CN105921360A - 狭缝喷嘴和涂布装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种狭缝喷嘴，包括第一喷嘴主体、间隔部和第二喷嘴主体，所述第一喷嘴主体与所述第二喷嘴主体之间设有所述间隔部，所述间隔部将所述第一喷嘴主体与所述第二喷嘴主体隔开形成狭缝；所述第一喷嘴主体内设有容纳涂布液的容纳腔，所述容纳腔与所述狭缝连通；所述容纳腔内设有沿所述第一喷嘴主体的长度方向延伸的阻挡部，所述阻挡部的顶面与所述容纳腔的顶壁之间具有间隙；所述第一喷嘴主体背离所述狭缝的一面开设有进液孔，所述进液孔与所述容纳腔贯通。本发明还提供了一种具有所述狭缝喷嘴的涂布装置。本发明的狭缝喷嘴及涂布装置，能够均匀地进行涂布。

Description

狭缝喷嘴和涂布装置
技术领域
本发明涉及涂布技术领域，特别涉及一种狭缝喷嘴及具有所述狭缝喷嘴的涂布装置。
背景技术
涂布设备被广泛应用于半导体制造、液晶显示器制造或电池制造等领域中。涂布设备包括一个具有狭缝的喷嘴，涂布液从喷嘴的狭缝中流出，继而被喷涂到基板上。
现有技术中，为了增加涂布量、提升涂布效率，通常会设计具有更大长度的喷嘴。然而，喷嘴内部长度方向上各个位置处的涂布液的涂布压力不同、涂布液的流速有差异，这将使得喷出的涂布液不均匀。在喷嘴长度增加时，此种不均匀缺陷更加严重，导致涂布不均，影响涂布质量。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种狭缝喷嘴及具有所述狭缝喷嘴的涂布装置，能够均匀地进行涂布。
一种狭缝喷嘴，包括第一喷嘴主体、间隔部和第二喷嘴主体，所述第一喷嘴主体与所述第二喷嘴主体之间设有所述间隔部，所述间隔部将所述第一喷嘴主体与所述第二喷嘴主体隔开形成狭缝；所述第一喷嘴主体内设有容纳涂布液的容纳腔，所述容纳腔与所述狭缝连通；所述容纳腔内设有沿所述第一喷嘴主体的长度方向延伸的阻挡部，所述阻挡部的顶面与所述容纳腔的顶壁之间具有间隙；所述第一喷嘴主体背离所述狭缝的一面开设有进液孔，所述进液孔与所述容纳腔贯通。
其中，所述阻挡部在所述长度方向上的中部正对所述进液孔，所述阻挡部的顶面的高度由所述中部向所述阻挡部的两端逐渐降低。
其中，所述阻挡部包括多个拼合在一起的阻挡块，每个所述阻挡块可朝向或背离所述顶壁移动。
其中，所述阻挡部与所述进液孔的相对的横截面为弧形面。
其中，所述狭缝的宽度为100微米。
一种涂布装置，包括狭缝喷嘴，所述狭缝喷嘴包括第一喷嘴主体、间隔部和第二喷嘴主体，所述第一喷嘴主体与所述第二喷嘴主体之间设有所述间隔部，所述间隔部将所述第一喷嘴主体与所述第二喷嘴主体隔开形成狭缝；所述第一喷嘴主体内设有容纳涂布液的容纳腔，所述容纳腔与所述狭缝连通；所述容纳腔内设有沿所述第一喷嘴主体的长度方向延伸的阻挡部，所述阻挡部的顶面与所述容纳腔的顶壁之间具有间隙；所述第一喷嘴主体背离所述狭缝一面开设有进液孔，所述进液孔与所述容纳腔贯通。
其中，所述阻挡部在所述长度方向上的中部正对所述进液孔，所述阻挡部的顶面的高度由所述中部向两端逐渐降低。
其中，所述阻挡部包括多个拼合在一起的阻挡块；所述涂布装置还包括控制台和传动装置，所述传动装置与所述控制台电连接，所述传动装置分别与每个所述阻挡块相连，使得每个所述阻挡块可朝向或背离所述顶壁移动。
其中，所述传动装置包括至少一个马达。
其中，所述阻挡部与所述进液孔相对的横截面为弧形面。
由此，本发明的狭缝喷嘴及具有所述狭缝喷嘴的涂布装置，通过在狭缝喷嘴的容纳腔内设置阻挡块，阻挡块能够对流入的涂布液进行阻挡、缓冲及分散，最终使得狭缝喷嘴长度方向上各个位置喷出的涂布液的压力及流速一致，从而极大提升了涂布的均匀性，提高了涂布质量。
附图说明
为更清楚地阐述本发明的构造特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。
图1是本发明第一实施例的狭缝喷嘴的立体结构示意图。
图2是图1所示的狭缝喷嘴一个方向上的剖视图。
图3是图1所示的狭缝喷嘴另一个方向上的正视图。
图4是本发明第二实施例的狭缝喷嘴一个方向上的正视图。
具体实施例
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供了一种涂布装置，所述涂布装置的使用领域包括但不限于半导体制造、液晶显示器制造或电池制造等领域，所述涂布装置可以为涂布机或其他具有涂布功能的设备。所述涂布装置具有狭缝喷嘴10。本发明以下实施例中，将仅描述所述涂布装置的部分部件。但实际上所述涂布装置还具有其他能实现相关功能的部件、机构，出于简洁，在此不做过多描述。
如图1和图2所示，本发明第一实施例的狭缝喷嘴10包括第一喷嘴主体11、间隔部12和第二喷嘴主体13。其中，间隔部12夹设在第一喷嘴主体11与第二喷嘴主体13之间，以将第一喷嘴主体11与第二喷嘴主体13隔离开来形成一条狭缝14。间隔部12的厚度即狭缝14的宽度(即图2中狭缝14在水平方向上的尺寸)，通过设置不同厚度的间隔部12，就能获得不同宽度的狭缝14。本实施例中，优选的，狭缝14的宽度为100微米。在其他实施例中，狭缝14的宽度根据具体需要进行设置。
如图1和图2所示，第一喷嘴主体11内部具有一个容纳腔113，容纳腔113与狭缝14连通。容纳腔113用于容纳涂布液，涂布液从容纳腔113中流入狭缝14。容纳腔113不限于为方形或弧形腔。容纳腔113具有顶壁110(即图2中容纳腔113在竖直方向上的上部侧壁)。
如图1和图2所示，第一喷嘴主体11背离狭缝14的一面开设有进液孔112，进液孔112与容纳腔113贯通。涂布液从进液孔112中进入容纳腔113内。
如图1和图2所示，容纳腔113内设有阻挡块114，阻挡块114沿第一喷嘴主体11的长度方向(即图2中垂直于图面的方向或图3中平行于图面的方向)延伸。本实施例中，阻挡块114长度方向上的两端恰好分别到达容纳腔113的两端，即整个容纳腔113内分布有阻挡块114；在其他实施例中，阻挡块114长度方向上的两端可以分别与容纳腔113的两端有一段距离，即只有部分容纳腔113内分布有阻挡块114。阻挡块114具有与容纳腔113的顶壁110相对的顶面111，顶面111与顶壁110之间具有一定间隙。所述间隙便于容纳腔113内的涂布液流入狭缝14。阻挡块114与进液孔112的轴线相对。本实施例中，阻挡块114的表面与进液孔112的轴线垂直。
优选的，如图3所示，在本实施例中，阻挡块114在长度方向上关于进液孔112对称。阻挡块114整体呈弧形，其具有与进液孔112相对的弧形横截面。阻挡块114的顶面111高度由中部往两端逐渐降低。阻挡块114的中部由于最先接触到涂布液，承受的液压最大。所以这部分的阻挡块114，其顶面111高度也最大，因而强度最强，能够更好地抗涂布液冲击。而越往两端，由于承受的液压减小，所以顶面111高度也逐渐降低。在其他实施例中，与本实施例不同的是，阻挡块114在长度方向上可以为非对称形状，仅仅是阻挡块114的中部与进液孔112正对。本实施例中，阻挡块114为一个整体。
在进行涂布时，涂布液从进液孔112中进入狭缝喷嘴10的容纳腔113，流动涂布液会碰到阻挡块114。在阻挡块114的阻挡作用下，涂布液从阻挡块114的中部向阻挡块114的两端分流，由此正对进液孔112的阻挡块114中部处，液压及流速将得到分散。随着涂布液分流的进行，阻挡块114长度方向上各处位置的液压和流速将逐渐趋于一致。当容纳腔113内流入的涂布液进一步增多，涂布液将通过阻挡块114的顶面111与容纳腔113的顶壁110之间所述间隙，流入狭缝14，并最终从狭缝14中喷出。此时，由于阻挡块114的阻挡、缓冲及分散作用，狭缝喷嘴10长度方向上各个位置喷出的涂布液的压力及流速一致，涂布的均匀性得到极大提高。
因此，本实施例的涂布装置，通过在狭缝喷嘴10的容纳腔113内设置阻挡块114，阻挡块114能够对流入的涂布液进行阻挡、缓冲及分散，最终使得狭缝喷嘴10长度方向上各个位置喷出的涂布液的压力及流速一致，从而极大提升了涂布的均匀性，提高了涂布质量。
如图4所示，本发明第二实施例中的狭缝喷嘴11，与上述第一实施例不同的是，阻挡块114由多个阻挡块115拼合而成，每个阻挡块115可朝向或背离容纳腔113的顶壁110移动。图4中仅示出了8个阻挡块115。但是应理解，本发明的方案可以根据具体实际情况设计需要数量的阻挡块，而不是仅限于图4所示。涂布装置还具有控制台和传动装置(图未示)。所述传动装置与所述控制台电连接，所述控制台向所述传动装置提供电力，并控制所述传动装置的传动输出。所述控制台及所述传动装置均为本领域内的常规选择，本领域内的技术人员可以根据实际需要进行具体设计或选取。优选的，本实施例中，所述传动装置包括一个或多个马达。所述传动装置分别与每个阻挡块115连接，带动每个阻挡块115朝向或背离容纳腔113的顶壁110移动。当所述传动装置仅包括一个马达时，此马达可与各个阻挡块115均连接，带动各个阻挡块115进行移动；当所述传动装置包括多个马达时，其中的单个马达可以带动多个阻挡块115移动，也可以是每个马达分别带动一个阻挡块115移动。
狭缝喷嘴11会涂布多种不同的涂布液，不同的涂布液其流体特性不同。在狭缝喷嘴11的长度方向上，某些涂布液虽然整体的液压分布趋势是由狭缝喷嘴10的中部向两端逐渐降低，但在狭缝喷嘴11的长度方向上的个别位置，会出现液压突变，如偏离上述液压分布趋势而下降或上升。因而在设计中需要考虑这种情况。本实施例中，通过将阻挡块114设置为由多个阻挡块115拼合而成，并且各个阻挡块115均可在所述传动装置的带动下灵活移动，从而能够适应不同涂布液的流体特性。例如，根据实际经验或实际测量得知，狭缝喷嘴11长度方向上的某个位置液压较强，相应的所述传动装置控制对应此位置的阻挡块115朝向容纳腔113的顶壁110移动，以增加此处阻挡块115的强度；或者，狭缝喷嘴11长度方向上的某个位置液压较弱，相应的所述传动装置控制对应此位置的阻挡块115背离容纳腔113的顶壁110移动，以减弱此处阻挡块115的强度。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易的想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种狭缝喷嘴，其特征在于，包括第一喷嘴主体、间隔部和第二喷嘴主体，所述第一喷嘴主体与所述第二喷嘴主体之间设有所述间隔部，所述间隔部将所述第一喷嘴主体与所述第二喷嘴主体隔开形成狭缝；所述第一喷嘴主体内设有容纳涂布液的容纳腔，所述容纳腔与所述狭缝连通；所述容纳腔内设有沿所述第一喷嘴主体的长度方向延伸的阻挡部，所述阻挡部的顶面与所述容纳腔的顶壁之间具有间隙；所述第一喷嘴主体背离所述狭缝的一面开设有进液孔，所述进液孔与所述容纳腔贯通。
2.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述阻挡部在所述长度方向上的中部正对所述进液孔，所述阻挡部的顶面的高度由所述中部向所述阻挡部的两端逐渐降低。
3.根据权利要求2所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述阻挡部包括多个拼合在一起的阻挡块，每个所述阻挡块可朝向或背离所述顶壁移动。
4.根据权利要求2或3所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述阻挡部与所述进液孔的相对的横截面为弧形面。
5.根据权利要求1所述的狭缝喷嘴，其特征在于，所述狭缝的宽度为100微米。
6.一种涂布装置，包括狭缝喷嘴，其特征在于，所述狭缝喷嘴包括第一喷嘴主体、间隔部和第二喷嘴主体，所述第一喷嘴主体与所述第二喷嘴主体之间设有所述间隔部，所述间隔部将所述第一喷嘴主体与所述第二喷嘴主体隔开形成狭缝；所述第一喷嘴主体内设有容纳涂布液的容纳腔，所述容纳腔与所述狭缝连通；所述容纳腔内设有沿所述第一喷嘴主体的长度方向延伸的阻挡部，所述阻挡部的顶面与所述容纳腔的顶壁之间具有间隙；所述第一喷嘴主体背离所述狭缝一面开设有进液孔，所述进液孔与所述容纳腔贯通。
7.根据权利要求6所述的涂布装置，其特征在于，所述阻挡部在所述长度方向上的中部正对所述进液孔，所述阻挡部的顶面的高度由所述中部向两端逐渐降低。
8.根据权利要求7所述的涂布装置，其特征在于，所述阻挡部包括多个拼合在一起的阻挡块；所述涂布装置还包括控制台和传动装置，所述传动装置与所述控制台电连接，所述传动装置分别与每个所述阻挡块相连，使得每个所述阻挡块可朝向或背离所述顶壁移动。
9.根据权利要求7所述的涂布装置，其特征在于，所述传动装置包括至少一个马达。
10.根据权利要求7或8所述的涂布装置，其特征在于，所述阻挡部与所述进液孔相对的横截面为弧形面。
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