CN201959946U - 光刻胶喷嘴清洁装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种光刻胶喷嘴清洁装置，涉及液晶显示器制造技术领域，为更好地清洁光刻胶喷嘴而设计。所述光刻胶喷嘴清洁装置，包括底座，所述底座中设有清洁液通道，所述清洁液通道的出口处设有清洁液喷管，所述清洁液喷管的端部设有清洁液喷嘴，所述清洁液喷嘴朝向光刻胶喷嘴的喷嘴部的外表面；所述清洁液通道的入口处设有清洁液输送管，所述清洁液输送管连接有清洁液存储器。本实用新型可用于清洁光刻胶喷嘴。
Description
技术领域
本实用新型涉及液晶显示器制造技术领域，尤其涉及一种光刻胶喷嘴清洁装置。
背景技术
液晶显示器的液晶显示面板可以包括阵列基板、彩膜基板、以及保留在阵列基板和彩膜基板之间的液晶等。阵列基板和彩膜基板上形成有需要的图形，例如在阵列基板上形成有栅线，垂直于所述栅线形成有数据线，所述栅线和所述数据线之间限定有像素区域，所述像素区域内形成有薄膜晶体管和像素电极，所述薄膜晶体管的栅极与所述栅线连接、源极与所述数据线连接、漏极与所述像素电极连接。
在液晶显示面板的制造过程中形成所述阵列基板上所需要的各种图形时，光刻是很重要的一步。光刻是在沉积有金属薄膜的基板上涂覆一层光刻胶，然后曝光显影，生成需要的图形。在曝光过程中，被光线照到的光刻胶发生变质，没有被光线照到的光刻胶性质不变。在显影过程中，变质的光刻胶被显影液洗掉，没有变质的光刻胶则保留下来。这样在后续的刻蚀过程中，没有光刻胶覆盖的金属薄膜被刻蚀掉，而具有光刻胶覆盖的金属薄膜则保留下来，由此形成需要的金属图形。
在光刻过程中需要首先在沉积有金属薄膜的基板上涂覆光刻胶，光刻胶的涂覆是通过光刻胶喷嘴进行的。如图1所示，光刻胶喷嘴是一种狭缝状的长条喷嘴，包括主体部11，主体部11的下部设有喷嘴部12、上部设有光刻胶输入口13。在涂覆过程中通过对光刻胶喷嘴施加均匀的压力来完成光刻胶在基板上的均匀分布。一般而言，为保证涂覆质量，在正式涂覆光刻胶之前要进行预喷胶。预喷胶为通过压力装置向光刻胶喷嘴的主体部11和喷嘴部12中压入一定量的光刻胶，以使光刻胶充满整个光刻胶喷嘴，然后通过施加压力使光刻胶从喷嘴部12均匀流出，以实现光刻胶的涂覆。
预喷胶对光刻胶涂覆效果的好坏具有重要的作用，如果在预喷胶过程中由于压入的光刻胶量不足而使得光刻胶喷嘴中存在空隙，那么在空隙处涂覆的起点位置便会出现未涂覆(uncoating)现象。因此在预喷胶过程中一般需要压入过量的光刻胶，这样会有一部分光刻胶从喷嘴部12流出。如图2所示，然后再通过清洁橡皮2将残留在喷嘴部12唇缘处的光刻胶清洁掉，以保证下一步的涂覆效果。
但是由图2可知，在使用清洁橡皮2清洁喷嘴部12唇缘处的光刻胶时，将有一些光刻胶从喷嘴部12的唇缘处向其外表面的上部移动，移动到上部的光刻胶超出了清洁橡皮2的清洁高度并形成光刻胶残留21。这样随着时间的推进，清洁橡皮2的清洁次数增多，喷嘴部12外表面上残留的光刻胶也增多。当光刻胶残留21到达一定程度后，残留的光刻胶将会堆积到喷嘴部12的唇缘处，从而影响光刻胶涂覆效果。
实用新型内容
本实用新型的实施例提供一种光刻胶喷嘴清洁装置，用来更好地清洁光刻胶喷嘴，以保证光刻胶涂覆效果。
为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：
一种光刻胶喷嘴清洁装置，包括底座，所述底座中设有清洁液通道，所述清洁液通道的出口处设有清洁液喷管，所述清洁液喷管的端部设有清洁液喷嘴，所述清洁液喷嘴朝向光刻胶喷嘴的喷嘴部的外表面；所述清洁液通道的入口处设有清洁液输送管，所述清洁液输送管连接有清洁液存储器。
其中，所述清洁液喷嘴包括第一清洁液喷嘴，所述第一清洁液喷嘴朝向所述喷嘴部的外表面上的光刻胶残留区域的上部。举例而言，所述第一清洁液喷嘴朝向光刻胶喷嘴的所述喷嘴部和主体部的交界处。
所述第一清洁液喷嘴的数目为多个，多个所述第一清洁液喷嘴沿所述喷嘴部的两侧分布。例如，多个所述第一清洁液喷嘴沿所述喷嘴部的两侧对称分布。
此外，所述清洁液喷嘴还包括第二清洁液喷嘴，所述第二清洁液喷嘴朝向所述光刻胶残留区域的下部。所述第二清洁液喷嘴的数目为多个，多个所述第二清洁液喷嘴沿所述喷嘴部的两侧分布。例如，多个所述第二清洁液喷嘴沿所述喷嘴部的两侧对称分布。
所述底座中还固定安装有用于清洁光刻胶喷嘴唇缘的清洁橡皮，在所述清洁橡皮沿光刻胶喷嘴滑动的清洁方向上，所述第一清洁液喷嘴位于所述清洁橡皮前方的平面内，所述第二清洁液喷嘴位于所述清洁橡皮所在的平面内。
其中，所述第二清洁液喷嘴朝向所述喷嘴部和所述清洁橡皮的交界处。
为方便更换，所述清洁液喷管可拆除地设在所述清洁液通道的出口处。
为方便清洁，所述底座连接有驱动装置，所述驱动装置驱动所述底座沿光刻胶喷嘴的长度方向滑动。
本实用新型实施例提供的光刻胶喷嘴清洁装置，通过朝向光刻胶喷嘴的喷嘴部外表面的清洁液喷嘴，可以向光刻胶喷嘴的喷嘴部的外表面喷洒清洁液，将该喷嘴部的外表面上的光刻胶残留清洁掉，避免该喷嘴部的外表面上的光刻胶残留堆积到该喷嘴部的唇缘处，因此更好地清洁了光刻胶喷嘴，保证了光刻胶涂覆效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术中光刻胶喷嘴的结构示意图；
图2为现有技术中使用清洁橡皮清洁光刻胶喷嘴的示意图；
图3为本实用新型实施例中光刻胶喷嘴清洁装置的示意图；
图4为图3所示光刻胶喷嘴清洁装置中设有清洁橡皮的示意图。
附图标记：
11-主体部，12-喷嘴部，13-光刻胶输入口，2-清洁橡皮，21-光刻胶残留，31-底座，32-清洁液通道，33-清洁液喷管，33-1-第一清洁液喷管，33-2-第二清洁液喷管，34-清洁液喷嘴，34-1-第一清洁液喷嘴，34-2-第二清洁液喷嘴，35-清洁液输送管，36-清洁液存储器，37-驱动装置。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型实施例光刻胶喷嘴清洁装置进行详细描述。
应当明确，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图3所示，为本实用新型光刻胶喷嘴清洁装置的一个具体实施例。为清楚显示所述光刻胶喷嘴清洁装置的结构，在图3中显示了光刻胶喷嘴。本实施例中，所述光刻胶喷嘴清洁装置包括底座31，底座31中设有清洁液通道32，清洁液通道32的出口处设有清洁液喷管33，清洁液喷管33的端部设有清洁液喷嘴34，清洁液喷嘴34朝向光刻胶喷嘴的喷嘴部12的外表面；清洁液通道32的入口处设有清洁液输送管35，清洁液输送管35连接有清洁液存储器36。
本实施例中的光刻胶喷嘴清洁装置，通过朝向光刻胶喷嘴的喷嘴部12外表面的清洁液喷嘴34，可以向光刻胶喷嘴的喷嘴部12的外表面喷洒清洁液，将该喷嘴部12的外表面上的光刻胶残留清洁掉，避免该喷嘴部12的外表面上的光刻胶残留堆积到该喷嘴部12的唇缘处，因此更好地清洁了光刻胶喷嘴，保证了光刻胶涂覆效果。
在使用时，可以首先使用该光刻胶喷嘴清洁装置对光刻胶喷嘴进行一次清洁，然后再使用其他清洁工具如清洁橡皮对光刻胶喷嘴进行进一步的清洁。或者也可以同时使用该光刻胶喷嘴清洁装置和清洁橡皮对光刻胶喷嘴进行清洁，此时需要在上述实施例的光刻胶喷嘴清洁装置中安装清洁橡皮，下面的图4所示为安装有清洁橡皮的光刻胶清洁装置。在以下的说明中具体对图4所示的安装有清洁橡皮的光刻胶清洁装置进行描述，需要说明的是，除安装的清洁橡皮之外，图4所示的光刻胶清洁装置实施例与图3所示的光刻胶清洁装置实施例相同。
如图4所示，为本实用新型光刻胶喷嘴清洁装置的另一个具体实施例。为清楚显示所述光刻胶喷嘴清洁装置的结构，在图4中显示了光刻胶喷嘴。本实施例中，所述光刻胶喷嘴清洁装置包括底座31，底座31中设有清洁液通道32，清洁液通道32的出口处设有清洁液喷管33，清洁液喷管33的端部设有清洁液喷嘴34，清洁液喷嘴34朝向光刻胶喷嘴的喷嘴部12的外表面；清洁液通道32的入口处设有清洁液输送管35，清洁液输送管35连接有清洁液存储器36。在底座31中还固定安装有用于清洁光刻胶喷嘴唇缘的清洁橡皮2。
所述清洁橡皮可以通过底座的运动沿光刻胶喷嘴的长度方向滑动，在所述清洁橡皮沿光刻胶喷嘴滑动的清洁方向上，所述第一清洁液喷嘴位于所述清洁橡皮前方的平面内，所述第二清洁液喷嘴位于所述清洁橡皮所在的平面内。其中，第一清洁喷嘴位于清洁橡皮的前方的平面内，是为了提前对清洁橡皮前进方向上的残留光刻胶进行溶解；第二清洁喷嘴位于清洁橡皮所在平面内，是为了对清洁橡皮所在平面(主要是清洁橡皮上方，即光刻胶喷嘴上部)的残留光刻胶进行溶解。
这样，可以同时使用清洁液喷嘴34和清洁橡皮2对光刻胶喷嘴进行清洁，其中清洁液喷嘴34可以清洁光刻胶喷嘴上的光刻胶残留，清洁橡皮2可以清洁光刻胶喷嘴唇缘处的光刻胶。
为对光刻胶喷嘴上的光刻胶残留进行清洁，清洁液喷管33包括第一清洁液喷管33-1，相应地清洁液喷嘴34包括第一清洁液喷嘴34-1，第一清洁液喷嘴34-1朝向喷嘴部12的外表面上的光刻胶残留区域的上部。在图4所示的实施例中，所述光刻胶残留区域为喷嘴部12外表面上未与用于清洁喷嘴部12的唇缘的清洁橡皮2接触的区域。喷洒在光刻胶残留区域上部的清洁液能够对光刻胶进行溶解，以使溶解后的光刻胶从喷嘴部12的外表面上掉落。
在使第一清洁液喷嘴34-1朝向喷嘴部12的外表面上的光刻胶残留区域的上部时，可以使第一清洁液喷嘴34-1朝向喷嘴部12的外表面上的光刻胶残留区域中的一些具体位置，例如可以使第一清洁液喷嘴34-1朝向喷嘴部12和主体部11的交界处。这样可以使第一清洁液喷嘴34-1朝向喷嘴部12的最高位置处喷洒清洁液，以保证喷嘴部12外表面上的全部光刻胶残留区域都有清洁液流过。
需要说明的是，在本实用新型的其他实施例中，还可以使第一清洁液喷嘴34-1朝向光刻胶残留区域的其他位置喷洒清洁液，具体喷洒位置的选择可以根据实际的使用情况进行选择。例如，当清洁周期较长，可能导致光刻胶残留在喷嘴部12的外表面上堆积的位置较高时，可以使第一清洁液喷嘴34-1朝向喷嘴部12外表面上较高的位置。当清洁周期较短，可能导致光刻胶残留在喷嘴部12的外表面上堆积的位置较低，此时可以使第一清洁液喷嘴34-1朝向喷嘴部12外表面上较低的位置。
在图4所示的实施例中，第一清洁液喷嘴34-1的数目为两个，该两个第一清洁液喷嘴34-1沿喷嘴部12的两侧分布，例如可以是沿喷嘴部12的两侧对称分布，以便对喷嘴部12的两个侧面均进行清洁。此外在本发明的其他实施例中，第一清洁液喷嘴34-1的数目还可以更多，例如与喷嘴部12的一个侧面相对应就可以设置两个或更多的第一清洁液喷嘴34-1，这些第一清洁液喷嘴34-1可以沿喷嘴部12的长度方向排列，或者沿其高度方向排列。一般而言，该多个第一清洁液喷嘴34-1可以沿喷嘴部12的两侧分布，例如可以是沿喷嘴部12的两侧对称分布。
此外由图4所示的光刻胶清洁装置可知，清洁液喷管33包括第二清洁液喷管33-2，相应地清洁液喷嘴34包括第二清洁液喷嘴34-2，第二清洁液喷嘴34-2朝向所述光刻胶残留区域的下部。例如可以使第二清洁液喷嘴34-2朝向喷嘴部12和清洁橡皮2的交界处。在使用清洁液喷嘴34和清洁橡皮2同时清洁光刻胶喷嘴时，清洁橡皮2与喷嘴部12的两侧面之间没有完全贴合以免增大清洁时的摩擦，这样在清洁橡皮2和喷嘴部12的两侧面之间会存留有一部分光刻胶，使第二清洁液喷嘴34-2朝向喷嘴部12和清洁橡皮2之间的交界处可以使第二清洁液喷嘴34-2喷出的清洁液流向喷嘴部12和清洁橡皮2之间的空隙，从而清洁喷嘴部12和清洁橡皮2之间的光刻胶。
类似地，在图4所示的实施例中，第二清洁液喷嘴34-2的数目为两个，该两个第二清洁液喷嘴34-2沿喷嘴部12的两侧分布，例如可以是沿喷嘴部12的两侧对称分布，以便对喷嘴部12的两个侧面均进行清洁。此外在本发明的其他实施例中，第二清洁液喷嘴34-2的数目还可以更多，例如与光刻胶喷嘴的一个侧面相对应就可以设置两个或更多的第二清洁液喷嘴34-2，这些第二清洁液喷嘴34-2可以沿喷嘴部12的长度方向排列，或者沿其高度方向排列。一般而言，该多个第二清洁液喷嘴34-2可以沿喷嘴部12的两侧分布，例如可以是沿喷嘴部12的两侧对称分布。
当使用第一清洁液喷嘴34-1、第二清洁液喷嘴34-2、以及清洁橡皮2同时对光刻胶喷嘴进行清洁时，在清洁橡皮2沿光刻胶喷嘴滑动的清洁方向上，第一清洁液喷嘴34-1位于清洁橡皮2前方的平面内，第二清洁液喷嘴34-2位于清洁橡皮2所在的平面内。位于清洁橡皮2前方平面内的第一清洁液喷嘴34-1可以对喷嘴部12的外表面进行预清洁，使喷嘴部12外表面上的光刻胶残留预先溶解并流下，然后再通过位于清洁橡皮2平面内的第二清洁液喷嘴34-2和清洁橡皮2对流下的光刻胶、以及清洁橡皮2和喷嘴部12的侧面之间的光刻胶进行清洁，从而保证良好的清洁效果。
为方便更换清洁液喷管33或清洁液喷嘴34，可以将清洁液喷管33可拆除地设在清洁液通道32的出口处，例如可以通过螺纹连接将清洁液喷管33安装在清洁液通道32的出口处以方便拆除。当清洁液喷管33或清洁液喷嘴34堵塞时，可以将旧有的清洁液喷管33拆除，并换上新的清洁液喷管33。
此外，底座31还连接有驱动装置37，驱动装置37用于驱动底座31沿光刻胶喷嘴的长度方向滑动，以实现自动的清洁。例如，该驱动装置37可以选用电机。
以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (12)
1.一种光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，包括底座，所述底座中设有清洁液通道，所述清洁液通道的出口处设有清洁液喷管，所述清洁液喷管的端部设有清洁液喷嘴，所述清洁液喷嘴朝向光刻胶喷嘴的喷嘴部的外表面；所述清洁液通道的入口处设有清洁液输送管，所述清洁液输送管连接有清洁液存储器。
2.根据权利要求1所述的光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，所述清洁液喷嘴包括第一清洁液喷嘴，所述第一清洁液喷嘴朝向所述喷嘴部的外表面上的光刻胶残留区域的上部。
3.根据权利要求2所述的光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，所述第一清洁液喷嘴朝向光刻胶喷嘴的所述喷嘴部和主体部的交界处。
4.根据权利要求2或3所述的光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，所述第一清洁液喷嘴的数目为多个，多个所述第一清洁液喷嘴沿所述喷嘴部的两侧分布。
5.根据权利要求4所述的光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，多个所述第一清洁液喷嘴沿所述喷嘴部的两侧对称分布。
6.根据权利要求2或3所述的光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，所述清洁液喷嘴还包括第二清洁液喷嘴，所述第二清洁液喷嘴朝向所述光刻胶残留区域的下部。
7.根据权利要求6所述的光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，所述第二清洁液喷嘴的数目为多个，多个所述第二清洁液喷嘴沿所述喷嘴部的两侧分布。
8.根据权利要求7所述的光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，多个所述第二清洁液喷嘴沿所述喷嘴部的两侧对称分布。
9.根据权利要求6所述的光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，所述底座中还固定安装有用于清洁光刻胶喷嘴唇缘的清洁橡皮，在所述清洁橡皮沿光刻胶喷嘴滑动的清洁方向上，所述第一清洁液喷嘴位于所述清洁橡皮前方的平面内，所述第二清洁液喷嘴位于所述清洁橡皮所在的平面内。
10.根据权利要求9所述的光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，所述第二清洁液喷嘴朝向所述喷嘴部和所述清洁橡皮的交界处。
11.根据权利要求1所述的光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，所述清洁液喷管可拆除地设在所述清洁液通道的出口处。
12.根据权利要求1所述的光刻胶喷嘴清洁装置，其特征在于，所述底座连接有驱动装置，所述驱动装置驱动所述底座沿光刻胶喷嘴的长度方向滑动。
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| CN106681105A (zh) * | 2017-02-09 | 2017-05-17 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 光阻涂布装置检测机构及光阻涂布机 |
| CN107413747A (zh) * | 2017-09-22 | 2017-12-01 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种清洁装置及清洁方法 |
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