JP3687744B2 - 連続搬送バレルメッキ装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ部品の外部電極（端子電極）の形成等を行うにときに利用するチップ部品のバレルメッキ装置に関するものであり、特に、チップ部品の外部電極のバレル電解メッキ処理及びその後の洗浄処理を連続的に実行する連続搬送バレルメッキ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、チップ部品の端子電極を形成するバレルメッキ装置として、メッキ液を入れたメッキ浴槽内にバレルユニットを浸漬させる構成が知られている。そのメッキ浴槽はメッキする金属毎に異なり複数を用いる。また、洗浄工程を含めてバレルメッキ装置としては、メッキ前洗浄及びメッキ浴槽間洗浄、そうして最終洗浄を行う。メッキ浴槽は各々単独であり、洗浄も単独である。バレルユニットにチップ部品とメッキ用メディア（電解メッキのために使用する金属球体）を収容し、所定のメッキが完了するとバレルユニットのバレルユニットが有するバレルからチップ部品とメディアを取り出し、次の工程においてチップ部品とメディアを分離するとともに洗浄する。そのバレルメッキ装置と分離・洗浄する工程は人の作業を介して仲介される。そのために人の作業に伴う時間及びコストが掛かり、このためにメッキ品質の向上や所要時間の短縮が求められる状況にある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第１の目的は、上記の点に鑑み、チップ部品を収容するバレルユニットをバレルメッキ装置部内で搬送し、また、そのバレルユニットのバレルから分離洗浄装置部に用いる洗浄用ポットに自動的に移し替える構成として、人の作業を削減し、かつメッキの品質を向上し所要時間の短縮ができる連続搬送バレルメッキ装置を提供することにある。
【０００４】
本発明の第２の目的は、さらに、分離洗浄装置部でメディア分離及びチップ部品洗浄が自動的に行われる構成とし、チップ部品をバレルに収容してバレルメッキ装置部に投入すると、チップ部品の外部電極に電解メッキし、チップ部品とメディアを分離し洗浄して、チップ部品の外部電極へのメッキが自動的に行われるようにして人の作業を削減し、かつメッキの品質を向上し所要時間の短縮ができる連続搬送バレルメッキ装置を提供することにある。
【０００５】
また、複数のバレルメッキ装置部の配置を工夫することで省設置スペースとした連続搬送バレルメッキ装置を提供することをもう一つの目的とする。
【０００６】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、チップ部品とメディアを収納するバレルと、該バレル内に収納するチップ部品とメディアに電気的に接触する電極と、該電極を当該バレル外部に導出した集電器とを有するバレルユニットと、該バレルユニットが浸されるメッキ液を貯留したメッキ浴槽と、該メッキ浴槽内にて前記バレルユニットを横方向に移動させる搬送手段と、前記集電器が接触する給電器とを有していて、前記給電器を通して前記集電器に通電してバレルメッキ処理を行うバレルメッキ装置部と、
該バレルメッキ装置部でのバレルメッキ処理が終了したバレルユニットをバレル移送手段により受け取り、当該バレルユニットからチップ部品とメディアを取り出して、メディアは通過可能であるがチップ部品は通過させない筒状メッシュを有する洗浄用ポットに移し替える受渡装置部とを備えたことを特徴としている。
【０００８】
本願請求項２の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、チップ部品とメディアを収納するバレルと、該バレル内に収納するチップ部品とメディアに電気的に接触する電極と、該電極を当該バレル外部に導出した集電器とを有するバレルユニットと、該バレルユニットが浸されるメッキ液を貯留したメッキ浴槽と、該メッキ浴槽内にて前記バレルユニットを横方向に移動させる搬送手段と、前記集電器が接触する給電器とを有していて、前記給電器を通して前記集電器に通電してバレルメッキ処理を行うバレルメッキ装置部と、
該バレルメッキ装置部でのバレルメッキ処理が終了したバレルユニットをバレル移送手段により受け取り、当該バレルユニットからチップ部品とメディアを取り出して、メディアは通過可能であるがチップ部品は通過させない筒状メッシュを有する洗浄用ポットに移し替える受渡装置部と、
前記受渡装置部にてチップ部品とメディアが収容された前記洗浄用ポットをポット移送手段から受け取り、当該洗浄用ポットに洗浄液を噴射して当該洗浄用ポットからメディアを落下させて分離するとともにチップ部品を洗浄する分離洗浄装置部とを備えたことを特徴としている。
【０００９】
本願請求項３の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１又は２において、前記バレルメッキ装置部が複数配置され、各バレルメッキ装置部は互いに異なるメッキ液を貯留するものであり、各バレルメッキ装置部後段に前記バレルユニットを洗浄液で洗浄する洗浄部が設けられているとともに、前段のバレルメッキ装置部から該洗浄部へ、当該洗浄部から後段のバレルメッキ装置部へ前記バレルユニットを移し替える移替手段が設けられていることを特徴としている。
【００１０】
本願請求項４の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１，２又は３において、前記バレルメッキ装置部の一部は下段位置に、残りのバレルメッキ装置部は上段位置に配置され、下段位置と上段位置間のバレルユニットの昇降移動をエレベータ機構で行うことを特徴としている。
【００１１】
本願請求項５の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１，２，３又は４において、前記搬送手段が前記バレルユニットを間欠搬送するものであり、前記給電器は前記バレルユニットが停止する所定停止位置毎に設けられていることを特徴としている。
【００１２】
本願請求項６の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１，２，３，４又は５において、前記バレルユニットが前記電極を持つ電極構造体を備え、該電極構造体は、前記バレルの筒体内部を軸方向に伸びる中心棒と、該中心棒に対して放射方向に伸びる電極棒と、該電極棒の先端部に露出して設けられた前記電極とを有し、前記中心棒及び電極棒は前記電極に導通する金属導体の表面に絶縁被覆を設けたものであり、軸方向に垂直な断面が上端に向けて幅の狭くなった刃先形状となっている山形部を前記中心棒外周の上側に軸方向に設けていることを特徴としている。
【００１３】
本願請求項７の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項６において、前記バレルが、前記筒体と、前記筒体の両側開口に各々設けられた蓋とを備え、一方の蓋は前記筒体に固定され、他方の蓋は中心部に前記筒体の外側から内側に導通する前記電極構造体をほぼ水平に保持して備え、かつ前記他方の蓋は前記筒体の開口に対して着脱自在であることを特徴としている。
【００１４】
本願請求項８の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項６又は７において、前記山形部の軸方向に垂直な断面が二等辺三角形であって、該二等辺三角形の頂点が前記山形部の最上端となっていることを特徴としている。
【００１５】
本願請求項９の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１，２，３，４，５，６，７又は８において、前記受渡装置部は、前記バレルメッキ処理が終了したバレルユニットのチップ部品及びメディアを収納したバレルの蓋を開けてから、開口を下向きにして、当該バレルから落下したチップ部品及びメディアを液体中で待機している前記洗浄用ポットの開口に落下させることを特徴としている。
【００１６】
本願請求項１０の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項９において、前記受渡装置部が、前記バレルメッキ処理が終了したバレルユニットのバレルの蓋を開ける蓋開け手段と、該蓋開け手段で蓋を開けられたバレルの開口を下に向けるバレル支持手段と、前記蓋を開けられたバレルから落下したチップ部品及びメディアを受ける漏斗と、該漏斗を通って落下したチップ部品及びメディアを受け取る位置に洗浄用ポットの開口が位置するように当該ポットを支えるポット支持手段と、前記漏斗及び前記洗浄用ポットが浸るように液体を満たすことのできる液槽とを備え、
前記蓋を開けられたバレルからチップ部品及びメディアを前記漏斗へ落下させるときに前記漏斗の少なくともチップ部品及びメディアを受ける面が前記液槽内の液体中に浸っていることを特徴としている。
【００１７】
本願請求項１１の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項９又は１０において、前記受渡装置部における前記液体が洗浄液であり、前記分離洗浄装置部における洗浄液の供給源を共用していることを特徴としている。
【００１８】
本願請求項１２の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項２，３，４，５，６，７，８，９，１０又は１１において、前記分離洗浄装置部がメディア分離後の前記洗浄用ポットに空気流を当てることで当該洗浄用ポット内のチップ部品を乾燥させる乾燥手段を有していることを特徴としている。
【００１９】
本願請求項１３の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１又は１２において、前記バレルユニット移送手段が第１のロボットアームであり、前記ポット移送手段が第２のロボットアームであることを特徴としている。
【００２０】
本願請求項１４の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１乃至１３のいずれかにおいて、前記メッキ浴槽には前記バレルの下方位置にアノードが配され、前記アノードに給電する給電用接続導体は前記電極を前記集電器に導出した側の反対側にて前記アノードに接続されていることを特徴としている。
【００２１】
本願請求項１５の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１４において、前記アノードが矩形板状であり、前記バレルの筒体の軸方に平行に配置されていることを特徴としている。
【００２２】
本願請求項１６の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１５において、前記バレルユニットの複数箇所の停止位置に対応して前記アノードがそれぞれ配置されていることを特徴としている。
【００２３】
本願請求項１７の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１４，１５又は１６において、前記アノードの角部を覆う絶縁部材を設け、前記アノードの角部を電気的に絶縁したことを特徴としている。
【００２４】
本願請求項１８の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１７において、前記アノードは矩形板状であり、前記バレルの筒体の軸方向に平行な当該アノードの両縁部における少なくとも上側角部が前記絶縁部材で覆われていることを特徴としている。
【００２５】
本願請求項１９の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１７又は１８において、前記絶縁部材は前記アノードの縁部に嵌合する断面コ字状であることを特徴としている。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る連続搬送バレルメッキ装置の実施の形態を図面に従って説明する。
【００２７】
図１乃至図３は本発明に係る連続搬送バレルメッキ装置の実施の形態であって、全体構成を示す。
【００２８】
これらの図において、１はＣｕの電解メッキを施す第１バレルメッキ装置部、２はＮｉの電解メッキを施す第２バレルメッキ装置部、３はＳｎの電解メッキを施す第３バレルメッキ装置部である。
【００２９】
バレル内にチップ部品及びメッキ用メディア（電解メッキのために使用する金属球体）を収納したバレルユニット５（図４乃至図７で後述する）を第１バレルメッキ装置部１に供給するために図２のようにバレルユニット供給部６が設置されている。バレルユニット供給部６はローラーコンベアの先端部にバレルユニット５を第１バレルメッキ装置部１に移し替える移し替え手段が設けられたものである。
【００３０】
第１バレルメッキ装置部１と第２バレルメッキ装置部２との間にはＣｕのメッキ液を洗浄して落とす第１洗浄部１１が、第２バレルメッキ装置部２と第３バレルメッキ装置部３との間にはＮｉのメッキ液を洗浄して落とす第２洗浄部１２が、第３バレルメッキ装置部３の後段にはＳｎのメッキ液を洗浄して落とす第３洗浄部１３が配置され、この後段にバレルユニット５を傾斜状態で洗浄する傾斜洗浄部１４が配置されている。この傾斜洗浄部１４は後述の受渡装置部２０へのバレルユニット５の取り出し位置となる。
【００３１】
前記第１バレルメッキ装置部１と第１洗浄部１１と第２バレルメッキ装置部２とはメッキ部架台１０の下段位置に１列に配置されているが、第２洗浄部１２と第３バレルメッキ装置部３と第３洗浄部１３と傾斜洗浄部１４とは架台１０の上段位置に１列に配置されている。このため、下段位置の第２バレルメッキ装置部２からバレルユニット５を上段位置に引き上げるエレベータ機構１５が設置されている。
【００３２】
受渡装置部２０はバレルユニットの取り出し位置となる傾斜洗浄部１４に近接して設置されており、つまり受渡装置部架台２１がメッキ部架台１０に連結されており、最後の第３バレルメッキ装置部３でのバレルメッキ処理して傾斜洗浄部１４での洗浄が終了したバレルユニット５をバレル移送手段により受け取り、当該バレルユニットからチップ部品とメッキ用メディアを取り出して、メディアは通過可能であるがチップ部品は通過させない筒状メッシュを有する洗浄用ポット３０（図１４及び図１５で後述する）に移し替える動作を自動的に実行するものである。
【００３３】
前記受渡装置部２０に並行してチップ部品及びメッキ用メディアが取り出された空のバレルユニット５を排出して置くためのバレルユニット排出部７が図３のように設置されている。このバレルユニット排出部７はローラーコンベアであり、その上に載置されたバレルユニット５を排出方向に移送するものである。
【００３４】
前記受渡装置部２０に隣接して分離洗浄装置部２５が設置されている。つまり、分離洗浄装置部架台２６が受渡装置部架台２１に連結されている。この分離洗浄装置部２５は、前記受渡装置部２０にてチップ部品とメッキ用メディアが収容された洗浄用ポット３０をポット移送手段から受け取り、当該洗浄用ポットに洗浄液を噴射して当該洗浄用ポットからメディアを落下させて分離するとともにチップ部品を洗浄し、乾燥する工程を自動的に実行するものである。
【００３５】
また、分離洗浄装置部２５に並行して空の洗浄用ポット３０を受渡装置部２０に供給するための洗浄用ポット供給部８が図２のように設置されている。
【００３６】
図４乃至図７は、本実施の形態において、バレルメッキ処理を実行するために用いるバレルユニット５を示す。水平方向を回転中心軸とするバレルユニット５は、各バレルメッキ装置部１，２，３のメッキ浴槽にバレルユニット５を次々と連続的に投入して搬送し、各々のバレルユニット５が収容するチップ部品の外部電極に効率よくメッキする構成に用いられるものであり、バレル４０、ユニット側板４３，４４及び連結棒４５等を有している。連結棒４５はバレルユニット５の持ち上げ個所として機能する。
【００３７】
このバレルユニット５はバレル４０を回転自在に備えるもので、バレル４０は、略円筒状の筒体５１として、樹脂製の骨組でなるかごを構成し、骨組が構成する複数の開口を塞ぐように樹脂製の網を取り付け、筒体５１の両側開口に樹脂製の蓋５２，５３を取り付けて基本的な容器を構成するものである。前記網のメッシュはバレル４０に収納しバレルメッキするチップ部品や共に収納するメディアが通過しない値とする。前記蓋５２は筒体５１に対して開閉自在な開閉蓋であり、蓋５３は筒体５１に対し常時固定とする。
【００３８】
樹脂製の蓋５２，５３は中心に穴を備え、開閉蓋５２には樹脂製フランジ５５を取り付け、蓋５３には樹脂製軸部５６を取り付ける。軸部５６はユニット側板４４に嵌着されたブッシュ５７により回転自在に支持される。
【００３９】
前記ユニット側板４３には円筒支持部材６０が固着され、これに嵌合して金属導体６４，６５，６６を有する電極構造体６１の樹脂被覆された基部である軸部が固定的に支持されている。また、電極構造体６１の軸部の外周にブッシュ６２が嵌められ、ブッシュ６２の外側に前記蓋５２側のフランジ５５が回転自在に嵌合している。従って、ユニット側板４３，４４でバレル４０が回転自在に保持されることになる。なお、電極構造体６１の金属導体６４は中心の金属棒であって絶縁被覆された中心棒をなし、これと直交する方向に所定の間隔を有し複数本の金属導体６５が金属導体６４に固着してあり、絶縁被覆された電極棒をなし、さらに金属導体６５の先端部、つまり電極棒の先端部は内部電極として露出した金属導体６６となっていて、バレル４０内に収容されたチップ部品及びメディアに電気的に接触するようになっている。
【００４０】
前記金属導体６４，６５は図９及び図３１（Ｂ）のように樹脂製絶縁被覆６７で被覆されている。それらの表面に施された樹脂製絶縁被覆６７は、例えば耐熱性の塩化ビニール等であり、この絶縁被覆６７の部材に対応して山形部６８を構成する部材も同材質の耐熱性塩化ビニール等の樹脂を用いる。樹脂製絶縁被覆６７と山形部６８は樹脂溶接して固着する。樹脂溶接は周知の手段を用いて行う。断面が円形である中心棒となる金属導体６４の絶縁被覆６７部分の外周は基本的に円周であり、特に電極棒となる金属導体６５（図９参照）の突出がない絶縁被覆６７部分の上部は長手方向に全て円周面である。山形部６８は長手方向（軸方向）が中心棒の絶縁被覆６７部分の長さとほぼ同じ長さとし、かつ長手方向に直交する断面は上端が尖った刃先形状となるように、図３１（Ｂ）のように頂点６８ａが鋭角の三角形（ここでは二等辺三角形を示す）とし、加えて底辺部だけが前記絶縁被覆６７に合致する部分円周凹面としている。その山形部６８の底辺部を樹脂製絶縁被覆６７の上部に合致して当接させて、当接部分の外周を樹脂溶接して固着する。溶接方法は、樹脂製絶縁被覆６７及び山形部６８が例えば耐熱性の塩化ビニールである場合、同じ耐熱性の塩化ビニールでなる溶接棒と加熱手段を用いて行うのがよい。そうして、溶接しただけでは表面が凸凹しておりヤスリ仕上げなどして滑らかにする。
【００４１】
バレルユニット５はメッキ浴槽８１に投入されて、そのバレル４０部分が浴槽内のメッキ液に浸り、後述の回転駆動用チェーン９２からスプロケット４６が駆動力を受けて回転しながらメッキ処理が行われるのであるが、その際、チップ部品とメディアはバレル２の回転方向に内面との摩擦で上方に持ち上げられるが、チップ部品とメディアはバレル２の下方に重力の作用で落下しようとし、摩擦と重力の作用がバランスする個所に集合する。しかし、一部のチップ部品とメディアはバレル４０の内周を最上部に向かって持ち上げられ、上部から電極構造体６１の外周を覆う樹脂製被覆６７部分に落下してくる。図３１（Ａ）のように山形部６８が無い場合、中心棒となる金属導体６４の樹脂製被覆６７の上部にチップ部品Ｃが載ったままとなり、メッキされずに残ってメッキ不良となるが、本実施の形態の図３１（Ｂ）のように、中心棒となる金属導体６４の樹脂製被覆６７の上部に山形部６８を固着してあると、断面が上下方向に頂点３０ａを最上部とする二等辺三角形としてあり、山形部６８側面が急斜面であるため、落下してくるチップ部品Ｃとメディアは付着しないで落下する。落下以外の要因で山形部６８に当接するチップ部品とメディアも付着しないで落下し、再びバレル４０の下方で集合に加わることになる。従って、メッキされずに残るチップ部品を無くすことができる。
【００４２】
なお、山形部６８について長手方向に直交する断面は二等辺三角形として図示したが、二等辺三角形に限らず、断面は電極構造体６１の中心棒部分の樹脂製被覆６７から上部に尖った頂点を有し、尖った頂点から中心棒の横幅に向かって傾斜する面を備えればよく、この面が傾斜した平面に限らず任意の曲面であってもよい。総じて山形部６８は刃先形状であると言うことができる。
【００４３】
バレル４０内に露出する内部電極としての金属導体６６は、金属導体６５、金属導体６４を経て電極構造体６１の左端に導出され、ここでリード線７０の一端に接続される。リード線７０の他端はユニット側板４３の上部に設けられた集電器７１に接続される。すなわち、ユニット側板４３の上端に庇状集電ベース７４が固着され、ここに集電器７１が設置され、該集電器７１は底面が円弧状面の接触部となった集電子７２をＵ字状板ばね部材７３を介して庇状集電ベース７４に固着する構造を複数個（図示は２個）備える。各集電子７２は庇状集電ベース７４の下方位置となり、それぞれにリード線７０の他端が接続される。つまり、バレル４０内部に露出している電極構造体６１の内部電極が集電器７１の各集電子７２に導出されたことになる。また、各集電子７２はＵ字状板ばね部材７３でそれぞれ独立に支持され、それぞれ弾性力で下方に付勢されている。各集電子７２は良導電性金属部材、例えば銅、銅合金等である。
【００４４】
なお、リード線７０と電極構造体６１との接続部分はカバー７５で水密に覆われるとともに、リード線７０も保護管７６で覆われる。これはバレルユニット５をメッキ浴槽に浸したときに前記接続部分及びリード線７０がメッキ液に直接触れないようにするためである。
【００４５】
また、前記蓋５２側のフランジ５５にはバレル４０を回転させるための駆動力を受けるスプロケット４６が固着されている。また、ユニット側板４３，４４の下端にはユニット座４７が固着されており、各ユニット座４７が各バレルメッキ装置部１，２，３のメッキ浴槽側の搬送手段上に載るようになっている。
【００４６】
なお、前記バレル４０の一方の蓋５３は筒体５１に固定であるが、他方の蓋５２は中心部に前記筒体５１の外側から内側に導通する前記電極構造体６１を水平に保持して備え、かつ蓋５２は前記筒体５１の開口に対して着脱自在である。
【００４７】
次に、図８及び図９で第１乃至第３バレルメッキ装置部１，２，３の構成について説明する。これらのバレルメッキ装置部１，２，３はメッキ液の組成及びメッキ用アノードの金属材質が異なること以外は実質的に同じ構成であり、バレルユニット５が浸されるメッキ液８２を貯留したメッキ浴槽８１と、該メッキ浴槽８１内にてバレルユニット５を横方向に移動させる搬送手段としての搬送機構９０と、バレルユニット５側の集電器７１が接触する給電器１１０とを有していて、前記給電器１１０を通して前記集電器７１に通電してバレルメッキ処理を行うようになっている。
【００４８】
図８及び図９において、メッキ部架台１０は複数の梁を組み合わせてなり、メッキ浴槽８１や搬送手段としての搬送機構９０や給電器１１０や複数個のバレルユニット５が載る骨組みである。
【００４９】
バレルユニット５は矢印Ｄのようにメッキ浴槽８１の一端から投入し、メッキ浴槽８１中のメッキ液８２に浸漬されたバレルユニット５は該メッキ浴槽８１中を図８の矢印Ｓの如く右方向に間欠的に進行し他端から矢印Ｕのように取り出される構成である。
【００５０】
メッキ浴槽８１は上部が開口する長方形の樹脂製容器である。メッキ浴槽８１は長手方向にバレルユニット５が一列に進行する空間と、バレルユニット５を間欠的に進行させる搬送機構９０が組み込まれ、さらにメッキ液８２をバレルユニット５が有するバレル４０の大部分又は全部が浸る液面となるように貯留する。
【００５１】
バレルユニット５の搬送機構９０は、各バレルユニット５を横方向に間欠的に移動させるチェーン９１を用いた第１の無端帯機構と、各バレルユニット５のバレル４０を自転させるチェーン９２を用いた第２の無端帯機構と、これらに付随する機構とを有している。
【００５２】
第１の無端帯機構の無端帯としてのチェーン９１はメッキ浴槽８１内に回転自在に支持されたスプロケット９３Ａ，９３Ｂ間に張架されている。メッキ浴槽８１の上方に支持されたベース９４上には搬送モータ９５が設置され、一方のスプロケット９３Ａの取付軸は図示しないスプロケット、チェーン９６を介してモータ９５により回転駆動されるようになっている。前記チェーン９１はバレルユニット５側のユニット座４７を保持するホルダー１００を備えている。すなわち、チェーン９１にアタッチメントとしてホルダー１００がバレルユニット５を該チェーン９１に搬送させる所定の間隔で取り付けられる。１個のバレルユニット５に対してホルダー１００のアタッチメント１０１、１０２の１組が対応する。チェーン９１は図８の手前と裏側（バレルユニットの右側と左側を支持するため）に計２連を備えるので、１個のバレルユニット５は計４個のアタッチメントで保持される構成である。
【００５３】
第２の無端帯機構の無端帯としてのチェーン９２はメッキ浴槽８１内に回転自在に支持されたスプロケット９７Ａ，９７Ｂ間に張架されている。メッキ浴槽８１の上方に支持されたベース９４上にはバレル回転モータ９８が設置され、一方のスプロケット９７Ａの取付軸は図示しないスプロケット、チェーン９９を介してモータ９８により回転駆動されるようになっている。前記チェーン９２は図４に示したバレルユニット５側のバレル４０と一体のスプロケット４６に係合し、バレル４０を自転させるようになっている。
【００５４】
停止位置（給電ステーションとなる）のバレルユニット５の集電器７１に接触してメッキ電流を供給する給電器１１０を説明する。バレルユニット５の投入位置と取り出し位置以外にバレルユニット５の停止位置は数箇所乃至十数箇所（必要とするメッキ膜厚等により相違する）あり、これらの停止位置にあるバレルユニット５の集電器７１にそれぞれ接触するように複数個の給電器１１０が架台１０側にて固定支持された給電ベース１１１に組み付けられる。
【００５５】
図９に示すように、給電器１１０は、給電ベース１１１に対して固定された電気的絶縁部材でなる保持板１１２上に給電レール１１３を固定配置したものであり、給電レール１１３はバレルユニット５側集電器７１の下側配置となり、給電レール１１３上面がバレルユニット５側の集電子７２の接触面となる導体が露出した平坦面に形成されている。給電レール１１３は良導電性金属板材、例えば銅、銅合金等である。給電レール１１３はメッキ用電源のマイナス側に引出線１１４を介して接続される。
【００５６】
図８及び図９において、メッキ浴槽８１の内側底面に電気的な絶縁部材でなる複数の台１１５を設ける。そうして、台１１５に支持させてメッキ用金属部材でなるアノード１１６を載置する。アノード１１６に一端を固定した給電用接続導体としての引出線１１７を外部に引き出してメッキ用電源のプラス側に接続する。但し、引出線１１７は、前記内部電極としての金属導体６６を前記集電器７１に導出した側の反対側にて前記アノード１１６に接続する。これは、前記電極構造体６１やアノード１１６の内部抵抗の影響を受けにくくし、チップ部品の外部電極のメッキ状態のばらつきを解消するためである。ここで、アノード１１６は、バレルユニット５の各停止位置に対応させてそれぞれ配置する。つまり、個々の停止位置で停止中の１個のバレルユニット５の真下位置に１個のアノード１１６を配置する。なお、メッキ液８２に浸漬される引出線は例えばＴｉ等の不溶性金属を用いる。Ｃｕの電解メッキを実行する第１バレルメッキ装置部１ではアノード１１６の材質はＣｕであり、Ｎｉの電解メッキを実行する第２バレルメッキ装置部２ではアノード１１６の材質はＮｉであり、Ｓｎの電解メッキを実行する第３バレルメッキ装置部３ではアノード１１６の材質はＳｎである。
【００５７】
図８の搬送手段のチェーン９１が循環すると矢印Ｄのようにメッキ浴槽８１に投入されたバレルユニット５は矢印の方向に間欠的に進行する。つまり、投入後のバレルユニット５は各停止位置に順次間欠移送される。一方、図８のバレル回転モータ９８の回転はチェーン９２を循環させている。チェーン９２が循環するとバレルユニット５に対して図４のスプロケット４６が回転し、バレル４０を回転させる。従って、バレルユニット５は図８の矢印の方向に間欠搬送されながらバレル４０を別に回転（自転）することになる。回転方向はチェーン９２の循環方向とバレルユニット５の搬送速度による相対関係で決まる。
【００５８】
各停止位置に間欠送りされたバレルユニット５の集電器７１の集電子７２は、対応する給電器１１０の給電レール１１３に接触するようになる。各バレルユニット５が停止している期間において、メッキ用電源より通電が開始され、陰極側は給電レール１１３、集電子７２を経てバレル４０内の内部電極への接続が行われ、陽極側はアノード１１６が引出線１１７を介して既に接続されているので、バレル内の内部電極とアノード１１６間のメッキ液の存在により、バレル４０に収納されたチップ部品の外部電極はメディアを介しあるいは直接に内部電極と接触し、メッキ液によりＣｕやＮｉやＳｎがメッキされる。
【００５９】
この際、メッキ析出量は、メッキ浴槽８１内を間欠搬送される個々のバレルユニット５についての電流値と通電時間の積の総和を個々のバレルユニット毎に制御することで最適化される。
【００６０】
メッキ浴槽８１に投入されたバレルユニット５は間欠搬送されながら各停止位置を経て図８に示すメッキ浴槽８１の右端の取り出し位置に至る。右端の取り出し位置に至ったバレルユニット５は後述する移替手段が当該バレルユニット５の連結棒４５を把持し、持ち上げて次の工程であるバレルメッキ装置部後段の洗浄部１１，１２，１３の水洗槽に移し替える。つまり、第１バレルメッキ装置部１のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５であれば、第１洗浄部１１に、第２バレルメッキ装置部２のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５であれば、第２洗浄部１２に、第３バレルメッキ装置部３のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５であれば、第３洗浄部１３に移し替える。
【００６１】
次に、図１０及び図１１で第１乃至第３洗浄部１１，１２，１３の構成について説明する。これらの洗浄部１１，１２，１３は同じ構成であり、バレルユニット５が１個毎入る３つの区画１２１，１２２，１２３を有する水洗槽１２０を有している。各区画にはバレルユニット５が載置される台座１２５が設置されている。水洗槽１２０には台座１２５上に載置されたバレルユニット５のバレル４０全体が浸る洗浄水１２４が満たされている。そして、各区画１２１，１２２，１１２３に配置されたバレルユニット５のチップ部品及びメッキ用メディアに付着した前段のバレルメッキ装置部のメッキ液を洗浄水で洗浄して落とす。つまり、次段のバレルメッキ装置部のメッキ液を汚染しないようにする。
【００６２】
図１２及び図１３はバレルメッキ装置部１，２，３から後段の洗浄部１１，１２，１３へ、洗浄部１１，１２から後段のバレルメッキ装置部２，３へバレルユニット５を移し替える移替手段としてのピック・アンド・プレース機構１３０を示す。このピック・アンド・プレース機構１３０は、メッキ部架台１０の天井部に固定された横方向レール１３１に沿って横移動する本体１３２と、本体１３２の垂直レール１３３で上下にスライド自在な昇降スライダ１３４と、これに取り付けられたピックアップアーム１３４ａとを有している。ピックアップアーム１３４ａの先端部は図４乃至図６に示すバレルユニット５の連結棒４５に係合するようになっている。
【００６３】
昇降スライダ１３４の昇降駆動は、本体１３２の上下に支持されたプーリー１３５Ａ，１３５Ｂ間にベルト１３５Ｃを張架し、このベルト１３５Ｃに昇降スライダ１３４を固定しておき、上部プーリー１３５Ａをモータ１３６で回転駆動することにより実行する。同様に、本体１３２の横移動もレール１３１の両端部側に固定支持したプーリー１３７Ａ，１３７Ｂ間にベルト１３７Ｃを張架し、このベルト１３７Ｃに本体１３２を固定しておき、ベルト１３７Ｃをモータ１３８で走行駆動することで実行可能である。
【００６４】
このようなピック・アンド・プレース機構１３０は架台１０の必要箇所にそれぞれ配置され、これを用いて、第１バレルメッキ装置部１のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５を第１洗浄部１１の水洗槽１２０の区画１２１に、同様に第２バレルメッキ装置部２のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５を第２洗浄部１２の水洗槽１２０の区画１２１に、第３バレルメッキ装置部３のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５を第３洗浄部１３の水洗槽１２０の区画１２１に移し替える。
【００６５】
また、各洗浄部１１，１２，１３においては、後段のバレルメッキ装置部にバレルユニット５を受け入れる余地が発生する毎に、水洗槽１２０の区画１２３からバレルユニット５を前記ピック・アンド・プレース機構１３０で取り出して後段のバレルメッキ装置部に移し替える。そして、ピック・アンド・プレース機構１３０にて区画１２２のバレルユニット５を区画１２３へ、区画１２１のバレルユニット５を区画１２２に順次移送し、空きとなった区画１２１に前段のバレルメッキ装置部からバレルユニット５を受け入れる。
【００６６】
最後段のバレルメッキ装置部、つまり第３バレルメッキ装置部３のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５はピック・アンド・プレース機構１３０により第３洗浄部１３に移し替えられ、さらに第３洗浄部１３での洗浄処理が終了したバレルユニット５は図１乃至図３に示す傾斜洗浄部１４（バレルユニット５の取り出し位置）に移し替えられる。
【００６７】
受渡装置部２０は、第３バレルメッキ装置部３でバレルメッキ処理して傾斜洗浄部１４での洗浄が終了したバレルユニット５をバレル移送手段により受け取り、当該バレルユニットからチップ部品とメッキ用メディアを取り出して洗浄用ポット３０に移し替えるものであるが、その受渡装置部２０の説明の前に、洗浄用ポット３０の構造について図１４及び図１５を用いて説明する。
【００６８】
図１４及び図１５に示すように、洗浄用ポット３０は、円筒状メッシュポット３１を有する。このメッシュポット３１はステンレス鋼線の網を円筒状にし、円筒網の両端を塞ぐ円盤状の蓋３２Ａ，３２Ｂを装着したものである。図１４のように蓋３２Ａは円筒網の一端に固着され、蓋３２Ａの外側には当該蓋３２Ａの中心に円筒網に平行な軸３３が固着され、軸３３の端部に蓋３２Ａと面を平行にしてスプロケット３４が固着されている。メッシュポット３１の中心とスプロケット３４の回転中心は同心である。
【００６９】
前記蓋３２Ｂは前記円筒網の他方にワンタッチで着脱自在なワンタッチ蓋である。図１５に示すように、蓋３２Ｂには複数本の放射状ピン３５が設けられており、円筒網端部に固着された環状部材３６の内周溝３６ａに突出状態の放射状ピン３５が係合するようになっている。放射状ピン３５は引き込み方向にばね３８で付勢されている。蓋３２Ｂの中央部にはワンタッチのロック解除部材３９が設けられており、ロック解除部材３９のテーパー面３９ａが放射状ピン３５の基端に当接するようになっている。ロック解除部材３９は底面側のコイルばね３９ｂにて突出方向に付勢されている。
【００７０】
従って、ロック解除部材３９に外力が加わらない状態では、図１４に図示の状態であり、ロック解除部材３９のテーパー面３９ａによって放射状ピン３５がばね３８の弾性力に抗して突出方向に駆動されて環状部材３６の内周溝３６ａに係合している。ロック解除部材３９を押せば、テーパー面３９ａの位置が放射状ピン３５から外れて放射状ピン３５はばね３８によって引き込み方向に駆動され、放射状ピン３５と環状部材３６との係合が外れ、蓋３２Ｂを離脱させることができる。逆に蓋３２Ｂを装着するときはロック解除部材３９を押した状態で円筒網端部の環状部材３６に嵌合すればよい。なお、蓋３２Ａと環状部材３６とは補強用ピン３７で連結されている。
【００７１】
このように構成された洗浄用ポット３０は、ワンタッチ蓋３２Ｂを開けた状態にてバレルユニット５のバレルからチップ部品とメッキ用メディアをそのまま移し入れ、その後ワンタッチ蓋３２Ｂを閉めることで、その内部にチップ部品とメディアとを収容保持できる。洗浄用ポット３０のサイズは、例えば円筒網の外径１００mm×長さ２００mmで容量が１５７０ｃｃとし、チップ部品とメディアの合計で８００ｃｃを収容するので約半分の内容量になる。
【００７２】
図１６乃至図２３で受渡装置部２０について説明する。図１６及び図１７は受渡装置部全体の正断面図及び平面図を示し、図１８及び図１９はその受渡装置部の要部構成の正断面図及び平面図を示す。この受渡装置部２０は、受渡装置部架台２１上に設置されたバレル移送手段としてのロボットアーム２２にて第３バレルメッキ装置部３の後段側のバレルユニット取り出し位置である傾斜洗浄部１４からメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収納したバレルユニット５を取り出し、後述する機構にてバレル４０の内容物、つまりメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを図１４及び図１５に示した洗浄用ポット３０に移し替えるものである。なお、ロボットアーム２２はバレル排出手段としても機能し、空になったバレルユニット５を図３のバレルユニット排出部７に移送する。
【００７３】
一方、新規の（空の）洗浄用ポット３０の供給手段及びメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアが移し替えられた洗浄用ポット３０の分離洗浄装置部２５への排出手段としてロボットアーム２３が前記架台２１上に設けられている。
【００７４】
各ロボットアーム２２，２３自体は汎用の装置を用いるが、そのアタッチメントに関しては本装置に適用する構成にしてある。左側のロボットアーム２２のアタッチメント２２ａはバレルユニット５を把持するためのものであり、右側のロボットアーム２３のアタッチメント２３ａは洗浄用ポット３０を把持するためのものである。
【００７５】
受渡装置部２０は、第１及び第２のロボットアーム２２，２３の他に、メッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収納したバレルユニット５のバレル４０の開閉蓋５２を開ける蓋開け手段１４０と、バレルユニット５を載置する載置台１７１を有していて、蓋開け手段１４０で開閉蓋５２を開けられたバレル４０の開口を傾斜させて下に向けるバレル支持手段１７０と、前記開閉蓋５２を開けられたバレル４０から落下したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受ける漏斗１９０と、該漏斗を通って落下したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受け取る位置に洗浄用ポット３０を支えるポット支持手段２００と、前記漏斗１９０及び洗浄用ポット３０が浸るように衝撃緩和用液体としても機能する洗浄水Ｗを満たすことのできる液槽２１０と、洗浄用ポットを前記漏斗下方の液槽内位置と液槽外位置との間で移送するポット移送手段２２０とを備えている。前記衝撃緩和用液体を兼ねた洗浄水Ｗとして、第１乃至第３洗浄部１１，１２．１３、傾斜洗浄部１４や分離洗浄装置部２５と共用して洗浄水を循環し用いるのが好都合である。
【００７６】
図２０のように、バレルユニットを載置する載置台１７１は、架台２１上に立設された固定台２４で軸支された回転軸１７２と一体となって回転可能であり、回転軸１７２は歯車等の伝動機構を介して傾斜駆動用モータ１７３により０°〜１３５°の範囲で回転駆動される。また、載置台１７１はバレル４０を載せたときにこれを回転自在に支える空転テーブル１７１ａを上側に有している。回転軸１７２の回転角０°では載置台１７１の載置面（空転テーブル上面）は水平であり、回転角１３５°でその載置面は斜め下向きとなる。
【００７７】
載置台１７１上にはバレル４０の一端（下側）の円形リング５３ａ（蓋５３の外周）を回転自在に保持するように先端部がローラーとなった保持チャック１７４が設けられている。保持チャック１７４はエアーシリンダ１７６で前後に動くものであり、前進時にバレル４０を落下しないように保持（挟持）する。また、載置台１７１に立設された支柱１７７の上端には、バレル４０の他端（上側）の円形リング５２ａを回転自在に支持するように当接ローラー１７８が枢着されている。また、載置台１７１に立設された支柱１７９の上端には、エアーシリンダ１８３が取り付けられ、このピストンロッド側にモータ取付板１８０が固着され、ここにバレル回転駆動モータ１８１が設置されるとともに前記円形リング５２ａを回転駆動するための駆動ローラー１８２が枢着されている。駆動ローラー１８２は歯車機構等の伝動機構を介してモータ１８１で回転駆動される。そして、エアーシリンダ１８３の伸びた状態で駆動ローラー１８２はバレル側円形リング５２ａに圧接する。その圧接位置は当接ローラー１７８の当接位置の正反対側である。
【００７８】
前記蓋開け手段１４０は前記載置台１７１の載置面上に載置されたバレルユニット５のバレル４０から開閉蓋５２を回転して外すものであり、架台２１の上部に固定の支持フレーム１４１、支持フレーム１４１で垂直に固定支持されるガイドロッド１４２、及びガイドロッド１４２に昇降自在に嵌合している昇降台１４３を有している。さらに、支持フレーム１４１には前記ガイドロッド１４２に平行にボール螺子軸１４４が軸支され、支持フレーム１４１に固定の昇降用モータ１４５によってボール螺子軸１４４はベルト等の伝動機構を介し回転駆動される。前記昇降台１４３にはボール螺子軸１４４に螺合するボール螺子ナット１４６が取り付けられており、昇降用モータ１４５を回転することで昇降台１４３は昇降駆動される。
【００７９】
昇降台１４３には蓋開け用回転軸１４７が軸支されており、この下部に蓋開け用回転部１４８が固着され、バレル４０の開閉蓋５２（又は開閉蓋５２に一体の部材）に係合する蓋保持チャック１４９が回転部１４８に設けられている。蓋保持チャック１４９はエアーシリンダ１５０で前後に動くものであり、前進時に開閉蓋５２を保持（挟持）する。前記回転軸１４７は昇降台１４３に取り付けられた蓋開け用モータ１５１にて歯車機構等の伝動機構を介し回転駆動される。
【００８０】
従って、バレル４０を保持チャック１７４で保持し、かつローラー１７８，１８２でバレル４０を挟持してバレル回転駆動モータ１８１の回転停止状態としておき、昇降台１４３を下降位置とし、蓋保持チャック１４９で開閉蓋５２を保持した状態で前記蓋開け用モータ１５１を回転駆動することで、バレル４０の開閉蓋５２を外すことができる。また、その後昇降台１４３を上昇させることで、図２２に示すように開閉蓋５２と一体の電極構造体６１（金属導体６２，６３及び内部電極となる金属導体６４）をバレル４０の本体の外に引き出すことができる。この図２２の状態では、１対の半円筒カバー１６０にて電極構造体６１を囲み、洗浄水噴射ノズル１６１から洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）のシャワーを噴射して電極構造体６１に付着したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを洗い流してバレル４０の本体内に落下させることができる。なお、半円筒カバー１６０の下部にはチップ部品やメディアを確実にバレル４０の本体内に戻すためのガイド１６０ａが一体化されている。
【００８１】
図１６及び図１８の仮想線のように、開閉蓋５２を外した後のバレル４０を斜め下を向けた状態では、その内容物であるメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアは漏斗１９０を通して洗浄用ポット３０の開口よりその内部に入れられるのであるが、一部の内容物がバレル４０の内側に付着している恐れがあり、そのため載置台１７１と一体に傾動するエアーシリンダ１６５の先端に洗浄水噴射ノズル１６６が取り付けられ、バレル４０の内面に洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）をシャワー状に噴射できるようになっている。
【００８２】
図２１のように、前記架台２１上には衝撃緩和用液体としても機能する洗浄水Ｗを満たした液槽２１０が設置されている。また、液槽２１０の外側位置にて漏斗支持アーム２１１が架台２１に固定され、このアーム２１１に固定の昇降用エアーシリンダ２１２のピストンロッド側に漏斗１９０がその液槽２１０の上縁に近い高さで支持されている。液槽２１０の底部には途中に開閉バルブ２１４を設けた排液管２１３が接続され、その管２１３の下端は排液路２１６に導かれている。また、液槽２１０から溢れた洗浄水を受ける樋状部２１７と排液路２１６間も排液管２１８で接続されている。
【００８３】
図１８、図２１等に示すように、漏斗１９０を通って落下したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受け取る位置に洗浄用ポット３０を支えるポット支持手段２００は、架台２１側にて支持された支持枠２０１と、該支持枠２０１で軸支された回転駆動軸２０２と、回転駆動軸２０２の下端部に固着されたポット支持テーブル２０３とを有している。ポット支持テーブル２０３は、１８０°毎に、つまり２箇所に洗浄用ポット３０を立てて保持するポット受座２０３ａを有している。
【００８４】
支持枠２０１上にはテーブル回転モータ２０４が設置され、このモータ２０４によって歯車機構等の伝動機構を介し回転駆動軸２０２が回転駆動される。位置Ｐ１にある一方のポット受座２０３ａは漏斗１９０の下方位置にて停止し、その受座２０３ａ上に載置された洗浄用ポット３０の開口が漏斗１９０の下方に位置するように位置決めする。
【００８５】
前記漏斗１９０は、昇降用エアーシリンダ２１２の下降位置で液槽２１０の衝撃緩和用液体としても機能する洗浄水Ｗに浸っている状態（少なくともメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受ける面が前記洗浄水Ｗ中に浸っている状態）であり、上昇位置では前記ポット支持テーブル２０３に載置された洗浄用ポット３０の移動を妨げないように上昇位置となる。なお、図２３のように、上昇位置の漏斗１９０の内面に洗浄水噴射ノズル２１５から洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）をシャワー状に噴射して漏斗１９０上に残っていたメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを洗浄用ポット３０に入れるようにする。
【００８６】
洗浄用ポットを漏斗下方の液槽２１０内位置と液槽２１０外位置との間で移送するポット移送手段２２０は、架台２１に垂直に立設固定される複数本のガイド軸２２１と、これらのガイド軸２２１の上部に取り付けられた支持板２２２と、ガイド軸２２１によって昇降自在に支持される昇降部材２２３と、ガイド軸２２１と平行に設けられたボール螺子軸２２４と、これを伝動機構を介し回転駆動する駆動用モータ２２５と、昇降部材２２３に枢着されて所定範囲で回動する回動アーム２３６と、回動アーム２３６の先端部下側に取り付けられた開閉チャック２２７とを有している。前記昇降部材２２３はボール螺子軸２２４に螺合するボール螺子ナットを有しており、前記モータ２２５を回転させることで昇降部材２２３は昇降する。開閉チャック２２７はエアーシリンダにて開閉動作を行うものであり、閉じたときに洗浄用ポット３０の着脱式蓋３２Ｂを含む上端部を保持（挟持）できる構造である。
【００８７】
前記架台２１上には所定の高さで液槽２１０外位置であるポット仮置き台２３０が設置されている。この仮置き台２３０には、ロボットアーム２３で図１７の新規（空の）洗浄用ポット供給部８の所定供給位置から新規の（空の）洗浄用ポット３０を把持して移載することができる。また、漏斗１９０の下方位置から外れた方の位置Ｐ２にある受座２０３ａからポット移送手段２２０のチャック２２７でメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアが移し替えられた洗浄用ポット３０を取り出し、ポット仮置き台２３０に載置することができる。
【００８８】
なお、前記チャック２２７は洗浄用ポット３０のワンタッチ着脱式蓋３２Ｂのロック解除部材３９を押圧することで着脱式蓋３２Ｂとポット３０の本体との係合を外す機能を併せ持ち、着脱式蓋３２Ｂの付いた新規の洗浄用ポット３０を位置Ｐ２の受座２０３ａに載置後、チャック２２７は着脱式蓋３２Ｂを外して持ち帰る。また、ポット支持テーブル２０３の回転により位置Ｐ１から位置Ｐ２に移されたメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収容した洗浄用ポット３０に対してはチャック２２７は持っていた着脱式蓋３２Ｂを装着してからポット仮置き台２３０に移送する。
【００８９】
右側のロボットアーム２３はポット仮置き台２３０に載置された洗浄用ポット３０（メッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収容したもの）を分離洗浄装置部２５のポット受入位置Ｑに移送する。ポット仮置き台２３０が空くとロボットアーム２３は図１７の洗浄用ポット供給部８から新規の洗浄用ポット３０（着脱式蓋３２Ｂのついたもの）をポット仮置き台２３０に移送する。
【００９０】
次に、受渡装置部２０の全体的な動作説明を行うと、まず、ロボットアーム２２にて第３洗浄部１３後段の最後尾のステーションである傾斜洗浄部１４からメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収納したバレルユニット５を取り出し、バレル支持手段１７０の載置台１７１上に移載する。
【００９１】
載置台１７１上に上向きに置かれたバレルユニット５に対して蓋開け手段１４０にてバレル４０の開閉蓋５２を開ける。すなわち、図２０の蓋保持チャック１４９にて開閉蓋５２を保持して回転させることで開閉蓋５２を解放する。
【００９２】
そして、蓋保持チャック１４９が設けられた昇降台１４３を上昇させることで、図２２に示すように開閉蓋５２と一体の内部電極を含む電極構造体６１をバレル４０の本体の外に引き出し、１対の半円筒カバー１６０にて電極構造体６１を囲み、洗浄水噴射ノズル１６１から洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）のシャワーを噴射して電極構造体６１に付着したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを洗い流してバレル４０の本体内に落下させる。
【００９３】
一方、ロボットアーム２３は図１７の洗浄用ポット供給部８から新規の洗浄用ポット３０（着脱式蓋３２Ｂのついたもの）をポット仮置き台２３０に移送し、この上に載置された洗浄用ポット３０をさらにポット移送手段２２０のチャック２２７で保持して液槽２１０内におけるポット支持テーブル２０３の位置Ｐ２の受座２０３ａに載置する。チャック２２７はその洗浄用ポット３０から着脱式蓋３２Ｂを外し、当該着脱式蓋３２Ｂを保持して待機位置に復帰する。位置Ｐ２の受座２０３ａに置かれた上部が開口した洗浄用ポット３０は前記テーブル２０３の半回転（１８０°回転）で位置Ｐ１に移送されて漏斗１９０の下方位置となる。なお、位置Ｐ２の空きとなった受座２０３ａには次の新規の洗浄用ポット３０が移送される。
【００９４】
前述のように電極構造体６１に付着したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを洗い流した後、載置台１７１を回転し、図１６や図１８仮想線のようにバレル４０を斜め下向きに傾斜させる。これによりバレル４０の内容物は漏斗１９０を通してその下方に待機した洗浄用ポット３０の開口に入る。このとき、漏斗１９０は下降位置でメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受ける面が液槽２１０に満たされた衝撃緩和用液体としても機能する洗浄水Ｗに浸っている状態であり、メッキ済チップ部品及びメッキ用メディアは洗浄水Ｗで落下速度が低下し、漏斗１９０に当たるときの衝撃が緩和されることになる。この結果、メッキ済チップ部品の割れ、欠け等の破損を防止できる。なお、バレル４０内面に付着したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアはバレル４０を回転させながら洗浄水噴射ノズル１６６でバレル内側に向け洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）をシャワー状に出して漏斗１９０上に落下させる。
【００９５】
内容物の無くなったバレル４０を持つバレルユニット５は載置台１７１が水平位置に復帰することで上向きとなり、蓋開け手段１４０にて保持されていた開閉蓋５２がバレル４０に装着された後、ロボットアーム２２にて図１７のバレルユニット排出部７に排出される。
【００９６】
漏斗１９０上に残ったメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアは図２３のように、上昇位置とした漏斗１９０の内面に洗浄水噴射ノズル２１５から洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）をシャワー状に噴射して洗浄用ポット３０内に落下させる。
【００９７】
バレル４０の内容物が移し替えられた位置Ｐ１の洗浄用ポット３０は、ポット支持テーブル２０３の半回転で位置Ｐ２となり、着脱式蓋３２Ｂを持って待機していたチャック２２７が下降して洗浄用ポット３０の着脱式蓋３２Ｂを装着してからポット仮置き台２３０に移載する。そして、ポット仮置き台２３０上のメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収容した洗浄用ポット３０はロボットアーム２３にて分離洗浄装置部２５のポット受入位置Ｑに移送する。ポット仮置き台２３０があくとロボットアーム２３は図１７の洗浄用ポット供給部８から新規の洗浄用ポット３０（着脱式蓋３２Ｂのついたもの）をポット仮置き台２３０に移送する。
【００９８】
図２４乃至図３０を用いて分離洗浄装置部２５について説明する。図２４は分離洗浄装置部２５の主要部全体構成を示す正断面図、図２５は平面図である。この分離洗浄装置部２５は、ポット受入位置Ｑで受け入れた洗浄用ポット３０を間欠搬送し、移送される洗浄用ポット３０内のメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを洗浄水（例えば、前段では工業用水、後段では純水）により洗浄するとともに、メディアは洗浄用ポット３０の外部に落下させ、洗浄用ポット３０内にメッキ済チップ部品のみが残るようにする処理を行う。
【００９９】
バレル電解メッキ処理において、チップ部品とメッキ用メディアはバレル内に一緒に収容されているが、前述したように、受渡装置部２０において、分離洗浄乾燥処理の前に、バレルから図１４及び図１５に示した洗浄用ポット３０にチップ部品とメディアは入れ替えられている。図２６の洗浄用ポット３０の模式図に示すように、洗浄用ポット３０のサイズが、例えば円筒網の外径１００mm×長さ２００mmで容量が１５７０ｃｃであるとすると、チップ部品ＣとメディアＭの合計で８００ｃｃを収容するので約半分の内容量になる。
【０１００】
分離洗浄装置部２５は、分離洗浄装置部架台２６上にメディア分離部２５０、超音波洗浄部２６０、純水リンス部２７０及び乾燥部２８０を備えており、チップ部品ＣとメディアＭを入れた専用の洗浄用ポット３０を受け取り、メディア分離部２５０によって始めにチップ部品ＣとメディアＭを洗浄しながら分離し、超音波洗浄部２６０にてチップ部品Ｃを超音波洗浄し、純水リンス部２７０にてチップ部品Ｃを純水で洗浄し、乾燥部２８０でチップ部品Ｃを乾燥し、専用の洗浄用ポット３０からチップ部品Ｃを取り出す次の工程に対し、この洗浄用ポット３０を受け渡すまでを１パスで自動的に行う構成である。
【０１０１】
例えば、チップ部品Ｃは寸法が長さ１．６mm、幅０．８mm、厚さ０．８mmを製品１６０８と呼ぶことにする、製品とメディアサイズの関係について、製品１６０８に対して、メディアＭは形状が球形で外径０．５７mmを選択しメディアサイズφ０．５７と呼ぶことにする。洗浄用ポット３０は円筒状のメッシュポット３１を有し、このメッシュポット３１はメディアサイズφ０．５７が通過し製品１６０８が通過しないメッシュで構成する。チップ部品Ｃの寸法が異なるとメディアＭの形状やサイズを変更し、洗浄用ポット３０のメッシュポット３１のメッシュを変更することになる。
【０１０２】
洗浄用ポット３０を搬送しながらチップ部品ＣとメディアＭを分離し、その後に乾燥までの一連の自動化を図るためには、メディアＭの分離、チップ部品Ｃの洗浄、乾燥まで洗浄用ポット３０を共用することが重要であり、洗浄用ポット３０は上記工程を通して使用できる専用のメッシュポットを具備している。
【０１０３】
この洗浄用ポット３０に対して、バレルからチップ部品ＣとメディアＭをそのまま移し入れワンタッチ蓋３２Ｂを閉めたものが、受渡装置部２０により分離洗浄装置部２５の入口（ポット受入位置Ｑ）に載置され、ここから分離洗浄装置部２５の搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂに載せることで一連の分離、洗浄、乾燥プロセスが完了できるようになっている。
【０１０４】
図２４及び図２５に示す如く、分離洗浄装置部２５はその架台２６に各機構を組み付けて構成してある。架台２６に固定する軸受２８が軸支する軸２９と、軸２９に嵌着するスプロケットは複数組が備えられる。図２５の複数のスプロケット２９０Ａ間には洗浄用ポット３０を回転駆動するための回転用チェーン２９１が張架されている。また、軸２９の両側に設けられたスプロケット２９０Ｂ，２９０Ｃ間には洗浄用ポット３０を搬送する一対の搬送用チェーン２７Ａ，２７Ｂが張架されている。つまり、搬送用チェーンは図２４の手前からチェーン２７Ａ，２７Ｂと複数が備えられる。この状態は、図２４に対し直交する方向からチェーン２７Ａ，２７Ｂ上の洗浄用ポット３０を見て示す図１４により詳しく示され、洗浄用ポット３０のメッシュポット３１の両側に搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂが位置するように設定している。搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂは対向する位置のリンク軸を延長するステーピン２７Ｐで一体化され、搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂは複数のステーピン２７Ｐを梯子のような形態に備える。そうして、搬送チェーン２７Ａは複数のスプロケット２９０Ｂで、搬送チェーン２７Ｂは複数のスプロケット２９０Ｃで、各々張架されている。回転用チェーン２９１は図１４に示す如く洗浄用ポット３０が備えるスプロケット３４に係合する。搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂを連結するステーピン２７Ｐは両端にローラ２９５Ａ，２９５Ｂを回転自在に支持し、隣り合うローラ２９５Ａの２個と、隣り合うローラ２９５Ｂの２個で計４個が１つの洗浄用ポット３０を回転自在に支持する構成である。これらの搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂ等を含む機構が搬送機構をなしている。
【０１０５】
また、走行する回転用チェーン２９１にて前記洗浄用ポット３０側スプロケット３４を回転させると、軸３３から蓋３２Ａを経てメッシュポット３１に回転力が伝わり、結局、洗浄用ポット３０は一体にローラ２９５Ａ，２９５Ｂに回転自在に支持され回転することになる。これらの回転用チェーン２９１を含む機構が洗浄用ポット３０を回転させる回転駆動手段をなしている。
【０１０６】
図２４の左端の洗浄用ポット受入側には洗浄用ポット３０を搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂ上に自動載置するためのローダー３００が設置されている。
【０１０７】
また、図２４において架台２６右端にモータ２９８，２９９が固定されている。モータ２９８の出力軸に固着したスプロケットと軸２９に固着したスプロケット間にチェーンを張架して、モータ２９８の出力軸が回転すると搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂが循環する仕組みとする。モータ２９９の出力軸に固着したスプロケットと軸２９Ａに固着したスプロケット間にチェーンを張架して、モータ２９９の出力軸が回転すると回転用チェーン２９１が循環する仕組みとする。
【０１０８】
架台２６の上方に複数のチェーンガイドが固定される。チェーンガイドは図２４の手前から直交する方向にチェーンガイド２９３Ａ，２９３Ｂと備えられ、チェーンガイド２９３Ａは図２４の手前において横一列に複数個が配置され、チェーンガイド２９３Ｂは図２４の奥側において横一列に複数個が配置される。チェーンガイド２９３Ａは搬送チェーン２７Ａを支持し、チェーンガイド２９３Ｂは搬送チェーン２７Ｂを支持する。
【０１０９】
図２４に示すように、分離洗浄装置部２５は矢印Ｐの方向に洗浄用ポット３０を搬送する構成であるが、搬送される洗浄用ポット３０に対し行われるプロセス用の構成を順に説明する。なお、本実施の形態では洗浄用ポット３０の搬送は間欠搬送であるものとする。
【０１１０】
図２７及び図２８に示すように、メディアＭを分離排出するメディア分離部２５０がポット搬送方向よりみて最前位置に配置されている。このメディア分離部２５０はシャワー部２５１を備えている。シャワー部２５１はシャワーノズル２５２を備え、シャワーノズル２５２は噴出口２５３を備えていて、洗浄水を噴出する噴出手段を構成している。噴出口２５３は洗浄用ポット３０の円筒方向に延長する長方形で細長い開口であり、例えば洗浄水を下方の洗浄用ポット３０の円筒方向全長にわたりナイフエッジ状に噴出する。図２８のように矢印Ｐ１方向に間欠搬送される洗浄用ポット３０の下方にはメディアＭや洗浄水の排出路２５４を配置する。排出路２５４は漏斗状のシュート２５５と排出口２５６でなり、シュート２５５でメディアＭや洗浄水を受けて排出口２５６から洗浄水分離部２５７に排出する。図２８は矢印ＴでメディアＭや洗浄水が移動することを示すが、排出口２５６の真下に洗浄水分離部２５７を配置するか、排出口２５６にダクトやパイプを接続する構成とすれば真下に位置しなくてもよい。いずれにしても、排出口２５６から排出されたメディアＭや洗浄水は全て洗浄水分離部２５７に至る構成である。
【０１１１】
シャワー部２５１での条件として例えば、メッシュポット３１を有する洗浄用ポット３０の回転数を２５〜３０rpmとし、噴出口２５３のスリット寸法は幅０．８〜１．０mm×長さ２５０mmとし、噴出する洗浄水量は５０リットル／分以上とし、分離に要する時間を１８０秒とすると、ほぼ完全に洗浄用ポット３０からメディアＭを分離することが可能である。シャワー部２５１により分離されたメディアＭが、約４分毎に２．５ｋｇ（容量にして５００ｃｃ以上）ずつ排出されることになり、図２８のようにシュート２５５で受け止めて洗浄水と同時に排出口２５６から排出し、洗浄水分離部２５７のメッシュ篭２５８内に導いてメディアＭを残し洗浄水は通過させて水切りする構成である。メッシュ篭２５８は円筒網の内周に螺旋状ヒレ２５９を設けたものであり、かつ円筒網はその円筒中心を回転中心として回転駆動されるようになっている。回転するメッシュ篭２５８内に洗浄水とともに導入されたメディアＭはメッシュ篭２５８により通過を阻止され、メッシュ篭２５８内側の螺旋ヒレ２５９の働きで篭左端方向に移送され、水タンク３０１の横に併設されたメディア回収箱３０２内に次々に落下する。洗浄水はメッシュ篭２５８を通過して下方の水タンク３０１に戻る。図２８に示すように、水タンク３０１内の水をポンプ３０３で汲み上げてシャワーノズル２５２に供給する。つまり、水タンク３０１の下方にパイプ３０４が接続し、パイプ３０４の他端にポンプ３０３が接続し、ポンプ３０３の出口に接続したパイプ３０５を通してシャワーノズル２５２に水を供給するようになっている。
【０１１２】
なお、後述するが水タンク３０１内の水は超音波洗浄部２６０と純水リンス部２７０でも使用するため、水タンク３０１に補給する水は純水とする。
【０１１３】
図２８に示すように、洗浄用ポット３０の搬送方向よりみてメディア分離部２５０の後に超音波洗浄部２６０と純水リンス部２７０とが設けられている。超音波洗浄部２６０において、矢印Ｐ２の方向に間欠搬送されながら回転するメッシュポット３１を有する洗浄用ポット３０に対し超音波洗浄する構成であり、洗浄槽２６１は４側面の角筒形状に底２６２を備える容器であって、上面の開口と下方の排水口２６３を備える。さらに、洗浄用ポット３０の搬送路において開口２６４，２６５を備え、開口２６４を開閉するシャッター２６６と、開口２６５を開閉するシャッター２６７とを備える。シャッター２６６，２６７は開口２６４，２６５の上部に枢支され、仮想線２６６’，２６７’に示す位置まで揺動して開閉する。シャッター２６６，２６７は図示しない駆動手段（例えば空庄あるいは油圧あるいは電動等）で開閉する構成である。間欠走行する搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂでシャッター２６６，２６７の開いているときに洗浄槽２６１内に１つの洗浄用ポット３０を送り込んだ後、シャッター２６６，２６７を閉めると洗浄槽２６１は上面の開口以外は下方の排水口２６３が開口するだけである。排水口２６３はスリット状で所定の流量を通過させるが、水タンク３０１から所定量の水をポンプ３０３で補給することで洗浄槽２６１内の水位を保つ。つまり、水タンク３０１の下方にパイプ３０４が接続し、パイプ３０４の他端にポンプ３０３が接続し、ポンプ３０３の出口にパイプ３０５が接続する循環系において、洗浄槽２６１に所定の量の水を補給することで水位を保つ構成である。シャッター２６６，２６７を開く前には水補給を止めて開口の下辺以下に水位を下げてから開くようにする。
【０１１４】
超音波洗浄部２６０は、洗浄槽２６１に対して、例えば洗浄用ポット３０の搬送経路の下側に超音波振動子２６８を配置する。但し、超音波振動子の個数及び配置は超音波洗浄が有効に行われる範囲で任意である。超音波振動子２６８は図示しない駆動電源に接続されており、駆動電源（超音波発振器）から電力を供給すると振動し、洗浄槽２６１に所定の水位を保ち収容された水に超音波振動を与える。所定の位置の洗浄用ポット３０は超音波振動子２６８から最も効率的に超音波振動を受ける位置にあり、洗浄用ポット３０内のチップ部品Ｃを効果的に振動させてチップ部品Ｃから付着物を除去し、また、純水置換によりより高度な洗浄をする。洗浄用ポット３０を各々次の位置に搬送する前にはポンプ３０３を止めて洗浄槽２６１の水位を下げ、シャッター２６６，２６７を仮想線の位置に開いてから洗浄用ポット３０を各々次の位置に搬送し、各々次の位置に洗浄用ポット３０が停止するとシャッター２６６，２６７を閉じてからポンプ３０３を運転し、洗浄槽２６１に所定の量の水を供給し水位を所定の位置に回復する。このためポンプ３０３と超音波振動子２６８は間欠的な運転をすることになる。なお、前記洗浄槽２６１の排水口２６３から出た水は漏斗状のシュート２５５、洗浄水分離部２５７を経て水タンク３０１に戻るようになっている。
【０１１５】
純水リンス部２７０と純水の循環処理系について説明すると、純水リンス部２７０は前記シャワーノズルとは異なるスプレーノズル２７１を備える。スプレーノズル２７１は洗浄用ポット３０の円筒に平行なパイプ２７２と、ポット円筒方向に沿ってパイプ２７２の長手方向に配列された複数個の噴射口２７３とを備え、加圧された純水がパイプ２７２に供給されると噴射口２７３から洗浄用ポット３０に噴射する構成であり、噴射により洗浄用ポット３０が純水でリンスシャワーされ、チップ部品Ｃの表面は純水置換される。噴射後の水は漏斗状のシュート２５５、洗浄水分離部２５７を経て水タンク３０１に戻るようになっている。洗浄用ポット３０は搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂの間欠走行により矢印Ｐ３の方向に搬送され超音波洗浄部２６０から純水リンス部２７０に搬入され、リンスシャワーを受けた後、次の位置に送り出される。
【０１１６】
前記水タンク３０１には純水を補給するが、メディア分離部２５０、超音波洗浄部２６０及び純水リンス部２７０で循環使用するため、回収した水は幾分汚れている可能性がある。メディア分離部２５０及び超音波洗浄部２６０ではポンプ３０３で水タンク３０１内の水を直接汲み上げて使用可能であるが（必要ならば汚染物質を除去するフィルターを通す）、純水リンス部２７０では純水のリンスシャワーをかける必要上、水タンク３０１の水を直接使用することはできない。このため、水タンク３０１の最下方にパイプ３１０が接続し、パイプ３１０の他端にポンプ３１１が接続し、ポンプ３１１の吐出口にパイプ３１２が接続し、パイプ３１２の他端にＵＶ殺菌部３１３が接続し、ＵＶ殺菌部３１３の出口にパイプ３１４を介して１０μｍのフィルター３１５が接続し、フィルター３１５の出口にパイプ３１６を介してイオン交換器３１７が接続し、イオン交換器３１７の出口にパイプ３１８を介して１μｍのフィルター３１９が接続し、フィルター３１９の出口にパイプ３２０が接続し、パイプ３２０の他端はスプレーノズル２７１のパイプ２７２に接続する構成とする。パイプ２７２はパイプ３２０の接続を除き複数個の噴射口２７３が外部に開口するのみであり、ポンプ３１１で加圧された純水がパイプ２７２に循環すると噴射口２７３から洗浄用ポット３０に噴射する。タンク３０１からの水がポンプ３１１で循環する途中のＵＶ殺菌部３１３はＵＶ殺菌灯で水を照射してバクテリア等を死滅させ、フィルター３１５，３１９は、洗浄工程で水が除去し含有した塵、バクテリア等の死菌、ポンプの発塵等の微粒子を除去し、イオン交換器３１７は使用済み水に含有するイオンを除去して純水リンス部２７０に純水として供給する。なお、水タンク３０１に新しい純水３３０の所定量を補給し、純水の循環系と循環処理系に保有される純水の量を常に所定量に保つようにする。
【０１１７】
図２９に示すように乾燥部２８０は、洗浄用ポット３０を矢印Ｐ４の方向に搬送する搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂに沿い、エアブロー部２８１，２８２を備えている。そのエアーブロー部２８１におけるエアー供給の構成は、大気の取込口にサクションフィルター２８４を備えるブロアー２８５と、ブロアー２８５のエアー出口に接続するパイプ２８６と、パイプ２８６の他端に微粒子の除去等に有効なエアーフィルターであるヘパフィルター２８７が接続し、ヘパフィルタ２８７の出口にパイプ２８８が接続する。パイプ２８８はエアープロ一部２８１でパイプ２８８Ａ，２８８Ｂ，２８８Ｃに分岐する。エアーブロー部２８１はエアーブローノズル３３１，３３２とスポットノズル３３３を備え、パイプ２８８Ａに接続するエアーブローノズル３３１は噴気口３４１を備え、パイプ２８８Ｂに接続するエアーブローノズル３３２は噴気口３４２を備える。噴気口３４１，３４２は洗浄用ポット３０の円筒方向に長いノズルスリットであり、例えばノズルスリットの寸法として幅０．５mmで長さが３５０mmとすることができ、上方から下方の洗浄用ポット３０に向かってエアーブロー（空気流）３５１，３５２を噴出する構成である。また、パイプ２８８Ｃに接続するスポットノズル３３３は噴気口３４３を備え、洗浄用ポット３０の円筒方向に複数個が配置され、上方から下方の洗浄用ポット３０に向かってエアーブロー３５３を噴出する構成である。
【０１１８】
エアーブロー部２８２はエアーブロー部２８１の後段に配置されており、洗浄用ポット３０の配置された室３６０の全体に前記ヘパフィルタ２８７を通過したエアーを通過させて洗浄用ポット３０内のチップ部品Ｃを乾燥させている。
【０１１９】
前記エアーブロー部２８１，２８２は洗浄用ポット３０の搬送経路下方にエアー及び水滴の排出路３６１を備える。排出路３６１はエアーブロー部２８１下方に漏斗状をしており、下端に排出口３６２を有し、排出路３６１の途中位置に受け網３６３が配置される。排出口３６２は排出パイプ３６４を通して前記水タンク３０１に接続されている。排出路３６１を下降した水滴は受け網３６３を通過して排出口３６２に至り、排出パイプ３６４を経て水タンク３０１に戻る。洗浄用ポット３０は乾燥部２８０に至っても僅かながらメディアＭが残存している可能性があり、洗浄用ポット３０に上方からエアーブローすると水滴と共に残存するメディアＭも落下する。この落下するメディアＭを受け止めるのが受け網３６３であり、水滴だけが下方の排出口３６２に降下してメディアＭを回収することになる。また、乾燥における条件として例えば、メッシュポット３１を有する洗浄用ポット３０を２５〜３０rpmで回転させながら、エアブロー部２８１において１８０秒の乾燥時間を設けたところ、１２０秒ほどから急速に乾燥しはじめ１８０秒では完璧に乾燥することが確認された。さらにエアーブロー部２８２で洗浄用ポット３０全体に送風することで乾燥を一層確実にしている。
【０１２０】
図３０は分離洗浄装置部２５の工程を示すフローチャートであり、これにより分離洗浄装置部２５の全体的な動作説明を行う。
【０１２１】
分離洗浄装置部２５に洗浄用ポット３０を投入すると、図２４のローダー３００で搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂを有する搬送機構上に載置され、まずメディア分離部２５０に間欠搬送され、ここのシャワー部２５１において洗浄用ポット３０を回転させながら洗浄水を噴射して洗浄用ポット３０からメディアＭを分離する。メディアＭは図２８の洗浄水分離部２５７が有するメッシュ篭２５８を介してメディア回収箱３０２内に回収される。洗浄水はメッシュ篭２５８を通過して水タンク３０１に戻る。なお、シャワー部２５１への洗浄水の供給は水タンク３０１の水をポンプ３０３で汲み上げることにより行う。
【０１２２】
洗浄用ポット３０は搬送機構によりメディア分離部２５０から図２８の超音波洗浄部２６０のシャッター２６６，２６７が開いた状態において洗浄槽２６１内に導入される。洗浄用ポット３０が洗浄槽２６１内に入るとシャッター２６６，２６７が閉じ、洗浄槽２６１内に洗浄水が満たされ、超音波振動子２６８より超音波を放射し、洗浄用ポット３０内のチップ部品Ｃに超音波振動を与えることで超音波洗浄が行われる。なお、前記洗浄槽２６１への洗浄水の供給は水タンク３０１の水をポンプ３０３で汲み上げることにより行う。
【０１２３】
超音波洗浄の終了した洗浄用ポット３０は洗浄槽２６１内の水位を下げ、シャッター２６６，２６７を開いた状態にて搬送機構により純水リンス部２７０に移送される。純水リンス部２７０においては図２８のスプレーノズル２７１から洗浄用ポット３０に純水を噴射して洗浄し、チップ部品Ｃの表面を純水置換する。スプレーノズル２７１への純水の供給はポンプ３１１で水タンク３０１の水を汲み上げ、ＵＶ殺菌部３１３、１０μｍのフィルター３１５、イオン交換器３１７、１μｍのフィルター３１９を通して行う。
【０１２４】
純水リンス部２７０を出た洗浄用ポット３０は、搬送機構の間欠搬送により乾燥部２８０のエアブロー部２８１，２８２の順に移送され、サクションフィルター２８４を持つブロアー２８５よりヘパフィルター２８７を介して送風し、エアーブローによってチップ部品Ｃは乾燥させられる。その後、洗浄用ポット３０が搬送機構の排出側端に移送され、さらに図２の洗浄用ポット排出部９に移載される。
【０１２５】
次に第１バレルメッキ部１乃至分離洗浄装置部２５に至る全体の動作説明を行う。
【０１２６】
図２のバレルユニット供給部６からメッキ部架台１０の下段位置にある第１バレルメッキ部１にピック・アンド・プレース機構によりバレルユニット５が供給されると、第１バレルメッキ部１はそのメッキ浴槽のメッキ液にバレルユニット５のバレル４０部分を浸漬けながら間欠搬送し、Ｃｕの電解メッキ処理を行う。その後、第１バレルメッキ部１と第２バレルメッキ部２間のピック・アンド・プレース機構１３０にて第１バレルメッキ部１から第１洗浄部１１に移し替える。
【０１２７】
第１洗浄部１１にてメッキ液を洗浄水で落とした後、ピック・アンド・プレース機構１３０によって第２バレルメッキ部２にバレルユニット５を移し替え、ここでＮｉの電解メッキ処理を行う。その後、エレベータ機構１５で下段位置の第２バレルメッキ部２のバレルユニット５を架台１０の上段位置に引き上げ、さらに第３バレルメッキ部３前段のピック・アンド・プレース機構１３０にて第２バレルメッキ部２から第２洗浄部１２に移し替える。
【０１２８】
第２洗浄部１２にてメッキ液を洗浄水で落とした後、ピック・アンド・プレース機構１３０によって第３バレルメッキ部３にバレルユニット５を移し替え、ここでＳｎの電解メッキ処理を行う。その後、第３バレルメッキ部３の後段位置のピック・アンド・プレース機構１３０にて第３バレルメッキ部３から第３洗浄部１３に移し替えてメッキ液を洗浄水で落とし、さらに傾斜洗浄部１４に移し替えてバレルユニット５を傾斜状態として洗浄水で洗浄する。
【０１２９】
図１６及び図１７のように、受渡装置部２０は、ロボットアーム２２にて傾斜洗浄部１４からメッキ済みチップ部品及びメディアを収容したバレルユニット５を取り出し、バレル支持手段１７０の載置台１７１上に載置し、蓋開け手段１４０でバレルユニット５の蓋をあけ、さらに載置台１７１を下向きに傾斜させてバレルユニット５のバレル４０から液槽２１０内の洗浄水Ｗに浸っている漏斗１９０を通して洗浄水Ｗ中で待機している洗浄用ポット３０の開口にメッキ済みチップ部品及びメディアを移し替える。メッキ済みチップ部品及びメディアを収容した洗浄用ポット３０は着脱式蓋３２Ｂを装着されてポット仮置き台２３０に置かれる。その後、ロボットアーム２３にて分離洗浄装置部２５のポット受入位置Ｑに移送する。
【０１３０】
図２４及び図２５のように、分離洗浄装置部２５のポット受入位置Ｑに載置されたメッキ済みチップ部品及びメディアを収容した洗浄用ポット３０は、間欠搬送動作を行う搬送用チェーン２７Ａ，２７Ｂに載置され、メディア分離部２５０による洗浄水のシャワーを洗浄用ポット３０にかけることで、メディアをポット外部に落下させて分離する。その後、洗浄用ポット３０は超音波洗浄部２６０にて超音波による洗浄を受け、さらに純水リンス部２７０にて純水のリンスシャワーを受けて内部のチップ部品を洗浄し、チップ部品表面を純水置換する。その後、乾燥部２８０のエアーブローにより洗浄用ポット３０内のチップ部品を乾燥させる。
【０１３１】
なお、第１乃至第３洗浄部１１，１２，１３、傾斜洗浄部１４、受渡装置部２０内の液槽２１０及び各ノズルへの洗浄水の供給経路は図示しないが、分離洗浄装置部２５の水タンク３０１を洗浄水の供給源として共用する。
【０１３２】
この実施の形態によれば、次の通りの効果を得ることができる。
【０１３３】
(1) バレルメッキ装置部１，２，３によるバレルユニット５を用いたチップ部品の電解メッキ処理、受渡装置部２０によるバレルユニット５からチップ部品及びメディアの洗浄用ポット３０への移し替え、洗浄用ポット３０を用いた分離洗浄装置部２５によるメディアの分離、チップ部品の洗浄水による洗浄、乾燥処理を自動化できる。このため、従来人手に頼っていたメッキ浴槽間のバレルの移し替えや、チップ部品とメディアとの分離作業等を無人化でき、省力化及びメッキ品質の向上、作業時間の短縮、ひいては量産性の改善を図ることができる。
【０１３４】
(2) 各バレルメッキ装置部１，２，３は互いに異なる金属の電解メッキを行う設定であり、チップ部品の外部電極に応じた多層金属メッキ処理が可能である。
【０１３５】
(3) バレルメッキ装置部１，２，３の配置は２階建て構造としたので、省設置スペースとなる。例えば、Ｃｕ，Ｎｉ，Ｓｎの３種のメッキを行う場合、バレルメッキ装置の長さが単なる平面配置であると約２０ｍとなるものを本実施の形態の構成とすることで約８ｍ程度に縮小でき、設置床面積も約３６ｍ２から約２１ｍ２とほぼ６割にすることが可能である。
【０１３６】
(4) バレルメッキ装置部１，２，３の後段に配置する洗浄部１１，１２，１３の水洗槽１２０、受渡装置部２０の液槽２１０及び各ノズルに対する洗浄水の供給は、分離洗浄装置部２５における水タンク３０１内の洗浄水を共通に利用できる。このため、給水系統の簡素化を図ることができる。
【０１３７】
(5) 各バレルメッキ装置部は、バレルユニット５をメッキ浴槽８１内で間欠搬送し、停止時のみ通電する構成であり、バレルユニット５を継続移動させながら通電する構成に比較して通電電流のばらつきを少なくできる。
【０１３８】
(6) 各バレルユニット５が備えるバレル４０の回転に伴い上方に持ち上げられたチップ部品が途中から落下し、そのチップ部品が電極構造体６１の上部に落下しても、電極構造体６１の上部に長手方向に直交する断面が刃先形状の山形部６８を備え、チップ部品が載る面を無くして傾斜面としており、チップ部品が載置し付着することがなく、全てのチップ部品の外部電極にメッキを施すことができる。この結果、メッキ不良品を生じることなく、良好なメッキ品質を保ちバラツキが小さいチップ部品の外部電極メッキができる。さらに、山形部６８の長手方向に直交する断面が二等辺三角形で、該二等辺三角形の頂点が山形部６８の上端となる形状とすることで、頂点の両側の傾斜を同じにして、チップ部品の付着を効果的に防止でき、かつ山形部６８の製造も容易とすることができる。
【０１３９】
(7) 各バレルメッキ装置部において、バレルユニット５の電極構造体６１を構成する金属導体６４，６５，６６もアノード１１６も内部抵抗を有する電導体であり、電極構造体６１の導出側とアノード１１６の引出線１１７の導出側が一致していると、それらの導出側に近い位置のメッキ電流密度と、導出側から遠い位置のメッキ電流密度にその内部抵抗が影響する。しかし、本実施の形態の図９ではバレル４０内の内部電極の導出側にアノード導出側を位置させないので、内部抵抗の影響を相殺することができる。従って、バレル４０内においてどこに位置するチップ部品であってもメッキの状態に相違がなく、チップ部品の外部電極の形成における品質を阻害することがなく、ひいてはチップ部品の外部電極の品質のばらつきを低減可能である。
【０１４０】
(8) 受渡装置部２０において、バレルユニット５のバレル４０から洗浄用ポット３０にメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを移し替える際に、ポット３０と漏斗１９０を衝撃緩和用液体としても機能する洗浄水Ｗの中に位置させて落下の衝撃を和らげ、チップ部品とメディアの損傷を防止することが可能になる。
【０１４１】
(9) バレル４０の開口を下向きとする前に、バレル４０の蓋側に取り付けられた電極構造体６１部分に洗浄水を噴射して当該電極構造体部分に付着していたメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを当該バレル４０内に落下させる構成を具備するとともに、バレル４０開口を下向きにした状態で該バレル内に洗浄水を噴射して当該バレル内側に付着していたメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを落下させる構成を具備する。このため、バレル４０内にメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを残さずにバレルユニット５を排出でき、空となったバレルユニット５をバレルメッキ装置部において直ちに利用できる。
【０１４２】
(10) チップ部品とメディアとを収容するメッシュポット３１を有する洗浄用ポット３０について、チップ部品の最大長さ寸法よりも小さい最大長さ寸法のメディアを選択し、かつメッシュポット３１はメディアが通過するがチップ部品は通過しないメッシュで構成するようにしたので、メディア分離部２５０において噴出口から洗浄用ポット３０に向けて洗浄水を噴出し、洗浄水によりメッシュポット３１からメディアを通過させて排出し、メッシュポット３１内にチップ部品を残留させることにより、比較的に簡単な構成で効率よくチップ部品とメディアとを分離できる効果が得られる。その際、洗浄用ポット３０を回転させることで、メディア分離をいっそう確実かつ効率的に行うことができる。
【０１４３】
(11) チップ部品とメディアとを収容するメッシュポット３１を有する洗浄用ポット３０を一定の方向に搬送する搬送機構と、洗浄用ポット３０が搬送される方向に順に、メディア分離部２５０と、超音波洗浄部２６０と、純水リンス部２７０と、乾燥部２８０とを備え、洗浄用ポット３０が間欠的にかつ一定の水平方向（横方向）に搬送される構成であり、搬送方向と異なる例えば上下方向に洗浄用ポット３０を移動させる動作を余分に行う必要がなく、洗浄用ポット３０の搬送や移動に伴う無駄が生じない。
【０１４４】
(12) 分離洗浄装置部２５において、超音波洗浄部２６０で容器内のチップ部品Ｃを超音波洗浄するため、チップ部品Ｃから汚染物質を確実に除去できる。また、超音波洗浄部２６０の洗浄槽２６１は入口、出口にシャッターを有するので、洗浄用ポット３０を水平移動させることで洗浄槽２６１に搬入、搬出できる。
【０１４５】
(13) 分離洗浄装置部２５において、純水リンス部２７０では洗浄用ポット３０内のチップ部品に純水のリンスシャワーをかけるので、チップ部品表面に汚染物質が残存するのを防止できる。
【０１４６】
(14) 分離洗浄装置部２５において、乾燥部２８０のエアブロー部２８１では高速エアーブローにより洗浄用ポット内のチップ部品に付着した水滴を吹き飛ばすことができ、チップ部品表面の水滴が付着した状態で乾燥させたときに発生しやすい汚れやしみの発生を回避できる。
【０１４７】
なお、バレルメッキ装置部の個数は、必要とされるチップ部品の外部電極の構造に対応させて増減できる。
【０１４８】
また、受渡装置部２０における洗浄水は通常、工業用水や純水であるが、それらに洗剤等を添加したものであってもよく、水以外の液体を使用することも可能である。
【０１４９】
また、分離洗浄装置部２５において、メディア分離部２５０のシャワー部は１つのステーションとしたが、複数ステーションとしてもよい。
【０１５０】
図３２及び図３３は本発明の他の実施の形態であって、各バレルメッキ装置部におけるアノードに付随する構造の改良を示す。この場合、横方向に間欠搬送されるバレルユニット５のそれぞれの停止位置で停止中の１個のバレルユニット５の真下位置に、１個の矩形板状アノード１１６を配置する点は上記実施の形態と同じであるが、バレル４０の筒体５１の軸方向に平行な当該アノード１１６の両縁部が絶縁部材１１８で覆われ、電気的に絶縁されている。換言すれば、アノード１１６はバレルユニット５が搬送される方向になる両辺に絶縁部材１１８を備え、該絶縁部材１１８は断面がコ字形状をしている。絶縁部材１１８の材質はメッキ液に侵されなくて絶縁性が得られるものがよく、プラスチックス類が適しており、例えば塩化ビニール等を用いることができる。
【０１５１】
前記絶縁部材１１８は断面コ字状であり、アノード１１６の両方の縁部に嵌合して装着するが、さらに固定を確実にするために、絶縁部材１１８のコ字状の下辺部に螺子穴を設け、螺子穴に樹脂製（例えばＰＥＥＫと呼ばれるポリエステルエーテルケトン）ボルト１１９（例えば十字穴付なべ小螺子）を螺着して絶縁部材１１８をアノード縁部に固着、保持させる。図３２及び図３３に図示のように、隣接するバレルユニット５に対するアノード１１６にも同様に絶縁部材１１８をそれぞれ装着、固定する。いずれのアノード１１６も方形の角が絶縁部材１１８で覆われた構成となる。とくに上側の角が覆われることが重要である。なお、絶縁部材１１８のコ字状横部分の幅Ｗは例えば１５mm程度とする。
【０１５２】
両縁部に絶縁部材１１８を取り付けたアノード１１６はメッキ浴槽８１の内側底面上に電気的な絶縁部材でなる複数の台１１５にて支持される。
【０１５３】
なお、その他の構成は前述の実施の形態と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略する。
【０１５４】
この実施の形態において、矩形板状アノード１１６に対して、バレル２の筒体１１の軸方向に平行な当該アノード１１６の両縁部に断面コ字状絶縁部材１１８を装着し、コ字状横部分の幅Ｗを１５mmとして、チップ部品の外部電極にメッキを形成し評価して見たところ、その変動係数が１０％前後であった。アノード１１６のような電極板は、角でメッキ電流分布が強く内部面は弱いことが知られており、絶縁部材１１８はこの電流分布の強弱を無くすあるいは弱める働きをする。また、隣接するアノード１１６相互の影響も遮断するあるいは弱める働きをする。それらの結果、従来は変動係数が１８〜２６％も生じた工程において、生産の効率を落とすようなゆっくりした所要時間でメッキをしなくても、本実施の形態では変動係数が１０％前後と大幅に改善する。条件によっては変動係数を数％程度に抑制可能であり、バレルメッキ装置と分離・洗浄する工程を自動化して効率よくメッキするための障害を取り除くことができる。
【０１５５】
なお、図３２及び図３３の実施の形態では、矩形板状アノードの両縁部に断面コ字状の絶縁部材を取り付けたが、メッキ電流密度が大きくなるのはアノードの上側角部（バレルへの距離が近い方の角部）であるから、該上側角部を覆うような断面逆Ｌ字状の絶縁部材をアノードの両縁部に設ける構造とすることも可能である。但し、取り付けの確実性の点では断面コ字状絶縁部材の方が優れている。
【０１５６】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【０１５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る連続搬送バレルメッキ装置によれば、チップ部品を収容するバレルユニットをバレルメッキ装置部内で搬送する構成とし、また、そのバレルユニットのバレルから分離洗浄装置部に用いる洗浄用ポットに自動的に移し替えることができる。さらに、分離洗浄装置部では前記洗浄用ポットを用いてバレル分離及びチップ部品洗浄が自動的に行われる構成としたので、チップ部品をバレルに収容してバレルメッキ装置部に投入すると、チップ部品の外部電極に電解メッキし、チップ部品とメディアを分離し洗浄して、チップ部品の外部電極へのメッキが自動的に行われる。これにより、人の作業を削減し、かつメッキの品質を向上させ、所要時間の短縮が可能となる。例えば、タクトタイムは従来のバレルメッキ装置の１／２程度に短縮でき、生産効率を２倍以上に高めることができる。また、無人稼働可能時間も従来装置では１０分程度であったものが、１時間前後と大幅に長くできる。
【０１５８】
さらに、複数のバレルユニット装置部の配置を立体的配置にする場合、バレルユニット装置部の設置床面積の削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る連続搬送バレルメッキ装置の実施の形態であって、全体構成の正面図である。
【図２】全体構成の下段（１階）部分の平断面図である。
【図３】全体構成の上段（２階）部分の平断面図である。
【図４】本実施の形態で用いるバレルユニットの正断面図である。
【図５】同平面図である。
【図６】同左側面図である。
【図７】前記バレルユニットのバレル部分の横断面図である。
【図８】本実施の形態におけるバレルメッキ装置部の正断面図である。
【図９】前記バレルメッキ装置部の横断面図である。
【図１０】本実施の形態における洗浄部の正断面図である。
【図１１】同横断面図である。
【図１２】本実施の形態におけるピック・アンド・プレース機構の正面図である。
【図１３】同側面図である。
【図１４】本実施の形態で用いる洗浄用ポットの側断面図である。
【図１５】搬送チェーンに載置された前記洗浄用ポットを示す背面図である。
【図１６】本実施の形態における受渡装置部であって一部を断面とした正面図である。
【図１７】同平面図である。
【図１８】前記受渡装置部の要部構成の正断面図である。
【図１９】同じく要部構成の平面図である。
【図２０】前記受渡装置部におけるメッキ用バレルの支持手段及び蓋開け手段を示す側面図である。
【図２１】前記受渡装置部における液槽及びその周辺機構の正断面図である。
【図２２】前記受渡装置部において電極構造体（内部電極）に液体を噴射する工程の説明図である。
【図２３】前記受渡装置部において漏斗上のメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアに液体を噴射する工程の説明図である。
【図２４】本実施の形態における分離洗浄装置部の全体構成を示す正断面図である。
【図２５】同平面図である。
【図２６】チップ部品及びメディアを収容した状態の前記洗浄用ポットを示す模式図である。
【図２７】前記分離洗浄装置部において、前記洗浄用ポットからメディアを分離するメディア分離部を示す説明図である。
【図２８】前記分離洗浄装置部におけるメディア分離部、超音波洗浄部及び純水リンス部を示す説明図である。
【図２９】前記洗浄用ポットに向かいエアーブローする乾燥部を示す説明図である。
【図３０】前記分離洗浄装置部の工程を示すフローチャートである。
【図３１】前記バレルユニットの電極構造体を示し、（Ａ）は中心棒上に山形部が無い場合の側面図、（Ｂ）は中心棒上に山形部が無い場合の側面図である
【図３２】本発明の他の実施の形態であって、アノードに付随した構成を改良したバレルメッキ装置部を示す要部正面図である。
【図３３】同じく要部平面図である。
【符号の説明】
１，２，３ バレルメッキ装置部
５ バレルユニット
６ バレルユニット供給部
７ バレルユニット排出部
１１，１２，１３ 洗浄部
１４ 傾斜洗浄部
１５ エレベータ機構
２０ 受渡装置部
２２，２３ ロボットアーム
２５ 分離洗浄装置部
３０ 洗浄用ポット
３２Ａ，３２Ｂ，５２，５３ 蓋
３９ ロック解除部材
４０ バレル
４３，４４ ユニット側板
４５ 連結棒
５１ 筒体
６１ 電極構造体
７０ リード線
７１ 集電器
７２ 集電子
７３ 板ばね部材
８１ メッキ浴槽
８２ メッキ液
９０ 搬送機構
９１，９２ チェーン
１００ ホルダー
１１０ 給電器
１１１ 給電ベース
１１３ 給電レール
１１６ アノード
１１８ 絶縁部材
１３０ ピック・アンド・プレース機構
１４０ 蓋開け手段
１７０ バレル支持手段
１７１ 載置台
１９０ 漏斗
２００ ポット支持手段
２１０ 液槽
２２０ ポット移送手段
２３０ ポット仮置き台
２５０ メディア分離部
２６０ 超音波洗浄部
２７０ 純水リンス部
２８０ 乾燥部
３０１ 水タンク
【発明の属する技術分野】
本発明は、チップ部品の外部電極（端子電極）の形成等を行うにときに利用するチップ部品のバレルメッキ装置に関するものであり、特に、チップ部品の外部電極のバレル電解メッキ処理及びその後の洗浄処理を連続的に実行する連続搬送バレルメッキ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、チップ部品の端子電極を形成するバレルメッキ装置として、メッキ液を入れたメッキ浴槽内にバレルユニットを浸漬させる構成が知られている。そのメッキ浴槽はメッキする金属毎に異なり複数を用いる。また、洗浄工程を含めてバレルメッキ装置としては、メッキ前洗浄及びメッキ浴槽間洗浄、そうして最終洗浄を行う。メッキ浴槽は各々単独であり、洗浄も単独である。バレルユニットにチップ部品とメッキ用メディア（電解メッキのために使用する金属球体）を収容し、所定のメッキが完了するとバレルユニットのバレルユニットが有するバレルからチップ部品とメディアを取り出し、次の工程においてチップ部品とメディアを分離するとともに洗浄する。そのバレルメッキ装置と分離・洗浄する工程は人の作業を介して仲介される。そのために人の作業に伴う時間及びコストが掛かり、このためにメッキ品質の向上や所要時間の短縮が求められる状況にある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の第１の目的は、上記の点に鑑み、チップ部品を収容するバレルユニットをバレルメッキ装置部内で搬送し、また、そのバレルユニットのバレルから分離洗浄装置部に用いる洗浄用ポットに自動的に移し替える構成として、人の作業を削減し、かつメッキの品質を向上し所要時間の短縮ができる連続搬送バレルメッキ装置を提供することにある。
【０００４】
本発明の第２の目的は、さらに、分離洗浄装置部でメディア分離及びチップ部品洗浄が自動的に行われる構成とし、チップ部品をバレルに収容してバレルメッキ装置部に投入すると、チップ部品の外部電極に電解メッキし、チップ部品とメディアを分離し洗浄して、チップ部品の外部電極へのメッキが自動的に行われるようにして人の作業を削減し、かつメッキの品質を向上し所要時間の短縮ができる連続搬送バレルメッキ装置を提供することにある。
【０００５】
また、複数のバレルメッキ装置部の配置を工夫することで省設置スペースとした連続搬送バレルメッキ装置を提供することをもう一つの目的とする。
【０００６】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項１の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、チップ部品とメディアを収納するバレルと、該バレル内に収納するチップ部品とメディアに電気的に接触する電極と、該電極を当該バレル外部に導出した集電器とを有するバレルユニットと、該バレルユニットが浸されるメッキ液を貯留したメッキ浴槽と、該メッキ浴槽内にて前記バレルユニットを横方向に移動させる搬送手段と、前記集電器が接触する給電器とを有していて、前記給電器を通して前記集電器に通電してバレルメッキ処理を行うバレルメッキ装置部と、
該バレルメッキ装置部でのバレルメッキ処理が終了したバレルユニットをバレル移送手段により受け取り、当該バレルユニットからチップ部品とメディアを取り出して、メディアは通過可能であるがチップ部品は通過させない筒状メッシュを有する洗浄用ポットに移し替える受渡装置部とを備えたことを特徴としている。
【０００８】
本願請求項２の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、チップ部品とメディアを収納するバレルと、該バレル内に収納するチップ部品とメディアに電気的に接触する電極と、該電極を当該バレル外部に導出した集電器とを有するバレルユニットと、該バレルユニットが浸されるメッキ液を貯留したメッキ浴槽と、該メッキ浴槽内にて前記バレルユニットを横方向に移動させる搬送手段と、前記集電器が接触する給電器とを有していて、前記給電器を通して前記集電器に通電してバレルメッキ処理を行うバレルメッキ装置部と、
該バレルメッキ装置部でのバレルメッキ処理が終了したバレルユニットをバレル移送手段により受け取り、当該バレルユニットからチップ部品とメディアを取り出して、メディアは通過可能であるがチップ部品は通過させない筒状メッシュを有する洗浄用ポットに移し替える受渡装置部と、
前記受渡装置部にてチップ部品とメディアが収容された前記洗浄用ポットをポット移送手段から受け取り、当該洗浄用ポットに洗浄液を噴射して当該洗浄用ポットからメディアを落下させて分離するとともにチップ部品を洗浄する分離洗浄装置部とを備えたことを特徴としている。
【０００９】
本願請求項３の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１又は２において、前記バレルメッキ装置部が複数配置され、各バレルメッキ装置部は互いに異なるメッキ液を貯留するものであり、各バレルメッキ装置部後段に前記バレルユニットを洗浄液で洗浄する洗浄部が設けられているとともに、前段のバレルメッキ装置部から該洗浄部へ、当該洗浄部から後段のバレルメッキ装置部へ前記バレルユニットを移し替える移替手段が設けられていることを特徴としている。
【００１０】
本願請求項４の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１，２又は３において、前記バレルメッキ装置部の一部は下段位置に、残りのバレルメッキ装置部は上段位置に配置され、下段位置と上段位置間のバレルユニットの昇降移動をエレベータ機構で行うことを特徴としている。
【００１１】
本願請求項５の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１，２，３又は４において、前記搬送手段が前記バレルユニットを間欠搬送するものであり、前記給電器は前記バレルユニットが停止する所定停止位置毎に設けられていることを特徴としている。
【００１２】
本願請求項６の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１，２，３，４又は５において、前記バレルユニットが前記電極を持つ電極構造体を備え、該電極構造体は、前記バレルの筒体内部を軸方向に伸びる中心棒と、該中心棒に対して放射方向に伸びる電極棒と、該電極棒の先端部に露出して設けられた前記電極とを有し、前記中心棒及び電極棒は前記電極に導通する金属導体の表面に絶縁被覆を設けたものであり、軸方向に垂直な断面が上端に向けて幅の狭くなった刃先形状となっている山形部を前記中心棒外周の上側に軸方向に設けていることを特徴としている。
【００１３】
本願請求項７の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項６において、前記バレルが、前記筒体と、前記筒体の両側開口に各々設けられた蓋とを備え、一方の蓋は前記筒体に固定され、他方の蓋は中心部に前記筒体の外側から内側に導通する前記電極構造体をほぼ水平に保持して備え、かつ前記他方の蓋は前記筒体の開口に対して着脱自在であることを特徴としている。
【００１４】
本願請求項８の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項６又は７において、前記山形部の軸方向に垂直な断面が二等辺三角形であって、該二等辺三角形の頂点が前記山形部の最上端となっていることを特徴としている。
【００１５】
本願請求項９の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１，２，３，４，５，６，７又は８において、前記受渡装置部は、前記バレルメッキ処理が終了したバレルユニットのチップ部品及びメディアを収納したバレルの蓋を開けてから、開口を下向きにして、当該バレルから落下したチップ部品及びメディアを液体中で待機している前記洗浄用ポットの開口に落下させることを特徴としている。
【００１６】
本願請求項１０の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項９において、前記受渡装置部が、前記バレルメッキ処理が終了したバレルユニットのバレルの蓋を開ける蓋開け手段と、該蓋開け手段で蓋を開けられたバレルの開口を下に向けるバレル支持手段と、前記蓋を開けられたバレルから落下したチップ部品及びメディアを受ける漏斗と、該漏斗を通って落下したチップ部品及びメディアを受け取る位置に洗浄用ポットの開口が位置するように当該ポットを支えるポット支持手段と、前記漏斗及び前記洗浄用ポットが浸るように液体を満たすことのできる液槽とを備え、
前記蓋を開けられたバレルからチップ部品及びメディアを前記漏斗へ落下させるときに前記漏斗の少なくともチップ部品及びメディアを受ける面が前記液槽内の液体中に浸っていることを特徴としている。
【００１７】
本願請求項１１の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項９又は１０において、前記受渡装置部における前記液体が洗浄液であり、前記分離洗浄装置部における洗浄液の供給源を共用していることを特徴としている。
【００１８】
本願請求項１２の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項２，３，４，５，６，７，８，９，１０又は１１において、前記分離洗浄装置部がメディア分離後の前記洗浄用ポットに空気流を当てることで当該洗浄用ポット内のチップ部品を乾燥させる乾燥手段を有していることを特徴としている。
【００１９】
本願請求項１３の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１又は１２において、前記バレルユニット移送手段が第１のロボットアームであり、前記ポット移送手段が第２のロボットアームであることを特徴としている。
【００２０】
本願請求項１４の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１乃至１３のいずれかにおいて、前記メッキ浴槽には前記バレルの下方位置にアノードが配され、前記アノードに給電する給電用接続導体は前記電極を前記集電器に導出した側の反対側にて前記アノードに接続されていることを特徴としている。
【００２１】
本願請求項１５の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１４において、前記アノードが矩形板状であり、前記バレルの筒体の軸方に平行に配置されていることを特徴としている。
【００２２】
本願請求項１６の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１５において、前記バレルユニットの複数箇所の停止位置に対応して前記アノードがそれぞれ配置されていることを特徴としている。
【００２３】
本願請求項１７の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１４，１５又は１６において、前記アノードの角部を覆う絶縁部材を設け、前記アノードの角部を電気的に絶縁したことを特徴としている。
【００２４】
本願請求項１８の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１７において、前記アノードは矩形板状であり、前記バレルの筒体の軸方向に平行な当該アノードの両縁部における少なくとも上側角部が前記絶縁部材で覆われていることを特徴としている。
【００２５】
本願請求項１９の発明に係る連続搬送バレルメッキ装置は、請求項１７又は１８において、前記絶縁部材は前記アノードの縁部に嵌合する断面コ字状であることを特徴としている。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る連続搬送バレルメッキ装置の実施の形態を図面に従って説明する。
【００２７】
図１乃至図３は本発明に係る連続搬送バレルメッキ装置の実施の形態であって、全体構成を示す。
【００２８】
これらの図において、１はＣｕの電解メッキを施す第１バレルメッキ装置部、２はＮｉの電解メッキを施す第２バレルメッキ装置部、３はＳｎの電解メッキを施す第３バレルメッキ装置部である。
【００２９】
バレル内にチップ部品及びメッキ用メディア（電解メッキのために使用する金属球体）を収納したバレルユニット５（図４乃至図７で後述する）を第１バレルメッキ装置部１に供給するために図２のようにバレルユニット供給部６が設置されている。バレルユニット供給部６はローラーコンベアの先端部にバレルユニット５を第１バレルメッキ装置部１に移し替える移し替え手段が設けられたものである。
【００３０】
第１バレルメッキ装置部１と第２バレルメッキ装置部２との間にはＣｕのメッキ液を洗浄して落とす第１洗浄部１１が、第２バレルメッキ装置部２と第３バレルメッキ装置部３との間にはＮｉのメッキ液を洗浄して落とす第２洗浄部１２が、第３バレルメッキ装置部３の後段にはＳｎのメッキ液を洗浄して落とす第３洗浄部１３が配置され、この後段にバレルユニット５を傾斜状態で洗浄する傾斜洗浄部１４が配置されている。この傾斜洗浄部１４は後述の受渡装置部２０へのバレルユニット５の取り出し位置となる。
【００３１】
前記第１バレルメッキ装置部１と第１洗浄部１１と第２バレルメッキ装置部２とはメッキ部架台１０の下段位置に１列に配置されているが、第２洗浄部１２と第３バレルメッキ装置部３と第３洗浄部１３と傾斜洗浄部１４とは架台１０の上段位置に１列に配置されている。このため、下段位置の第２バレルメッキ装置部２からバレルユニット５を上段位置に引き上げるエレベータ機構１５が設置されている。
【００３２】
受渡装置部２０はバレルユニットの取り出し位置となる傾斜洗浄部１４に近接して設置されており、つまり受渡装置部架台２１がメッキ部架台１０に連結されており、最後の第３バレルメッキ装置部３でのバレルメッキ処理して傾斜洗浄部１４での洗浄が終了したバレルユニット５をバレル移送手段により受け取り、当該バレルユニットからチップ部品とメッキ用メディアを取り出して、メディアは通過可能であるがチップ部品は通過させない筒状メッシュを有する洗浄用ポット３０（図１４及び図１５で後述する）に移し替える動作を自動的に実行するものである。
【００３３】
前記受渡装置部２０に並行してチップ部品及びメッキ用メディアが取り出された空のバレルユニット５を排出して置くためのバレルユニット排出部７が図３のように設置されている。このバレルユニット排出部７はローラーコンベアであり、その上に載置されたバレルユニット５を排出方向に移送するものである。
【００３４】
前記受渡装置部２０に隣接して分離洗浄装置部２５が設置されている。つまり、分離洗浄装置部架台２６が受渡装置部架台２１に連結されている。この分離洗浄装置部２５は、前記受渡装置部２０にてチップ部品とメッキ用メディアが収容された洗浄用ポット３０をポット移送手段から受け取り、当該洗浄用ポットに洗浄液を噴射して当該洗浄用ポットからメディアを落下させて分離するとともにチップ部品を洗浄し、乾燥する工程を自動的に実行するものである。
【００３５】
また、分離洗浄装置部２５に並行して空の洗浄用ポット３０を受渡装置部２０に供給するための洗浄用ポット供給部８が図２のように設置されている。
【００３６】
図４乃至図７は、本実施の形態において、バレルメッキ処理を実行するために用いるバレルユニット５を示す。水平方向を回転中心軸とするバレルユニット５は、各バレルメッキ装置部１，２，３のメッキ浴槽にバレルユニット５を次々と連続的に投入して搬送し、各々のバレルユニット５が収容するチップ部品の外部電極に効率よくメッキする構成に用いられるものであり、バレル４０、ユニット側板４３，４４及び連結棒４５等を有している。連結棒４５はバレルユニット５の持ち上げ個所として機能する。
【００３７】
このバレルユニット５はバレル４０を回転自在に備えるもので、バレル４０は、略円筒状の筒体５１として、樹脂製の骨組でなるかごを構成し、骨組が構成する複数の開口を塞ぐように樹脂製の網を取り付け、筒体５１の両側開口に樹脂製の蓋５２，５３を取り付けて基本的な容器を構成するものである。前記網のメッシュはバレル４０に収納しバレルメッキするチップ部品や共に収納するメディアが通過しない値とする。前記蓋５２は筒体５１に対して開閉自在な開閉蓋であり、蓋５３は筒体５１に対し常時固定とする。
【００３８】
樹脂製の蓋５２，５３は中心に穴を備え、開閉蓋５２には樹脂製フランジ５５を取り付け、蓋５３には樹脂製軸部５６を取り付ける。軸部５６はユニット側板４４に嵌着されたブッシュ５７により回転自在に支持される。
【００３９】
前記ユニット側板４３には円筒支持部材６０が固着され、これに嵌合して金属導体６４，６５，６６を有する電極構造体６１の樹脂被覆された基部である軸部が固定的に支持されている。また、電極構造体６１の軸部の外周にブッシュ６２が嵌められ、ブッシュ６２の外側に前記蓋５２側のフランジ５５が回転自在に嵌合している。従って、ユニット側板４３，４４でバレル４０が回転自在に保持されることになる。なお、電極構造体６１の金属導体６４は中心の金属棒であって絶縁被覆された中心棒をなし、これと直交する方向に所定の間隔を有し複数本の金属導体６５が金属導体６４に固着してあり、絶縁被覆された電極棒をなし、さらに金属導体６５の先端部、つまり電極棒の先端部は内部電極として露出した金属導体６６となっていて、バレル４０内に収容されたチップ部品及びメディアに電気的に接触するようになっている。
【００４０】
前記金属導体６４，６５は図９及び図３１（Ｂ）のように樹脂製絶縁被覆６７で被覆されている。それらの表面に施された樹脂製絶縁被覆６７は、例えば耐熱性の塩化ビニール等であり、この絶縁被覆６７の部材に対応して山形部６８を構成する部材も同材質の耐熱性塩化ビニール等の樹脂を用いる。樹脂製絶縁被覆６７と山形部６８は樹脂溶接して固着する。樹脂溶接は周知の手段を用いて行う。断面が円形である中心棒となる金属導体６４の絶縁被覆６７部分の外周は基本的に円周であり、特に電極棒となる金属導体６５（図９参照）の突出がない絶縁被覆６７部分の上部は長手方向に全て円周面である。山形部６８は長手方向（軸方向）が中心棒の絶縁被覆６７部分の長さとほぼ同じ長さとし、かつ長手方向に直交する断面は上端が尖った刃先形状となるように、図３１（Ｂ）のように頂点６８ａが鋭角の三角形（ここでは二等辺三角形を示す）とし、加えて底辺部だけが前記絶縁被覆６７に合致する部分円周凹面としている。その山形部６８の底辺部を樹脂製絶縁被覆６７の上部に合致して当接させて、当接部分の外周を樹脂溶接して固着する。溶接方法は、樹脂製絶縁被覆６７及び山形部６８が例えば耐熱性の塩化ビニールである場合、同じ耐熱性の塩化ビニールでなる溶接棒と加熱手段を用いて行うのがよい。そうして、溶接しただけでは表面が凸凹しておりヤスリ仕上げなどして滑らかにする。
【００４１】
バレルユニット５はメッキ浴槽８１に投入されて、そのバレル４０部分が浴槽内のメッキ液に浸り、後述の回転駆動用チェーン９２からスプロケット４６が駆動力を受けて回転しながらメッキ処理が行われるのであるが、その際、チップ部品とメディアはバレル２の回転方向に内面との摩擦で上方に持ち上げられるが、チップ部品とメディアはバレル２の下方に重力の作用で落下しようとし、摩擦と重力の作用がバランスする個所に集合する。しかし、一部のチップ部品とメディアはバレル４０の内周を最上部に向かって持ち上げられ、上部から電極構造体６１の外周を覆う樹脂製被覆６７部分に落下してくる。図３１（Ａ）のように山形部６８が無い場合、中心棒となる金属導体６４の樹脂製被覆６７の上部にチップ部品Ｃが載ったままとなり、メッキされずに残ってメッキ不良となるが、本実施の形態の図３１（Ｂ）のように、中心棒となる金属導体６４の樹脂製被覆６７の上部に山形部６８を固着してあると、断面が上下方向に頂点３０ａを最上部とする二等辺三角形としてあり、山形部６８側面が急斜面であるため、落下してくるチップ部品Ｃとメディアは付着しないで落下する。落下以外の要因で山形部６８に当接するチップ部品とメディアも付着しないで落下し、再びバレル４０の下方で集合に加わることになる。従って、メッキされずに残るチップ部品を無くすことができる。
【００４２】
なお、山形部６８について長手方向に直交する断面は二等辺三角形として図示したが、二等辺三角形に限らず、断面は電極構造体６１の中心棒部分の樹脂製被覆６７から上部に尖った頂点を有し、尖った頂点から中心棒の横幅に向かって傾斜する面を備えればよく、この面が傾斜した平面に限らず任意の曲面であってもよい。総じて山形部６８は刃先形状であると言うことができる。
【００４３】
バレル４０内に露出する内部電極としての金属導体６６は、金属導体６５、金属導体６４を経て電極構造体６１の左端に導出され、ここでリード線７０の一端に接続される。リード線７０の他端はユニット側板４３の上部に設けられた集電器７１に接続される。すなわち、ユニット側板４３の上端に庇状集電ベース７４が固着され、ここに集電器７１が設置され、該集電器７１は底面が円弧状面の接触部となった集電子７２をＵ字状板ばね部材７３を介して庇状集電ベース７４に固着する構造を複数個（図示は２個）備える。各集電子７２は庇状集電ベース７４の下方位置となり、それぞれにリード線７０の他端が接続される。つまり、バレル４０内部に露出している電極構造体６１の内部電極が集電器７１の各集電子７２に導出されたことになる。また、各集電子７２はＵ字状板ばね部材７３でそれぞれ独立に支持され、それぞれ弾性力で下方に付勢されている。各集電子７２は良導電性金属部材、例えば銅、銅合金等である。
【００４４】
なお、リード線７０と電極構造体６１との接続部分はカバー７５で水密に覆われるとともに、リード線７０も保護管７６で覆われる。これはバレルユニット５をメッキ浴槽に浸したときに前記接続部分及びリード線７０がメッキ液に直接触れないようにするためである。
【００４５】
また、前記蓋５２側のフランジ５５にはバレル４０を回転させるための駆動力を受けるスプロケット４６が固着されている。また、ユニット側板４３，４４の下端にはユニット座４７が固着されており、各ユニット座４７が各バレルメッキ装置部１，２，３のメッキ浴槽側の搬送手段上に載るようになっている。
【００４６】
なお、前記バレル４０の一方の蓋５３は筒体５１に固定であるが、他方の蓋５２は中心部に前記筒体５１の外側から内側に導通する前記電極構造体６１を水平に保持して備え、かつ蓋５２は前記筒体５１の開口に対して着脱自在である。
【００４７】
次に、図８及び図９で第１乃至第３バレルメッキ装置部１，２，３の構成について説明する。これらのバレルメッキ装置部１，２，３はメッキ液の組成及びメッキ用アノードの金属材質が異なること以外は実質的に同じ構成であり、バレルユニット５が浸されるメッキ液８２を貯留したメッキ浴槽８１と、該メッキ浴槽８１内にてバレルユニット５を横方向に移動させる搬送手段としての搬送機構９０と、バレルユニット５側の集電器７１が接触する給電器１１０とを有していて、前記給電器１１０を通して前記集電器７１に通電してバレルメッキ処理を行うようになっている。
【００４８】
図８及び図９において、メッキ部架台１０は複数の梁を組み合わせてなり、メッキ浴槽８１や搬送手段としての搬送機構９０や給電器１１０や複数個のバレルユニット５が載る骨組みである。
【００４９】
バレルユニット５は矢印Ｄのようにメッキ浴槽８１の一端から投入し、メッキ浴槽８１中のメッキ液８２に浸漬されたバレルユニット５は該メッキ浴槽８１中を図８の矢印Ｓの如く右方向に間欠的に進行し他端から矢印Ｕのように取り出される構成である。
【００５０】
メッキ浴槽８１は上部が開口する長方形の樹脂製容器である。メッキ浴槽８１は長手方向にバレルユニット５が一列に進行する空間と、バレルユニット５を間欠的に進行させる搬送機構９０が組み込まれ、さらにメッキ液８２をバレルユニット５が有するバレル４０の大部分又は全部が浸る液面となるように貯留する。
【００５１】
バレルユニット５の搬送機構９０は、各バレルユニット５を横方向に間欠的に移動させるチェーン９１を用いた第１の無端帯機構と、各バレルユニット５のバレル４０を自転させるチェーン９２を用いた第２の無端帯機構と、これらに付随する機構とを有している。
【００５２】
第１の無端帯機構の無端帯としてのチェーン９１はメッキ浴槽８１内に回転自在に支持されたスプロケット９３Ａ，９３Ｂ間に張架されている。メッキ浴槽８１の上方に支持されたベース９４上には搬送モータ９５が設置され、一方のスプロケット９３Ａの取付軸は図示しないスプロケット、チェーン９６を介してモータ９５により回転駆動されるようになっている。前記チェーン９１はバレルユニット５側のユニット座４７を保持するホルダー１００を備えている。すなわち、チェーン９１にアタッチメントとしてホルダー１００がバレルユニット５を該チェーン９１に搬送させる所定の間隔で取り付けられる。１個のバレルユニット５に対してホルダー１００のアタッチメント１０１、１０２の１組が対応する。チェーン９１は図８の手前と裏側（バレルユニットの右側と左側を支持するため）に計２連を備えるので、１個のバレルユニット５は計４個のアタッチメントで保持される構成である。
【００５３】
第２の無端帯機構の無端帯としてのチェーン９２はメッキ浴槽８１内に回転自在に支持されたスプロケット９７Ａ，９７Ｂ間に張架されている。メッキ浴槽８１の上方に支持されたベース９４上にはバレル回転モータ９８が設置され、一方のスプロケット９７Ａの取付軸は図示しないスプロケット、チェーン９９を介してモータ９８により回転駆動されるようになっている。前記チェーン９２は図４に示したバレルユニット５側のバレル４０と一体のスプロケット４６に係合し、バレル４０を自転させるようになっている。
【００５４】
停止位置（給電ステーションとなる）のバレルユニット５の集電器７１に接触してメッキ電流を供給する給電器１１０を説明する。バレルユニット５の投入位置と取り出し位置以外にバレルユニット５の停止位置は数箇所乃至十数箇所（必要とするメッキ膜厚等により相違する）あり、これらの停止位置にあるバレルユニット５の集電器７１にそれぞれ接触するように複数個の給電器１１０が架台１０側にて固定支持された給電ベース１１１に組み付けられる。
【００５５】
図９に示すように、給電器１１０は、給電ベース１１１に対して固定された電気的絶縁部材でなる保持板１１２上に給電レール１１３を固定配置したものであり、給電レール１１３はバレルユニット５側集電器７１の下側配置となり、給電レール１１３上面がバレルユニット５側の集電子７２の接触面となる導体が露出した平坦面に形成されている。給電レール１１３は良導電性金属板材、例えば銅、銅合金等である。給電レール１１３はメッキ用電源のマイナス側に引出線１１４を介して接続される。
【００５６】
図８及び図９において、メッキ浴槽８１の内側底面に電気的な絶縁部材でなる複数の台１１５を設ける。そうして、台１１５に支持させてメッキ用金属部材でなるアノード１１６を載置する。アノード１１６に一端を固定した給電用接続導体としての引出線１１７を外部に引き出してメッキ用電源のプラス側に接続する。但し、引出線１１７は、前記内部電極としての金属導体６６を前記集電器７１に導出した側の反対側にて前記アノード１１６に接続する。これは、前記電極構造体６１やアノード１１６の内部抵抗の影響を受けにくくし、チップ部品の外部電極のメッキ状態のばらつきを解消するためである。ここで、アノード１１６は、バレルユニット５の各停止位置に対応させてそれぞれ配置する。つまり、個々の停止位置で停止中の１個のバレルユニット５の真下位置に１個のアノード１１６を配置する。なお、メッキ液８２に浸漬される引出線は例えばＴｉ等の不溶性金属を用いる。Ｃｕの電解メッキを実行する第１バレルメッキ装置部１ではアノード１１６の材質はＣｕであり、Ｎｉの電解メッキを実行する第２バレルメッキ装置部２ではアノード１１６の材質はＮｉであり、Ｓｎの電解メッキを実行する第３バレルメッキ装置部３ではアノード１１６の材質はＳｎである。
【００５７】
図８の搬送手段のチェーン９１が循環すると矢印Ｄのようにメッキ浴槽８１に投入されたバレルユニット５は矢印の方向に間欠的に進行する。つまり、投入後のバレルユニット５は各停止位置に順次間欠移送される。一方、図８のバレル回転モータ９８の回転はチェーン９２を循環させている。チェーン９２が循環するとバレルユニット５に対して図４のスプロケット４６が回転し、バレル４０を回転させる。従って、バレルユニット５は図８の矢印の方向に間欠搬送されながらバレル４０を別に回転（自転）することになる。回転方向はチェーン９２の循環方向とバレルユニット５の搬送速度による相対関係で決まる。
【００５８】
各停止位置に間欠送りされたバレルユニット５の集電器７１の集電子７２は、対応する給電器１１０の給電レール１１３に接触するようになる。各バレルユニット５が停止している期間において、メッキ用電源より通電が開始され、陰極側は給電レール１１３、集電子７２を経てバレル４０内の内部電極への接続が行われ、陽極側はアノード１１６が引出線１１７を介して既に接続されているので、バレル内の内部電極とアノード１１６間のメッキ液の存在により、バレル４０に収納されたチップ部品の外部電極はメディアを介しあるいは直接に内部電極と接触し、メッキ液によりＣｕやＮｉやＳｎがメッキされる。
【００５９】
この際、メッキ析出量は、メッキ浴槽８１内を間欠搬送される個々のバレルユニット５についての電流値と通電時間の積の総和を個々のバレルユニット毎に制御することで最適化される。
【００６０】
メッキ浴槽８１に投入されたバレルユニット５は間欠搬送されながら各停止位置を経て図８に示すメッキ浴槽８１の右端の取り出し位置に至る。右端の取り出し位置に至ったバレルユニット５は後述する移替手段が当該バレルユニット５の連結棒４５を把持し、持ち上げて次の工程であるバレルメッキ装置部後段の洗浄部１１，１２，１３の水洗槽に移し替える。つまり、第１バレルメッキ装置部１のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５であれば、第１洗浄部１１に、第２バレルメッキ装置部２のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５であれば、第２洗浄部１２に、第３バレルメッキ装置部３のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５であれば、第３洗浄部１３に移し替える。
【００６１】
次に、図１０及び図１１で第１乃至第３洗浄部１１，１２，１３の構成について説明する。これらの洗浄部１１，１２，１３は同じ構成であり、バレルユニット５が１個毎入る３つの区画１２１，１２２，１２３を有する水洗槽１２０を有している。各区画にはバレルユニット５が載置される台座１２５が設置されている。水洗槽１２０には台座１２５上に載置されたバレルユニット５のバレル４０全体が浸る洗浄水１２４が満たされている。そして、各区画１２１，１２２，１１２３に配置されたバレルユニット５のチップ部品及びメッキ用メディアに付着した前段のバレルメッキ装置部のメッキ液を洗浄水で洗浄して落とす。つまり、次段のバレルメッキ装置部のメッキ液を汚染しないようにする。
【００６２】
図１２及び図１３はバレルメッキ装置部１，２，３から後段の洗浄部１１，１２，１３へ、洗浄部１１，１２から後段のバレルメッキ装置部２，３へバレルユニット５を移し替える移替手段としてのピック・アンド・プレース機構１３０を示す。このピック・アンド・プレース機構１３０は、メッキ部架台１０の天井部に固定された横方向レール１３１に沿って横移動する本体１３２と、本体１３２の垂直レール１３３で上下にスライド自在な昇降スライダ１３４と、これに取り付けられたピックアップアーム１３４ａとを有している。ピックアップアーム１３４ａの先端部は図４乃至図６に示すバレルユニット５の連結棒４５に係合するようになっている。
【００６３】
昇降スライダ１３４の昇降駆動は、本体１３２の上下に支持されたプーリー１３５Ａ，１３５Ｂ間にベルト１３５Ｃを張架し、このベルト１３５Ｃに昇降スライダ１３４を固定しておき、上部プーリー１３５Ａをモータ１３６で回転駆動することにより実行する。同様に、本体１３２の横移動もレール１３１の両端部側に固定支持したプーリー１３７Ａ，１３７Ｂ間にベルト１３７Ｃを張架し、このベルト１３７Ｃに本体１３２を固定しておき、ベルト１３７Ｃをモータ１３８で走行駆動することで実行可能である。
【００６４】
このようなピック・アンド・プレース機構１３０は架台１０の必要箇所にそれぞれ配置され、これを用いて、第１バレルメッキ装置部１のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５を第１洗浄部１１の水洗槽１２０の区画１２１に、同様に第２バレルメッキ装置部２のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５を第２洗浄部１２の水洗槽１２０の区画１２１に、第３バレルメッキ装置部３のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５を第３洗浄部１３の水洗槽１２０の区画１２１に移し替える。
【００６５】
また、各洗浄部１１，１２，１３においては、後段のバレルメッキ装置部にバレルユニット５を受け入れる余地が発生する毎に、水洗槽１２０の区画１２３からバレルユニット５を前記ピック・アンド・プレース機構１３０で取り出して後段のバレルメッキ装置部に移し替える。そして、ピック・アンド・プレース機構１３０にて区画１２２のバレルユニット５を区画１２３へ、区画１２１のバレルユニット５を区画１２２に順次移送し、空きとなった区画１２１に前段のバレルメッキ装置部からバレルユニット５を受け入れる。
【００６６】
最後段のバレルメッキ装置部、つまり第３バレルメッキ装置部３のバレルメッキ処理が終了したバレルユニット５はピック・アンド・プレース機構１３０により第３洗浄部１３に移し替えられ、さらに第３洗浄部１３での洗浄処理が終了したバレルユニット５は図１乃至図３に示す傾斜洗浄部１４（バレルユニット５の取り出し位置）に移し替えられる。
【００６７】
受渡装置部２０は、第３バレルメッキ装置部３でバレルメッキ処理して傾斜洗浄部１４での洗浄が終了したバレルユニット５をバレル移送手段により受け取り、当該バレルユニットからチップ部品とメッキ用メディアを取り出して洗浄用ポット３０に移し替えるものであるが、その受渡装置部２０の説明の前に、洗浄用ポット３０の構造について図１４及び図１５を用いて説明する。
【００６８】
図１４及び図１５に示すように、洗浄用ポット３０は、円筒状メッシュポット３１を有する。このメッシュポット３１はステンレス鋼線の網を円筒状にし、円筒網の両端を塞ぐ円盤状の蓋３２Ａ，３２Ｂを装着したものである。図１４のように蓋３２Ａは円筒網の一端に固着され、蓋３２Ａの外側には当該蓋３２Ａの中心に円筒網に平行な軸３３が固着され、軸３３の端部に蓋３２Ａと面を平行にしてスプロケット３４が固着されている。メッシュポット３１の中心とスプロケット３４の回転中心は同心である。
【００６９】
前記蓋３２Ｂは前記円筒網の他方にワンタッチで着脱自在なワンタッチ蓋である。図１５に示すように、蓋３２Ｂには複数本の放射状ピン３５が設けられており、円筒網端部に固着された環状部材３６の内周溝３６ａに突出状態の放射状ピン３５が係合するようになっている。放射状ピン３５は引き込み方向にばね３８で付勢されている。蓋３２Ｂの中央部にはワンタッチのロック解除部材３９が設けられており、ロック解除部材３９のテーパー面３９ａが放射状ピン３５の基端に当接するようになっている。ロック解除部材３９は底面側のコイルばね３９ｂにて突出方向に付勢されている。
【００７０】
従って、ロック解除部材３９に外力が加わらない状態では、図１４に図示の状態であり、ロック解除部材３９のテーパー面３９ａによって放射状ピン３５がばね３８の弾性力に抗して突出方向に駆動されて環状部材３６の内周溝３６ａに係合している。ロック解除部材３９を押せば、テーパー面３９ａの位置が放射状ピン３５から外れて放射状ピン３５はばね３８によって引き込み方向に駆動され、放射状ピン３５と環状部材３６との係合が外れ、蓋３２Ｂを離脱させることができる。逆に蓋３２Ｂを装着するときはロック解除部材３９を押した状態で円筒網端部の環状部材３６に嵌合すればよい。なお、蓋３２Ａと環状部材３６とは補強用ピン３７で連結されている。
【００７１】
このように構成された洗浄用ポット３０は、ワンタッチ蓋３２Ｂを開けた状態にてバレルユニット５のバレルからチップ部品とメッキ用メディアをそのまま移し入れ、その後ワンタッチ蓋３２Ｂを閉めることで、その内部にチップ部品とメディアとを収容保持できる。洗浄用ポット３０のサイズは、例えば円筒網の外径１００mm×長さ２００mmで容量が１５７０ｃｃとし、チップ部品とメディアの合計で８００ｃｃを収容するので約半分の内容量になる。
【００７２】
図１６乃至図２３で受渡装置部２０について説明する。図１６及び図１７は受渡装置部全体の正断面図及び平面図を示し、図１８及び図１９はその受渡装置部の要部構成の正断面図及び平面図を示す。この受渡装置部２０は、受渡装置部架台２１上に設置されたバレル移送手段としてのロボットアーム２２にて第３バレルメッキ装置部３の後段側のバレルユニット取り出し位置である傾斜洗浄部１４からメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収納したバレルユニット５を取り出し、後述する機構にてバレル４０の内容物、つまりメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを図１４及び図１５に示した洗浄用ポット３０に移し替えるものである。なお、ロボットアーム２２はバレル排出手段としても機能し、空になったバレルユニット５を図３のバレルユニット排出部７に移送する。
【００７３】
一方、新規の（空の）洗浄用ポット３０の供給手段及びメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアが移し替えられた洗浄用ポット３０の分離洗浄装置部２５への排出手段としてロボットアーム２３が前記架台２１上に設けられている。
【００７４】
各ロボットアーム２２，２３自体は汎用の装置を用いるが、そのアタッチメントに関しては本装置に適用する構成にしてある。左側のロボットアーム２２のアタッチメント２２ａはバレルユニット５を把持するためのものであり、右側のロボットアーム２３のアタッチメント２３ａは洗浄用ポット３０を把持するためのものである。
【００７５】
受渡装置部２０は、第１及び第２のロボットアーム２２，２３の他に、メッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収納したバレルユニット５のバレル４０の開閉蓋５２を開ける蓋開け手段１４０と、バレルユニット５を載置する載置台１７１を有していて、蓋開け手段１４０で開閉蓋５２を開けられたバレル４０の開口を傾斜させて下に向けるバレル支持手段１７０と、前記開閉蓋５２を開けられたバレル４０から落下したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受ける漏斗１９０と、該漏斗を通って落下したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受け取る位置に洗浄用ポット３０を支えるポット支持手段２００と、前記漏斗１９０及び洗浄用ポット３０が浸るように衝撃緩和用液体としても機能する洗浄水Ｗを満たすことのできる液槽２１０と、洗浄用ポットを前記漏斗下方の液槽内位置と液槽外位置との間で移送するポット移送手段２２０とを備えている。前記衝撃緩和用液体を兼ねた洗浄水Ｗとして、第１乃至第３洗浄部１１，１２．１３、傾斜洗浄部１４や分離洗浄装置部２５と共用して洗浄水を循環し用いるのが好都合である。
【００７６】
図２０のように、バレルユニットを載置する載置台１７１は、架台２１上に立設された固定台２４で軸支された回転軸１７２と一体となって回転可能であり、回転軸１７２は歯車等の伝動機構を介して傾斜駆動用モータ１７３により０°〜１３５°の範囲で回転駆動される。また、載置台１７１はバレル４０を載せたときにこれを回転自在に支える空転テーブル１７１ａを上側に有している。回転軸１７２の回転角０°では載置台１７１の載置面（空転テーブル上面）は水平であり、回転角１３５°でその載置面は斜め下向きとなる。
【００７７】
載置台１７１上にはバレル４０の一端（下側）の円形リング５３ａ（蓋５３の外周）を回転自在に保持するように先端部がローラーとなった保持チャック１７４が設けられている。保持チャック１７４はエアーシリンダ１７６で前後に動くものであり、前進時にバレル４０を落下しないように保持（挟持）する。また、載置台１７１に立設された支柱１７７の上端には、バレル４０の他端（上側）の円形リング５２ａを回転自在に支持するように当接ローラー１７８が枢着されている。また、載置台１７１に立設された支柱１７９の上端には、エアーシリンダ１８３が取り付けられ、このピストンロッド側にモータ取付板１８０が固着され、ここにバレル回転駆動モータ１８１が設置されるとともに前記円形リング５２ａを回転駆動するための駆動ローラー１８２が枢着されている。駆動ローラー１８２は歯車機構等の伝動機構を介してモータ１８１で回転駆動される。そして、エアーシリンダ１８３の伸びた状態で駆動ローラー１８２はバレル側円形リング５２ａに圧接する。その圧接位置は当接ローラー１７８の当接位置の正反対側である。
【００７８】
前記蓋開け手段１４０は前記載置台１７１の載置面上に載置されたバレルユニット５のバレル４０から開閉蓋５２を回転して外すものであり、架台２１の上部に固定の支持フレーム１４１、支持フレーム１４１で垂直に固定支持されるガイドロッド１４２、及びガイドロッド１４２に昇降自在に嵌合している昇降台１４３を有している。さらに、支持フレーム１４１には前記ガイドロッド１４２に平行にボール螺子軸１４４が軸支され、支持フレーム１４１に固定の昇降用モータ１４５によってボール螺子軸１４４はベルト等の伝動機構を介し回転駆動される。前記昇降台１４３にはボール螺子軸１４４に螺合するボール螺子ナット１４６が取り付けられており、昇降用モータ１４５を回転することで昇降台１４３は昇降駆動される。
【００７９】
昇降台１４３には蓋開け用回転軸１４７が軸支されており、この下部に蓋開け用回転部１４８が固着され、バレル４０の開閉蓋５２（又は開閉蓋５２に一体の部材）に係合する蓋保持チャック１４９が回転部１４８に設けられている。蓋保持チャック１４９はエアーシリンダ１５０で前後に動くものであり、前進時に開閉蓋５２を保持（挟持）する。前記回転軸１４７は昇降台１４３に取り付けられた蓋開け用モータ１５１にて歯車機構等の伝動機構を介し回転駆動される。
【００８０】
従って、バレル４０を保持チャック１７４で保持し、かつローラー１７８，１８２でバレル４０を挟持してバレル回転駆動モータ１８１の回転停止状態としておき、昇降台１４３を下降位置とし、蓋保持チャック１４９で開閉蓋５２を保持した状態で前記蓋開け用モータ１５１を回転駆動することで、バレル４０の開閉蓋５２を外すことができる。また、その後昇降台１４３を上昇させることで、図２２に示すように開閉蓋５２と一体の電極構造体６１（金属導体６２，６３及び内部電極となる金属導体６４）をバレル４０の本体の外に引き出すことができる。この図２２の状態では、１対の半円筒カバー１６０にて電極構造体６１を囲み、洗浄水噴射ノズル１６１から洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）のシャワーを噴射して電極構造体６１に付着したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを洗い流してバレル４０の本体内に落下させることができる。なお、半円筒カバー１６０の下部にはチップ部品やメディアを確実にバレル４０の本体内に戻すためのガイド１６０ａが一体化されている。
【００８１】
図１６及び図１８の仮想線のように、開閉蓋５２を外した後のバレル４０を斜め下を向けた状態では、その内容物であるメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアは漏斗１９０を通して洗浄用ポット３０の開口よりその内部に入れられるのであるが、一部の内容物がバレル４０の内側に付着している恐れがあり、そのため載置台１７１と一体に傾動するエアーシリンダ１６５の先端に洗浄水噴射ノズル１６６が取り付けられ、バレル４０の内面に洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）をシャワー状に噴射できるようになっている。
【００８２】
図２１のように、前記架台２１上には衝撃緩和用液体としても機能する洗浄水Ｗを満たした液槽２１０が設置されている。また、液槽２１０の外側位置にて漏斗支持アーム２１１が架台２１に固定され、このアーム２１１に固定の昇降用エアーシリンダ２１２のピストンロッド側に漏斗１９０がその液槽２１０の上縁に近い高さで支持されている。液槽２１０の底部には途中に開閉バルブ２１４を設けた排液管２１３が接続され、その管２１３の下端は排液路２１６に導かれている。また、液槽２１０から溢れた洗浄水を受ける樋状部２１７と排液路２１６間も排液管２１８で接続されている。
【００８３】
図１８、図２１等に示すように、漏斗１９０を通って落下したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受け取る位置に洗浄用ポット３０を支えるポット支持手段２００は、架台２１側にて支持された支持枠２０１と、該支持枠２０１で軸支された回転駆動軸２０２と、回転駆動軸２０２の下端部に固着されたポット支持テーブル２０３とを有している。ポット支持テーブル２０３は、１８０°毎に、つまり２箇所に洗浄用ポット３０を立てて保持するポット受座２０３ａを有している。
【００８４】
支持枠２０１上にはテーブル回転モータ２０４が設置され、このモータ２０４によって歯車機構等の伝動機構を介し回転駆動軸２０２が回転駆動される。位置Ｐ１にある一方のポット受座２０３ａは漏斗１９０の下方位置にて停止し、その受座２０３ａ上に載置された洗浄用ポット３０の開口が漏斗１９０の下方に位置するように位置決めする。
【００８５】
前記漏斗１９０は、昇降用エアーシリンダ２１２の下降位置で液槽２１０の衝撃緩和用液体としても機能する洗浄水Ｗに浸っている状態（少なくともメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受ける面が前記洗浄水Ｗ中に浸っている状態）であり、上昇位置では前記ポット支持テーブル２０３に載置された洗浄用ポット３０の移動を妨げないように上昇位置となる。なお、図２３のように、上昇位置の漏斗１９０の内面に洗浄水噴射ノズル２１５から洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）をシャワー状に噴射して漏斗１９０上に残っていたメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを洗浄用ポット３０に入れるようにする。
【００８６】
洗浄用ポットを漏斗下方の液槽２１０内位置と液槽２１０外位置との間で移送するポット移送手段２２０は、架台２１に垂直に立設固定される複数本のガイド軸２２１と、これらのガイド軸２２１の上部に取り付けられた支持板２２２と、ガイド軸２２１によって昇降自在に支持される昇降部材２２３と、ガイド軸２２１と平行に設けられたボール螺子軸２２４と、これを伝動機構を介し回転駆動する駆動用モータ２２５と、昇降部材２２３に枢着されて所定範囲で回動する回動アーム２３６と、回動アーム２３６の先端部下側に取り付けられた開閉チャック２２７とを有している。前記昇降部材２２３はボール螺子軸２２４に螺合するボール螺子ナットを有しており、前記モータ２２５を回転させることで昇降部材２２３は昇降する。開閉チャック２２７はエアーシリンダにて開閉動作を行うものであり、閉じたときに洗浄用ポット３０の着脱式蓋３２Ｂを含む上端部を保持（挟持）できる構造である。
【００８７】
前記架台２１上には所定の高さで液槽２１０外位置であるポット仮置き台２３０が設置されている。この仮置き台２３０には、ロボットアーム２３で図１７の新規（空の）洗浄用ポット供給部８の所定供給位置から新規の（空の）洗浄用ポット３０を把持して移載することができる。また、漏斗１９０の下方位置から外れた方の位置Ｐ２にある受座２０３ａからポット移送手段２２０のチャック２２７でメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアが移し替えられた洗浄用ポット３０を取り出し、ポット仮置き台２３０に載置することができる。
【００８８】
なお、前記チャック２２７は洗浄用ポット３０のワンタッチ着脱式蓋３２Ｂのロック解除部材３９を押圧することで着脱式蓋３２Ｂとポット３０の本体との係合を外す機能を併せ持ち、着脱式蓋３２Ｂの付いた新規の洗浄用ポット３０を位置Ｐ２の受座２０３ａに載置後、チャック２２７は着脱式蓋３２Ｂを外して持ち帰る。また、ポット支持テーブル２０３の回転により位置Ｐ１から位置Ｐ２に移されたメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収容した洗浄用ポット３０に対してはチャック２２７は持っていた着脱式蓋３２Ｂを装着してからポット仮置き台２３０に移送する。
【００８９】
右側のロボットアーム２３はポット仮置き台２３０に載置された洗浄用ポット３０（メッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収容したもの）を分離洗浄装置部２５のポット受入位置Ｑに移送する。ポット仮置き台２３０が空くとロボットアーム２３は図１７の洗浄用ポット供給部８から新規の洗浄用ポット３０（着脱式蓋３２Ｂのついたもの）をポット仮置き台２３０に移送する。
【００９０】
次に、受渡装置部２０の全体的な動作説明を行うと、まず、ロボットアーム２２にて第３洗浄部１３後段の最後尾のステーションである傾斜洗浄部１４からメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収納したバレルユニット５を取り出し、バレル支持手段１７０の載置台１７１上に移載する。
【００９１】
載置台１７１上に上向きに置かれたバレルユニット５に対して蓋開け手段１４０にてバレル４０の開閉蓋５２を開ける。すなわち、図２０の蓋保持チャック１４９にて開閉蓋５２を保持して回転させることで開閉蓋５２を解放する。
【００９２】
そして、蓋保持チャック１４９が設けられた昇降台１４３を上昇させることで、図２２に示すように開閉蓋５２と一体の内部電極を含む電極構造体６１をバレル４０の本体の外に引き出し、１対の半円筒カバー１６０にて電極構造体６１を囲み、洗浄水噴射ノズル１６１から洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）のシャワーを噴射して電極構造体６１に付着したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを洗い流してバレル４０の本体内に落下させる。
【００９３】
一方、ロボットアーム２３は図１７の洗浄用ポット供給部８から新規の洗浄用ポット３０（着脱式蓋３２Ｂのついたもの）をポット仮置き台２３０に移送し、この上に載置された洗浄用ポット３０をさらにポット移送手段２２０のチャック２２７で保持して液槽２１０内におけるポット支持テーブル２０３の位置Ｐ２の受座２０３ａに載置する。チャック２２７はその洗浄用ポット３０から着脱式蓋３２Ｂを外し、当該着脱式蓋３２Ｂを保持して待機位置に復帰する。位置Ｐ２の受座２０３ａに置かれた上部が開口した洗浄用ポット３０は前記テーブル２０３の半回転（１８０°回転）で位置Ｐ１に移送されて漏斗１９０の下方位置となる。なお、位置Ｐ２の空きとなった受座２０３ａには次の新規の洗浄用ポット３０が移送される。
【００９４】
前述のように電極構造体６１に付着したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを洗い流した後、載置台１７１を回転し、図１６や図１８仮想線のようにバレル４０を斜め下向きに傾斜させる。これによりバレル４０の内容物は漏斗１９０を通してその下方に待機した洗浄用ポット３０の開口に入る。このとき、漏斗１９０は下降位置でメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを受ける面が液槽２１０に満たされた衝撃緩和用液体としても機能する洗浄水Ｗに浸っている状態であり、メッキ済チップ部品及びメッキ用メディアは洗浄水Ｗで落下速度が低下し、漏斗１９０に当たるときの衝撃が緩和されることになる。この結果、メッキ済チップ部品の割れ、欠け等の破損を防止できる。なお、バレル４０内面に付着したメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアはバレル４０を回転させながら洗浄水噴射ノズル１６６でバレル内側に向け洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）をシャワー状に出して漏斗１９０上に落下させる。
【００９５】
内容物の無くなったバレル４０を持つバレルユニット５は載置台１７１が水平位置に復帰することで上向きとなり、蓋開け手段１４０にて保持されていた開閉蓋５２がバレル４０に装着された後、ロボットアーム２２にて図１７のバレルユニット排出部７に排出される。
【００９６】
漏斗１９０上に残ったメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアは図２３のように、上昇位置とした漏斗１９０の内面に洗浄水噴射ノズル２１５から洗浄水（通常、液槽２１０内の洗浄水Ｗと同じ）をシャワー状に噴射して洗浄用ポット３０内に落下させる。
【００９７】
バレル４０の内容物が移し替えられた位置Ｐ１の洗浄用ポット３０は、ポット支持テーブル２０３の半回転で位置Ｐ２となり、着脱式蓋３２Ｂを持って待機していたチャック２２７が下降して洗浄用ポット３０の着脱式蓋３２Ｂを装着してからポット仮置き台２３０に移載する。そして、ポット仮置き台２３０上のメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを収容した洗浄用ポット３０はロボットアーム２３にて分離洗浄装置部２５のポット受入位置Ｑに移送する。ポット仮置き台２３０があくとロボットアーム２３は図１７の洗浄用ポット供給部８から新規の洗浄用ポット３０（着脱式蓋３２Ｂのついたもの）をポット仮置き台２３０に移送する。
【００９８】
図２４乃至図３０を用いて分離洗浄装置部２５について説明する。図２４は分離洗浄装置部２５の主要部全体構成を示す正断面図、図２５は平面図である。この分離洗浄装置部２５は、ポット受入位置Ｑで受け入れた洗浄用ポット３０を間欠搬送し、移送される洗浄用ポット３０内のメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを洗浄水（例えば、前段では工業用水、後段では純水）により洗浄するとともに、メディアは洗浄用ポット３０の外部に落下させ、洗浄用ポット３０内にメッキ済チップ部品のみが残るようにする処理を行う。
【００９９】
バレル電解メッキ処理において、チップ部品とメッキ用メディアはバレル内に一緒に収容されているが、前述したように、受渡装置部２０において、分離洗浄乾燥処理の前に、バレルから図１４及び図１５に示した洗浄用ポット３０にチップ部品とメディアは入れ替えられている。図２６の洗浄用ポット３０の模式図に示すように、洗浄用ポット３０のサイズが、例えば円筒網の外径１００mm×長さ２００mmで容量が１５７０ｃｃであるとすると、チップ部品ＣとメディアＭの合計で８００ｃｃを収容するので約半分の内容量になる。
【０１００】
分離洗浄装置部２５は、分離洗浄装置部架台２６上にメディア分離部２５０、超音波洗浄部２６０、純水リンス部２７０及び乾燥部２８０を備えており、チップ部品ＣとメディアＭを入れた専用の洗浄用ポット３０を受け取り、メディア分離部２５０によって始めにチップ部品ＣとメディアＭを洗浄しながら分離し、超音波洗浄部２６０にてチップ部品Ｃを超音波洗浄し、純水リンス部２７０にてチップ部品Ｃを純水で洗浄し、乾燥部２８０でチップ部品Ｃを乾燥し、専用の洗浄用ポット３０からチップ部品Ｃを取り出す次の工程に対し、この洗浄用ポット３０を受け渡すまでを１パスで自動的に行う構成である。
【０１０１】
例えば、チップ部品Ｃは寸法が長さ１．６mm、幅０．８mm、厚さ０．８mmを製品１６０８と呼ぶことにする、製品とメディアサイズの関係について、製品１６０８に対して、メディアＭは形状が球形で外径０．５７mmを選択しメディアサイズφ０．５７と呼ぶことにする。洗浄用ポット３０は円筒状のメッシュポット３１を有し、このメッシュポット３１はメディアサイズφ０．５７が通過し製品１６０８が通過しないメッシュで構成する。チップ部品Ｃの寸法が異なるとメディアＭの形状やサイズを変更し、洗浄用ポット３０のメッシュポット３１のメッシュを変更することになる。
【０１０２】
洗浄用ポット３０を搬送しながらチップ部品ＣとメディアＭを分離し、その後に乾燥までの一連の自動化を図るためには、メディアＭの分離、チップ部品Ｃの洗浄、乾燥まで洗浄用ポット３０を共用することが重要であり、洗浄用ポット３０は上記工程を通して使用できる専用のメッシュポットを具備している。
【０１０３】
この洗浄用ポット３０に対して、バレルからチップ部品ＣとメディアＭをそのまま移し入れワンタッチ蓋３２Ｂを閉めたものが、受渡装置部２０により分離洗浄装置部２５の入口（ポット受入位置Ｑ）に載置され、ここから分離洗浄装置部２５の搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂに載せることで一連の分離、洗浄、乾燥プロセスが完了できるようになっている。
【０１０４】
図２４及び図２５に示す如く、分離洗浄装置部２５はその架台２６に各機構を組み付けて構成してある。架台２６に固定する軸受２８が軸支する軸２９と、軸２９に嵌着するスプロケットは複数組が備えられる。図２５の複数のスプロケット２９０Ａ間には洗浄用ポット３０を回転駆動するための回転用チェーン２９１が張架されている。また、軸２９の両側に設けられたスプロケット２９０Ｂ，２９０Ｃ間には洗浄用ポット３０を搬送する一対の搬送用チェーン２７Ａ，２７Ｂが張架されている。つまり、搬送用チェーンは図２４の手前からチェーン２７Ａ，２７Ｂと複数が備えられる。この状態は、図２４に対し直交する方向からチェーン２７Ａ，２７Ｂ上の洗浄用ポット３０を見て示す図１４により詳しく示され、洗浄用ポット３０のメッシュポット３１の両側に搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂが位置するように設定している。搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂは対向する位置のリンク軸を延長するステーピン２７Ｐで一体化され、搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂは複数のステーピン２７Ｐを梯子のような形態に備える。そうして、搬送チェーン２７Ａは複数のスプロケット２９０Ｂで、搬送チェーン２７Ｂは複数のスプロケット２９０Ｃで、各々張架されている。回転用チェーン２９１は図１４に示す如く洗浄用ポット３０が備えるスプロケット３４に係合する。搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂを連結するステーピン２７Ｐは両端にローラ２９５Ａ，２９５Ｂを回転自在に支持し、隣り合うローラ２９５Ａの２個と、隣り合うローラ２９５Ｂの２個で計４個が１つの洗浄用ポット３０を回転自在に支持する構成である。これらの搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂ等を含む機構が搬送機構をなしている。
【０１０５】
また、走行する回転用チェーン２９１にて前記洗浄用ポット３０側スプロケット３４を回転させると、軸３３から蓋３２Ａを経てメッシュポット３１に回転力が伝わり、結局、洗浄用ポット３０は一体にローラ２９５Ａ，２９５Ｂに回転自在に支持され回転することになる。これらの回転用チェーン２９１を含む機構が洗浄用ポット３０を回転させる回転駆動手段をなしている。
【０１０６】
図２４の左端の洗浄用ポット受入側には洗浄用ポット３０を搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂ上に自動載置するためのローダー３００が設置されている。
【０１０７】
また、図２４において架台２６右端にモータ２９８，２９９が固定されている。モータ２９８の出力軸に固着したスプロケットと軸２９に固着したスプロケット間にチェーンを張架して、モータ２９８の出力軸が回転すると搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂが循環する仕組みとする。モータ２９９の出力軸に固着したスプロケットと軸２９Ａに固着したスプロケット間にチェーンを張架して、モータ２９９の出力軸が回転すると回転用チェーン２９１が循環する仕組みとする。
【０１０８】
架台２６の上方に複数のチェーンガイドが固定される。チェーンガイドは図２４の手前から直交する方向にチェーンガイド２９３Ａ，２９３Ｂと備えられ、チェーンガイド２９３Ａは図２４の手前において横一列に複数個が配置され、チェーンガイド２９３Ｂは図２４の奥側において横一列に複数個が配置される。チェーンガイド２９３Ａは搬送チェーン２７Ａを支持し、チェーンガイド２９３Ｂは搬送チェーン２７Ｂを支持する。
【０１０９】
図２４に示すように、分離洗浄装置部２５は矢印Ｐの方向に洗浄用ポット３０を搬送する構成であるが、搬送される洗浄用ポット３０に対し行われるプロセス用の構成を順に説明する。なお、本実施の形態では洗浄用ポット３０の搬送は間欠搬送であるものとする。
【０１１０】
図２７及び図２８に示すように、メディアＭを分離排出するメディア分離部２５０がポット搬送方向よりみて最前位置に配置されている。このメディア分離部２５０はシャワー部２５１を備えている。シャワー部２５１はシャワーノズル２５２を備え、シャワーノズル２５２は噴出口２５３を備えていて、洗浄水を噴出する噴出手段を構成している。噴出口２５３は洗浄用ポット３０の円筒方向に延長する長方形で細長い開口であり、例えば洗浄水を下方の洗浄用ポット３０の円筒方向全長にわたりナイフエッジ状に噴出する。図２８のように矢印Ｐ１方向に間欠搬送される洗浄用ポット３０の下方にはメディアＭや洗浄水の排出路２５４を配置する。排出路２５４は漏斗状のシュート２５５と排出口２５６でなり、シュート２５５でメディアＭや洗浄水を受けて排出口２５６から洗浄水分離部２５７に排出する。図２８は矢印ＴでメディアＭや洗浄水が移動することを示すが、排出口２５６の真下に洗浄水分離部２５７を配置するか、排出口２５６にダクトやパイプを接続する構成とすれば真下に位置しなくてもよい。いずれにしても、排出口２５６から排出されたメディアＭや洗浄水は全て洗浄水分離部２５７に至る構成である。
【０１１１】
シャワー部２５１での条件として例えば、メッシュポット３１を有する洗浄用ポット３０の回転数を２５〜３０rpmとし、噴出口２５３のスリット寸法は幅０．８〜１．０mm×長さ２５０mmとし、噴出する洗浄水量は５０リットル／分以上とし、分離に要する時間を１８０秒とすると、ほぼ完全に洗浄用ポット３０からメディアＭを分離することが可能である。シャワー部２５１により分離されたメディアＭが、約４分毎に２．５ｋｇ（容量にして５００ｃｃ以上）ずつ排出されることになり、図２８のようにシュート２５５で受け止めて洗浄水と同時に排出口２５６から排出し、洗浄水分離部２５７のメッシュ篭２５８内に導いてメディアＭを残し洗浄水は通過させて水切りする構成である。メッシュ篭２５８は円筒網の内周に螺旋状ヒレ２５９を設けたものであり、かつ円筒網はその円筒中心を回転中心として回転駆動されるようになっている。回転するメッシュ篭２５８内に洗浄水とともに導入されたメディアＭはメッシュ篭２５８により通過を阻止され、メッシュ篭２５８内側の螺旋ヒレ２５９の働きで篭左端方向に移送され、水タンク３０１の横に併設されたメディア回収箱３０２内に次々に落下する。洗浄水はメッシュ篭２５８を通過して下方の水タンク３０１に戻る。図２８に示すように、水タンク３０１内の水をポンプ３０３で汲み上げてシャワーノズル２５２に供給する。つまり、水タンク３０１の下方にパイプ３０４が接続し、パイプ３０４の他端にポンプ３０３が接続し、ポンプ３０３の出口に接続したパイプ３０５を通してシャワーノズル２５２に水を供給するようになっている。
【０１１２】
なお、後述するが水タンク３０１内の水は超音波洗浄部２６０と純水リンス部２７０でも使用するため、水タンク３０１に補給する水は純水とする。
【０１１３】
図２８に示すように、洗浄用ポット３０の搬送方向よりみてメディア分離部２５０の後に超音波洗浄部２６０と純水リンス部２７０とが設けられている。超音波洗浄部２６０において、矢印Ｐ２の方向に間欠搬送されながら回転するメッシュポット３１を有する洗浄用ポット３０に対し超音波洗浄する構成であり、洗浄槽２６１は４側面の角筒形状に底２６２を備える容器であって、上面の開口と下方の排水口２６３を備える。さらに、洗浄用ポット３０の搬送路において開口２６４，２６５を備え、開口２６４を開閉するシャッター２６６と、開口２６５を開閉するシャッター２６７とを備える。シャッター２６６，２６７は開口２６４，２６５の上部に枢支され、仮想線２６６’，２６７’に示す位置まで揺動して開閉する。シャッター２６６，２６７は図示しない駆動手段（例えば空庄あるいは油圧あるいは電動等）で開閉する構成である。間欠走行する搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂでシャッター２６６，２６７の開いているときに洗浄槽２６１内に１つの洗浄用ポット３０を送り込んだ後、シャッター２６６，２６７を閉めると洗浄槽２６１は上面の開口以外は下方の排水口２６３が開口するだけである。排水口２６３はスリット状で所定の流量を通過させるが、水タンク３０１から所定量の水をポンプ３０３で補給することで洗浄槽２６１内の水位を保つ。つまり、水タンク３０１の下方にパイプ３０４が接続し、パイプ３０４の他端にポンプ３０３が接続し、ポンプ３０３の出口にパイプ３０５が接続する循環系において、洗浄槽２６１に所定の量の水を補給することで水位を保つ構成である。シャッター２６６，２６７を開く前には水補給を止めて開口の下辺以下に水位を下げてから開くようにする。
【０１１４】
超音波洗浄部２６０は、洗浄槽２６１に対して、例えば洗浄用ポット３０の搬送経路の下側に超音波振動子２６８を配置する。但し、超音波振動子の個数及び配置は超音波洗浄が有効に行われる範囲で任意である。超音波振動子２６８は図示しない駆動電源に接続されており、駆動電源（超音波発振器）から電力を供給すると振動し、洗浄槽２６１に所定の水位を保ち収容された水に超音波振動を与える。所定の位置の洗浄用ポット３０は超音波振動子２６８から最も効率的に超音波振動を受ける位置にあり、洗浄用ポット３０内のチップ部品Ｃを効果的に振動させてチップ部品Ｃから付着物を除去し、また、純水置換によりより高度な洗浄をする。洗浄用ポット３０を各々次の位置に搬送する前にはポンプ３０３を止めて洗浄槽２６１の水位を下げ、シャッター２６６，２６７を仮想線の位置に開いてから洗浄用ポット３０を各々次の位置に搬送し、各々次の位置に洗浄用ポット３０が停止するとシャッター２６６，２６７を閉じてからポンプ３０３を運転し、洗浄槽２６１に所定の量の水を供給し水位を所定の位置に回復する。このためポンプ３０３と超音波振動子２６８は間欠的な運転をすることになる。なお、前記洗浄槽２６１の排水口２６３から出た水は漏斗状のシュート２５５、洗浄水分離部２５７を経て水タンク３０１に戻るようになっている。
【０１１５】
純水リンス部２７０と純水の循環処理系について説明すると、純水リンス部２７０は前記シャワーノズルとは異なるスプレーノズル２７１を備える。スプレーノズル２７１は洗浄用ポット３０の円筒に平行なパイプ２７２と、ポット円筒方向に沿ってパイプ２７２の長手方向に配列された複数個の噴射口２７３とを備え、加圧された純水がパイプ２７２に供給されると噴射口２７３から洗浄用ポット３０に噴射する構成であり、噴射により洗浄用ポット３０が純水でリンスシャワーされ、チップ部品Ｃの表面は純水置換される。噴射後の水は漏斗状のシュート２５５、洗浄水分離部２５７を経て水タンク３０１に戻るようになっている。洗浄用ポット３０は搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂの間欠走行により矢印Ｐ３の方向に搬送され超音波洗浄部２６０から純水リンス部２７０に搬入され、リンスシャワーを受けた後、次の位置に送り出される。
【０１１６】
前記水タンク３０１には純水を補給するが、メディア分離部２５０、超音波洗浄部２６０及び純水リンス部２７０で循環使用するため、回収した水は幾分汚れている可能性がある。メディア分離部２５０及び超音波洗浄部２６０ではポンプ３０３で水タンク３０１内の水を直接汲み上げて使用可能であるが（必要ならば汚染物質を除去するフィルターを通す）、純水リンス部２７０では純水のリンスシャワーをかける必要上、水タンク３０１の水を直接使用することはできない。このため、水タンク３０１の最下方にパイプ３１０が接続し、パイプ３１０の他端にポンプ３１１が接続し、ポンプ３１１の吐出口にパイプ３１２が接続し、パイプ３１２の他端にＵＶ殺菌部３１３が接続し、ＵＶ殺菌部３１３の出口にパイプ３１４を介して１０μｍのフィルター３１５が接続し、フィルター３１５の出口にパイプ３１６を介してイオン交換器３１７が接続し、イオン交換器３１７の出口にパイプ３１８を介して１μｍのフィルター３１９が接続し、フィルター３１９の出口にパイプ３２０が接続し、パイプ３２０の他端はスプレーノズル２７１のパイプ２７２に接続する構成とする。パイプ２７２はパイプ３２０の接続を除き複数個の噴射口２７３が外部に開口するのみであり、ポンプ３１１で加圧された純水がパイプ２７２に循環すると噴射口２７３から洗浄用ポット３０に噴射する。タンク３０１からの水がポンプ３１１で循環する途中のＵＶ殺菌部３１３はＵＶ殺菌灯で水を照射してバクテリア等を死滅させ、フィルター３１５，３１９は、洗浄工程で水が除去し含有した塵、バクテリア等の死菌、ポンプの発塵等の微粒子を除去し、イオン交換器３１７は使用済み水に含有するイオンを除去して純水リンス部２７０に純水として供給する。なお、水タンク３０１に新しい純水３３０の所定量を補給し、純水の循環系と循環処理系に保有される純水の量を常に所定量に保つようにする。
【０１１７】
図２９に示すように乾燥部２８０は、洗浄用ポット３０を矢印Ｐ４の方向に搬送する搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂに沿い、エアブロー部２８１，２８２を備えている。そのエアーブロー部２８１におけるエアー供給の構成は、大気の取込口にサクションフィルター２８４を備えるブロアー２８５と、ブロアー２８５のエアー出口に接続するパイプ２８６と、パイプ２８６の他端に微粒子の除去等に有効なエアーフィルターであるヘパフィルター２８７が接続し、ヘパフィルタ２８７の出口にパイプ２８８が接続する。パイプ２８８はエアープロ一部２８１でパイプ２８８Ａ，２８８Ｂ，２８８Ｃに分岐する。エアーブロー部２８１はエアーブローノズル３３１，３３２とスポットノズル３３３を備え、パイプ２８８Ａに接続するエアーブローノズル３３１は噴気口３４１を備え、パイプ２８８Ｂに接続するエアーブローノズル３３２は噴気口３４２を備える。噴気口３４１，３４２は洗浄用ポット３０の円筒方向に長いノズルスリットであり、例えばノズルスリットの寸法として幅０．５mmで長さが３５０mmとすることができ、上方から下方の洗浄用ポット３０に向かってエアーブロー（空気流）３５１，３５２を噴出する構成である。また、パイプ２８８Ｃに接続するスポットノズル３３３は噴気口３４３を備え、洗浄用ポット３０の円筒方向に複数個が配置され、上方から下方の洗浄用ポット３０に向かってエアーブロー３５３を噴出する構成である。
【０１１８】
エアーブロー部２８２はエアーブロー部２８１の後段に配置されており、洗浄用ポット３０の配置された室３６０の全体に前記ヘパフィルタ２８７を通過したエアーを通過させて洗浄用ポット３０内のチップ部品Ｃを乾燥させている。
【０１１９】
前記エアーブロー部２８１，２８２は洗浄用ポット３０の搬送経路下方にエアー及び水滴の排出路３６１を備える。排出路３６１はエアーブロー部２８１下方に漏斗状をしており、下端に排出口３６２を有し、排出路３６１の途中位置に受け網３６３が配置される。排出口３６２は排出パイプ３６４を通して前記水タンク３０１に接続されている。排出路３６１を下降した水滴は受け網３６３を通過して排出口３６２に至り、排出パイプ３６４を経て水タンク３０１に戻る。洗浄用ポット３０は乾燥部２８０に至っても僅かながらメディアＭが残存している可能性があり、洗浄用ポット３０に上方からエアーブローすると水滴と共に残存するメディアＭも落下する。この落下するメディアＭを受け止めるのが受け網３６３であり、水滴だけが下方の排出口３６２に降下してメディアＭを回収することになる。また、乾燥における条件として例えば、メッシュポット３１を有する洗浄用ポット３０を２５〜３０rpmで回転させながら、エアブロー部２８１において１８０秒の乾燥時間を設けたところ、１２０秒ほどから急速に乾燥しはじめ１８０秒では完璧に乾燥することが確認された。さらにエアーブロー部２８２で洗浄用ポット３０全体に送風することで乾燥を一層確実にしている。
【０１２０】
図３０は分離洗浄装置部２５の工程を示すフローチャートであり、これにより分離洗浄装置部２５の全体的な動作説明を行う。
【０１２１】
分離洗浄装置部２５に洗浄用ポット３０を投入すると、図２４のローダー３００で搬送チェーン２７Ａ，２７Ｂを有する搬送機構上に載置され、まずメディア分離部２５０に間欠搬送され、ここのシャワー部２５１において洗浄用ポット３０を回転させながら洗浄水を噴射して洗浄用ポット３０からメディアＭを分離する。メディアＭは図２８の洗浄水分離部２５７が有するメッシュ篭２５８を介してメディア回収箱３０２内に回収される。洗浄水はメッシュ篭２５８を通過して水タンク３０１に戻る。なお、シャワー部２５１への洗浄水の供給は水タンク３０１の水をポンプ３０３で汲み上げることにより行う。
【０１２２】
洗浄用ポット３０は搬送機構によりメディア分離部２５０から図２８の超音波洗浄部２６０のシャッター２６６，２６７が開いた状態において洗浄槽２６１内に導入される。洗浄用ポット３０が洗浄槽２６１内に入るとシャッター２６６，２６７が閉じ、洗浄槽２６１内に洗浄水が満たされ、超音波振動子２６８より超音波を放射し、洗浄用ポット３０内のチップ部品Ｃに超音波振動を与えることで超音波洗浄が行われる。なお、前記洗浄槽２６１への洗浄水の供給は水タンク３０１の水をポンプ３０３で汲み上げることにより行う。
【０１２３】
超音波洗浄の終了した洗浄用ポット３０は洗浄槽２６１内の水位を下げ、シャッター２６６，２６７を開いた状態にて搬送機構により純水リンス部２７０に移送される。純水リンス部２７０においては図２８のスプレーノズル２７１から洗浄用ポット３０に純水を噴射して洗浄し、チップ部品Ｃの表面を純水置換する。スプレーノズル２７１への純水の供給はポンプ３１１で水タンク３０１の水を汲み上げ、ＵＶ殺菌部３１３、１０μｍのフィルター３１５、イオン交換器３１７、１μｍのフィルター３１９を通して行う。
【０１２４】
純水リンス部２７０を出た洗浄用ポット３０は、搬送機構の間欠搬送により乾燥部２８０のエアブロー部２８１，２８２の順に移送され、サクションフィルター２８４を持つブロアー２８５よりヘパフィルター２８７を介して送風し、エアーブローによってチップ部品Ｃは乾燥させられる。その後、洗浄用ポット３０が搬送機構の排出側端に移送され、さらに図２の洗浄用ポット排出部９に移載される。
【０１２５】
次に第１バレルメッキ部１乃至分離洗浄装置部２５に至る全体の動作説明を行う。
【０１２６】
図２のバレルユニット供給部６からメッキ部架台１０の下段位置にある第１バレルメッキ部１にピック・アンド・プレース機構によりバレルユニット５が供給されると、第１バレルメッキ部１はそのメッキ浴槽のメッキ液にバレルユニット５のバレル４０部分を浸漬けながら間欠搬送し、Ｃｕの電解メッキ処理を行う。その後、第１バレルメッキ部１と第２バレルメッキ部２間のピック・アンド・プレース機構１３０にて第１バレルメッキ部１から第１洗浄部１１に移し替える。
【０１２７】
第１洗浄部１１にてメッキ液を洗浄水で落とした後、ピック・アンド・プレース機構１３０によって第２バレルメッキ部２にバレルユニット５を移し替え、ここでＮｉの電解メッキ処理を行う。その後、エレベータ機構１５で下段位置の第２バレルメッキ部２のバレルユニット５を架台１０の上段位置に引き上げ、さらに第３バレルメッキ部３前段のピック・アンド・プレース機構１３０にて第２バレルメッキ部２から第２洗浄部１２に移し替える。
【０１２８】
第２洗浄部１２にてメッキ液を洗浄水で落とした後、ピック・アンド・プレース機構１３０によって第３バレルメッキ部３にバレルユニット５を移し替え、ここでＳｎの電解メッキ処理を行う。その後、第３バレルメッキ部３の後段位置のピック・アンド・プレース機構１３０にて第３バレルメッキ部３から第３洗浄部１３に移し替えてメッキ液を洗浄水で落とし、さらに傾斜洗浄部１４に移し替えてバレルユニット５を傾斜状態として洗浄水で洗浄する。
【０１２９】
図１６及び図１７のように、受渡装置部２０は、ロボットアーム２２にて傾斜洗浄部１４からメッキ済みチップ部品及びメディアを収容したバレルユニット５を取り出し、バレル支持手段１７０の載置台１７１上に載置し、蓋開け手段１４０でバレルユニット５の蓋をあけ、さらに載置台１７１を下向きに傾斜させてバレルユニット５のバレル４０から液槽２１０内の洗浄水Ｗに浸っている漏斗１９０を通して洗浄水Ｗ中で待機している洗浄用ポット３０の開口にメッキ済みチップ部品及びメディアを移し替える。メッキ済みチップ部品及びメディアを収容した洗浄用ポット３０は着脱式蓋３２Ｂを装着されてポット仮置き台２３０に置かれる。その後、ロボットアーム２３にて分離洗浄装置部２５のポット受入位置Ｑに移送する。
【０１３０】
図２４及び図２５のように、分離洗浄装置部２５のポット受入位置Ｑに載置されたメッキ済みチップ部品及びメディアを収容した洗浄用ポット３０は、間欠搬送動作を行う搬送用チェーン２７Ａ，２７Ｂに載置され、メディア分離部２５０による洗浄水のシャワーを洗浄用ポット３０にかけることで、メディアをポット外部に落下させて分離する。その後、洗浄用ポット３０は超音波洗浄部２６０にて超音波による洗浄を受け、さらに純水リンス部２７０にて純水のリンスシャワーを受けて内部のチップ部品を洗浄し、チップ部品表面を純水置換する。その後、乾燥部２８０のエアーブローにより洗浄用ポット３０内のチップ部品を乾燥させる。
【０１３１】
なお、第１乃至第３洗浄部１１，１２，１３、傾斜洗浄部１４、受渡装置部２０内の液槽２１０及び各ノズルへの洗浄水の供給経路は図示しないが、分離洗浄装置部２５の水タンク３０１を洗浄水の供給源として共用する。
【０１３２】
この実施の形態によれば、次の通りの効果を得ることができる。
【０１３３】
(1) バレルメッキ装置部１，２，３によるバレルユニット５を用いたチップ部品の電解メッキ処理、受渡装置部２０によるバレルユニット５からチップ部品及びメディアの洗浄用ポット３０への移し替え、洗浄用ポット３０を用いた分離洗浄装置部２５によるメディアの分離、チップ部品の洗浄水による洗浄、乾燥処理を自動化できる。このため、従来人手に頼っていたメッキ浴槽間のバレルの移し替えや、チップ部品とメディアとの分離作業等を無人化でき、省力化及びメッキ品質の向上、作業時間の短縮、ひいては量産性の改善を図ることができる。
【０１３４】
(2) 各バレルメッキ装置部１，２，３は互いに異なる金属の電解メッキを行う設定であり、チップ部品の外部電極に応じた多層金属メッキ処理が可能である。
【０１３５】
(3) バレルメッキ装置部１，２，３の配置は２階建て構造としたので、省設置スペースとなる。例えば、Ｃｕ，Ｎｉ，Ｓｎの３種のメッキを行う場合、バレルメッキ装置の長さが単なる平面配置であると約２０ｍとなるものを本実施の形態の構成とすることで約８ｍ程度に縮小でき、設置床面積も約３６ｍ２から約２１ｍ２とほぼ６割にすることが可能である。
【０１３６】
(4) バレルメッキ装置部１，２，３の後段に配置する洗浄部１１，１２，１３の水洗槽１２０、受渡装置部２０の液槽２１０及び各ノズルに対する洗浄水の供給は、分離洗浄装置部２５における水タンク３０１内の洗浄水を共通に利用できる。このため、給水系統の簡素化を図ることができる。
【０１３７】
(5) 各バレルメッキ装置部は、バレルユニット５をメッキ浴槽８１内で間欠搬送し、停止時のみ通電する構成であり、バレルユニット５を継続移動させながら通電する構成に比較して通電電流のばらつきを少なくできる。
【０１３８】
(6) 各バレルユニット５が備えるバレル４０の回転に伴い上方に持ち上げられたチップ部品が途中から落下し、そのチップ部品が電極構造体６１の上部に落下しても、電極構造体６１の上部に長手方向に直交する断面が刃先形状の山形部６８を備え、チップ部品が載る面を無くして傾斜面としており、チップ部品が載置し付着することがなく、全てのチップ部品の外部電極にメッキを施すことができる。この結果、メッキ不良品を生じることなく、良好なメッキ品質を保ちバラツキが小さいチップ部品の外部電極メッキができる。さらに、山形部６８の長手方向に直交する断面が二等辺三角形で、該二等辺三角形の頂点が山形部６８の上端となる形状とすることで、頂点の両側の傾斜を同じにして、チップ部品の付着を効果的に防止でき、かつ山形部６８の製造も容易とすることができる。
【０１３９】
(7) 各バレルメッキ装置部において、バレルユニット５の電極構造体６１を構成する金属導体６４，６５，６６もアノード１１６も内部抵抗を有する電導体であり、電極構造体６１の導出側とアノード１１６の引出線１１７の導出側が一致していると、それらの導出側に近い位置のメッキ電流密度と、導出側から遠い位置のメッキ電流密度にその内部抵抗が影響する。しかし、本実施の形態の図９ではバレル４０内の内部電極の導出側にアノード導出側を位置させないので、内部抵抗の影響を相殺することができる。従って、バレル４０内においてどこに位置するチップ部品であってもメッキの状態に相違がなく、チップ部品の外部電極の形成における品質を阻害することがなく、ひいてはチップ部品の外部電極の品質のばらつきを低減可能である。
【０１４０】
(8) 受渡装置部２０において、バレルユニット５のバレル４０から洗浄用ポット３０にメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを移し替える際に、ポット３０と漏斗１９０を衝撃緩和用液体としても機能する洗浄水Ｗの中に位置させて落下の衝撃を和らげ、チップ部品とメディアの損傷を防止することが可能になる。
【０１４１】
(9) バレル４０の開口を下向きとする前に、バレル４０の蓋側に取り付けられた電極構造体６１部分に洗浄水を噴射して当該電極構造体部分に付着していたメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを当該バレル４０内に落下させる構成を具備するとともに、バレル４０開口を下向きにした状態で該バレル内に洗浄水を噴射して当該バレル内側に付着していたメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを落下させる構成を具備する。このため、バレル４０内にメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアを残さずにバレルユニット５を排出でき、空となったバレルユニット５をバレルメッキ装置部において直ちに利用できる。
【０１４２】
(10) チップ部品とメディアとを収容するメッシュポット３１を有する洗浄用ポット３０について、チップ部品の最大長さ寸法よりも小さい最大長さ寸法のメディアを選択し、かつメッシュポット３１はメディアが通過するがチップ部品は通過しないメッシュで構成するようにしたので、メディア分離部２５０において噴出口から洗浄用ポット３０に向けて洗浄水を噴出し、洗浄水によりメッシュポット３１からメディアを通過させて排出し、メッシュポット３１内にチップ部品を残留させることにより、比較的に簡単な構成で効率よくチップ部品とメディアとを分離できる効果が得られる。その際、洗浄用ポット３０を回転させることで、メディア分離をいっそう確実かつ効率的に行うことができる。
【０１４３】
(11) チップ部品とメディアとを収容するメッシュポット３１を有する洗浄用ポット３０を一定の方向に搬送する搬送機構と、洗浄用ポット３０が搬送される方向に順に、メディア分離部２５０と、超音波洗浄部２６０と、純水リンス部２７０と、乾燥部２８０とを備え、洗浄用ポット３０が間欠的にかつ一定の水平方向（横方向）に搬送される構成であり、搬送方向と異なる例えば上下方向に洗浄用ポット３０を移動させる動作を余分に行う必要がなく、洗浄用ポット３０の搬送や移動に伴う無駄が生じない。
【０１４４】
(12) 分離洗浄装置部２５において、超音波洗浄部２６０で容器内のチップ部品Ｃを超音波洗浄するため、チップ部品Ｃから汚染物質を確実に除去できる。また、超音波洗浄部２６０の洗浄槽２６１は入口、出口にシャッターを有するので、洗浄用ポット３０を水平移動させることで洗浄槽２６１に搬入、搬出できる。
【０１４５】
(13) 分離洗浄装置部２５において、純水リンス部２７０では洗浄用ポット３０内のチップ部品に純水のリンスシャワーをかけるので、チップ部品表面に汚染物質が残存するのを防止できる。
【０１４６】
(14) 分離洗浄装置部２５において、乾燥部２８０のエアブロー部２８１では高速エアーブローにより洗浄用ポット内のチップ部品に付着した水滴を吹き飛ばすことができ、チップ部品表面の水滴が付着した状態で乾燥させたときに発生しやすい汚れやしみの発生を回避できる。
【０１４７】
なお、バレルメッキ装置部の個数は、必要とされるチップ部品の外部電極の構造に対応させて増減できる。
【０１４８】
また、受渡装置部２０における洗浄水は通常、工業用水や純水であるが、それらに洗剤等を添加したものであってもよく、水以外の液体を使用することも可能である。
【０１４９】
また、分離洗浄装置部２５において、メディア分離部２５０のシャワー部は１つのステーションとしたが、複数ステーションとしてもよい。
【０１５０】
図３２及び図３３は本発明の他の実施の形態であって、各バレルメッキ装置部におけるアノードに付随する構造の改良を示す。この場合、横方向に間欠搬送されるバレルユニット５のそれぞれの停止位置で停止中の１個のバレルユニット５の真下位置に、１個の矩形板状アノード１１６を配置する点は上記実施の形態と同じであるが、バレル４０の筒体５１の軸方向に平行な当該アノード１１６の両縁部が絶縁部材１１８で覆われ、電気的に絶縁されている。換言すれば、アノード１１６はバレルユニット５が搬送される方向になる両辺に絶縁部材１１８を備え、該絶縁部材１１８は断面がコ字形状をしている。絶縁部材１１８の材質はメッキ液に侵されなくて絶縁性が得られるものがよく、プラスチックス類が適しており、例えば塩化ビニール等を用いることができる。
【０１５１】
前記絶縁部材１１８は断面コ字状であり、アノード１１６の両方の縁部に嵌合して装着するが、さらに固定を確実にするために、絶縁部材１１８のコ字状の下辺部に螺子穴を設け、螺子穴に樹脂製（例えばＰＥＥＫと呼ばれるポリエステルエーテルケトン）ボルト１１９（例えば十字穴付なべ小螺子）を螺着して絶縁部材１１８をアノード縁部に固着、保持させる。図３２及び図３３に図示のように、隣接するバレルユニット５に対するアノード１１６にも同様に絶縁部材１１８をそれぞれ装着、固定する。いずれのアノード１１６も方形の角が絶縁部材１１８で覆われた構成となる。とくに上側の角が覆われることが重要である。なお、絶縁部材１１８のコ字状横部分の幅Ｗは例えば１５mm程度とする。
【０１５２】
両縁部に絶縁部材１１８を取り付けたアノード１１６はメッキ浴槽８１の内側底面上に電気的な絶縁部材でなる複数の台１１５にて支持される。
【０１５３】
なお、その他の構成は前述の実施の形態と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付して説明を省略する。
【０１５４】
この実施の形態において、矩形板状アノード１１６に対して、バレル２の筒体１１の軸方向に平行な当該アノード１１６の両縁部に断面コ字状絶縁部材１１８を装着し、コ字状横部分の幅Ｗを１５mmとして、チップ部品の外部電極にメッキを形成し評価して見たところ、その変動係数が１０％前後であった。アノード１１６のような電極板は、角でメッキ電流分布が強く内部面は弱いことが知られており、絶縁部材１１８はこの電流分布の強弱を無くすあるいは弱める働きをする。また、隣接するアノード１１６相互の影響も遮断するあるいは弱める働きをする。それらの結果、従来は変動係数が１８〜２６％も生じた工程において、生産の効率を落とすようなゆっくりした所要時間でメッキをしなくても、本実施の形態では変動係数が１０％前後と大幅に改善する。条件によっては変動係数を数％程度に抑制可能であり、バレルメッキ装置と分離・洗浄する工程を自動化して効率よくメッキするための障害を取り除くことができる。
【０１５５】
なお、図３２及び図３３の実施の形態では、矩形板状アノードの両縁部に断面コ字状の絶縁部材を取り付けたが、メッキ電流密度が大きくなるのはアノードの上側角部（バレルへの距離が近い方の角部）であるから、該上側角部を覆うような断面逆Ｌ字状の絶縁部材をアノードの両縁部に設ける構造とすることも可能である。但し、取り付けの確実性の点では断面コ字状絶縁部材の方が優れている。
【０１５６】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【０１５７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る連続搬送バレルメッキ装置によれば、チップ部品を収容するバレルユニットをバレルメッキ装置部内で搬送する構成とし、また、そのバレルユニットのバレルから分離洗浄装置部に用いる洗浄用ポットに自動的に移し替えることができる。さらに、分離洗浄装置部では前記洗浄用ポットを用いてバレル分離及びチップ部品洗浄が自動的に行われる構成としたので、チップ部品をバレルに収容してバレルメッキ装置部に投入すると、チップ部品の外部電極に電解メッキし、チップ部品とメディアを分離し洗浄して、チップ部品の外部電極へのメッキが自動的に行われる。これにより、人の作業を削減し、かつメッキの品質を向上させ、所要時間の短縮が可能となる。例えば、タクトタイムは従来のバレルメッキ装置の１／２程度に短縮でき、生産効率を２倍以上に高めることができる。また、無人稼働可能時間も従来装置では１０分程度であったものが、１時間前後と大幅に長くできる。
【０１５８】
さらに、複数のバレルユニット装置部の配置を立体的配置にする場合、バレルユニット装置部の設置床面積の削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る連続搬送バレルメッキ装置の実施の形態であって、全体構成の正面図である。
【図２】全体構成の下段（１階）部分の平断面図である。
【図３】全体構成の上段（２階）部分の平断面図である。
【図４】本実施の形態で用いるバレルユニットの正断面図である。
【図５】同平面図である。
【図６】同左側面図である。
【図７】前記バレルユニットのバレル部分の横断面図である。
【図８】本実施の形態におけるバレルメッキ装置部の正断面図である。
【図９】前記バレルメッキ装置部の横断面図である。
【図１０】本実施の形態における洗浄部の正断面図である。
【図１１】同横断面図である。
【図１２】本実施の形態におけるピック・アンド・プレース機構の正面図である。
【図１３】同側面図である。
【図１４】本実施の形態で用いる洗浄用ポットの側断面図である。
【図１５】搬送チェーンに載置された前記洗浄用ポットを示す背面図である。
【図１６】本実施の形態における受渡装置部であって一部を断面とした正面図である。
【図１７】同平面図である。
【図１８】前記受渡装置部の要部構成の正断面図である。
【図１９】同じく要部構成の平面図である。
【図２０】前記受渡装置部におけるメッキ用バレルの支持手段及び蓋開け手段を示す側面図である。
【図２１】前記受渡装置部における液槽及びその周辺機構の正断面図である。
【図２２】前記受渡装置部において電極構造体（内部電極）に液体を噴射する工程の説明図である。
【図２３】前記受渡装置部において漏斗上のメッキ済チップ部品及びメッキ用メディアに液体を噴射する工程の説明図である。
【図２４】本実施の形態における分離洗浄装置部の全体構成を示す正断面図である。
【図２５】同平面図である。
【図２６】チップ部品及びメディアを収容した状態の前記洗浄用ポットを示す模式図である。
【図２７】前記分離洗浄装置部において、前記洗浄用ポットからメディアを分離するメディア分離部を示す説明図である。
【図２８】前記分離洗浄装置部におけるメディア分離部、超音波洗浄部及び純水リンス部を示す説明図である。
【図２９】前記洗浄用ポットに向かいエアーブローする乾燥部を示す説明図である。
【図３０】前記分離洗浄装置部の工程を示すフローチャートである。
【図３１】前記バレルユニットの電極構造体を示し、（Ａ）は中心棒上に山形部が無い場合の側面図、（Ｂ）は中心棒上に山形部が無い場合の側面図である
【図３２】本発明の他の実施の形態であって、アノードに付随した構成を改良したバレルメッキ装置部を示す要部正面図である。
【図３３】同じく要部平面図である。
【符号の説明】
１，２，３ バレルメッキ装置部
５ バレルユニット
６ バレルユニット供給部
７ バレルユニット排出部
１１，１２，１３ 洗浄部
１４ 傾斜洗浄部
１５ エレベータ機構
２０ 受渡装置部
２２，２３ ロボットアーム
２５ 分離洗浄装置部
３０ 洗浄用ポット
３２Ａ，３２Ｂ，５２，５３ 蓋
３９ ロック解除部材
４０ バレル
４３，４４ ユニット側板
４５ 連結棒
５１ 筒体
６１ 電極構造体
７０ リード線
７１ 集電器
７２ 集電子
７３ 板ばね部材
８１ メッキ浴槽
８２ メッキ液
９０ 搬送機構
９１，９２ チェーン
１００ ホルダー
１１０ 給電器
１１１ 給電ベース
１１３ 給電レール
１１６ アノード
１１８ 絶縁部材
１３０ ピック・アンド・プレース機構
１４０ 蓋開け手段
１７０ バレル支持手段
１７１ 載置台
１９０ 漏斗
２００ ポット支持手段
２１０ 液槽
２２０ ポット移送手段
２３０ ポット仮置き台
２５０ メディア分離部
２６０ 超音波洗浄部
２７０ 純水リンス部
２８０ 乾燥部
３０１ 水タンク
Claims (19)
- チップ部品とメディアを収納するバレルと、該バレル内に収納するチップ部品とメディアに電気的に接触する電極と、該電極を当該バレル外部に導出した集電器とを有するバレルユニットと、該バレルユニットが浸されるメッキ液を貯留したメッキ浴槽と、該メッキ浴槽内にて前記バレルユニットを横方向に移動させる搬送手段と、前記集電器が接触する給電器とを有していて、前記給電器を通して前記集電器に通電してバレルメッキ処理を行うバレルメッキ装置部と、
該バレルメッキ装置部でのバレルメッキ処理が終了したバレルユニットをバレル移送手段により受け取り、当該バレルユニットからチップ部品とメディアを取り出して、メディアは通過可能であるがチップ部品は通過させない筒状メッシュを有する洗浄用ポットに移し替える受渡装置部とを備えたことを特徴とする連続搬送バレルメッキ装置。 - チップ部品とメディアを収納するバレルと、該バレル内に収納するチップ部品とメディアに電気的に接触する電極と、該電極を当該バレル外部に導出した集電器とを有するバレルユニットと、該バレルユニットが浸されるメッキ液を貯留したメッキ浴槽と、該メッキ浴槽内にて前記バレルユニットを横方向に移動させる搬送手段と、前記集電器が接触する給電器とを有していて、前記給電器を通して前記集電器に通電してバレルメッキ処理を行うバレルメッキ装置部と、
該バレルメッキ装置部でのバレルメッキ処理が終了したバレルユニットをバレル移送手段により受け取り、当該バレルユニットからチップ部品とメディアを取り出して、メディアは通過可能であるがチップ部品は通過させない筒状メッシュを有する洗浄用ポットに移し替える受渡装置部と、
前記受渡装置部にてチップ部品とメディアが収容された前記洗浄用ポットをポット移送手段から受け取り、当該洗浄用ポットに洗浄液を噴射して当該洗浄用ポットからメディアを落下させて分離するとともにチップ部品を洗浄する分離洗浄装置部とを備えたことを特徴とする連続搬送バレルメッキ装置。 - 前記バレルメッキ装置部が複数配置され、各バレルメッキ装置部は互いに異なるメッキ液を貯留するものであり、各バレルメッキ装置部後段に前記バレルユニットを洗浄液で洗浄する洗浄部が設けられているとともに、前段のバレルメッキ装置部から該洗浄部へ、当該洗浄部から後段のバレルメッキ装置部へ前記バレルユニットを移し替える移替手段が設けられている請求項１又は２記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記バレルメッキ装置部の一部は下段位置に、残りのバレルメッキ装置部は上段位置に配置され、下段位置と上段位置間のバレルユニットの昇降移動をエレベータ機構で行う請求項１，２又は３記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記搬送手段は前記バレルユニットを間欠搬送するものであり、前記給電器は前記バレルユニットが停止する所定停止位置毎に設けられている請求項１，２，３又は４記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記バレルユニットは前記電極を持つ電極構造体を備え、該電極構造体は、前記バレルの筒体内部を軸方向に伸びる中心棒と、該中心棒に対して放射方向に伸びる電極棒と、該電極棒の先端部に露出して設けられた前記電極とを有し、前記中心棒及び電極棒は前記電極に導通する金属導体の表面に絶縁被覆を設けたものであり、軸方向に垂直な断面が上端に向けて幅の狭くなった刃先形状となっている山形部を前記中心棒外周の上側に軸方向に設けている請求項１，２，３，４又は５記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記バレルは、前記筒体と、前記筒体の両側開口に各々設けられた蓋とを備え、一方の蓋は前記筒体に固定され、他方の蓋は中心部に前記筒体の外側から内側に導通する前記電極構造体をほぼ水平に保持して備え、かつ前記他方の蓋は前記筒体の開口に対して着脱自在である請求項６記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記山形部の軸方向に垂直な断面が二等辺三角形であって、該二等辺三角形の頂点が前記山形部の最上端となっている請求項６又は７記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記受渡装置部は、前記バレルメッキ処理が終了したバレルユニットのチップ部品及びメディアを収納したバレルの蓋を開けてから、開口を下向きにして、当該バレルから落下したチップ部品及びメディアを液体中で待機している前記洗浄用ポットの開口に落下させる請求項１，２，３，４，５，６，７又は８記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記受渡装置部は、前記バレルメッキ処理が終了したバレルユニットのバレルの蓋を開ける蓋開け手段と、該蓋開け手段で蓋を開けられたバレルの開口を下に向けるバレル支持手段と、前記蓋を開けられたバレルから落下したチップ部品及びメディアを受ける漏斗と、該漏斗を通って落下したチップ部品及びメディアを受け取る位置に洗浄用ポットの開口が位置するように当該ポットを支えるポット支持手段と、前記漏斗及び前記洗浄用ポットが浸るように液体を満たすことのできる液槽とを備え、
前記蓋を開けられたバレルからチップ部品及びメディアを前記漏斗へ落下させるときに前記漏斗の少なくともチップ部品及びメディアを受ける面が前記液槽内の液体中に浸っている請求項９記載の連続搬送バレルメッキ装置。 - 前記受渡装置部における前記液体が洗浄液であり、前記分離洗浄装置部における洗浄液の供給源を共用している請求項９又は１０記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記分離洗浄装置部がメディア分離後の前記洗浄用ポットに空気流を当てることで当該洗浄用ポット内のチップ部品を乾燥させる乾燥手段を有している請求項２，３，４，５，６，７，８，９，１０又は１１記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記バレルユニット移送手段が第１のロボットアームであり、前記ポット移送手段が第２のロボットアームである請求項２，３，４，５，６，７，８，９，１０，１１又は１２記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記メッキ浴槽には前記バレルの下方位置にアノードが配され、前記アノードに給電する給電用接続導体は前記電極を前記集電器に導出した側の反対側にて前記アノードに接続されている請求項１乃至１３のいずれかに記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記アノードは矩形板状であり、前記バレルの筒体の軸方に平行に配置されている請求項１４記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記バレルユニットの複数箇所の停止位置に対応して前記アノードがそれぞれ配置されている請求項１５記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記アノードの角部を覆う絶縁部材を設け、前記アノードの角部を電気的に絶縁した請求項１４，１５又は１６記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記アノードは矩形板状であり、前記バレルの筒体の軸方向に平行な当該アノードの両縁部における少なくとも上側角部が前記絶縁部材で覆われている請求項１７記載の連続搬送バレルメッキ装置。
- 前記絶縁部材は前記アノードの縁部に嵌合する断面コ字状である請求項１７又は１８記載の連続搬送バレルメッキ装置。
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