JP6697947B2 - 電解研磨装置 - Google Patents
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Description
さらに上記上下動機構にはこれを駆動させるモーター等のアクチュエータやカム機構等を必要とするだけでなく、この機構による籠型電極の上下動では対象物の支持姿勢の変動効果が十分得られず、その結果研磨ムラが生じる場合があるという問題がある。特に含有酸素分析用の金属小片を対象物として電解研磨する場合、研磨ムラにより対象物表面に残存した酸化層に起因して酸素分析値が高めに出るという問題があった。
また、特許文献1の装置は、電解研磨装置と洗浄装置が並設されているものの、両装置による研磨と洗浄は非連続的に各別に行われる。そのため作業が非効率であり、作業者によって処理時間や電解液洗浄液の交換時期などの運用条件がばらつく結果、電解研磨処理の再現性が確保できていなかった。
本発明は、従来の電解研磨装置に関わる上述の課題を解決し、より均一且つ安定した処理が可能であり且つ分析作業の現場においてより効率が高く操作に任意性が入る余地が少ない、電解研磨装置を提供することを目的とする。
2 供給配管
3 排出配管
4 循環ポンプ
6 電解液
7 排液バルブ
8 ホルダー(電極)
9 冷却回路
11 チラー(冷却機)
12 ノズル
13 ガス供給配管
14 超音波洗浄槽
16 洗浄水
17 精製水
18 有機溶剤
19 水洗浄槽
21 溶剤洗浄槽
22 供給タンク
23 供給タンク
24 給液管
26 給液管
27 供給ポンプ
28 供給ポンプ
29 排液管
31 排液管
32 排液ポンプ
33 排液ポンプ
34 排液タンク
36 排液タンク
37 下限センサー
38 上限センサー
39 オーバーフロー管
41 オーバーフロー管
50 電極
51 フレーム
51a 機械室
51b 収納室
52 中床
53 操作パネル
54 電解研磨用電源
55 ハーネス
56 ボンベ
57 受取りホッパー
58 ガイドシリンダー
59 スクリュー軸(ボールねじ)
60 ガイドロッド
61 モーター
62 移送装置
63 スライダー
64 昇降アクチュエータ(エアシリンダー)
65 ハーネス
66 反転装置(ロータリーアクチュエータ)
67 開閉カバー
68 取出室
69 ガイド管
70a フランジ
70b フランジ
71 取出カップ
71a 開閉蓋
72 アクチュエータ(エアシリンダー)
73 吹付ノズル
74 投入管
75 隔壁
76 開閉カバー
77 投入シャッター
78 アクチュエータ
79 開閉カバー
81 操作スイッチパネル
A 研磨部
B 洗浄部
C 取出部
D 供給部
L 処理ライン
Claims (3)
- 電解液を収容し、該電解液中に電解研磨の対象物を浸漬して電解研磨を行う電解槽に対し、該電解槽内の電解液中で上記対象物に対してバブリングガスを噴出させてバブリングを行う噴出ノズルと、電解槽に対して電解液の供給・排出を同時に行う供給・排出装置とのいずれか一方又は両方を設置し、上記バブリング又は電解液の供給・排出のうち少なくとも一方により電解液内で対象物の転動又は姿勢変動をさせる電解研磨装置であって、前記電解槽と、電解研磨した対象物を洗浄する超音波洗浄槽と、洗浄後の対象物を取出す取出部とを並設して処理ラインを形成し、上記対象物を受取って収容し且つ電解槽と超音波洗浄槽上で昇降して浸漬するホルダーと、上記処理ライン上で該ホルダーを移送する移送装置と、取出部上でホルダーを反転回動させて対象物を取出部に放出する反転装置とを設けてなる電解研磨装置。
- 前記取出部の上方から内部に向かって非酸化性ガスを吹付ける吹付ノズルを設けた請求項1に記載の電解研磨装置。
- 前記処理ラインの途中又は前記処理ラインの延長上にホルダーに対象物を投入する供給部を設けてなる請求項1または2のいずれかに記載の電解研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016096046A JP6697947B2 (ja) | 2016-05-12 | 2016-05-12 | 電解研磨装置 |
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JP2017203193A JP2017203193A (ja) | 2017-11-16 |
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JP (1) | JP6697947B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP3613877B1 (en) * | 2018-02-02 | 2021-03-03 | Marui Galvanizing Co., Ltd | Electrolytic polishing method and device |
CN108396368B (zh) * | 2018-03-02 | 2020-04-17 | 上海大学 | 一种金属件的电解抛光方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017203193A (ja) | 2017-11-16 |
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