KR20060129827A - 노즐 유닛 및 이를 갖는 감광막 형성 장치 - Google Patents

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KR20060129827A
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이영범
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유지흠
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삼성전자주식회사
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Abstract

노즐 유닛 및 이를 포함하는 감광막 형성 장치를 개시한다. 노즐 유닛은 몸체 및 노즐부를 포함한다. 몸체에는 피처리 유체의 공급 통로 및 세정액 유통로가 형성된다. 노즐부는 몸체로부터 돌출되어 피처리 유체를 토출한다. 노즐부의 표면에 고착된 피처리 유체의 고형물을 용해시키는 세정액을 제공하기 위해, 노즐부에는 세정액 유통로와 연통되는 세정액 토출 개구가 형성된다. 감광막 형성 장치는 노즐 유닛 및 세정 유닛을 포함한다. 세정 유닛은 세정액에 의해 용해된 피처리 유체의 용해물을 노즐부의 표면으로부터 흡입하여 제거한다. 따라서, 노즐 유닛의 청결도가 향상되고, 불량한 감광막이 발생되는 빈도가 감소된다.
포토레지스트, 슬릿, 노즐, 세정

Description

노즐 유닛 및 이를 갖는 감광막 형성 장치{NOZZLE UNIT AND APPARATUS HAVING THE SAME FOR FORMING A PHOTORESIST LAYER}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 노즐 유닛의 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 제1 몸체부의 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 노즐 유닛을 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 노즐 유닛을 II-II' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 도 1에 도시된 노즐 유닛을 III-III' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐 유닛의 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 노즐 유닛을 IV-IV' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 감광막 형성 장치의 사시도이다.
도 10은 도 9에 도시된 감광막 형성 장치를 V-V' 선을 따라 절단한 부분 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 노즐 유닛 110 : 제1 몸체부
115 : 포토레지스트 공급 통로 120 : 제2 몸체부
130 : 몸체 131 : 세정액 유통로
150 : 노즐부 153 : 노즐 개구
155 : 세정액 토출 개구 600 : 감광막 형성 장치
650 : 세정 유닛
본 발명은 노즐 유닛 및 이를 갖는 감광막 형성 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 세정 수단을 구비하는 노즐 유닛 및 이를 갖는 감광막 형성 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 정보 처리 기술의 개발 및 정보 처리를 수행하는 정보 처리 장치의 기술 개발에 의해 방대한 데이터를 단시간 내 처리하는 것이 가능하게 되었다. 이와 함께, 전기적 신호 포맷을 갖는 데이터를 사용자가 육안으로 인식할 수 있도록 영상으로 표시하는 다양한 표시 장치들의 개발이 급속히 이루어지고 있다.
상기 표시 장치들 중 하나인 액정 표시 장치는 낮은 구동 전압에서 작동되어 낮은 소비전력량을 가질 뿐 아니라 음극선관(cathode ray tube; CRT)에 가까운 화질로 영상을 표시하는 것이 가능하기 때문에 다양한 전자 장치에 광범위하게 사용되고 있다.
최근 들어, 생산성을 보다 향상시키기 위해 상기 액정 표시 장치의 액정 표시 패널을 제조하는 모재료인 유리 기판의 사이즈는 보다 증가되고 있는 추세이다. 이에 따라, 유리 기판에 박막을 형성 및 박막을 패터닝하기가 점차 어려워지고, 공 정 불량이 크게 증가되고 있어 생산성 증대에 큰 장애가 되고 있다.
특히, 유리 기판의 사이즈가 점차 증가되면서 유리 기판에 박막을 형성하기 위한 필수 공정 중 하나인 포토레지스트 박막을 형성하는데 많은 문제점을 갖고 있다. 종래 상기 포토레지스트 박막을 형성하기 위한 방법으로는 롤(Roll) 방식, 스핀(Spin) 방식, 슬릿앤 스핀 방식, 슬릿 방식 등이 대표적이고, 기판의 사이즈가 점차 증가하면서 효율성과 경제성을 고려하여 상기 슬릿 방식이 선호되고 있다.
상기 슬릿 방식으로 상기 포토레지스트 박막을 형성하는 경우, 슬릿 노즐의 청결도가 유리 기판 상에 형성되는 박막의 불량률을 좌우하므로, 상기 슬릿 노즐의 청결도를 최적 수준으로 관리할 필요가 있다.
그러나, 상기 포토레지스트는 상기 슬릿 노즐의 노즐 개구와 노즐의 주변부에 쉽게 고형화된다. 이 경우, 종래에는 수작업으로 상기 슬릿 노즐의 주변부에 고형화된 포토레지스트를 세정하였다. 이로 인해 상기 슬릿 노즐을 균일하고 신속하게 세정하기 곤란한 문제점이 있다.
또한, 수작업으로 상기 고형화된 포토레지스트를 세정하기 위하여, 박막 형성 공정을 일정 시간 중단하여야 하기 때문에 박막 형성 장치의 생산성이 저하되는 문제점이 있다.
이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 세정액 유통로를 구비하여 자동화된 방식으로 세정되는 노즐 유닛을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 노즐 유닛을 포함하는 감광막 형성 장치를 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛은 몸체 및 노즐부를 포함한다. 상기 몸체에는 피처리 유체의 공급 통로 및 세정액 유통로가 형성된다. 상기 노즐부는 상기 몸체로부터 돌출되어 피처리 유체를 토출한다. 상기 노즐부에는 상기 세정액 유통로와 연통된 세정액 토출 개구가 형성되어, 상기 노즐부의 표면에 고착된 피처리 유체의 고형물에 세정액을 제공한다.
바람직하게는, 상기 노즐부는 상기 몸체의 길이 방향을 따라 연장된 경사면들을 포함한다. 상기 경사면들에는 상기 몸체의 길이 방향을 따라 배치되는 상기 세정액 토출 개구가 형성된다. 상기 경사면들이 이루는 상기 노즐부의 정상부에는 상기 노즐 개구가 상기 몸체의 길이 방향을 따라 슬릿 형상으로 형성된다.
선택적으로, 상기 세정액 토출 개구는 상기 몸체의 길이 방향을 따라 연장된 슬릿 형상을 갖는다.
바람직하게는, 상기 몸체는 제1 몸체 및 제2 몸체를 포함한다. 상기 제1 몸체는 상기 피처리 유체의 공급 통로가 형성된다. 상기 제2 몸체는 상기 제1 몸체와 결합하여 상기 세정액 유통로를 형성한다. 상기 노즐부는 상기 제2 몸체로부터 돌출된다.
상기한 본 발명의 다른 목적을 실현하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 감광막 형성 장치는 노즐 유닛 및 세정 유닛을 포함한다. 상기 노즐 유닛은 몸체 및 노즐부를 포함한다. 상기 몸체에는 피처리 유체이 공급 통로 및 세정액 유통로가 형성된다. 상기 노즐부는 상기 몸체로부터 돌출되어 기판 위에 피처리 유체를 도포한다. 상기 노즐부의 표면에 붙은 피처리 유체이 고형물을 용해시키기 위해, 상기 노즐부에는 상기 세정액 유통로와 연통되는 세정액 토출 개구가 형성된다. 상기 세정 유닛은 세정액에 의해 용해된 상기 피처리 유체의 용해물을 상기 노즐부의 표면으로부터 흡입하여 제거한다.
바람직하게는, 상기 노즐부의 정상부에는 슬릿 형상의 노즐 개구가 더 형성된다. 상기 세정 유닛은 세정액 분사부 및 흡입부를 포함한다. 상기 세정액 분사부는 상기 노즐부의 표면 및 노즐 개구의 주변부에 고착된 상기 피처리 유체의 고형물에 세정액을 분사한다. 상기 흡입부는 세정액에 의해 용해된 피처리 유체의 용해물을 흡입한다. 동시에 상기 노즐부 전체를 세정하기 위해, 복수 개의 상기 세정액 분사부 및 흡입부가 상기 슬릿 형상의 노즐 개구 전체에 대응하도록 배치된다.
선택적으로, 상기 피처리 유체는 감광성 물질이고, 상기 세정액은 신너(Thinner)이다.
이와 같은 노즐 유닛 및 이를 갖는 감광막 형성 장치에 의하면, 노즐부의 청결도가 향상되어, 감광막의 불량률을 감소시키는 감광막 형성 장치를 제공할 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
노즐 유닛
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐 유닛의 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 노즐 유닛의 분해 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 노즐 유닛(100)은 몸체(130) 및 노즐부(150)를 포함한다.
상기 몸체(130)는 제1 몸체부(110) 및 제2 몸체부(120)를 포함한다. 상기 제1 몸체부(110) 및 제2 몸체부(120)는 상호 나사결합된다.
상기 제1 몸체부(110)는 대략 직육면체 형상을 갖는다. 상기 제1 몸체부(110)는 상기 제2 몸체부(120)와 밀착되는 제1 결합면 및 상기 제1 결합면과 대향하는 상면을 포함한다. 상기 제1 결합면의 4개의 모서리 인근에는 상기 상면으로부터 상기 제1 결합면까지 관통된 복수개의 제1 관통홀(113)들이 형성되며, 상기 제1 관통홀들의 내면에는 제1 수나사(141)와 나사결합을 위한 암나사가 형성된다.
도 3은 도 2에 도시된 제1 몸체부의 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 제1 몸체부(110)의 중앙부에는 상기 노즐 유닛(100)이 제공하는 피처리 유체, 예를 들어, 포토레지스트의 공급 통로(115)가 형성된다. 상기 포토레지스트 공급 통로(115)는 상기 제1 몸체부(110)의 상면으로부터 상기 제1 결합면까지 관통되어 형성된다.
도 2 및 도 3에서, 상기 포토레지스트 공급 통로(115)는 상기 상면으로 통하는 1 개의 입구와, 상기 제1 결합면으로 관통된 복수개의 출구(117)들을 포함한다. 상기 복수개의 출구(117)들은 격벽(119)들에 의해 구획된다.
상기 제1 몸체부(110)의 상기 제1 결합면에는 후술할 세정액 유통로(131)를 제공하기 위하여 제1 세정홈(111)이 형성된다. 상기 제1 세정홈(111)은 상기 포토레지스트 공급 통로(115)를 사이에 두고, 제1 방향(상기 제1 몸체부(110)의 길이 방향)을 따라 상호 평행하게 소정의 깊이로 2 개가 형성된다.
상기 제1 결합면의 중앙부중 상기 제1 세정홈(111)의 외측에는 후술할 상기 제2 몸체부(120)를 관통한 제1 수나사(145)가 삽입 체결되는 제1 체결홀(116)들이 형성된다.
도 4는 도 1에 도시된 노즐 유닛을 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 2 및 도 4를 참조하면, 상기 제2 몸체부(120)는 대략 플레이트 형상을 갖는다. 상기 제2 몸체부(120)는 상기 제1 몸체부(110)와 밀착되는 제2 결합면 및 상기 제1 결합면과 대향하는 하면을 포함한다. 상기 제2 결합면의 4개의 모서리 인근에는 소정의 깊이로 나사결합을 위한 제2 체결홀(123)들이 형성된다. 상기 제2 체결홀(123)들의 내면에는 나사결합을 위한 암나사가 형성된다. 상기 제2 체결홀(123)들은 상기 제1 몸체부(110)에 형성된 상기 제1 관통홀(113)들에 대응한다.
상기 제2 몸체부(120)의 중앙부에는 상기 제1 방향을 따라 상기 포토레지스트 공급 통로(115)의 출구(117)와 연통되는 연결 개구(154)가 형성된다. 상기 연결 개구(154)는 후술할 노즐부(150)의 노즐 개구(153)와 연통된다.
상기 제2 몸체부(120)의 상기 제2 결합면에는 상기 제1 몸체부(110)에 형성된 상기 제1 세정홈(111)에 대응하는 제2 세정홈(121)이 형성된다. 상기 제2 세정홈(121)은 상기 연결 개구(154)를 사이에 두고, 상기 제1 방향을 따라 상호 평행하 게 소정의 깊이로 2 개가 형성된다.
상기 제2 결합면의 중앙부중 상기 제2 세정홈(121)의 외측에는 나사 체결을 위한 제2 관통홀(126)들이 형성된다. 상기 제2 관통홀(126)들은 상기 제1 몸체부(110)에 형성된 상기 제1 체결홀(116)들에 대응한다.
도 5는 도 1에 도시된 노즐 유닛을 II-II' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 제1 수나사(141)가 상기 제1 관통홀(113) 및 제2 체결홀(123)에 나사결합하고, 상기 제1 수나사(145)가 상기 제2 관통홀(126) 및 제1 체결홀(116)에 나사결합함에 따라, 상기 제1 몸체부(110) 및 제2 몸체부(120)는 견고하게 상호 결합된다.
이에 따라, 상기 제1 세정홈(111) 및 제2 세정홈(121)은 상기 세정액 유통로(131)를 형성한다. 상기 세정액 유통로(131)는 상기 몸체(130)의 상기 제1 방향 일측 단부 및 이에 대향하는 타측 단부까지 관통된다. 이에 따라, 상기 몸체(130)에는 상기 세정액 유입구(133) 및 배출구(135)가 각각 형성된다.
상기 포토레지스트 공급 통로(115)는 입구로부터 상기 제1 방향을 따라 복수 개의 가지(116)들로 분기되어 상기 제2 몸체부(120)에 형성된 상기 연결 개구(154)와 연통된다.
상기 노즐부(150)는 상기 몸체(130)의 포토레지스트 공급 통로(115)를 통해 제공된 포토레지스트를 기판 상에 소정의 압력과 유량으로 토출한다. 도 2, 도 4 및 도 5에서, 상기 노즐부(150)는 상기 제2 몸체부(120)의 상기 하면으로부터 돌출된다. 상기 노즐부(150)는 상기 제1 방향을 따라 연장되며 서로 대향하는 경사면 (151)들을 포함한다.
상기 노즐부(150)의 돌출 방향 단부에는 상기 제1 방향을 따라 슬릿 형상을 갖는 노즐 개구(153)가 더 형성된다. 상기 노즐 개구(153)는 상기 제2 몸체부(120)의 상기 제2 결합면에 형성된 연결 개구(154)와 연통된다.
상기 노즐부(150)가 상기 포토레지스트를 토출하는 과정에서 상기 노즐 개구(153)로부터 토출되는 포토레지스트가 상기 노즐 개구(153)의 주변부 및 상기 노즐부(150)의 경사면(151)들에 묻는 경우가 빈번히 발생한다. 상기 포토레지스트는 빛에 노출되는 경우, 경화되어 고형화된다.
상기 노즐 개구(153)의 주변부에 상기 포토레지스트가 고형화되어 고착된 경우, 상기 노즐 개구(153)로부터 토출되는 포토레지스트의 두께가 불균일하게 된다. 또한, 상기 노즐 개구(153)의 주변부에 고착된 상기 포토레지스트의 고형물(105)을 제거하더라도, 상기 노즐부(150)의 경사면(151)에 고착된 상기 포토레지스트의 고형물(105)은 비드들을 형성하여 상기 노즐 개구(153)로부터 토출되는 포토레지스트의 균일성을 저해한다.
도 6은 도 1에 도시된 노즐 유닛을 III-III' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 4 및 도 6을 참조하면, 상기 노즐부(150)에는 상기 포토레지스트 고형물(105)을 용해시키기 위해 세정액 토출 개구(155)가 형성된다. 상기 세정액 토출 개구(155)는 상기 경사면(151)들에 상기 제1 방향을 따라 복수 개가 형성된다. 상기 세정액 토출 개구(155)는 상기 경사면(151)으로부터 상기 제2 세정홈(121)까지 관통되어 상기 세정액 유통로(131)와 연통된다.
상기 세정액 토출 개구(155)는 세정액(107), 예들 들어, 신너(Thinner)를 토출한다. 토출된 신너는 상기 경사면(151)에 고착된 포토레지스트 고형물(105)의 표면을 따라 흐르며, 상기 포토레지스트 고형물(105)을 용해시켜 제거하기 용이한 상태로 변형시킨다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 노즐 유닛의 사시도이다. 도 8은 도 7에 도시된 노즐 유닛을 IV-IV' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 노즐 유닛(300)은 몸체(330) 및 노즐부(350)를 포함한다. 상기 노즐 유닛(300)은 세정액 토출 개구(355)의 형상을 제외하고는 도 1 내지 도 6에 도시된 노즐 유닛(100)과 실질적으로 동일하므로 중복된 설명은 생략한다.
상기 노즐부(350)에는 상기 포토레지스트 고형물(305)을 용해시키기 위해 세정액 토출 개구(355)가 형성된다. 상기 세정액 토출 개구(355)는 상기 경사면(351)들에 상기 제1 방향을 따라 각각 1 개가 형성된다. 도 7에서, 상기 세정액 토출 개구(355)는 슬릿 형상을 갖는다. 이와 다른 실시예에서, 상기 경사면(351)에는 슬릿 형상을 갖는 상기 세정액 토출 개구(355)가 복수개 형성될 수 있다.
도 8에서, 상기 세정액 토출 개구(355)는 상기 세정액 유통로(331)를 형성하는 상기 제2 세정홈(321)에 상기 제1 방향을 따라 연통된다. 따라서, 도 1 내지 도 6에 도시된 상기 노즐 유닛(100)에 비하여, 상기 세정액(307)은 상기 경사면(351) 전체에 흐르도록 토출된다. 따라서, 상기 포토레지스트를 용해시키는 효과가 보다 향상된다. 반면, 상기 세정액(307)이 상기 세정액 유입구(333)로부터 배출구(335) 까지 적정하게 흐르도록 상기 세정액(307)은 상당한 압력으로 가압된다.
감광막 형성 장치
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 감광막 형성 장치의 사시도이다.
도 9를 참조하면, 감광막 형성 장치(600)는 노즐 유닛(500) 및 세정 유닛(650)을 포함한다.
상기 노즐 유닛(500)은 도 1 내지 도 6에 도시된 상기 노즐 유닛(100)과 실질적으로 동일하므로 중복된 설명은 생략한다.
상기 노즐 유닛(500)의 상기 포토레지스트 공급 통로(515)에는 포토레지스트 공급관(518)이, 상기 세정액 유입구(533)에는 세정액 공급관(542)이, 상기 세정액 배출구(533)에는 세정액 배출관(543)이 각각 연결된다.
상기 감광막 형성 장치(600)는 스테이지(670) 및 이송 유닛(도시되지 않음)을 더 포함한다.
상기 스테이지(670)에는 피처리 기판이 로딩된다. 상기 포토레지스트 도포 공정에서, 상기 이송 유닛은 상기 노즐 유닛(500)을 상기 스테이지(670)에 배치된 상기 피처리 기판 상으로 이송시킨다. 상기 노즐 유닛(500)의 세정 공정에서, 상기 이송 유닛은 상기 노즐 유닛(500)을 후술할 상기 세정 유닛(650) 상으로 이송시킨다.
도 10은 도 9에 도시된 감광막 형성 장치를 V-V' 선을 따라 절단한 부분 단면도이다.
도 9 및 도 10을 참조하면, 상기 세정 유닛(650)은 상기 노즐부(550)의 세정액 토출 개구(555)로부터 토출된 세정액(507), 예들 들어, 신너에 의해 용해된 포토레지스트 고형물(505)을 상기 노즐부(550)의 상기 경사면(551)들 및 노즐 개구(553)의 주변부로부터 제거한다. 상기 세정 유닛(650)은 상기 스테이지(670)의 인근에 배치되어, 포토레지스트 도포 공정 및 노즐 유닛(500) 세정 공정간의 전환 시간을 단축시킨다.
상기 세정 유닛(650)은 세정액 분사부(620) 및 흡입부(610)를 포함한다. 상기 세정액 분사부(620) 및 흡입부(610)는 상기 노즐부(550) 둘레에 배치된다.
도 9 및 도 10에서, 상기 세정액 분사부(620)는 세정액 분사관(620)이고, 상기 흡입부(610)는 흡입관(610)이다. 상기 세정액 분사관(620)은 세정 효과를 향상시키기 위하여, 상기 노즐부(550)의 경사면(551) 및 노즐 개구(553)의 주변부에 고착된 상기 포토레지스트 고형물(505)에 신너를 분사하여 용해시킨다. 상기 흡입관(610)은 포토레지스트 용해물을 흡입하여 상기 노즐부(550)로부터 상기 포토레지스트 용해물을 제거한다.
상기 노즐 유닛(500)의 세정 시간을 단축시키기 위하여, 상기 노즐부(550) 전체를 동시에 세정한다. 이를 위하여, 상기 세정액 분사관(620) 및 흡입관(610)은 상기 노즐 개구(553) 전체 길이에 대응하도록 상기 제1 방향을 따라 복수 개가 배치된다.
도 9에서, 상기 세정 유닛(650)은 설치 부재(630)를 더 포함한다. 상기 설치 부재(630)는 상기 스테이지(670)의 일측 에지 인근에 배치된다. 상기 설치 부재 (630)는 상기 세정액 분사관(620) 및 흡입관(610)을 상기 노즐부(550) 둘레에 배치시킨다. 이를 위하여, 상기 설치 부재(630)에는 상기 노즐부(550)를 감싸는 홈이 형성되고, 상기 세정액 분사관(620) 및 흡입관(610)은 상기 설치 부재(630)를 관통하여 상기 홈을 통해 노줄된다.
상기 세정액 분사관(620)에는 외부로부터 신너가 공급되고, 상기 흡입관(610)으로 흡입된 포토레지스트 용해물은 상기 설치 부재(630)의 외부로 배출된다. 상기 세정액 분사관(620) 및 흡입관(610)이 상기 노즐 개구(553)의 전체 길이에 대응하도록, 상기 설치 부재(630)의 상기 제1 방향 길이는 상기 노즐부(550)의 길이 이상이다.
이상에서 상세하게 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 노즐 유닛은 경사면에 세정액 토출 개구가 형성된 노즐부를 포함한다. 따라서, 슬릿 형상의 노즐 개구의 주변부 뿐만 아니라, 노즐부의 경사면에 고착된 포토레지스트 고형물을 용이하게 제거하여 노즐 유닛의 청결도를 향상시킬 수 있다.
또한, 감광막 형성 장치는 상기 노즐 유닛 및 노즐 개구의 전체 길이에 대응하도록 배치된 세정 유닛을 포함한다. 따라서, 노즐 유닛이 보다 청결하게 유지됨에 따라, 감광막 형성 장치는 보다 균일한 두께를 갖고 이물질이 포함되지 않은 감광막을 형성시킨다. 또한, 감광막 형성 장치는 동시에 노즐부 전체를 세정할 수 있어 노즐 유닛의 세정 공정에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (8)

  1. 피처리 유체의 공급 통로 및 세정액 유통로가 형성된 몸체; 및
    상기 몸체로부터 돌출되어 상기 피처리 유체를 토출하는 노즐부를 포함하며,
    상기 노즐부에는 상기 세정액 유통로와 연통된 세정액 토출 개구가 형성되어, 상기 노즐부의 표면에 고착된 피처리 유체의 고형물에 세정액을 제공하는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 노즐부는 상기 몸체의 길이 방향을 따라 연장되며, 상기 세정액 토출 개구가 형성된 경사면들을 포함하고,
    상기 경사면들이 이루는 정상부에는 상기 몸체의 길이 방향을 따라 슬릿 형상의 노즐 개구가 더 형성된 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
  3. 제2항에 있어서, 상기 세정액 토출 개구는 상기 몸체의 길이 방향을 따라 연장된 슬릿 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
  4. 제1항에 있어서, 상기 몸체는
    상기 피처리 유체 공급 통로가 형성된 제1 몸체부; 및
    상기 제1 몸체부와 결합하여 상기 세정액 유통로를 형성하며, 상기 노즐부가 돌출되는 제2 몸체부를 포함하는 것을 특징으로 하는 노즐 유닛.
  5. 피처리 유체의 공급 통로 및 세정액 유통로가 형성된 몸체와, 상기 몸체로부터 돌출되어 기판 상에 피처리 유체를 도포하되, 상기 세정액 유통로와 연통된 세정액 토출 개구가 형성되어, 상기 노즐부의 표면에 고착된 피처리 유체의 고형물을 용해시키는 세정액을 제공하는 노즐부를 구비하는 노즐 유닛; 및
    상기 노즐부의 표면으로부터 피처리 유체의 용해물을 흡입하여 제거하는 세정 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광막 형성 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 노즐부의 정상부에는 슬릿 형상의 노즐 개구가 더 형성되고,
    상기 세정 유닛은,
    상기 노즐부의 표면 및 노즐 개구의 주변부에 고착된 상기 피처리 유체의 고형물에 세정액을 분사하는 세정액 분사부; 및
    세정액에 의해 용해된 피처리 유체의 용해물을 흡입하는 흡입부를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광막 형성 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 노즐부 전체를 동시에 세정하기 위해, 복수 개의 상기 세정액 분사부 및 흡입부가 상기 슬릿 형상의 노즐 개구 전체에 대응하도록 배치된 것을 특징으로 하는 감광막 형성 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 피처리 유체는 감광성 물질이고, 상기 세정액은 신너(Thinner)인 것을 특징으로 하는 감광막 형성 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100839192B1 (ko) * 2007-06-04 2008-06-17 세메스 주식회사 약액 분사 노즐과, 이를 이용한 감광액 도포 장치 및 방법
KR100989928B1 (ko) * 2008-07-09 2010-10-26 (주)티에스티아이테크 유체 토출 장치 및 그의 세정 방법

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