CN106940515A - 显影设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种显影设备。该显影设备包括本体，该本体内设置有一腔室；该本体包括一相对于水平面倾斜设置的顶盖，所述顶盖的内表面上设置有凸起的主导液条，以将所述顶盖的内表面上沉积的液滴从该主导液条的一端导向其另一端，所述主导液条相对于水平面倾斜设置，其中，所述主导液条的一端到另一端沿所述顶盖的倾斜方向设置，且其一端与另一端分别接近所述顶盖的边缘。该方案在顶盖的内表面设置导液条，可以汇集顶盖内部形成的液滴，在重力作用下将液滴导向顶盖的边缘处，使得液滴远离腔室内的基板放置区域，有效降低污染基板的概率，提高产品良率。

Description

显影设备

技术领域

本发明涉及显影技术领域，特别是涉及一种显影设备。

背景技术

现代光刻技术中，由涂布设备涂布光刻胶，再由曝光机将图案曝光，然后由显影设备将曝光后的光阻显影掉，保留需要的图案。现有显影设备顶盖，主要作为观察及维护保养的窗口。出于方便保养的目的，多数采用透明PVC板。然而，由于显影设备内部湿度较大，长时间运行后，容易在内壁雾化凝结，产生较大液滴。尤其是顶盖部位，由于显影设备内部有向上喷淋显影液/水等的喷淋头，会导致顶盖内部有小液滴，并在较长时间后融合为较大液滴。

长时间运行之后，顶盖内表面液滴很容易在重力作用下直接滴落边缘，从而污染基板，造成显影效果不均匀，影响产品良率。

现有部分显影设备采用顶盖，顶盖内壁光滑，使得液滴能够在汇聚到较大之后，在自身重力作用下向边缘滑动，在边缘滴落，从而避免滴落到基板上。

由于倾斜结构的顶盖面积限制及密封原因，当长时间使用后，顶盖内部会比较脏，依然存在液滴提前的缺陷。

因此，现有技术存在缺陷，急需改进。

发明内容

本发明的目的在于提供一种改进的显影设备。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种显影设备，包括本体，该本体内设置有一腔室；该本体包括一相对于水平面倾斜设置的顶盖，所述顶盖的内表面上设置有凸起的主导液条，以将所述顶盖的内表面上沉积的液滴从该主导液条的一端导向其另一端，所述主导液条相对于水平面倾斜设置，其中，所述主导液条的一端到另一端沿所述顶盖的倾斜方向设置，且其一端与另一端分别接近所述顶盖的边缘。

在一些实施例中，所述顶盖的内表面上还设置有凸起的从导液条，该从导液条具有第一端和第二端，该第一端与主导液条连接，以将所述顶盖的内表面上沉积的液滴导向主导液条，其中，第二端相比第一端靠近所述主导液条的一端。

在一些实施例中，所述从导液条至少为两个，分别设置在主导液条的两侧。

在一些实施例中，所述主导液条两侧的从导液条等间距设置，且每一从导液条与所述主导液条的夹角大小相同。

在一些实施例中，该从导液条凸起的表面为弧面。

在一些实施例中，该从导液条的第二端到第一端的凸起厚度逐渐变大。

在一些实施例中，该主导液条凸起的表面为弧面。

在一些实施例中，该主导液条的一端到另一端的凸起厚度逐渐变大。

在一些实施例中，该主导液条的一端到另一端与所述顶盖的接触面逐渐变大。

在一些实施例中，所述腔室内设置有容纳槽，用于收集该主导液条从其一端导向另一端的液滴。

相较于现有的显影设备，本发明包提供的显影设备包括本体，其内设置有一腔室；该本体包括一相对于水平面倾斜设置的顶盖，所述顶盖的内表面上设置有凸起的主导液条，以将所述顶盖的内表面上沉积的液滴从该主导液条的一端导向其另一端，所述主导液条相对于水平面倾斜设置，其中，所述主导液条的一端到另一端沿所述顶盖的倾斜方向设置，且其一端与另一端分别接近所述顶盖的边缘。该方案可以汇集顶盖内部形成的液滴，在重力作用下将液滴导向顶盖的边缘处，使得液滴远离腔室内的基板放置区域，有效降低污染基板的概率，提高产品良率。

附图说明

图1为本发明优选实施例中显影设备的一种立体结构示意图。

图2为图1所示显影设备沿线P-P的一种剖面图。

图3为本发明优选实施例中顶盖的一种结构示意图。

图4为图1所示显影设备沿线P-P的另一种剖面图。

图5为本发明优选实施例中主导液条的横截面图。

图6为本发明优选实施例中顶盖的另一种结构示意图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。

在图中，组件相似的模块是以相同标号表示。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

参阅图1到图3，图1为本发明优选实施例中显影设备的一种立体结构示意图；图2为图1所示显影设备沿线P-P的一种剖面图；图3为本发明优选实施例中显影设备的顶盖的结构示意图。

如图1所示，本优选实施例的显影设备，包括本体100，该本体100内设置有一腔室10。该本体100包括一相对于水平面倾斜设置的顶盖20。

其中，该顶盖可为透明的PVC板，其相对于水平面的倾斜度可以由本领域技术人员或产品生产厂商进行设定，对此不做具体限定。

参考图2和图3，该顶盖20的内表面21上设置有凸起的主导液条22，以将该顶盖20的内表面21上沉积的液滴从该主导液条22的一端221导向其另一端222，该主导液条22相对于水平面倾斜设置。其中，主导液条22的一端221到另一端222沿该顶盖20的倾斜方向设置，且该顶盖20的一端221与其另一端222分别接近该顶盖20的边缘。

实际应用中，可以在顶盖20的内表面21上设置多个等间隔设置的主导液条22，以均匀地将内表面21上沉积的液滴导向各自的另一端222。

在本明实施例中，为了提升主导液条22的导液效果，可以增加顶盖20的倾斜角度，也即增加顶盖20与水平面的倾斜角度。实际应用中，还可以将该顶盖20的内表面21的倾斜度设计为大于其外表面的倾斜度，以进一步提升主导液条22的导液效果。

继续参考图3，在一些实施例中，该顶盖20的内表面21上还设置有凸起的从导液条23。该从导液条23具有第一端231和第二端232。该从导液条23的第一端231与主导液条22连接，以将该顶盖20的内表面21上沉积的液滴导向主导液条22。其中，该从导液条23的第二端232相比第一端231更靠近该主导液条22的一端221。从而将该顶盖20的内表面21上更多的液滴导向主导液条22的另一端222，以达到更好的导液效果。

如图2所示，该主导液条22的一端221到水平面的距离h1大于其另一端222到水平面的距离h2。

具体实施时，该顶盖20的内表面21上至少设置有两个从导液条23，并分别设置在主导液条22的两侧，以扩大导液条的分布面积，以更好地收集内表面21上沉积的液滴。较佳地，该主导液条22两侧的从导液条23等间距设置，且每一从导液条23与主导液条22的夹角大小相同。如图3所示，夹角α与夹角β以及夹角γ大小相同。

参考图2，在一些实施例中，该主导液条22的一端221到起另一端222的凸起厚度可保持均匀不变。在另一些实施例中，参考图4，图4为图1所示显影设备沿线P-P的另一种剖面图。该主导液条22的一端221到其另一端222的凸起厚度逐渐变大，以增加主导液条22的倾斜度，从而可以更快的速度将液滴导向其另一端222。

同样地，该从导液条23的第二端231到第一端231的凸起厚度逐渐变大。

在一些实施例中，该主导液条22凸起的表面可设计为流线型。比如，该主导液条22凸起的表面设计为弧面，以增加该主导液条22的光滑度，从而更好地将液滴汇集。参考图5，图5为本实施例中主导液条22的横截面图，该主导液条22的横截面可为圆弧状。实际应用中，该主导液条22可设计为半圆锥状，将该半圆锥的顶部作为主导液条22的一端221，将该半圆锥的底部作为主导液条22的另一端222。

同样地，在一些实施例中，该从导液条23凸起的表面可设计为弧面。实际应用中，该从导液条23可设计为半圆锥状，将该半圆锥的顶部作为从导液条23的第二端232，该半圆锥的底部与主导液条22连接，以作为从导液条23的第一端231。

在一些实施例中，该主导液条22的一端221到另一端222与该顶盖20的内表面21的接触面逐渐变大，以增加主导液条22的整体表面积，从而可以在液滴的质量和体积逐渐增大时，更好地吸附液滴。

本发明实施例中，主导液条22以及与其连接的从导液条22构成一导液单元。实际应用中，该导液单元可贴附顶盖20的内表面21设置，也可以与顶盖20一体成型。

实际应用中，参考图6，可在顶盖20的内表面21并列设置多个导液单元，形成导液结构，从而在内表面21的横向及纵向上扩大导液单元的分布面，在不影响顶盖20的可见性的同时，又提升了导液结构的导液效果。

参考图2，在一些实施例中，考虑到顶盖20可能较小，因此，可在该腔室10内设置有容纳槽30，用于收集该主导液条22从其一端221导向另一端222的液滴。

具体地，可在容纳槽30上连接导管，以将收集的液滴导向外界，或者在显影设备停止工作时，手动将容纳槽30取出，并将其内收集的液滴倒掉。

实际应用中，本体100还包括设置在其腔体10内的传动组件、显影组件、冲洗组件、烘干组件、程序控制组件等。

其中，传动组件是引导基板运行的驱动装置，可包括电机、蜗轮蜗杆、传送辊以及对压胶辊等，用于使使基板通过显影机的各个工作环节。

显影组件可包括喷淋头，以用于将循环显影液均匀、连续地喷淋基板，从而使基板空白部位的感光层迅速溶解。优选的，还可包括刷辊，用于刷洗基板以加速感光层溶解。此外，为了保证显影液在恒定条件下工作，该显影组件还可包括加热器和冷却器，以用于控制显影液的温度(一般控制在25℃左右)。

冲洗组件，包括两组喷淋管，用于向基板正反面喷淋清水，以除去附着在基板上的显影生成物和多余的显影液。此外，还可包括挤压辊，用于挤压祛除基板上的水分。

涂胶组件，用于在显影后的基板上涂上一层均匀的保护胶。

干燥组件，包括送风管和胶辊，用于通过吹风和加热使基板迅速干燥。

综上，在透明的顶盖20内表面21上设置类似树枝状的导液条脉络，当液滴发生凝结时，会在重力的作用下，顺着导液条脉络汇集，然后滴落到容纳槽30中。

具体实施过程中，在显影设备长时间运行之后，由于显影设备内部有向上喷淋显影液/水等的喷淋头，导致显影液/水在顶盖20的内表面雾化凝结形成小液滴。顶盖20内表面21上的小液滴在重力作用下，沿顶盖20的倾斜方向下滑至凸出设置在内表面21上的从导液条23的表面；接着，不同从导液条23的表面上的小液滴，沿第二端232至第一端231的方向，滑向对应相连接的主导液条22的表面汇集成大液滴；然后，主导液条22表面沉积的大液滴沿其一端221到另一端222的方向，滑向另一端222末端并滴落至容纳槽30内；最后，将容纳槽30内的液滴导出至外界。

由上可知，本发明实施例提供的显影设备包括本体，该本体内设置有一腔室；该本体包括一相对于水平面倾斜设置的顶盖，所述顶盖的内表面上设置有凸起的主导液条，以将所述顶盖的内表面上沉积的液滴从该主导液条的一端导向其另一端，所述主导液条相对于水平面倾斜设置，其中，所述主导液条的一端到另一端沿所述顶盖的倾斜方向设置，且其一端与另一端分别接近所述顶盖的边缘。该方案在顶盖的内表面设置导液条，可以汇集顶盖内部形成的液滴，在重力作用下将液滴导向顶盖的边缘处，使得液滴远离腔室内的基板放置区域，有效降低污染基板的概率，提高产品良率。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种显影设备，其特征在于，包括本体，该本体内设置有一腔室；该本体包括一相对于水平面倾斜设置的顶盖，所述顶盖的内表面上设置有凸起的主导液条，以将所述顶盖的内表面上沉积的液滴从该主导液条的一端导向其另一端，所述主导液条相对于水平面倾斜设置，其中，所述主导液条的一端到另一端沿所述顶盖的倾斜方向设置，且其一端与另一端分别接近所述顶盖的边缘。

2.如权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述顶盖的内表面上还设置有凸起的从导液条，该从导液条具有第一端和第二端，该第一端与主导液条连接，以将所述顶盖的内表面上沉积的液滴导向主导液条，其中，第二端相比第一端靠近所述主导液条的一端。

3.如权利要求2所述的显影设备，其特征在于，该从导液条至少为两个，分别设置在主导液条的两侧。

4.如权利要求3所述的显影设备，其特征在于，该主导液条两侧的从导液条等间距设置，且每一从导液条与所述主导液条的夹角大小相同。

5.如权利要求4所述的显影设备，其特征在于，该从导液条凸起的表面为弧面。

6.如权利要求5所述的显影设备，其特征在于，该从导液条的第二端到第一端的凸起厚度逐渐变大。

7.如权利要求1-6任一项所述的显影设备，其特征在于，该主导液条凸起的表面为弧面。

8.如权利要求1-6任一项所述的显影设备，其特征在于，该主导液条的一端到另一端的凸起厚度逐渐变大。

9.如权利要求1所述的显影设备，其特征在于，该主导液条的一端到另一端与所述顶盖的内表面的接触面逐渐变大。

10.如权利要求1所述的显影设备，其特征在于，所述腔室内设置有容纳槽，用于收集该主导液条从其一端导向另一端的液滴。