JP3131149B2 - 流液式スクラバ洗浄方法及び装置 - Google Patents

流液式スクラバ洗浄方法及び装置

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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク基板
やガラス基板、その他のセラミック基板、各種の電子部
品や光学部品又は機械部品のような、実質的に平板形を
したワークをブラシで洗浄するためのスクラバ洗浄方法
及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク基板のような平板状をした
ワークを洗浄ブラシで洗浄するスクラバ洗浄装置は、例
えば特開昭６１−８７３４号公報や実公平４−２２４１
１号公報等に記載されているように、従来より公知であ
る。従来のこの種のスクラバ洗浄装置は、一般に、洗浄
液を噴射するためのノズルを有し、このノズルから洗浄
液をシャワー状に噴射しながらワークを洗浄ブラシで洗
浄するものであった。ところが、このようにノズルから
洗浄液を噴射しながら洗浄する方法は、ワークの汚れが
比較的軽度で洗浄液をそれほど大量に供給する必要がな
い場合には適しているが、例えば加工直後で研磨剤やそ
の他の異物が未だ付着しているワークを研磨する場合の
ように、付着した汚れを確実に落とすと同時に落ちた汚
れを確実に洗い流してワークやブラシに再付着するのを
防止するために、大量の洗浄液を供給しながら洗浄しな
ければならないような場合には、ノズルを通じて供給し
得る洗浄液の量には限度があるため、必ずしも適してい
るとはいえなかった。また、ノズルから大量の洗浄液を
高速で噴射すると、この洗浄液がワークなどに当って周
囲に飛散するため、飛散防止のためにフードを設けるな
どの対策を講じる必要があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主要な技術的
課題は、洗浄液を十分に供給しながらワークの確実な洗
浄と落とした汚れの洗い流しとを行うことができる、洗
浄効果の勝れたスクラバ洗浄方法及び装置を提供するこ
とにある。本発明の他の技術的課題は、洗浄液が周囲に
飛散することのない安全でクリーンなスクラバ洗浄方法
及び装置を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、洗浄槽内に一方向に向けて連続的
に洗浄液を流しながら、この洗浄液中に、キャリヤに液
流と平行且つ縦向きに支持されて軸線の回りに回転自在
の複数の円板形のワークを全浸漬し、これらのワーク
を、該ワークと平行且つ同間隔に配設されて洗浄液に下
半部が半浸漬する複数の円板形の洗浄ブラシにより両側
から部分的に挟持し、これらの洗浄ブラシを液流に沿う
方向に回転させながら洗浄液の流れの中で洗浄すること
を特徴とする流液式スクラバ洗浄方法が提供される。
【０００５】このように本発明によれば、ワークを洗浄
液に浸漬した状態で該洗浄液の流れの中で洗浄すること
により、十分な量の洗浄液を供給しながら該ワークを確
実且つ効率的に洗浄することができ、しかも、落ちた汚
れを洗浄液の流れで確実に洗い流してそれがワーク及び
ブラシに再付着するのを防止することができる。また、
洗浄液が周囲に飛散することがないため、特別にフード
等を設けなくても、洗浄液による作業環境の汚染を防止
することができ、安全性が高く且つクリーンである。さ
らに、洗浄ブラシを、洗浄液中に下半部を半浸漬した状
態で液流に沿う方向に回転させるようにしているため、
該洗浄ブラシを全浸漬させた場合のような、液流と逆向
きに回転する部分による洗浄液の大きな撹乱や跳ね上げ
といった問題がなく、しかも、落ちた汚れがそのまま洗
浄液の流れに乗って速やかに下流方向に流出するため、
その汚れがワークやブラシに再付着して洗浄精度を低下
させるといった問題も確実に防止される。
【０００６】一方、本発明の洗浄装置は、洗浄液を一方
向に向けて連続的に流すための洗浄槽；円板形をした複
数のワークを、上記洗浄液中に全浸漬した状態で液流と
平行且つ縦向きにして軸線の回りに回転自在なるように
保持するワーク保持手段；上記保持手段に保持されたワ
ークと平行且つ同間隔に配設されて回転自在の複数の洗
浄ブラシを備え、これらの洗浄ブラシが、洗浄液に下半
部を半浸漬した状態で上記各ワークを両側から部分的に
挟持し、液流に沿う方向に回転しながら洗浄液の流れの
中で上記ワーク洗浄するように構成されたスクラバ手
段；上記ワーク保持手段を洗浄液の流れとは逆方向に向
けて向流的に搬送するための搬送手段；を有することを
特徴とするものである。
【０００７】本発明の洗浄装置はまた、洗浄液を一方向
に向けて連続的に流すための洗浄槽；上記洗浄槽内に移
動自在に設置され、円板状をした複数のワークを洗浄液
中において液流と平行且つ縦向きにした状態で軸線の回
りに回転自在なるように保持する第１キャリヤ；ワーク
を保持した上記第１キャリヤを洗浄液の流れとは逆方向
に向けて向流的に搬送可能な搬送手段；上記洗浄槽の中
間位置に設置されて、昇降自在のブラシホルダと、該ブ
ラシホルダに上記ワークと平行且つ同間隔に取り付けら
れて回転自在の複数の円板形の洗浄ブラシとを有し、こ
れらの洗浄ブラシの下半部を洗浄液中に半浸漬した状態
で液流に沿う方向に回転させながら、上記キャリヤに保
持された複数のワークを洗浄液の流れの中で洗浄するス
クラバ手段；上記洗浄槽におけるスクラバ手段より下流
側のローディング部において、未洗浄のワークを上記第
１キャリヤに供給する供給手段；上記洗浄槽におけるス
クラバ手段より上流側のアンローディング部において、
洗浄済のワークを上記第１キャリヤから取り出す取出手
段；を有することを特徴としている。
【０００８】上記洗浄装置の具体的な構成例において
は、上記第１キャリヤが、ワークの外周部分が嵌合する
複数の周溝を一定間隔で備えた複数の支持棒を、円周上
の異なる位置に相互に平行且つ回転自在に配設し、これ
らの支持棒上にワークを縦向きに載置するものとして構
成され、上記供給手段及び取出手段が、共通の第２キャ
リヤからなっていて、該第２キャリヤが、ワークの外周
部分が嵌合する複数の周溝を一定間隔で備えた複数の支
持棒を、円周上の異なる位置に相互に平行に配設し、こ
れらの支持棒上にワークを縦向きに載置するものとして
構成され、上記両キャリヤが、相互間において支持棒の
位置を違えることにより、相互に重設可能で且つ、ワー
クを保持した第２キャリヤを第１キャリヤに重設すると
ワークが第２キャリヤの支持棒上から第１キャリヤの支
持棒上に転移し、第２キャリヤを取り出すとワークが第
１キャリヤの支持棒上から第２キャリヤの支持棒上に転
移するように構成されている。
【０００９】これにより、所要数の未洗浄ワークを保持
させた第２キャリヤをローディング位置において第１キ
ャリヤ上に重設するだけで、各ワークは第２キャリヤの
支持棒上から第１キャリヤの支持棒上に自動的に転移し
て、該第１キャリヤに回転自在に保持される。重設され
た両キャリヤは上流側に向かってそのまま搬送され、ス
クラバ手段の位置で洗浄ブラシにより各ワークが洗浄さ
れたあと、アンローディング位置に達すると、ここで第
２キャリヤが取り出される。このとき、この第２キャリ
ヤを持ち上げるだけで、ワークは第１キャリヤの支持棒
上から第２キャリヤの支持棒上に自動的に転移し、該第
２キャリヤによって搬出される。本発明の洗浄装置にお
いては、上記ワークに超音波を照射するための超音波照
射手段を付設することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明について図面を参照
しながら詳細に説明する。図１及び図２は本発明に係る
流液式スクラバ洗浄装置の一実施例を示すもので、この
洗浄装置は、機体１の上部に洗浄槽２を備えている。
【００１１】上記洗浄槽２は、水や洗剤又は化学薬液等
からなる洗浄液３を一方向に向けて連続的に流しなが
ら、その流れの中でワーク４を洗浄するもので、実質的
に溝形の断面形状を有しており、該洗浄槽２の上流端に
は、洗浄液３を供給するための給液口６とフィルタ８ａ
とが設けられ、一方下流端には、洗浄液３を排出するた
めの排液口７とフィルタ８ｂとが設けられ、上記給液口
６及び排液口７が洗浄液供給手段１０に接続されてい
る。
【００１２】上記洗浄液供給手段１０は、洗浄液の浄化
機能を備えた給液タンク１１と、該給液タンク１１内の
洗浄液をパイプ１２を通じて上記給液口６に圧送するポ
ンプ１３と、該ポンプ１３からの洗浄液を濾過するフィ
ルタ１４とを備え、排液口７から排出された洗浄液をパ
イプ１５を通じて上記給液タンク１１に回収し、それを
浄化して循環的に再使用するように構成されたものであ
る。しかし、必ずしも洗浄液を回収して循環的に再使用
する構成のものでなくても良く、洗浄液源から常時新た
な洗浄液を供給するタイプのものでも良い。
【００１３】このスクラバ洗浄装置にはまた、円板状を
した複数のワーク４を、上記洗浄槽２内において洗浄液
３中に全浸漬した状態で該洗浄液の流れと平行且つ軸線
回りに回転自在なるように保持する、ワーク保持手段と
しての第１キャリヤ１８と、該第１キャリヤ１８を洗浄
液３の流れとは逆方向に向けて向流的に搬送する搬送手
段１９と、上記第１キャリヤ１８に保持されたワーク４
を洗浄液３の流れの中で洗浄するスクラバ手段２０とが
設けられている。
【００１４】上記第１キャリヤ１８は、図３及び図４に
示すように、相対する一対のフレーム２３，２３間に、
ワーク４を支持する複数（図では３本が１組）の支持棒
２４を、支持されたワーク４と同心の円周に沿って凹段
状に且つ回転自在に取り付けたもので、これらの各支持
棒２４には、ワーク４の外周部分が嵌合する複数の周溝
２４ａが軸方向に一定間隔で形成され、これらの各周溝
２４ａの位置でワーク４が縦向きに支持されるようにな
っている。上記第１キャリヤ１８は、耐熱性及び耐薬品
性を有する素材で形成することが望ましい。なお、図示
の例では、上記支持棒２４を前後に２組設けることによ
り、ワーク４を前後２列に載置できるようにしている。
しかし、上記支持棒２４は１組だけ設けても、３組以上
設けても良い。
【００１５】また、上記第１キャリヤ１８を搬送する搬
送手段１９は、該第１キャリヤ１８を載置するための支
持部材２８と、該支持部材２８を移動させる螺子棒２９
と、該螺子棒２９を回転させるモータ３０とからなって
いる。上記支持部材２８は、上記洗浄槽２の内部にその
側壁及び底壁に沿うように嵌入する凹字形の第１部分２
８ａと、洗浄槽２の外部を取り囲むように位置する第２
部分２８ｂとからなっていて、第１部分２８ａには上記
第１キャリヤ１８が載置され、第２部分２８ｂにはナッ
ト部材２８ｃが設けられ、洗浄槽２の下部に該洗浄槽の
軸線と平行に位置する上記螺子棒２９にこのナット部材
２８ｃで螺子結合され、この螺子棒２９の正逆回転によ
り洗浄槽２に沿って、下流端のローディング部３１と上
流端のアンローディング部３２との間を往復動するよう
になっている。
【００１６】また、上記スクラバ手段２０は、洗浄槽２
のほぼ中間位置に設けられている。このスクラバ手段２
０は、洗浄槽２を跨ぐ形で機体１に取り付けられた支軸
３５と、該支軸３５に固定されて該支軸３５の回転によ
り上下動自在となったブラシホルダ３６と、該ブラシホ
ルダ３６の先端部に洗浄槽２の幅方向に取り付けられた
回転自在のブラシ軸３７と、該ブラシ軸３７に一定間隔
で取り付けられた複数の洗浄ブラシ３８と、上記ブラシ
軸３７を回転させるための、ブラシホルダ３６内に液密
状態に設けられたモータ３９と、上記支軸３５を回転さ
せてブラシホルダ３６を上下動させるための揺動機構４
０とを備えている。上記揺動機構４０は、上記支軸３５
を図示しないハンドルで回転操作する手動操作機構で
も、モータで回転させる自動操作機構であっても良い。
【００１７】上記洗浄ブラシ３８は、図４及び図５から
分かるように、アルミニウム等の金属やセラミックス又
は合成樹脂等からなる円板形をした基板の両面に、スポ
ンジ質や繊維質、あるいはその他の柔軟で洗浄能力のあ
る適宜の材質からなる洗浄部材３８ａを突設したもの
で、上記ブラシ軸３７に、第１キャリヤ１８に保持され
たワーク４と平行且つ同間隔で、軸線方向に１／２ピッ
チだけ位置をずらした状態に固定されている。そして、
ブラシホルダ３６の下降により各洗浄ブラシ３８が、下
半部が洗浄液３に半浸漬する図示の位置まで下降し、そ
の位置に移動してきた第１キャリヤ１８内の各ワーク４
の上半部を部分的に挟持して、その回転により洗浄部材
３８ａでワーク４の両面を洗浄するものである。このと
き各ワーク４は、洗浄ブラシ３８との摩擦力で矢印方向
に従動的に回転し、その全面が洗浄される。
【００１８】このとき、上記洗浄槽２に超音波照射手段
４１を付設しておき、洗浄中又は搬送中のワーク４に上
方から超音波を照射することが望ましい。この超音波照
射手段４１は、１つ又は適宜間隔をおいて複数設けるこ
とができる。なお、上記スクラバ手段２０は、洗浄槽２
に沿って位置を調節自在としておくことが望ましい。
【００１９】このスクラバ洗浄装置には更に、上記ロー
ディング部３１において未洗浄のワークを上記第１キャ
リヤ１８に供給する供給手段と、上記アンローディング
部３２において洗浄済のワークを上記第１キャリヤ１８
から取り出す取出手段とを設けることができる。図示し
た実施例では、上記供給手段と取出手段とが、図６及び
図７に示すような共通の第２キャリヤ４５で構成されて
いる。
【００２０】上記第２キャリヤ４５は、図７及び図８に
示すように上記支持部材２８上に第１キャリヤ１８に重
ねて載置するものとして構成し、それを載置することに
よってワーク４を該第１キャリヤ１８に自動的に供給で
き、取り出すことによってワーク４を該第１キャリヤ１
８から自動的に取り出すことができるようにしたもので
あり、具体的構成は次の通りである。
【００２１】即ち、上記第２キャリヤ４５は、第１キャ
リヤ１８が内側へ嵌合し得る程度の間隔で相対する一対
のフレーム４６，４６間に、ワークを支持する複数（図
では３本）の支持棒４７を、支持されたワークと同心の
円周に沿って凹段状に配置して固定的に取り付けたもの
で、各支持棒４７には、ワーク４の外周部分が嵌合する
複数の周溝４７ａが軸方向に一定間隔で設けられ、これ
らの各周溝４７ａの位置でワーク４が縦向きに支持され
るようになっている。上記周溝４７ａの配設位置及び間
隔は、第１キャリヤ１８における周溝２４ａの配設位置
及び間隔と同じである。
【００２２】上記支持棒４３は前後に２組設けられてい
るが、これは、常に第１キャリヤ１８の支持棒２４と同
じ組数だけ設けられる。上記第２キャリヤ４５における
各支持棒４７は、第１キャリヤ１８の支持棒２４との位
置競合を避けるため、円周上の取付位置が第１キャリヤ
１８のものとは相互に異なっており、しかも、第１キャ
リヤ１８の支持棒２４より若干低い位置に取り付けられ
ている。上記第２キャリヤ４５も第１キャリヤ１８と同
様に、耐熱性及び耐薬品性を有する素材で形成すること
が望ましい。
【００２３】従って、図７及び図８に示すように、ワー
ク４を保持したこの第２キャリヤ４５を、ローディング
部３１において第１キャリヤ１８に上方から嵌合する
と、該第２キャリヤ４５の支持棒４７が第１キャリヤ１
８の支持棒２４よりも低い位置まで下降するため、ワー
ク４が第２キャリヤ４５の支持棒４７上から第１キャリ
ヤ１８の支持棒２４上に自動的に転移し、また、アンロ
ーディング部３２において第２キャリヤ４５を取り出す
と、ワーク４が第１キャリヤ１８の支持棒２４上から第
２キャリヤ４５の支持棒４７上に自動的に転移する。な
お、上記第１キャリヤ１８のフレーム２３，２３には、
第２キャリヤ４５の各支持棒４７を逃げるための切欠き
２３ａが形成されている。図中４８は第２キャリヤ４５
を出し入れする際に吊り掛けるためのフック、４９はフ
レーム４６，４６を連結するための軸棒である。
【００２４】上記構成を有するスクラバ洗浄装置におい
て、ワークの洗浄が行われていないときは、図１に示す
ように、第１キャリヤ１８はローディング部３１にあ
り、スクラバ手段２０のブラシホルダ３６は鎖線の位置
まで上昇して、洗浄ブラシ３８も停止している。いま、
未洗浄ワーク４を保持した第２キャリヤ４５が、図示し
ないローダーにより、ローディング部３１にある第１キ
ャリヤ１８に上方から嵌合されると、図８に示すよう
に、該第２キャリヤ４５内のワークは第１キャリヤ１８
の支持棒２４上に自動的に転移し、該第１キャリヤ１８
に、洗浄液３に全浸漬した状態で液流と平行に支持され
る。重設された上記両キャリヤ１８，４５は、支持部材
２８により洗浄液３中を上流側に向けて所要の速度で搬
送され、前列のワーク４が洗浄位置に達するとその位置
に停止する。
【００２５】そして、スクラバ手段２０のブラシホルダ
３６が自動的又は手動操作により図５に示す位置まで下
降して、各洗浄ブラシ３８が、下半部のみ洗浄液３中に
半浸漬すると共に、該下半部で各ワーク４の上半部を部
分的に挟持して回転することにより、洗浄液３の流れの
中でワーク４の洗浄が行われる。このとき該ワーク４に
は、超音波照射手段４１で超音波が照射される。また、
上記洗浄ブラシ３８の回転方向は、図５に矢印で示すよ
うに洗浄液の流れの方向と同じであることが望ましく、
これにより、該洗浄ブラシ３８による洗浄液の撹乱や跳
ね上げ等がなく、しかも、落ちた汚れが洗浄液３の流れ
に乗って速やかに下流側に流れ易くなる。なお、上記各
ワーク４は、洗浄ブラシ３８との摩擦力で従動的に回転
し、その全面が洗浄される。
【００２６】前列のワーク４の洗浄が終わると、支持部
材２８により両キャリヤ１８，４５が一定距離前進し
て、後列のワーク４が洗浄位置にくる。そして、同様に
して該後列のワーク４の洗浄が行われる。ワーク４の洗
浄が全て終わると、支持部材２８が前進して両キャリヤ
１８，４５がアンローディング部３２まで送られると共
に、洗浄ブラシ３８が停止してスクラバ手段２０が上昇
する。
【００２７】上記両キャリヤ１８，４５がアンローディ
ング部３２に達すると、図示しないアンローダーにより
第２キャリヤ４５が持ち上げられ、洗浄槽２から取り出
される。このとき、第１キャリヤ１８の支持棒２４上に
あったワーク４は第２キャリヤ４５の支持棒４７上に自
動的に転移し、該第２キャリヤ４５によって搬出され
る。第２キャリヤ４５と洗浄済ワーク４とが取り出され
た第１キャリヤ１８は、搬送手段１９によりローディン
グ部３１に復帰し、次の未洗浄ワークを保持した別の第
２キャリヤが供給されて同様の工程が繰り返される。
【００２８】上記支持部材２８によるキャリヤの搬送速
度や、ブラシの回転速度は、ワークの種類や洗浄液の流
速、洗浄部材の種類等によって最適範囲が異なるが、一
般には、キャリヤの搬送速度の好ましい例は５〜２０ｍ
ｍ／ｓｃｃ程度であり、また洗浄ブラシの回転速度の好
ましい例は１０〜１００ｒ．ｐ．ｍ．程度、より好まし
い範囲は３０〜４５ｒ．ｐ．ｍ．程度である。
【００２９】かくして、ワークを洗浄液の流れの中に全
浸漬した状態でスクラバ洗浄することにより、洗浄位置
に常に新鮮な洗浄液を十分に供給しながら該ワークに付
着した汚れを確実且つ効率的に洗浄することができ、し
かも、落ちた汚れを洗浄液の流れで確実に洗い流してそ
れがワークやブラシに再付着するのを確実に防止するこ
とができる。
【００３０】また、洗浄液が周囲に飛散することがない
ため、特別にフード等を設けなくても、洗浄液による作
業環境の汚染を防止することができ、安全性が高く且つ
クリーンである。更に、板状のワーク４及び洗浄ブラシ
３８を洗浄液３の流れと平行に向けた状態で洗浄及び搬
送等を行うことにより、流液中でのワーク４の搬送抵抗
及び洗浄ブラシ３８の回転抵抗を極力小さくすることが
でき、この結果、それらの円滑な搬送及び洗浄が可能と
なって、流液中での上記スクラバ洗浄を確実且つ容易に
実現することができる。
【００３１】上記実施例では、ワークを洗浄する際にキ
ャリヤ１８，４５を停止させているが、微速前進させな
がら洗浄しても良い。また、洗浄時にキャリヤ１８，４
５が洗浄位置に到達するまでは洗浄ブラシ３８を上昇さ
せておいて、到達後に下降させるようにしているが、洗
浄ブラシ３８は予め下降させておいても良く、更に、１
キャリヤのワークの洗浄が終わる毎に該洗浄ブラシ３８
を昇降させることなく、全てのワークの洗浄が終了する
まで下降位置に止まらせておくこともできる。
【００３２】更にまた、第１キャリヤ１８に対する未洗
浄ワークの供給手段及び洗浄済ワークの取出手段とし
て、共通の第２キャリヤ４５を使用しているが、このよ
うな第２キャリヤを使用することなく、第１キャリヤ１
８を支持部材２８に対して着脱自在とすることにより、
この第１キャリヤ１８をそのまま供給手段及び取出手段
として兼用することもできる。この場合には、該第１キ
ャリヤ１８に吊り掛け用のフックなど、必要な部品が取
り付けられる。
【００３３】
【発明の効果】このように本発明によれば、ワークを洗
浄液の流れの中に浸漬した状態でスクラバ洗浄すること
により、洗浄装置に常に新鮮な洗浄液を十分に供給しな
がら該ワークに付着した汚れを確実且つ効率的に洗浄す
ることができ、しかも、落ちた汚れを洗浄液の流れで確
実に洗い流してそれがワーク及びブラシに再付着するの
を防止することができる。また、洗浄液が周囲に飛散す
ることがないため、特別にフード等を設けなくても、洗
浄液による作業環境の汚染を防止することができ、安全
性が高く且つクリーンである。さらに、洗浄ブラシを、
洗浄液中に下半部を半浸漬した状態で液流に沿う方向に
回転させるようにしているため、該洗浄ブラシを全浸漬
させた場合のような、液流と逆向きに回転する部分によ
る洗浄液の大きな撹乱や跳ね上げといった問題がなく、
しかも、落ちた汚れがそのまま洗浄液の流れに乗って速
やかに下流方向に流出するため、その汚れがワークやブ
ラシに再付着して洗浄精度を低下させるといった問題も
確実に防止される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る洗浄装置の一実施例を示す縦断側
面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線での断面図である。
【図３】第１キャリヤの断面図である。
【図４】図３の拡大側面図である。
【図５】ワーク洗浄時における図１に要部拡大図であ
る。
【図６】第２キャリヤの部分破断側面図である。
【図７】図６の側面図である。
【図８】第１キャリヤと第２キャリヤを重合した状態の
断面図である。
【符号の説明】
２ 洗浄槽 ３ 洗浄液 ４ ワーク １８ 第１キャリヤ １９ 搬送手段 ２０ スクラバ手
段 ２４ 支持棒 ２４ａ 周溝 ３１ ローディング部 ３２ アンローデ
ィング部 ３８ 洗浄ブラシ ４５ 第２キャリ
ヤ ４７ 支持棒 ４７ａ 周溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B08B 7/04 B08B 1/04 B08B 3/04

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】洗浄槽内に一方向に向けて連続的に洗浄液
    を流しながら、この洗浄液中に、キャリヤに液流と平行
    且つ縦向きに支持されて軸線の回りに回転自在の複数の
    円板形のワークを全浸漬し、これらのワークを、該ワー
    クと平行且つ同間隔に配設されて洗浄液に下半部が半浸
    漬する複数の円板形の洗浄ブラシにより両側から部分的
    に挟持し、これらの洗浄ブラシを液流に沿う方向に回転
    させながら洗浄液の流れの中で洗浄することを特徴とす
    る流液式スクラバ洗浄方法。
  2. 【請求項２】洗浄液を一方向に向けて連続的に流すため
    の洗浄槽； 円板形をした複数のワークを、上記洗浄液中に全浸漬し
    た状態で液流と平行且つ縦向きにして軸線の回りに回転
    自在なるように保持するワーク保持手段； 上記保持手段に保持されたワークと平行且つ同間隔に配
    設されて回転自在の複数の洗浄ブラシを備え、これらの
    洗浄ブラシが、洗浄液に下半部を半浸漬した状態で上記
    各ワークを両側から部分的に挟持し、液流に沿う方向に
    回転しながら洗浄液の流れの中で上記ワーク洗浄するよ
    うに構成されたスクラバ手段； 上記ワーク保持手段を洗
    浄液の流れとは逆方向に向けて向流的に搬送するため の搬送手段； を有することを特徴とする流液式スクラバ洗浄装置。
  3. 【請求項３】洗浄液を一方向に向けて連続的に流すため
    の洗浄槽； 上記洗浄槽内に移動自在に設置され、円板状をした複数
    のワークを洗浄液中において液流と平行且つ縦向きにし
    た状態で軸線の回りに回転自在なるように保持する第１
    キャリヤ； ワークを保持した上記第１キャリヤを洗浄液の流れとは
    逆方向に向けて向流的に搬送可能な搬送手段； 上記洗浄槽の中間位置に設置されて、昇降自在のブラシ
    ホルダと、該ブラシホルダに上記ワークと平行且つ同間
    隔に取り付けられて回転自在の複数の円板形の洗浄ブラ
    シとを有し、これらの洗浄ブラシの下半部を洗浄液中に
    半浸漬した状態 で液流に沿う方向に回転させながら、上
    記キャリヤに保持された複数のワークを洗浄液の流れの
    中で洗浄するスクラバ手段； 上記洗浄槽におけるスクラバ手段より下流側のローディ
    ング部において、未洗浄のワークを上記第１キャリヤに
    供給する供給手段； 上記洗浄槽におけるスクラバ手段より上流側のアンロー
    ディング部において、洗浄済のワークを上記第１キャリ
    ヤから取り出す取出手段； を有することを特徴とする流液式スクラバ洗浄装置。
  4. 【請求項４】請求項３に記載の洗浄装置において、 上記第１キャリヤが、ワークの外周部分が嵌合する複数
    の周溝を一定間隔で備えた複数の支持棒を、円周上の異
    なる位置に相互に平行且つ回転自在に配設し、これらの
    支持棒上にワークを縦向きに載置するものとして構成さ
    れ、 上記供給手段及び取出手段が、共通の第２キャリヤから
    なっていて、該第２キャリヤが、ワークの外周部分が嵌
    合する複数の周溝を一定間隔で備えた複数の支持棒を、
    円周上の異なる位置に相互に平行に配設し、これらの支
    持棒上にワークを縦向きに載置するものとして構成さ
    れ、 上記両キャリヤが、相互間において支持棒の位置を違え
    ることにより、相互に重設可能で且つ、ワークを保持し
    た第２キャリヤを第１キャリヤに重設するとワークが第
    ２キャリヤの支持棒上から第１キャリヤの支持棒上に転
    移し、第２キャリヤを取り出すとワークが第１キャリヤ
    の支持棒上から第２キャリヤの支持棒上に転移するよう
    に構成されているもの。
  5. 【請求項５】請求項３又は４に記載の洗浄装置におい
    て、上記ワークに超音波を照射するための超音波照射手
    段を有するもの。
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