JPH09299895A - 流液式スクラバ洗浄方法及び装置 - Google Patents

流液式スクラバ洗浄方法及び装置

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JPH09299895A JP8139645A JP13964596A JPH09299895A JP H09299895 A JPH09299895 A JP H09299895A JP 8139645 A JP8139645 A JP 8139645A JP 13964596 A JP13964596 A JP 13964596A JP H09299895 A JPH09299895 A JP H09299895A
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cleaning liquid
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 十分な量の洗浄液を供給しながらワークを安
全且つ確実に洗浄することができる、洗浄効果の勝れた
スクラバ洗浄装置を得る。 【解決手段】 洗浄液3を連続的に流す洗浄槽2と、複
数の円板状ワーク4を洗浄液中において液流と平行に保
持するキャリヤ18と、このキャリヤを洗浄液の流れと
は逆方向に搬送する支持部材28と、上記キャリヤ18
に保持されたワーク4を洗浄液中において洗浄ブラシ3
8により洗浄するスクラバ手段20とで洗浄装置を構成
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク基板
やガラス基板、その他のセラミック基板、各種の電子部
品や光学部品又は機械部品のような、実質的に平板形を
したワークをブラシで洗浄するためのスクラバ洗浄方法
及び装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスク基板のような平板状をした
ワークを洗浄ブラシで洗浄するスクラバ洗浄装置は、例
えば特開昭61−8734号公報や実公平4−2241
1号公報等に記載されているように、従来より公知であ
る。従来のこの種のスクラバ洗浄装置は、一般に、洗浄
液を噴射するためのノズルを有し、このノズルから洗浄
液をシャワー状に噴射しながらワークを洗浄ブラシで洗
浄するものであった。ところが、このようにノズルから
洗浄液を噴射しながら洗浄する方法は、ワークの汚れが
比較的軽度で洗浄液をそれほど大量に供給する必要がな
い場合には適しているが、例えば加工直後で研磨剤やそ
の他の異物が未だ付着しているワークを研磨する場合の
ように、付着した汚れを確実に落とすと同時に落ちた汚
れを確実に洗い流してワークやブラシに再付着するのを
防止するために、大量の洗浄液を供給しながら洗浄しな
ければならないような場合には、ノズルを通じて供給し
得る洗浄液の量には限度があるため、必ずしも適してい
るとはいえなかった。また、ノズルから大量の洗浄液を
高速で噴射すると、この洗浄液がワークなどに当って周
囲に飛散するため、飛散防止のためにフードを設けるな
どの対策を講じる必要があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主要な技術的
課題は、洗浄液を十分に供給しながらワークの確実な洗
浄と落とした汚れの洗い流しとを行うことができる、洗
浄効果の勝れたスクラバ洗浄方法及び装置を提供するこ
とにある。本発明の他の技術的課題は、洗浄液が周囲に
飛散することのない安全でクリーンなスクラバ洗浄方法
及び装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、洗浄槽内に一方向に向けて連続的
に洗浄液を流しながら、この洗浄液中に板状のワークを
液流と平行に向けた状態に保持して浸漬し、該ワークを
洗浄液の流れの中において回転する洗浄ブラシにより洗
浄することを特徴とする流液式スクラバ洗浄方法が提供
される。上記洗浄方法の具体例によれば、上記ワークが
円板形をしていて、複数枚が軸線の回りに回転自在に保
持され、上記洗浄ブラシも円板形をしていて、複数がワ
ーク及び液流と平行に配設され、洗浄液に全浸漬した上
記ワークを、洗浄液に下半部が半浸漬して液流に沿う方
向に回転する上記洗浄ブラシで洗浄する。
【0005】このように本発明によれば、ワークを洗浄
液に浸漬した状態で該洗浄液の流れの中で洗浄すること
により、十分な量の洗浄液を供給しながら該ワークを確
実且つ効率的に洗浄することができ、しかも、落ちた汚
れを洗浄液の流れで確実に洗い流してそれがワーク及び
ブラシに再付着するのを防止することができる。また、
洗浄液が周囲に飛散することがないため、特別にフード
等を設けなくても、洗浄液による作業環境の汚染を防止
することができ、安全性が高く且つクリーンである。
【0006】一方、本発明の洗浄装置は、洗浄液を一方
向に向けて連続的に流すための洗浄槽;板状のワークを
上記洗浄液中に浸漬した状態で液流と平行に保持するワ
ーク保持手段;上記洗浄槽の適宜位置に設置され、上記
保持手段に保持されたワークを洗浄液の流れの中で洗浄
する洗浄ブラシを備えたスクラバ手段;を有することを
特徴とするものである。上記洗浄装置の具体例によれ
ば、上記ワークが円板形をしていて、複数のワークが上
記保持手段に軸線の回りで回転自在なるように保持さ
れ、且つ上記洗浄ブラシも円板形をしていて、複数の洗
浄ブラシがワーク及び液流と平行に配設されている。上
記清浄装置は、上記ワーク保持手段を洗浄液の流れとは
逆方向に向けて向流的に搬送するための搬送手段を備え
ていることが望ましい。
【0007】本発明の洗浄装置はまた、洗浄液を一方向
に向けて連続的に流すための洗浄槽;上記洗浄槽内に移
動自在に設置され、円板状をした複数のワークを洗浄液
中において液流と平行に向けた状態で軸線の回りに回転
自在なるように保持する第1キャリヤ;ワークを保持し
た上記第1キャリヤを洗浄液の流れとは逆方向に向けて
向流的に搬送可能な搬送手段;上記洗浄槽の中間位置に
設置されて、昇降自在のブラシホルダと、該ブラシホル
ダに一定間隔で取り付けられた複数の円板形の洗浄ブラ
シとを有し、これらの洗浄ブラシで上記キャリヤに保持
された複数のワークを洗浄液の流れの中で洗浄するスク
ラバ手段;上記洗浄槽におけるスクラバ手段より下流側
のローディング部において、未洗浄のワークを上記第1
キャリヤに供給する供給手段;上記洗浄槽におけるスク
ラバ手段より上流側のアンローディング部において、洗
浄済のワークを上記第1キャリヤから取り出す取出手
段;を有することを特徴としている。
【0008】上記洗浄装置の具体的な構成例において
は、上記第1キャリヤが、ワークの外周部分が嵌合する
複数の周溝を一定間隔で備えた複数の支持棒を、円周上
の異なる位置に相互に平行且つ回転自在に配設し、これ
らの支持棒上にワークを縦向きに載置するものとして構
成され、上記供給手段及び取出手段が、共通の第2キャ
リヤからなっていて、該第2キャリヤが、ワークの外周
部分が嵌合する複数の周溝を一定間隔で備えた複数の支
持棒を、円周上の異なる位置に相互に平行に配設し、こ
れらの支持棒上にワークを縦向きに載置するものとして
構成され、上記両キャリヤが、相互間において支持棒の
位置を違えることにより、相互に重設可能で且つ、ワー
クを保持した第2キャリヤを第1キャリヤに重設すると
ワークが第2キャリヤの支持棒上から第1キャリヤの支
持棒上に転移し、第2キャリヤを取り出すとワークが第
1キャリヤの支持棒上から第2キャリヤの支持棒上に転
移するように構成されている。
【0009】これにより、所要数の未洗浄ワークを保持
させた第2キャリヤをローディング位置において第1キ
ャリヤ上に重設するだけで、各ワークは第2キャリヤの
支持棒上から第1キャリヤの支持棒上に自動的に転移し
て、該第1キャリヤに回転自在に保持される。重設され
た両キャリヤは上流側に向かってそのまま搬送され、ス
クラバ手段の位置で洗浄ブラシにより各ワークが洗浄さ
れたあと、アンローディング位置に達すると、ここで第
2キャリヤが取り出される。このとき、この第2キャリ
ヤを持ち上げるだけで、ワークは第1キャリヤの支持棒
上から第2キャリヤの支持棒上に自動的に転移し、該第
2キャリヤによって搬出される。本発明の洗浄装置にお
いては、上記ワークに超音波を照射するための超音波照
射手段を付設することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明について図面を参照
しながら詳細に説明する。図1及び図2は本発明に係る
流液式スクラバ洗浄装置の一実施例を示すもので、この
洗浄装置は、機体1の上部に洗浄槽2を備えている。
【0011】上記洗浄槽2は、水や洗剤又は化学薬液等
からなる洗浄液3を一方向に向けて連続的に流しなが
ら、その流れの中でワーク4を洗浄するもので、実質的
に溝形の断面形状を有しており、該洗浄槽2の上流端に
は、洗浄液3を供給するための給液口6とフィルタ8a
とが設けられ、一方下流端には、洗浄液3を排出するた
めの排液口7とフィルタ8bとが設けられ、上記給液口
6及び排液口7が洗浄液供給手段10に接続されてい
る。
【0012】上記洗浄液供給手段10は、洗浄液の浄化
機能を備えた給液タンク11と、該給液タンク11内の
洗浄液をパイプ12を通じて上記給液口6に圧送するポ
ンプ13と、該ポンプ13からの洗浄液を濾過するフィ
ルタ14とを備え、排液口7から排出された洗浄液をパ
イプ15を通じて上記給液タンク11に回収し、それを
浄化して循環的に再使用するように構成されたものであ
る。しかし、必ずしも洗浄液を回収して循環的に再使用
する構成のものでなくても良く、洗浄液源から常時新た
な洗浄液を供給するタイプのものでも良い。
【0013】このスクラバ洗浄装置にはまた、円板状を
した複数のワーク4を、上記洗浄槽2内において洗浄液
3中に全浸漬した状態で該洗浄液の流れと平行且つ軸線
回りに回転自在なるように保持する、ワーク保持手段と
しての第1キャリヤ18と、該第1キャリヤ18を洗浄
液3の流れとは逆方向に向けて向流的に搬送する搬送手
段19と、上記第1キャリヤ18に保持されたワーク4
を洗浄液3の流れの中で洗浄するスクラバ手段20とが
設けられている。
【0014】上記第1キャリヤ18は、図3及び図4に
示すように、相対する一対のフレーム23,23間に、
ワーク4を支持する複数(図では3本が1組)の支持棒
24を、支持されたワーク4と同心の円周に沿って凹段
状に且つ回転自在に取り付けたもので、これらの各支持
棒24には、ワーク4の外周部分が嵌合する複数の周溝
24aが軸方向に一定間隔で形成され、これらの各周溝
24aの位置でワーク4が縦向きに支持されるようにな
っている。上記第1キャリヤ18は、耐熱性及び耐薬品
性を有する素材で形成することが望ましい。なお、図示
の例では、上記支持棒24を前後に2組設けることによ
り、ワーク4を前後2列に載置できるようにしている。
しかし、上記支持棒24は1組だけ設けても、3組以上
設けても良い。
【0015】また、上記第1キャリヤ18を搬送する搬
送手段19は、該第1キャリヤ18を載置するための支
持部材28と、該支持部材28を移動させる螺子棒29
と、該螺子棒29を回転させるモータ30とからなって
いる。上記支持部材28は、上記洗浄槽2の内部にその
側壁及び底壁に沿うように嵌入する凹字形の第1部分2
8aと、洗浄槽2の外部を取り囲むように位置する第2
部分28bとからなっていて、第1部分28aには上記
第1キャリヤ18が載置され、第2部分28bにはナッ
ト部材28cが設けられ、洗浄槽2の下部に該洗浄槽の
軸線と平行に位置する上記螺子棒29にこのナット部材
28cで螺子結合され、この螺子棒29の正逆回転によ
り洗浄槽2に沿って、下流端のローディング部31と上
流端のアンローディング部32との間を往復動するよう
になっている。
【0016】また、上記スクラバ手段20は、洗浄槽2
のほぼ中間位置に設けられている。このスクラバ手段2
0は、洗浄槽2を跨ぐ形で機体1に取り付けられた支軸
35と、該支軸35に固定されて該支軸35の回転によ
り上下動自在となったブラシホルダ36と、該ブラシホ
ルダ36の先端部に洗浄槽2の幅方向に取り付けられた
回転自在のブラシ軸37と、該ブラシ軸37に一定間隔
で取り付けられた複数の洗浄ブラシ38と、上記ブラシ
軸37を回転させるための、ブラシホルダ36内に液密
状態に設けられたモータ39と、上記支軸35を回転さ
せてブラシホルダ36を上下動させるための揺動機構4
0とを備えている。上記揺動機構40は、上記支軸35
を図示しないハンドルで回転操作する手動操作機構で
も、モータで回転させる自動操作機構であっても良い。
【0017】上記洗浄ブラシ38は、図4及び図5から
分かるように、アルミニウム等の金属やセラミックス又
は合成樹脂等からなる円板形をした基板の両面に、スポ
ンジ質や繊維質、あるいはその他の柔軟で洗浄能力のあ
る適宜の材質からなる洗浄部材38aを突設したもの
で、上記ブラシ軸37に、第1キャリヤ18に保持され
たワーク4と平行且つ同間隔で、軸線方向に1/2ピッ
チだけ位置をずらした状態に固定されている。そして、
ブラシホルダ36の下降により各洗浄ブラシ38が、下
半部が洗浄液3に半浸漬する図示の位置まで下降し、そ
の位置に移動してきた第1キャリヤ18内の各ワーク4
の上半部を部分的に挟持して、その回転により洗浄部材
38aでワーク4の両面を洗浄するものである。このと
き各ワーク4は、洗浄ブラシ38との摩擦力で矢印方向
に従動的に回転し、その全面が洗浄される。
【0018】このとき、上記洗浄槽2に超音波照射手段
41を付設しておき、洗浄中又は搬送中のワーク4に上
方から超音波を照射することが望ましい。この超音波照
射手段41は、1つ又は適宜間隔をおいて複数設けるこ
とができる。なお、上記スクラバ手段20は、洗浄槽2
に沿って位置を調節自在としておくことが望ましい。
【0019】このスクラバ洗浄装置には更に、上記ロー
ディング部31において未洗浄のワークを上記第1キャ
リヤ18に供給する供給手段と、上記アンローディング
部32において洗浄済のワークを上記第1キャリヤ18
から取り出す取出手段とを設けることができる。図示し
た実施例では、上記供給手段と取出手段とが、図6及び
図7に示すような共通の第2キャリヤ45で構成されて
いる。
【0020】上記第2キャリヤ45は、図7及び図8に
示すように上記支持部材28上に第1キャリヤ18に重
ねて載置するものとして構成し、それを載置することに
よってワーク4を該第1キャリヤ18に自動的に供給で
き、取り出すことによってワーク4を該第1キャリヤ1
8から自動的に取り出すことができるようにしたもので
あり、具体的構成は次の通りである。
【0021】即ち、上記第2キャリヤ45は、第1キャ
リヤ18が内側へ嵌合し得る程度の間隔で相対する一対
のフレーム46,46間に、ワークを支持する複数(図
では3本)の支持棒47を、支持されたワークと同心の
円周に沿って凹段状に配置して固定的に取り付けたもの
で、各支持棒47には、ワーク4の外周部分が嵌合する
複数の周溝47aが軸方向に一定間隔で設けられ、これ
らの各周溝47aの位置でワーク4が縦向きに支持され
るようになっている。上記周溝47aの配設位置及び間
隔は、第1キャリヤ18における周溝24aの配設位置
及び間隔と同じである。
【0022】上記支持棒43は前後に2組設けられてい
るが、これは、常に第1キャリヤ18の支持棒24と同
じ組数だけ設けられる。上記第2キャリヤ45における
各支持棒47は、第1キャリヤ18の支持棒24との位
置競合を避けるため、円周上の取付位置が第1キャリヤ
18のものとは相互に異なっており、しかも、第1キャ
リヤ18の支持棒24より若干低い位置に取り付けられ
ている。上記第2キャリヤ45も第1キャリヤ18と同
様に、耐熱性及び耐薬品性を有する素材で形成すること
が望ましい。
【0023】従って、図7及び図8に示すように、ワー
ク4を保持したこの第2キャリヤ45を、ローディング
部31において第1キャリヤ18に上方から嵌合する
と、該第2キャリヤ45の支持棒47が第1キャリヤ1
8の支持棒24よりも低い位置まで下降するため、ワー
ク4が第2キャリヤ45の支持棒47上から第1キャリ
ヤ18の支持棒24上に自動的に転移し、また、アンロ
ーディング部32において第2キャリヤ45を取り出す
と、ワーク4が第1キャリヤ18の支持棒24上から第
2キャリヤ45の支持棒47上に自動的に転移する。な
お、上記第1キャリヤ18のフレーム23,23には、
第2キャリヤ45の各支持棒47を逃げるための切欠き
23aが形成されている。図中48は第2キャリヤ45
を出し入れする際に吊り掛けるためのフック、49はフ
レーム46,46を連結するための軸棒である。
【0024】上記構成を有するスクラバ洗浄装置におい
て、ワークの洗浄が行われていないときは、図1に示す
ように、第1キャリヤ18はローディング部31にあ
り、スクラバ手段20のブラシホルダ36は鎖線の位置
まで上昇して、洗浄ブラシ38も停止している。いま、
未洗浄ワーク4を保持した第2キャリヤ45が、図示し
ないローダーにより、ローディング部31にある第1キ
ャリヤ18に上方から嵌合されると、図8に示すよう
に、該第2キャリヤ45内のワークは第1キャリヤ18
の支持棒24上に自動的に転移し、該第1キャリヤ18
に、洗浄液3に全浸漬した状態で液流と平行に支持され
る。重設された上記両キャリヤ18,45は、支持部材
28により洗浄液3中を上流側に向けて所要の速度で搬
送され、前列のワーク4が洗浄位置に達するとその位置
に停止する。
【0025】そして、スクラバ手段20のブラシホルダ
36が自動的又は手動操作により図5に示す位置まで下
降して、各洗浄ブラシ38が、下半部のみ洗浄液3中に
半浸漬すると共に、該下半部で各ワーク4の上半部を部
分的に挟持して回転することにより、洗浄液3の流れの
中でワーク4の洗浄が行われる。このとき該ワーク4に
は、超音波照射手段41で超音波が照射される。また、
上記洗浄ブラシ38の回転方向は、図5に矢印で示すよ
うに洗浄液の流れの方向と同じであることが望ましく、
これにより、該洗浄ブラシ38による洗浄液の撹乱や跳
ね上げ等がなく、しかも、落ちた汚れが洗浄液3の流れ
に乗って速やかに下流側に流れ易くなる。なお、上記各
ワーク4は、洗浄ブラシ38との摩擦力で従動的に回転
し、その全面が洗浄される。
【0026】前列のワーク4の洗浄が終わると、支持部
材28により両キャリヤ18,45が一定距離前進し
て、後列のワーク4が洗浄位置にくる。そして、同様に
して該後列のワーク4の洗浄が行われる。ワーク4の洗
浄が全て終わると、支持部材28が前進して両キャリヤ
18,45がアンローディング部32まで送られると共
に、洗浄ブラシ38が停止してスクラバ手段20が上昇
する。
【0027】上記両キャリヤ18,45がアンローディ
ング部32に達すると、図示しないアンローダーにより
第2キャリヤ45が持ち上げられ、洗浄槽2から取り出
される。このとき、第1キャリヤ18の支持棒24上に
あったワーク4は第2キャリヤ45の支持棒47上に自
動的に転移し、該第2キャリヤ45によって搬出され
る。第2キャリヤ45と洗浄済ワーク4とが取り出され
た第1キャリヤ18は、搬送手段19によりローディン
グ部31に復帰し、次の未洗浄ワークを保持した別の第
2キャリヤが供給されて同様の工程が繰り返される。
【0028】上記支持部材28によるキャリヤの搬送速
度や、ブラシの回転速度は、ワークの種類や洗浄液の流
速、洗浄部材の種類等によって最適範囲が異なるが、一
般には、キャリヤの搬送速度の好ましい例は5〜20m
m/scc程度であり、また洗浄ブラシの回転速度の好
ましい例は10〜100r.p.m.程度、より好まし
い範囲は30〜45r.p.m.程度である。
【0029】かくして、ワークを洗浄液の流れの中に全
浸漬した状態でスクラバ洗浄することにより、洗浄位置
に常に新鮮な洗浄液を十分に供給しながら該ワークに付
着した汚れを確実且つ効率的に洗浄することができ、し
かも、落ちた汚れを洗浄液の流れで確実に洗い流してそ
れがワークやブラシに再付着するのを確実に防止するこ
とができる。
【0030】また、洗浄液が周囲に飛散することがない
ため、特別にフード等を設けなくても、洗浄液による作
業環境の汚染を防止することができ、安全性が高く且つ
クリーンである。更に、板状のワーク4及び洗浄ブラシ
38を洗浄液3の流れと平行に向けた状態で洗浄及び搬
送等を行うことにより、流液中でのワーク4の搬送抵抗
及び洗浄ブラシ38の回転抵抗を極力小さくすることが
でき、この結果、それらの円滑な搬送及び洗浄が可能と
なって、流液中での上記スクラバ洗浄を確実且つ容易に
実現することができる。
【0031】上記実施例では、ワークを洗浄する際にキ
ャリヤ18,45を停止させているが、微速前進させな
がら洗浄しても良い。また、洗浄時にキャリヤ18,4
5が洗浄位置に到達するまでは洗浄ブラシ38を上昇さ
せておいて、到達後に下降させるようにしているが、洗
浄ブラシ38は予め下降させておいても良く、更に、1
キャリヤのワークの洗浄が終わる毎に該洗浄ブラシ38
を昇降させることなく、全てのワークの洗浄が終了する
まで下降位置に止まらせておくこともできる。
【0032】更にまた、第1キャリヤ18に対する未洗
浄ワークの供給手段及び洗浄済ワークの取出手段とし
て、共通の第2キャリヤ45を使用しているが、このよ
うな第2キャリヤを使用することなく、第1キャリヤ1
8を支持部材28に対して着脱自在とすることにより、
この第1キャリヤ18をそのまま供給手段及び取出手段
として兼用することもできる。この場合には、該第1キ
ャリヤ18に吊り掛け用のフックなど、必要な部品が取
り付けられる。
【0033】
【発明の効果】このように本発明によれば、ワークを洗
浄液の流れの中に浸漬した状態でスクラバ洗浄すること
により、洗浄位置に常に新鮮な洗浄液を十分に供給しな
がら該ワークに付着した汚れを確実且つ効率的に洗浄す
ることができ、しかも、落ちた汚れを洗浄液の流れで確
実に洗い流してそれがワークやブラシに再付着するのを
防止することができる。また、洗浄液が周囲に飛散する
ことがないため、特別にフード等を設けなくても、洗浄
液による作業環境の汚染を防止することができ、安全性
が高く且つクリーンである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る洗浄装置の一実施例を示す縦断側
面図である。
【図2】図1のA−A線での断面図である。
【図3】第1キャリヤの断面図である。
【図4】図3の拡大側面図である。
【図5】ワーク洗浄時における図1に要部拡大図であ
る。
【図6】第2キャリヤの部分破断側面図である。
【図7】図6の側面図である。
【図8】第1キャリヤと第2キャリヤを重合した状態の
断面図である。
【符号の説明】
2 洗浄槽 3 洗浄液 4 ワーク 18 第1キャリヤ 19 搬送手段 20 スクラバ手
段 24 支持棒 24a 周溝 31 ローディング部 32 アンローデ
ィング部 38 洗浄ブラシ 45 第2キャリ
ヤ 47 支持棒 47a 周溝

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】洗浄槽内に一方向に向けて連続的に洗浄液
    を流しながら、この洗浄液中に板状のワークを液流と平
    行に向けた状態に保持して浸漬し、該ワークを洗浄液の
    流れの中において回転する洗浄ブラシにより洗浄するこ
    とを特徴とする流液式スクラバ洗浄方法。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の洗浄方法において、上記
    ワークが円板形をしていて、複数枚が軸線の回りに回転
    自在に保持され、上記洗浄ブラシも円板形をしていて、
    複数がワーク及び液流と平行に配設され、洗浄液に全浸
    漬した上記ワークを、洗浄液に下半部が半浸漬して液流
    に沿う方向に回転する上記洗浄ブラシで洗浄することを
    特徴とするもの。
  3. 【請求項3】洗浄液を一方向に向けて連続的に流すため
    の洗浄槽;板状のワークを上記洗浄液中に浸漬した状態
    で液流と平行に保持するワーク保持手段;上記洗浄槽の
    適宜位置に設置され、上記保持手段に保持されたワーク
    を洗浄液の流れの中で洗浄する洗浄ブラシを備えたスク
    ラバ手段;を有することを特徴とする流液式スクラバ洗
    浄装置。
  4. 【請求項4】請求項3に記載の洗浄装置において、上記
    ワークが円板形をしていて、複数のワークが上記保持手
    段に軸線の回りで回転自在なるように保持され、且つ上
    記洗浄ブラシも円板形をしていて、複数の洗浄ブラシが
    ワーク及び液流と平行に配設されていることを特徴とす
    るもの。
  5. 【請求項5】請求項3又は4に記載の洗浄装置におい
    て、上記ワーク保持手段を洗浄液の流れとは逆方向に向
    けて向流的に搬送するための搬送手段を有するもの。
  6. 【請求項6】洗浄液を一方向に向けて連続的に流すため
    の洗浄槽;上記洗浄槽内に移動自在に設置され、円板状
    をした複数のワークを洗浄液中において液流と平行に向
    けた状態で軸線の回りに回転自在なるように保持する第
    1キャリヤ;ワークを保持した上記第1キャリヤを洗浄
    液の流れとは逆方向に向けて向流的に搬送可能な搬送手
    段;上記洗浄槽の中間位置に設置されて、昇降自在のブ
    ラシホルダと、該ブラシホルダに一定間隔で取り付けら
    れた複数の円板形の洗浄ブラシとを有し、これらの洗浄
    ブラシで上記キャリヤに保持された複数のワークを洗浄
    液の流れの中で洗浄するスクラバ手段;上記洗浄槽にお
    けるスクラバ手段より下流側のローディング部におい
    て、未洗浄のワークを上記第1キャリヤに供給する供給
    手段;上記洗浄槽におけるスクラバ手段より上流側のア
    ンローディング部において、洗浄済のワークを上記第1
    キャリヤから取り出す取出手段;を有することを特徴と
    する流液式スクラバ洗浄装置。
  7. 【請求項7】請求項6に記載の洗浄装置において、 上記第1キャリヤが、ワークの外周部分が嵌合する複数
    の周溝を一定間隔で備えた複数の支持棒を、円周上の異
    なる位置に相互に平行且つ回転自在に配設し、これらの
    支持棒上にワークを縦向きに載置するものとして構成さ
    れ、 上記供給手段及び取出手段が、共通の第2キャリヤから
    なっていて、該第2キャリヤが、ワークの外周部分が嵌
    合する複数の周溝を一定間隔で備えた複数の支持棒を、
    円周上の異なる位置に相互に平行に配設し、これらの支
    持棒上にワークを縦向きに載置するものとして構成さ
    れ、 上記両キャリヤが、相互間において支持棒の位置を違え
    ることにより、相互に重設可能で且つ、ワークを保持し
    た第2キャリヤを第1キャリヤに重設するとワークが第
    2キャリヤの支持棒上から第1キャリヤの支持棒上に転
    移し、第2キャリヤを取り出すとワークが第1キャリヤ
    の支持棒上から第2キャリヤの支持棒上に転移するよう
    に構成されているもの。
  8. 【請求項8】請求項3乃至7のいずれかに記載の洗浄装
    置において、上記ワークに超音波を照射するための超音
    波照射手段を有するもの。
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