사하기 위한 에어 분사부(22)를 포함하여 구성될 수 있다.
세정액 분사부(21)는 외부의 세정액 공급장치(미도시)로부터 공급되는 세정액을 수용하는 세정액 수용부(21a); 세정액 수용부(21a)에 연통되어 슬릿 노즐(16) 의 경사면(17a, 17b)에 세정액을 분사하는 적어도 하나의 세정액 분사홀(21b)을 포함하여 구성된다. 여기서, 적어도 하나의 세정액 분사홀(21b)은 슬릿 노즐(16)의 경사면(17a, 17b)에 세정액이 분사되도록 슬릿 노즐(16)의 길이방향을 따라 스트라이프 형태로 형성되거나, 일정한 간격을 가지도록 복수로 형성될 수 있다.
에어 분사부(22)는 세정액 분사부(21)의 위쪽(슬릿 노즐부의 끝단의 반대방향)에 형성된다. 이러한, 에어 분사부(22)는 외부의 에어 공급장치(미도시)로부터 공급되는 에어를 수용하는 에어 수용부(22a); 에어 수용부(22a)에 연통되어 슬릿 노즐(16)의 경사면(17a, 17b)에 에어를 분사하는 적어도 하나의 에어 분사홀(22b)을 포함하여 구성된다. 여기서, 적어도 하나의 에어 분사홀(22b)은 슬릿 노즐(16)의 경사면(17a, 17b)에 에어가 분사되도록 슬릿 노즐(16)의 길이방향을 따라 스트라이프 형태로 형성되거나, 일정한 간격을 가지도록 복수로 형성될 수 있다.
이와 같은, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 유체 토출장치(10)는 기판(미도시) 상에서 기판을 따라 이동하면서 기판 상에 유체(30)를 도포함으로써 기판 상에 유체막을 형성한다. 그런 다음, 유체(30)의 도포 공정이 완료되면, 제 1 및 제 2 노즐 세정부(20a, 20b)에 세정액 및 에어를 공급하여 슬릿 노즐(16)에 세정액 및 에어를 분사함으로써 슬릿 노즐(16)에 잔류하는 잔유물(31)을 제거하게 된다. 따라서, 본 발명의 제 1 실시 예는 세정액 및 에어를 이용하여 비접촉 방식으로 노즐을 세정함으로써 노즐 세정시 파티클의 발생 없이 노즐의 세정 효율을 향상시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시 도이고, 도 5는 도 4의 C-C 라인의 단면을 나타내는 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 유체 토출장치(110)는 몸체(112) 내부에 형성되어 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(130)를 수용하는 유체 수용부(114); 유체 수용부(114)와 연통되어 유체(130)를 기판(100) 상에 도포하는 슬릿 노즐(116); 및 슬릿 노즐(116)에 설치되어 슬릿 노즐(116)의 잔유물을 세정하기 위한 노즐 세정부재(120)를 포함하여 구성된다.
몸체(112)는 유체 수용부(114)를 포함하도록 금속재질로 형성된다. 이러한, 몸체(112)는 제 1 및 제 2 립(Lip)(112a, 112b)을 포함하여 구성된다.
제 1 립(112a)은 유체 수용홈(114a); 및 제 1 노즐부(117)를 포함하여 구성된다.
제 1 노즐부(117)는 제 1 립(112a)의 하단부에 수평하게 마련된 제 1 토출부(117a); 제 1 토출부(117a)로부터 일정한 기울기를 가지도록 경사진 제 1 경사면(117b); 및 제 1 토출부(117a)와 유체 수용부(114) 사이에 형성된 슬릿(117c)을 포함하여 구성된다.
제 1 경사면(117b)은 제 1 토출부(117a)로부터 60도 정도의 기울기를 가질 수 있다.
슬릿(117c)은 제 1 토출부(117a)와 유체 수용부(114)에 연통되도록 제 1 립(112a)의 내면으로부터 일정한 깊이로 형성된다.
유체 수용홈(114a)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 제 2 립(112b)과 마주보도록 제 1 립(112a)의 내면(113a)으로부터 오목하게 형성된다. 이때, 유체 수용 홈(114a)은 유체에 포함된 기포가 상부 쪽으로 유동되거나, 유체에 포함된 이물질이 하부 쪽으로 유동될 수 있도록 중앙부를 기준으로 일정한 각도로 경사지게 형성될 수 있다. 예를 들어, 유체 수용홈(114a)은 중앙부를 기준으로 아래쪽으로 2 ~ 7도 정도의 기울기를 가지도록 빗살 형태를 형성될 수 있다.
한편, 제 1 립(112a)에는 유체 수용홈(114a)의 중앙, 좌측, 우측 중 적어도 하나에 연통되도록 형성된 적어도 하나의 벤트 홀(Vent Hole)(115a, 115b, 115c)이 형성될 수 있다. 이러한, 적어도 하나의 벤트 홀(115a, 115b, 115c)은 유체 수용홈(114a)에 공급된 유체에 포함된 기포를 외부로 배출시킨다.
도 5에서, 제 2 립(112b)은 제 2 노즐부(118); 및 슬릿 노즐(116)의 갭(G)을 조정하기 위한 갭 조정부(119)를 포함하여 구성된다. 여기서, 제 1 립(112a)과 마주보는 제 2 립(112b)의 내면은 평면 형태로 형성된다.
제 2 노즐부(118)는 제 2 립(112b)의 하단부에 수평하게 마련된 제 2 토출부(118a); 및 제 2 토출부(118a)로부터 일정한 기울기를 가지도록 경사진 제 2 경사면(118b)을 포함하여 구성된다.
제 2 토출부(118a)는 제 1 토출부(117a)와 같은 폭으로 형성되거나 일정한 비율로 작게 형성될 수 있다.
제 2 경사면(118b)은 제 2 토출부(118a)로부터 60도 정도의 기울기를 가질 수 있다.
도 5에서, 갭 조정부(119)는 제 2 립(112b)의 외면으로부터 오목하게 형성된 갭 조정홈(119a); 갭 조정홈(119b)에 삽입된 체결부재(119b); 및 체결부재(119b)에 체결되어 슬릿 노즐(116)의 갭(G)을 조정하는 갭 조정 볼트(119c)를 포함하여 구성된다. 이러한, 갭 조정부(119)는 갭 조정 볼트(119c)의 회전에 의한 체결부재(119b)와의 체결에 따라 제 2 노즐부(118)의 제 2 토출부(118a)를 제 1 노즐부(117)에 근접시키거나 이격시킴으로써 슬릿 노즐(116)의 토출구의 갭(G)을 조정한다.
유체 수용부(114)는 제 1 및 제 2 립(112a, 112b)의 형합에 의해 제 1 립(112a)의 유체 수용홈(114a)와 제 2 립(112b)의 내면 사이에 마련된다. 이러한, 유체 수용부(114)는 제 1 및 제 2 립(112a, 112b) 중 적어도 하나에 형성된 유체 공급홀(미도시)을 통해 유체 공급장치로부터 공급되는 유체(130)를 수용한다. 이러한, 유체 수용부(114)는 상술한 바와 같이 중앙부를 기준으로 일정한 각도로 경사지게 형성된다.
슬릿 노즐(116)은 제 1 립(112a)의 제 1 노즐부(117)와 제 2 립(112b)의 제 2 노즐부(118)의 결합에 의해 마련됨으로써 제 1 립(112a)에 형성된 슬릿(117c)을 통해 유체 수용부(114)로부터 공급되는 유체(130)를 토출한다.
한편, 상술한 제 1 및 제 2 립(112a, 112b)은 하나의 일체형으로 형성될 수 있다.
노즐 세정부재(120)는 제 1 립(112a)의 제 1 노즐부(117)에 설치된 제 1 노즐 세정부(120a); 및 제 2 립(112b)의 제 2 노즐부(118)에 설치된 제 2 노즐 세정부(120b)를 포함하여 구성될 수 있다.
제 1 노즐 세정부(120a)는 제 1 노즐부(117)의 제 1 경사면(117b)에 세정액 및 에어를 분사하여 제 1 노즐부(117)에 잔류하는 잔유물을 제거한다. 제 2 노즐 세정부(120b)는 제 2 노즐부(118)의 제 2 경사면(118b)에 세정액 및 에어를 분사하여 제 2 노즐부(118)에 잔류하는 잔유물을 제거한다.
이러한, 제 1 및 제 2 노즐 세정부(120a, 120b) 각각은 슬릿 노즐(116)의 경사면(117b, 118b)에 세정액을 분사하기 위한 세정액 분사부(210); 및 슬릿 노즐(116)의 경사면(117b, 118b)에 에어를 분사하기 위한 에어 분사부(220)를 포함하여 구성될 수 있다.
세정액 분사부(210)는 외부의 세정액 공급장치로부터 공급되는 세정액을 수용하는 세정액 수용부(210a); 세정액 수용부(210a)에 연통되어 슬릿 노즐(116)의 경사면(117b, 118b)에 세정액을 분사하는 적어도 하나의 세정액 분사홀(210b)을 포함하여 구성된다. 여기서, 적어도 하나의 세정액 분사홀(210b)은 슬릿 노즐(116)의 경사면(117b, 118b)에 세정액이 분사되도록 슬릿 노즐(116)의 길이방향을 따라 스트라이프 형태로 형성되거나, 일정한 간격을 가지도록 복수로 형성될 수 있다.
에어 분사부(220)는 세정액 분사부(210)의 위쪽(슬릿 노즐의 끝단의 반대방향)에 형성된다. 이러한, 에어 분사부(220)는 외부의 에어 공급장치로부터 공급되는 에어를 수용하는 에어 수용부(220a); 에어 수용부(220a)에 연통되어 슬릿 노즐(116)의 경사면(117b, 118b)에 에어를 분사하는 적어도 하나의 에어 분사홀(220b)을 포함하여 구성된다. 여기서, 적어도 하나의 에어 분사홀(220b)은 슬릿 노즐(116)의 경사면(117b, 118b)에 에어가 분사되도록 슬릿 노즐(116)의 길이방향을 따라 스트라이프 형태로 형성되거나, 일정한 간격을 가지도록 복수로 형성될 수 있다.
이와 같은, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 유체 토출장치(110)는 기판(100) 상을 이동하면서 기판(100) 상에 유체(130)를 도포함으로써 기판(100) 상에 유체막(132)을 형성한다. 그런 다음, 유체(130)의 도포 공정이 완료되면, 도 7에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 노즐 세정부(120a, 120b)에 세정액 및 에어를 공급하여 슬릿 노즐(116)에 세정액(212) 및 에어(214)를 분사함으로써 슬릿 노즐(116)에 잔류하는 잔유물(131)을 제거하게 된다. 따라서, 본 발명의 제 2 실시 예는 세정액 및 에어를 이용하여 비접촉 방식으로 노즐을 세정함으로써 노즐 세정시 파티클의 발생 없이 노즐의 세정 효율을 향상시킬 수 있다.
한편, 상술한 본 발명에 있어서, 몸체(110)는 불투명한 금속재질로 형성되었으나, 이에 한정되지 않고, 투명한 재질로 형성될 수 있다. 여기서, 투명재질로는 석영(Quartz) 또는 아크릴(Acrylic) 등이 될 수 있다. 이와 같이, 몸체(110)를 투명재질로 형성할 경우 외부에서 몸체(110) 내부를 관찰할 수 가시할 수 있어 유체 흐름 막힘, 이물질의 축적 등의 노즐 내부의 불량을 간단하게 검출할 수 있다.
도 8은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 유체 토출장치(310)를 설명하기 위한 단면도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 유체 토출장치(310)는 투명 재질로 형성된 몸체(112); 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(130)를 수용하는 유체 수용부(114); 유체 수용부(114)와 연통되어 유체(130)를 기판(120) 상에 형성하는 슬릿 노즐(116); 슬릿 노즐(116)에 설치되어 슬릿 노즐(116)의 잔유물을 세정하 기 위한 노즐 세정부재(120); 및 슬릿 노즐(116)의 외부를 배치된 노즐 보호부재(320)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성의 유체 토출장치(310)는 노즐 보호부재(320)를 제외하고는 상술한 제 1 실시 예와 동일한 구성을 가지므로, 동일한 구성에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
노즐 보호부재(320)는 슬릿 노즐(116)에 설치되어 외부 충격 또는 유체(130)에 포함된 이물질에 의한 노즐 토출구의 손상을 방지한다. 이를 위해, 노즐 보호부재(320)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성될 수 있다.
한편, 노즐 보호부재(320)는 제 1 및 제 2 노즐 보호부재(320a, 320b)를 포함하여 구성될 수 있다.
제 1 노즐 보호부재(320a)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성되어 제 1 노즐부(117)의 제 1 토출부(117a)과 제 1 경사면(117b)에 설치된다. 제 2 노즐 보호부재(320b)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성되어 제 2 노즐부(118)의 제 2 토출부(118a)과 제 2 경사면(118b)에 설치된다.
도 9는 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 유체 토출장치(410)를 설명하기 위한 단면도이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 유체 토출장치(410)는 불투명한 금속재질의 제 1 립(112a) 및 투명한 재질의 제 2 립(112b)으로 구성된 몸체(112); 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(130)를 수용하는 유체 수용부(114); 유체 수용부(114)와 연통되어 유체(130)를 기판(120) 상에 형성하는 슬릿 노즐(116); 슬릿 노즐(116)에 설치되어 슬릿 노즐(116)의 잔유물을 세정하기 위한 노즐 세정부 재(120); 및 제 2 립(112b)의 제 2 노즐부(118)에 설치되어 슬릿 노즐(116)을 보호하는 노즐 보호부재(420)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성의 유체 토출장치(310)는 몸체(112)와 노즐 보호부재(420)를 제외하고는 상술한 제 1 또는 제 2 실시 예와 동일한 구성을 가지므로, 동일한 구성에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.
몸체(112)는 제 1 립(112a)을 불투명한 금속재질로 형성하고, 제 2 립(112b)을 투명한 재질로 형성하는 것을 제외하고는 상술한 실시 예와 동일한 구성을 갖는다. 다만, 제 2 립(112b)의 제 2 토출부(118a)는 노즐 보호부재(420)의 높이로 인하여 제 1 립(112a)의 제 1 토출부(117a)와 단차지지 않도록 제 1 립(112a)의 제 1 토출부(117a)보다 낮은 높이로 형성된다.
노즐 보호부재(420)는 제 2 노즐부(118)의 제 2 토출부(118a)와 제 2 경사면(118b)에 설치된다. 이때, 노즐 보호부재(320)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성되거나, 제 1 립(112a)과 동일한 재질로 형성될 수 있다. 이러한, 노즐 보호부재(320)의 하단부는 제 1 립(112a)의 제 1 토출부(117a)와 동일한 수평면을 이루게 된다.
한편, 본 발명의 제 4 실시 예에서 몸체(112)는 불투명한 금속재질의 제 1 립(112a) 및 투명한 재질의 제 2 립(112b)으로 구성되었으나, 이에 한정되지 않고, 투명 재질의 제 1 립(112a) 및 불투명한 재질의 제 2 립(112b)으로 구성될 수 있으며, 이 경우 노즐 보호부재(320)는 투명 재질의 제 1 립(112a)을 구성하는 제 1 노즐부(117)의 제 1 토출부(117a)와 제 1 경사면(117b)에 설치될 수 있다.
상술한 바와 같은 본 발명의 실시 예들에 따른 유체 토출장치는 액정 표시장치를 포함하는 평판 표시장치 또는 반도체 소자 등의 제조 공정 중 기판 패터닝 공정시 유체를 토출하여 기판 상에 막을 형성하기 위한 공정에 적용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 유체 토출장치는 노즐을 통해 유체를 토출시키는 과정을 포함하는 잉크젯 프린팅(Inkjet Printing), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스핀 코팅(Spin Coating), 및 롤러 코팅(Roller Coating) 등에 적용될 수 있다.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
도 1a는 종래의 유체 토출장치를 설명하기 위한 도면.
도 1b는 도 1a의 A-A 라인의 단면을 나타내는 단면도.
도 2는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.
도 3은 도 2의 B-B 라인의 단면을 나타내는 단면도.
도 4는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.
도 5는 도 4의 C-C 라인의 단면을 나타내는 단면도.
도 6은 도 4의 D-D 라인의 단면을 나타내는 단면도.
도 7은 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 유체 토출장치의 세정 방법을 설명하기 위한 단면도.
도 8은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.
도 9는 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 >
10, 110, 310, 410: 유체 토출 장치 12, 112: 몸체
14, 114: 유체 수용부 16, 116: 슬릿 노즐
20, 120: 노즐 세정부재 20a, 120a: 제 1 노즐 세정부
20b, 120b: 제 2 노즐 세정부 21, 210: 세정액 분사부
22, 220: 에어 분사부 30, 130: 유체
31, 131: 잔유물 112a: 제 1 립
112b: 제 2 립 117: 제 1 노즐부
118: 제 2 노즐부 119: 갭 조정부
212: 세정액 214: 에어
320, 420: 노즐 보호부재

Claims (14)

  1. 유체가 공급되는 몸체;
    상기 몸체에 연통되어 상기 유체를 토출하는 슬릿을 가지는 슬릿 노즐; 및
    상기 슬릿 노즐의 외측 경사면에 설치된 제 1 및 제 2 노즐 세정부를 이용하여 상기 슬릿의 주변에 잔류하는 잔유물을 세정하는 노즐 세정부재를 포함하며,
    상기 제 1 및 제 2 노즐 세정부 각각은,
    상기 외측 경사면에 설치되어 상기 잔유물에 세정액을 분사하는 세정액 분사부; 및
    상기 세정액 분사부의 상부에 위치하도록 상기 외측 경사면에 설치되어 상기 세정액이 분사되는 상기 외측 경사면에 에어를 분사하는 에어 분사부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 토출 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 몸체는 석영 또는 아크릴 재질인 것을 특징으로 하는 유체 토출 장치.
  4. 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부 및 상기 유체 수용부에 연통되는 슬릿을 가지는 제 1 립(Lip);
    상기 제 1 립에 결합되어 상기 유체 수용부에 수용된 유체를 토출하는 슬릿 노즐을 형성하는 제 2 립; 및
    상기 제 1 및 제 2 립 각각의 외측 경사면에 설치된 제 1 및 제 2 노즐 세정부를 이용하여 상기 슬릿 노즐의 주변에 잔류하는 잔유물을 세정하는 노즐 세정부재를 포함하며,
    상기 제 1 및 제 2 노즐 세정부 각각은,
    상기 외측 경사면에 설치되어 상기 잔유물에 세정액을 분사하는 세정액 분사부; 및
    상기 세정액 분사부의 상부에 위치하도록 상기 외측 경사면에 설치되어 상기 세정액이 분사되는 상기 외측 경사면에 에어를 분사하는 에어 분사부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 토출 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 립 중 적어도 하나는 투명 재질인 것을 특징으로 하는 유체 토출 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 립 중 투명 재질로 형성된 립의 상기 슬릿 노즐을 보호하는 노즐 보호부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 토출 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 노즐 보호부재는 금속재질인 것을 특징으로 하는 유체 토출 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 투명 재질은 석영 또는 아크릴 재질인 것을 특징으로 하는 유체 토출 장치.
  12. 몸체에 공급되는 유체를 슬릿 노즐을 통해 외부로 토출하는 유체 토출 장치의 세정 방법에 있어서,
    상기 슬릿 노즐의 외측 경사면에 설치된 세정액 분사부를 이용하여 상기 슬릿 노줄의 주변에 잔류하는 잔유물에 세정액을 분사하는 단계; 및
    상기 세정액 분사부의 상부에 위치하도록 상기 외측 경사면에 설치된 에어 분사부를 이용하여 상기 세정액이 분사되는 상기 외측 경사면에 에어를 분사하는 단계를 포함하여 이루어지는 특징으로 하는 유체 토출 장치의 세정 방법.
  13. 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부 및 상기 유체 수용부에 연통되는 슬릿을 가지는 제 1 립(Lip)과, 상기 제 1 립에 결합되어 상기 유체 수용부에 수용된 유체를 토출하는 슬릿 노즐을 형성하는 유체 토출 장치의 세정 방법에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 립 각각의 외측 경사면에 설치된 세정액 분사부를 이용하여 상기 슬릿 노줄의 주변에 잔류하는 잔유물에 세정액을 분사하는 단계; 및
    상기 세정액 분사부의 상부에 위치하도록 상기 외측 경사면에 설치된 에어 분사부를 이용하여 상기 세정액이 분사되는 상기 외측 경사면에 에어를 분사하는 단계를 포함하여 이루어지는 특징으로 하는 유체 토출 장치의 세정 방법.
  14. 삭제
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