KR20070110373A - 감광성 적층체의 제조 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

제조 장치(20)는 감광성 웹(22)을 송출하는 웹 송출 기구(32), 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 박리하는 박리 기구(34), 감광성 웹(22)의 표면에 마스킹 테이프(36)를 부착하는 마스킹 테이프 부착 기구(38), 글래스 기판(24)을 반송하는 기판 반송 기구(40), 감광성 재료층(28)을 글래스 기판(24)에 글래스 기판(24) 사이에 위치된 마스킹 테이프(36)로 접합하는 접합 기구(42)를 구비한다.

감광성 적층체의 제조 장치, 송출 기구, 박리 기구, 마스킹 테이프 부착 기구, 반송 기구, 접합 기구

Description

감광성 적층체의 제조 장치 및 방법{APPARATUS FOR AND METHOD OF MANUFACTURING PHOTOSENSITIVE LAMINATED BODY}

본 발명은 지지체, 지지체상에 배치된 감광성 재료층 및 감광성 재료층에 배치된 감광성 보호 필름을 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(web)을 제공하며, 감광성 재료층에 보호 필름을 박리하고, 소정 간격으로 노출된 감광성 재료층에 마스킹(masking) 테이프를 부착하는 감광성 적층체의 제조 장치 및 방법에 관한 것이다.

액정 패널용 기판, 프린트 배선판용 기판 및 PDP 패널용 기판은 예컨대, 감광성 재료(감광성 수지)층을 가지고 기판 표면상에 부착된 감광성 시트(감광성 웹)를 구비한다. 감광성 시트는 플렉시블 플라스틱 지지체에 연속적으로 배치된 감광성 재료층 및 보호막을 포함한다.

그러한 감광성 시트를 부착하는 부착 장치는 글래스 기판, 수지 기판 등과 같은 기판을 소정 간격으로 반송하며, 감광성 시트로부터 보호 필름을 박리한 후에 기판에 감광성 재료층을 부착하도록 통상 동작된다.

예컨대, 일본 특허 제3314418호는 드라이 필름을 결합하는 공정을 공지한다. 공지된 공정에 따라 동봉한 도면의 도 32에 도시된 바와 같이, 드라이 필름(1)은 공급 드럼(2) 둘레로 권취된다. 드라이 필름(1)은 접합층(1c)에 의해 서로 결합된 보호 필름(1a) 및 베이스 필름(1b)을 포함한다.

드라이 필름(1)이 공급 드럼(2)으로부터 비권취될 때 보호 필름(1a)은 박리되며, 노광된 접합층(1c)을 남기고, 보호 필름 테이크업(takeup) 드럼(3) 둘레로 권취된다. 복수의 마스킹 테이프(6)는 실린더(4)에 의해 전후 이동가능한 테이프 애플리케이터(applicator, 5)에 의해 접합층(1c)의 노광면에 일정한 간격을 두어 부착된다.

따라서, 베이스 필름(1b)상에 접합층(1c)은 프린트 배선판(7)이 연속적으로 반송되면서 가열 롤러(8)에 의해 프린트 배선판(7)의 표면에 열적 압착된다. 프린트 배선판(7)에 결합된 접합층(1c)상에 마스킹 테이프(6)는 프린트 배선판(7) 사이의 갭을 가로질러 위치된다.

접합층(1c)이 프린트 배선판(7)에 열적 압착된 후, 냉각 팬(9)은 어셈블리의 결합 상태를 안정화하는 베이스 필름(1b), 접합층(1c) 및 프린트 배선판(7)에 냉각 공기가 가해진다. 이후, 베이스 필름(1b)은 베이스 필름 테이크업 드럼(10) 둘레에 권취된다. 이때, 마스킹 테이프(6) 및 마스킹 테이프(6)와 베이스 필름(1b) 사이에 개재된 접합층(1c)의 위치는 베이스 필름(1b)에 부착되고, 또한 베이스 필름 테이크업 드럼(10) 둘레로 권취된다.

공지된 종래 공정에 의하면, 프린트 배선판(7)을 집어서 반송하는 반송 프레임(도시 생략)은 드라이 필름(1)이 반송되는 속도와 동일한 속도로 반송되고, 실린더(4)는 반송 프레임에 프린트 배선판(7)의 반송과 동기되어 동작된다. 그 결과, 각 마스킹 테이프(6)는 2개의 인접한 프린트 배선판(7)의 에지에 직면하는 상부면을 가로질러 연장된다.

그러나, 베이스 필름(1b) 및 접합층(1c)의 길이는 가열 롤러(8)의 열로 인해 변경될 수 있다. 베이스 필름(1b) 및 접합층(1c)의 길이가 변경되면 접합체(1c)에 부착된 마스킹 테이프(6)는 프린트 배선판(7) 사이의 갭과 정렬 위치된다.

도 32에 도시된 종래 배열은 마스킹 테이프(6) 및 프린트 배선판(7)의 상대 위치를 조정하는 구성을 갖지 않는다. 그 결과, 마스킹 테이프(6) 및 프린트 배선판(7)은 고정밀도로 상대적으로 위치될 수 없고, 고품질의 부착 공정이 수행되지 않는다.

본 발명의 목적은 간단한 공정 및 구성으로 긴 형상의 감광성 웹 대하여 고정밀도로 마스킹 테이프 및 기판을 위치 결정함으로써 고품질의 감광성 적층체를 효율적으로 제조하는 장치 및 제조하는 방법을 제공하는 것이다.

본 발명에 의하면, 지지체, 상기 지지체상에 배치된 감광성 재료층 및 상기 감광성 재료층에 배치된 보호 필름을 포함하는 긴 형상의 감광성 웹을 송출하는 웹 송출 기구, 긴 형상의 감광성 웹으로부터 보호 필름을 연속적으로 박리하는 박리 기구, 긴 형상의 감광성 웹이 송출되는 송출 방향으로 일정한 간격을 두어 상기 긴 형상의 감광성 웹의 표면에 노출되는 상기 감광성 재료층에 마스킹 테이프를 부착하는 마스킹 테이프 부착 기구, 소정 온도로 가열된 기판을 접합 위치로 반송하는 기판 반송 기구, 상기 접합 위치에서 상기 마스킹 테이프를 상기 기판 사이에 위치시키고 상기 감광성 재료층을 상기 기판에 부착하여 접합 기판을 제조하는 접합 기구, 상기 긴 형상의 감광성 웹에 접합된 상기 마스킹 테이프의 위치를 검출하는 검출 기구 및 상기 검출 기구로부터의 검출 정보에 의거하여 상기 접합 위치에 있어서의 상기 마스킹 테이프와 상기 기판의 상대 위치를 조정하는 제어 기구를 포함하는 감광성 적층체의 제조 장치를 제공한다.

바람직하게는, 검출 기구는 접합 위치의 상류 근방에 배치되고 상기 마스킹 테이프를 직접 검출하는 센서를 포함한다. 상기 검출 기구는 상기 접합 위치의 근처에서 마스킹 테이프의 위치를 직접 검출할 수 있다. 바람직하게는, 상기 검출 기구는 상기 마스킹 테이프 부착 기구로부터 상기 마스킹 테이프를 전기적으로 트래킹한다. 상기 검출 기구는 마스킹 테이프 및 기판의 상대 위치가 간단한 제어 공정에 따라 고정밀도로 조정되도록 구성된다.

바람직하게는, 상기 장치는 상기 박리 기구와 상기 접합 기구 사이에 배치되고, 상기 긴 형상의 감광성 웹에 텐션을 부여하는 텐션 제어 기구를 더 포함한다. 상기 텐션 제어 기구는 접합 위치에 마스킹 테이프의 위치를 용이하게 조정하는 긴 형상의 감광성 웹의 연신을 조정할 수 있게 한다.

바람직하게는, 상기 장치는 상기 접합 기구의 하류에 배치되어 상기 접합 기판 사이에 긴 형상의 상기 지지체를 절단하는 절단 기구 및 상기 절단 기구의 하류에 배치되어 상기 접합 기판으로부터 상기 마스킹 테이프와 함께 상기 지지체를 박리해서 감광성 적층체를 제조하는 지지체 박리 기구를 더 포함한다.

바람직하게는, 상기 장치는 상기 접합 기구의 하류에 배치되어 상기 접합 기판으로부터 상기 마스킹 테이프와 함께 긴 형상의 상기 지지체를 연속적으로 박리해서 감광성 적층체를 제조하는 지지체 박리 기구를 더 포함한다. 그러므로, 지지체 및 마스킹 테이프가 절단될 필요가 없으므로 심각한 조각과 같은 제진 및 오염 입자는 지지체 및 마스킹 테이프로부터 발생되지 않는다.

바람직하게는, 상기 접합 기구는 소정 온도로 가열될 수 있는 한 쌍의 고무 롤러 및 한쪽의 고무 롤러를 전후 이동시키는 롤러 클램프 유닛을 포함하며, 상기 롤러 클램프 유닛은 상기 한쪽의 고무 롤러에 클램핑 압력을 부여하는 실린더 및 상기 실린더를 전후 이동시키도록 액츄에이터에 의해 활성화 가능한 캠부를 포함한다.

바람직하게는, 상기 장치는 상기 접합 기구의 상류 근방에 배치되고 상기 긴 형상의 감광성 웹을 소정 온도로 예비 가열하는 예비 가열 유닛을 더 포함한다.

바람직하게는, 상기 마스킹 테이프 부착 기구는 상기 송출 방향으로 위치 조정가능한 이동 유닛을 포함하며, 상기 제어 기구는 상기 이동 유닛를 제어해서 상기 마스킹 테이프 부착 기구에 의해 상기 마스킹 테이프가 상기 감광성 재료층에 부착되는 위치를 조정하도록 한다. 그렇게 구성된 마스킹 테이프 부착 기구는 간단한 제어 공정 및 배열을 통해 마스킹 테이프의 접합 위치가 조정되도록 한다.

본 발명에 의하면, 지지체, 상기 지지체상에 배치된 감광성 재료층 및 상기 감광성 재료층에 배치된 보호 필름을 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 송출하는 공정, 송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹으로부터 상기 보호 필름을 연속적으로 박리하는 공정, 상기 긴 형상의 감광성 웹이 송출되는 송출 방향으로 일정한 간격을 두어 상기 긴 형상의 감광성 웹의 표면에 노출되는 상기 감광성 재료층에 마스킹 테이프를 부착하는 공정, 상기 긴 형상의 감광성 웹에 부착된 상기 마스킹 테이프의 위치를 검출하는 공정, 소정 온도로 가열된 기판을 접합 위치로 반송하는 공정, 상기 마스킹 테이프의 검출 정보에 의거하여 상기 접합 위치에 있어서의 상기 마스킹 테이프와 상기 기판의 상대 위치를 조정하는 공정 및 상기 접합 위치에서 상기 마스킹 테이프를 상기 기판 사이에 위치하고 상기 감광성 재료층을 상기 기판에 부착해서 접합 기판을 제조하는 공정을 포함하는 감광성 적층체의 제조 방법을 제공한다.

상기 검출 정보는 상기 접합 위치의 상류 근방에서 생성되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 2는 제조 장치에 사용된 긴 형상의 감광성 웹의 확대 단면도이다.

도 3은 마스킹 테이프가 부착된 긴 형상의 감광성 웹을 도시하는 확대 단면도이다.

도 4는 제조 장치의 마스킹 테이프 부착 기구의 사시도이다.

도 5는 마스킹 테이프 부착 기구의 측면도이다.

도 6은 제조 장치의 접합 기구의 정면도이다.

도 7은 제조 장치의 통과 영역의 단면도이다.

도 8은 초기 상태를 도시하는 제조 장치의 개략 부분도이다.

도 9는 보호 필름을 긴 형상의 감광성 웹으로부터 박리하는 방법을 도시하는 확대 측면도이다.

도 10은 글래스 기판이 고무 롤러 사이로 들어가는 방법을 도시하는 제조 장치의 개략 부분도이다.

도 11은 고무 롤러가 회전을 시작하는 방법을 도시하는 제조 장치의 개략 부분도이다.

도 12는 제 1 글래스 기판상에 적층 공정이 완료될 때 그 동작을 도시하는 제조 공정의 개략 부분도이다.

도 13은 고무 롤러 및 기판 부착 롤러가 회전하는 방법을 도시하는 제조 장치의 개략 부분도이다.

도 14는 감광성 수지층이 반송된 글래스 기판의 단면도이다.

도 15는 기판 부착 롤러가 접합 기판의 단부로부터 떼어지는 방법을 도시하는 제조 장치의 개략 부분도이다.

도 16은 긴 형상의 감광성 웹이 접합 기판 사이에서 역할을 하는 방법을 도시하는 제조 장치의 개략 부분도이다.

도 17은 정지 상태를 도시하는 제조 장치의 개략 부분도이다.

도 18은 완료 상태를 도시하는 제조 장치의 개략 부분도이다.

도 19는 감광성 웹이 위치에서 선단 세트를 갖는 방법을 도시하는 제조 장치의 개략 부분도이다.

도 20은 감광성 수지층이 글래스 기판을 리드하는 방법을 도시하는 평면도이 다.

도 21은 감광성 수지층이 글래스 기판을 래그하는 방법을 도시하는 평면도이다.

도 22는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제조 장치의 마스킹 테이프 부착 기구의 사시도이다.

도 23은 마스킹 테이프 부착 기구의 측면도이다.

도 24는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 25는 상술된 길이를 갖는 감광성 수지층이 글래스 기판에 부착되는 방법을 도시하는 평면도이다.

도 26은 상술된 길이보다 더 긴 형상의 감광성 수지층이 글래스 기판에 부착되는 방법을 도시하는 평면도이다.

도 27은 상술된 길이보다 더 짧은 감광성 수지층이 글래스 기판에 부착되는 방법을 도시하는 평면도이다.

도 28은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 제조 장치의 개략 측면도이다.

도 29는 제조 장치의 예비 박리기의 확대 단면도이다.

도 30은 예비 박리기가 동작하는 방법을 도시하는 확대 단면도이다.

도 31은 글래스 기판에 부착된 감광성 수지층의 위치가 검출되는 방법을 나타낸 도면이다.

도 32는 드라이 필름을 결합하는 종래 공정을 나타내는 개략 단면도이다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 감광성 적층체를 제조하는 장치(20)의 개략 측면도를 도시한다. 제조 장치(20)는 액정 패널, PDP 또는 유기 EL 패널의 사용을 위한 칼라 필터를 제조하는 공정에서 글래스 기판(24)으로 긴 형상의 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)[이후 설명될]을 열적 반송하도록 동작한다.

도 2는 제조 장치(20)에 사용되는 감광성 웹(22)의 단면도이다. 감광성 웹(22)은 플렉시블 베이스 필름(26)[지지체], 상기 플렉시블 베이스 필름(26)에 배치된 감광성 수지층(28)[감광성 재료층], 및 상기 감광성 수지층(28)에 배치된 보호 필름(30)의 적층 어셈블리를 포함한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제조 장치(20)는 권회된 감광성 웹(22)의 형태로 감광성 웹 롤(22a)을 수용하고, 상기 감광성 웹 롤(22a)로부터 감광성 웹(22)을 송출하는 웹 송출 기구(32), 감광성 웹(22)으로부터 보호 필름(30)을 연속적으로 박리하는 박리 기구(34), 화살표(A)로 지시된 송출 방향으로 일정한 간격을 두어 감광성 웹(22)의 표면에 노출되는 감광성 수지층(28)에 마스킹 테이프(36)를 부착하는 마스킹 테이프 부착 기구(38), 소정 온도로 가열된 글래스 기판(24)을 접합 위치로 반송하는 기판 반송 기구(40), 및 상기 보호 필름(30)의 박리에 의해 노광된 감광성 수지층(28)을 상기 글래스 기판(24)에 접합하는 접합 기구(42)를 구비한다.

감광성 웹(22)의 경계 위치에서 마스킹 테이프(36)를 직접 검출하는 검출 기구(44)는 접합 기구(42)에 있어서의 접합 위치의 상류 근방에 설치된다. 인접한 글래스 기판(24) 사이에 감광성 웹(22)을 절단하는 기판간 웹 절단 기구(48)는 접합 기구(42)의 하류에 배치된다. 제조 장치(20)가 동작을 시작하고, 문제가 발생하거 나 불량 필름이 배출될 때 사용된 웹 선단 절단 기구(48a)는 기판간 웹 절단 기구(48)의 상류에 설치된다.

필수적으로 사용해서 낡은 감광성 웹(22)의 후단과 새롭게 사용될 감광성 웹(22)의 선단을 부착하는 부착대(47)는 웹 송출 기구(32)의 하류 근방에 배치된다. 이 부착대(47)는 감광성 웹 롤(22a)의 권회 불규칙으로 인해 감광성 웹(22)의 폭방향의 시프트를 제어하는 필름 단부 위치 검출기(49)에 의해 다음 하류에 배치된다. 감광성 웹(22)의 필름 단부는 웹 송출 기구(32)를 폭방향으로 이동시켜서 위치 조정된다. 그러나, 감광성 웹(22)의 필름 단부는 롤러로 조합된 위치 조정 기구에 의해 조정될 수 있다. 웹 송출 기구(32)는 감광성 웹 롤(22a)을 지지하고, 감광성 웹(22)을 반송하는 2개 또는 3개의 비권취 축을 포함하는 다축 기구를 포함할 수 있다.

박리 기구(34)는 부착된 감광성 웹(22)이 연속적으로 적층될 때 감광성 웹(22)의 텐션을 안정화시키기 위해 텐션의 변동을 저감하는 석션(suction) 드럼(46)을 구비한다. 박리 기구(34)는 석션 드럼(46) 근방에 설치된 박리 롤러(46a)를 구비한다. 감광성 웹(22)으로부터 박리 롤러(46a)에 의해 예리한 박리 각으로 박리되는 보호 필름(30)은 보호 필름 테이크업 유닛(50)에 의해 연속적으로 권회된다.

감광성 웹(22)에 텐션을 부여하는 텐션 제어 기구(52)는 박리 기구(34)의 하류에 배치된다. 텐션 제어 기구(52)는 텐션 댄서(56)와 회전 접촉으로 유지되는 감광성 웹(22)의 텐션을 조정하기 위해 텐션 댄서(56)를 각을 이루어 변위되도록 가 동시키는 실린더(54)를 구비한다. 텐션 제어 기구(52)는 필요시만 사용될 수 있고 생략될 수 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 마스킹 테이프 부착 기구(38)는 보호 필름(30)이 박리된 감광성 수지층(28)에 기판 간격(T)의 폭으로 각 마스킹 테이프(36)를 부착한다. 마스킹 테이프(36)는 폴리 에틸렌 테레프탈레이트(PET)제 기재와 아크릴 수지, 실리콘, 아크릴 수지 및 실리콘의 조합 또는 고무의 접합제(58)를 포함하며, 이는 감광성 수지층(28)에 결합될 기재의 일면에 설치된다.

마스킹 테이프(36)의 다른 면은 접합제가 부착되지 않고 예컨대, 불소 수지막 코팅 등의 비부착막으로 표면 처리되어야만 하는 것이 바람직하다. 접합제(58)는 후술될 연속적인 적층 공정 시에 접합제(58)가 마스킹 테이프(36)의 단부로부터 스며나오는 것을 방지하기 위해 얇은 두께와 마스킹 테이프(36)의 폭보다 더 좁은 폭을 가져야만 하는 것이 바람직하다. 또한, 마스킹 테이프(36)는 후술될 고무 롤러(90a)의 오염을 제거할 수 있도록 감광성 웹(22)의 웹 폭보다 조금 더 넓은 폭을 가져야만 하는 것이 바람직하다.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 마스킹 테이프 부착 기구(38)는 마스킹 테이프 송출 유닛(60) 및 마스킹 테이프 흡착 반송 유닛(62)을 구비한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 소정 길이로 블랭크(blank)되거나 절단된 마스킹 테이프(36)는 미리 이형지(release paper strip, 64)에 부착된다. 마스킹 테이프 송출 유닛(60)은 이형지(64)가 롤형으로 둘레에 권취되는 회전축(65)을 구비한다. 회전축(65)이 화살표 방향으로 회전될 때 이형지(64)를 화살표(B) 방향으로 송출한다. 이형 지(64)는 마스킹 테이프 송출 유닛(60)으로부터 감광성 웹(22)의 폭방향으로 이동시키고 테이크업 축(66) 둘레에 권취된다.

감광성 웹(22)의 폭방향으로 연장된 긴 흡착대(68)는 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28) 근처에 설치된다. 가이드 롤러(70a, 70b)는 긴 흡착대(68)의 각 길이 방향 단부 근처에 설치된다. 가이드 롤러(70a, 70b)는 감광성 웹(22)의 폭방향으로 연장된 이형지(64)로 향하고 멀어지게 이동할 수 있다.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 마스킹 테이프 흡착 반송 유닛(62)은 감광성 웹(22)의 화살표(A1)로 지시된 반송 방향으로 연장된 좌우 한 쌍의 제 1 선형 이동가능한 가이드(72a)[또는 선형 이동가능한 로봇], 제 1 선형 이동가능한 가이드(72a)를 따라 전후 이동가능한 한 쌍의 제 1 이동 설치대(74a)[이동 유닛], 감광성 웹(22)의 화살표(A1)로 지시된 반송 방향으로 연장되고 제 1 선형 이동가능한 가이드(72a)보다 짧은 좌우 한 쌍의 제 2 선형 이동가능한 가이드(72b), 및 한 쌍의 제 2 선형 이동가능한 가이드(72b)를 따라 전후 이동가능한 한 쌍의 제 2 이동 설치대(74b)[이동 유닛]를 구비한다. 제 1 선형 이동가능한 가이드(72a)는 감광성 웹(22)의 일측에 설치되고, 제 2 선형 이동가능한 가이드(72b)는 감광성 웹(22)의 반대측에 설치된다.

선형 액츄에이터, 예컨대 실린더(76)는 제 1 이동 설치대(74a)에 각각 설치된다. 실린더(76)는 흡착 부재(78)가 설치된 각 로드(rod, 76a)를 구비한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 흡착 부재(78)는 감광성 웹(22)의 폭방향으로 연장된 화살표(B) 방향으로 마스킹 테이프(36)의 길이에 대응하는 거리를 넘어 연장된다.

흡착 부재(78)는 제 1 이동 설치대(74a)에 의해 제 1 위치(S1)와 제 2 위치(S2)로 선택적으로 이동가능하다(도 5 참조). 제 1 위치(S1)는 흡착 부재(78)가 마스킹 테이프 송출 유닛(60)으로부터 마스킹 테이프(36)를 수용하는 위치이다. 제 2 위치(S2)는 흡착 부재(78)에 의해 흡착된 마스킹 테이프(36)가 감광성 웹(22)에 부착되는 위치이다.

선형 액츄에이터, 예컨대 실린더(80)는 제 2 이동 설치대(74b)에 각각 설치된다. 실린더(80)는 후면 부착 기재(79)가 설치된 각 로드(80a)를 구비한다. 후면 부착 기재(80)는 흡착 부재(78)의 제 2 위치(S2)와 대응하는 위치에 설치될 수 있다.

도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이, 검출 기구(44)는 레이저 빔 센서, 포토 센서 등과 같은 광전 센서(82)를 포함한다. 광전 센서(82)는 마스킹 테이프(36)가 투과 광을 차폐할 때 감광성 웹(22)을 통해 투과하는 광도의 변화 직접 검출한다. 광전 센서(82)는 투과 광도의 그러한 변화를 검출할 때 경계 위치 신호를 발생한다. 광전 센서(82)는 백업 롤러(83)와 회전 접촉으로 이동하는 감광 웹(22)과 백업 롤러(83)에 대향하여 설치된다.

검출 기구(44)는 감광 센서(82)보다 감광 웹(22)에 마스킹 테이프 두께를 검출하는 비접촉 변위계, 또는 CCD 카메라 등과 같은 화상 검사 수단 등을 포함할 수 있다.

검출 기구(44)에 의해 검출된 마스킹 테이프(36)의 위치 데이터는 부착된 마스킹 테이프(36)가 적절한 위치를 위치 이탈 또는 위치 변위되는 경우에 경보를 발 생하는 그래프로 통계 처리될 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 기판 반송 기구(40)는 글래스 기판(24)을 샌드위치 설치하고 가열하기 위해 설치된 복수의 기판 가열 유닛(84)[예컨대, 히터]과 글래스 기판(24)을 화살표(C) 방향으로 반송하는 반송기(86)를 구비한다. 기판 가열 유닛(84)에서 글래스 기판(24)의 온도는 항상 모니터된다. 글래스 기판(24)의 모니터된 온도가 이상시 반송기(86)는 비활성화되고 경보가 발생되며, 이상 정보는 후공정에서 이상의 글래스 기판(24)을 방출하기 위해 반송되고, 품질 관리 및 생산 관리에도 사용될 수 있다. 반송기(86)는 화살표(C) 방향으로 글래스 기판(24)을 부상하고 반송하는 에어 부상 플레이트(도시 생략)를 구비한다. 대신에, 반송기(86)는 글래스 기판(24)을 반송하는 롤러 컨베이어를 포함할 수 있다.

글래스 기판(24)의 온도는 기판 가열 유닛(84)내 또는 접합(예컨대, 열전대를 이용하는) 또는 비접합 공정에 따른 접합 위치 직전에 측정되는 것이 바람직하다.

복수의 글래스 기판(24)을 수용하는 기판 수용 프레임(81)은 기판 가열 유닛(84)의 상류에 설치된다. 기판 수용 프레임(81)에 수용된 글래스 기판(24)은 로봇(85)의 핸드부(85a)에 설치되며, 기판 수용 프레임(81)으로부터 꺼내지고 기판 가열 유닛(84)으로 삽입되는 흡착 패드(89)에 의해 하나씩 흡착된다.

기판 가열 유닛(84)의 하류에 글래스 기판(24)의 선단에 접촉하고, 글래스 기판(24)을 유지하는 스토퍼(87)와 글래스 기판(24)의 선단 위치를 검출하는 위치 센서(88)가 설치되어 있다. 위치 센서(88)는 접합 위치를 향하는 중에 글래스 기 판(24)의 선단을 검출한다. 위치 센서(88)가 글래스 기판(24)의 선단의 위치를 검출한 후 글래스 기판(24)은 소정 간격씩 반송되어 접합 기구(42)의 고무 롤러(90a, 90b) 사이에 설치된다. 복수의 위치 센서(88)는 글래스 기판(24)이 위치 센서(88)의 각 위치에 도달 시를 모니터하기 위해 반송 경로를 따라 소정 간격으로 설치되어 글래스 기판(24)의 반송 개시 시 글래스 기판(24)의 편차로 인해 지연을 확인하는 것이 바람직하다. 도 1에서, 글래스 기판(24)은 글래스 기판(24)이 반송되면서 기판 가열 유닛에 의해 가열된다. 그러나, 글래스 기판(24)은 배치 가열 오븐으로 가열되고, 로봇에 의해 반송될 수 있다.

접합 기구(42)는 소정 온도로 가열될 수 있는 수직으로 공간 적재되는 한 쌍의 고무 롤러(90a, 90b)를 구비한다. 접합 기구(42)는 고무 롤러(90a, 90b)의 각각과 회전 접촉으로 유지되는 한 쌍의 백업 롤러(92a, 92b)를 구비한다. 백업 롤러(92b)는 롤러 클램프 유닛(93)에 의해 고무 롤러(90b)를 프레스한다.

도 6에 도시된 바와 같이, 롤러 클램프 유닛(93)은 볼 나사(104)에 동축 접촉된 구동축(103b)을 갖는 감속기(103a)에 결합된 구동축을 갖는 구동 모터(103)를 구비한다. 너트(105)는 볼 나사(104) 위로 스레드되고, 슬라이드 베이스(106)에 고정된다. 테이퍼드(tapered) 캠(107a, 107b)은 화살표(B)로 지시된 감광성 웹(22)의 폭방향으로 슬라이드 베이스(106)의 각 반대 단부에 고정 설치된다. 테이퍼드 캠(107a, 107b)은 화살표(B1) 방향으로 더 높이 향한다. 롤러(108a, 108b)는 각 테이퍼드 캠(107a, 107b)과 회전 접촉으로 설치되고 가압 실린더(94a, 94b)의 각 하단부에 회전 유지된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 접촉 방지 롤러(96)는 감광성 웹(22)이 고무 롤러(90a)를 접촉하는 것을 방지하는 고무 롤러(90a)의 근방에 이동가능하게 설치된다. 소정 온도로 감광성 웹(22)을 예비 가열하는 예비 가열 유닛(97)은 접합 기구(42)의 상류 근방에 설치된다. 예비 가열 유닛(97)은 적외선 바 히터 등과 같은 가열 수단을 포함한다.

글래스 기판(24)은 화살표(C) 방향으로 연장되는 반송로(98)를 따라 기판간 웹 절단 기구를 통해 접합 기구(42)로부터 반송된다. 반송로(98)는 필름 반송 롤러(100)와 기판 반송 롤러(102)를 포함하는 롤러 열과 그 사이에 개재된 웹 선단 절단 기구(48a)를 포함한다. 고무 롤러(90a, 90b)와 기판 반송 롤러(102) 사이의 간격은 1개의 글래스 기판(24)의 길이와 같거나 보다 작다.

제조 장치(20)에서, 웹 송출 기구(32), 박리 기구(34), 텐션 제어 기구(52), 마스킹 테이프 부착 기구(38) 및 검출 기구(44)는 접합 기구(42)의 상부에 설치된다. 반대로, 웹 송출 기구(32), 박리 기구(34), 텐션 제어 기구(52), 마스킹 테이프 부착 기구(38) 및 검출 기구(44)는 접합 기구(42)의 하부에 설치될 수 있어서 감광성 웹(22)이 수직으로 전환될 수 있고, 감광성 수지층(28)이 글래스 기판(24)의 하부면에 접합될 수 있다. 대안으로, 제조 장치(20)의 모든 기구는 선형 정렬될 수 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제조 장치(20)는 적층 공정 제어기(110)에 의해 전체적으로 제어된다. 또한, 제조 장치(20)는 제조 장치(20)의 다른 기능부를 제어하는 적층 제어기(112), 기판 가열 제어기(114) 등을 구비한다. 이들 제어기는 공 정내 네트워크에 의해 서로 연결된다. 공정 제어기(110)는 제조 장치(20)를 일체화하는 공장의 네트워크에 연결되고, 공장 CPU(도시 생략)로부터 지시 정보(조건 설정과 생산 정보)에 의거하여 예컨대, 생산 관리와 가동 관리, 생산을 위한 정보 처리를 행한다.

기판 가열 제어기(114)는 상류 공정으로부터 글래스 기판(24)을 수용하고, 원하는 온도로 수용된 글래스 기판(24)을 가열하도록 기판 가열 유닛(84)을 제어하며, 접합 기구(42)로 가열된 글래스 기판(24)을 반송하도록 반송기(86)를 제어하고, 또한 글래스 기판(24)에 대한 정보의 핸들링을 제어한다.

적층 제어기(112)는 제조 공정(20)의 기능부를 제어하는 공정 마스터로서의 역할을 한다. 적층 제어기(112)는 예컨대, 검출 기구(44)에 의해 검출된 감광성 웹(22)의 마스킹 테이프(36)의 위치 정보에 의거하여 기판 반송 기구(40) 및 마스킹 테이프 부착 기구(38)를 제어하는 제어 기구로서 동작한다.

제조 장치(20)의 설치 공간은 분리벽(120)에 의해 제 1 클린룸(122a) 및 제 2 클린룸(122b)으로 나뉜다. 제 1 클린룸(122a) 내에 웹 송출 기구(32), 박리 기구(34), 및 마스킹 테이프 부착 기구(38)를 수용한다. 제 2 클린룸(112b) 내에 검출 기구 검출 기구(44) 및 검출 기구(44)에 따른 다른 기구가 수용된다. 제 1 클린룸(122a) 및 제 2 클린룸(122b)은 관통부(124)에 의해 서로 연결된다.

도 7에 도시된 바와 같이, 관통부(124)는 제 1 클린룸(122a)에 설치된 제진부(125)와, 제 2 클린룸(122b)에 설치된 에어 밀봉부(126)를 구비한다.

제진부(125)는 감광성 웹(22)의 각 양면에 직면하여 설치된 한 쌍의 흡인 노 즐(127a), 및 흡인 노즐(127a)에 각각 설치된 한 쌍의 분출 노즐(128)을 구비한다. 분출 노즐(128)은 감광성 웹(22)으로부터 진애을 제거하도록 감광성 웹(22)에 공기를 분출하고, 흡인 노즐(127a)은 분출된 공기와 제거된 진애 입자를 드로우한다.

에어 밀봉부(126)는 감광성 웹(22)의 각 양면에 대향하여 설치된 한 쌍의 흡인 노즐(127b)을 구비한다. 흡인 노즐(127b)은 관통부(124)를 밀봉하기 위해 공기를 드로우한다. 제진부(125)와 에어 밀봉부(126)의 위치는 변환될 수 있고, 또는 복수의 제진부(125)과 복수의 에어 밀봉부(126)는 서로 조합될 수 있다. 분출 노즐 치(128)를 설치하지 않고 흡인 노즐(127a)만 감광성 수지층(28)이 노출된 감광성 웹(22)의 측에 대향하여 설치될 수 있다.

제조 장치(20)에서, 분리벽(120)은 접합 기구(42)로부터 가열된 공기가 감광성 웹(22)을 주름, 변형, 열적 수축, 또는 연신되는 것을 방지한다. 분리벽(12)은 제조 장치(20)의 상부, 즉 진애 입자가 발생하고 낙하하기 쉬운 제 1 클린룸(122a)과 제조 장치(20)의 하부, 즉 제 2 클린룸(122b)을 분리해서 접합 기구(42)를 깨끗하게 유지한다.

제 2 클린룸(122b)의 압력이 제 1 클린룸(122a)의 압력보다 고압으로 유지해서 진애 입자가 제 1 클린룸(122a)으로부터 제 2 클린룸(122b)으로 유입하는 것을 방지하는 것이 바람직하다. 깨끗한 공기의 하향으로 유입을 공급하는 공기 공급구(도시 생략)는 제 2 클린룸(122b)의 상부에 설치된다.

본 발명에 따른 제조 방법을 수행하는 제조 장치(20)의 동작은 이하 설명될 것이다.

처음에, 감광성 웹(22)의 선단을 설치하기 위해 감광성 웹(22)은 웹 송출 기구(32)에 수용된 감광성 웹 롤러(22a)로부터 비권취된다. 감광성 웹(22)은 박리 기구(34), 마스킹 테이프 부착 기구(38) 및 접합 기구(42)를 통해 감광성 웹(22)의 선단을 그립한 필름 반송 롤러(100)로 반송된다.

마스킹 테이프(36)이 광전 센서(82)에 의해 검출될 때 필름 반송 롤러(100)는 감광 센서(82)로부터 검출된 신호에 의거하여 회전된다. 감광성 웹(22)은 접합 위치에 마스킹 테이프(36)를 위치시키는 필름 반송 롤러(100)에 의해 접합 위치에 소정 간격으로 이제 반송된다. 대안으로, 마스킹 테이프(36)는 접합 위치의 하류에서 검출되고, 감광성 웹(22)은 소정 위치에서 정지될 수 있다.

도 8에 도시된 바와 같이, 접촉 방지 롤러(96)는 감광성 웹(22)이 고무 롤러(90a)를 접촉하는 것을 방지하도록 더 낮게 위치한다. 글래스 기판(24)은 접합 위치의 직전에서 대기하고 있다. 이제, 감광성 웹(22)은 제조 장치(20)의 초기 상태에 있다.

적층 모드에서 제조 장치(20)의 기능부의 동작은 이하 설명될 것이다.

도 1 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22)은 웹 송출 기구(32)로부터 비권취되고 박리 기구(34)로 연속적으로 반송된다. 박리 기구(34)에서, 도 9에 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22)의 베이스 필름(26)은 흡인 드럼(46)에 흡착되고, 보호 필름(30)은 감광성 웹(22)으로부터 연속적으로 박리된다. 보호 필름(30)은 박리 롤러(46a)에 의해 예리한 박리로 박리되고, 보호 필름 테이크업 유닛(50)에 의해 권취된다[도 1 참조].

이때, 감광성 웹(22)은 흡인 드럼(46)에 의해 견고하게 유지되므로 보호 필름(30)이 감광성 웹(22)으로부터 박리될 때 발생된 쇼크는 흡인 드럼(46)의 하류의 감광성 웹(22)으로 전달되지 않는다. 그 결과, 그러한 쇼크는 접합 기구(42)로 전달되지 않으므로 글래스 기판(24)의 적층부는 줄무늬 결점을 발생시키는 것이 효과적으로 방지된다.

보호 필름(30)이 박리 기구(34)에 의해 베이스 필름(26)으로부터 박리된 후에 감광성 웹(22)은 텐션 제어 기구(52)에 의해 텐션이 조정되고, 마스킹 테이프 부착 기구(38)로 반송된다.

마스킹 테이프 부착 기구(38)에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 제 1 이동 설치대(74a)는 투도트앤대쉬(two-dot-and-dash) 라인에 의해 나타낸 제 1 위치(S1)에 설치된다. 제 1 위치(S1)에서, 마스킹 테이프 송출 유닛(60)으로붙터 비권취된 이형지(64)는 흡착 베이스(68)로 흡착된다. 실린더(76)는 흡착 부재(78)가 이형지(64)에 부착된 마스킹 테이프(36)를 흡착한 화살표(D1) 방향으로의 위치로 흡착 부재(78)를 이동시키도록 동작한다.

마스킹 테이프(36)를 흡착하는 흡착 부재(78)와, 실린더(76)는 화살표(D2) 방향으로 흡착 부재(78)를 흡착대(68)로부터 멀어지게 이동시키도록 동작한다. 이후, 제 1 이동 설치대(74)는 제 1 위치로부터 제 2 위치로 이동된다. 제 2 위치에서, 흡착 부재(78)는 후면 부착대(79)에 대향하고, 제 1 및 제 2 이동 설치대(74a, 74b)가 화살표(A1) 방향으로 동기하여 이동하면서 실린더(76, 80)는 구동된다. 흡착 부재(78) 및 후면 부착대(79)는 감광성 웹(22)을 그립하고, 흡착 부재(78) 및 후면 부착대(79)가 화살표(A1) 방향으로 감광성 웹(22)과 동기하여 이동되면서 감광성 수지층(28)에 마스킹 테이프(36)를 부착한다.

부착 부재(78) 및 후면 부착대(79)가 화살표(A1) 방향으로 감광성 웹(22)과 일치되어 이동된 후에, 흡착 부재(78) 및 후면 부착대(79)는 실린더(76, 80)에 의해 감광성 웹(22)으로부터 이탈한 후 화살표(A2) 방향으로 이동된다. 흡착 부재(78)는 제 1 위치(S1)에 설치되고, 후면 부착대(79)는 제 2 위치(S2)에 설치된다.

마스킹 테이프 송출 유닛(60)에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 마스킹 테이프(36)가 이형지(64)로부터 이탈된 후에 가이드 롤러(70a, 70b)는 이형지(64)를 흡착대(68)로부터 이동시키면서 앞으로 이동된다. 이형지(64)는 회전축(65)으로부터 송출되고 테이크업 축(66)에 둘레에 권취되며, 흡착대(68) 위로 이형지(64)에 흡착된 다음의 새로운 마스킹 테이프(36)를 반송한다. 다음, 회전축(65) 및 테이크업 축(66)은 회전이 정지되고, 가이드 롤러(70a, 70b)는 이형지(64)가 흡착대(68)에 의해 흡착되어 지지되도록 리트랙트(retract)된다.

상술한 바와 같이, 이형지(64)가 회전축(65)으로부터 송출될 때 이형지(64)는 가이드 롤러(70a, 70b)에 의해 흡착대(68)와 슬라이딩 접촉이 유지된다. 따라서, 이형지(64)는 과도한 손상 및 원오프(worn off) 입자의 발생으로부터 방지된다. 가이드 롤러(70a, 70b)를 이동시키는 대신, 흡착대(68)는 이형지(64)로 이동될 수 있고 접촉되지 않을 수 있다.

감광성 수지층(28)의 소정 영역에 부착된 마스킹 테이프(36)를 갖는 감광성 웹(22)은 검출 기구(44)로 반송된다. 검출 기구(44)에서, 광전 센서(82)는 마스킹 테이프(36)의 경계 가장자리를 검출한다. 마스킹 테이프(36)의 검출된 위치 정보에 의거하여 필름 반송 롤러(100)는 접합 기구(42)로 소정 간격으로 감광성 웹(22)을 반송하기 위해 회전된다. 이때, 접촉 방지 롤러(96)는 감광성 웹(22)의 상부에 대기하고 고무 롤러(90b)는 감광서 웹(22)의 하부에 설치된다.

도 10에 도시된 바와 같이, 예비 가열된 제 1 글래스 기판(24)은 기판 반송 기구(40)에 의해 접합 위치로 반송된다. 글래스 기판(24)은 마스킹 테이프(36)가 감광성 수지층(28)에 부착된 감광성 웹(22)의 영역에 정렬된 고무 롤러(90a, 90b) 사이에 시험적으로 설치된다.

그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 볼 나사(104)는 구동 모터(103)에 연결된 감속기(103a)에 의해 어느 방향으로 회전되고 볼 나사(104) 위로 스레드되는 너트(105)와 일치하는 화살표(B2) 방향으로 슬라이드 베이스(106)를 이동시킨다. 그러므로, 테이퍼드 캠(107a, 107b)은 높아진 롤러(108a, 108b)와 접촉하는 캠 표면을 갖고, 롤러(108a, 108b)를 위로 이동시킨다. 가압 실린더(94a, 94b)가 상승되고 미리 결정된 가압 하에 고무 롤러(90a, 90b) 사이에 글래스 기판(24)을 샌드위치하기 위해 백업 롤러(92b) 및 고무 롤러(90b)를 리프트한다. 이때, 가압은 가압 실린더(94a, 94b)에 가해진 공기의 압력에 의해 조정된다. 고무 롤러(90a)는 글래스 기판(24)에 가열로 용융된 감광성 수지층(28)을 반송하기 위해, 즉 적층하기 위해 회전된다.

감광성 수지층(28)은 1.0m/min으로부터 10m/min까지의 범위의 속도로 반송되 는 조건 하에 글래스 기판(24)상에 적층되며, 고무 롤러(90a, 90b)는 온도가 80℃로부터 140℃까지의 온도 범위를 가지고, 50N/cm로부터 40ON/cm까지의 범위인 압력(선형 압력)을 가한다.

도 11에 도시된 바와 같이, 글래스 기판(24)의 선단이 필름 반송 롤러(100) 근처 위치에 도달할 때 필름 반송 롤러(100)는 글래스 기판(24)으로부터 멀어지게 이동된다. 화살표(C) 방향으로 글래스 기판(24)이 앞으로 돌출하는 감광성 웹(22)의 선단이 웹 선단 절단 기구(48a)에 대해 소정 위치에 도달할 때 웹 선단 절단 기구(48a)는 감광성 웹(22)의 선단을 절단하도록 구동된다. 감광성 웹(22)의 선단을 절단한 후에 웹 선단 절단 기구(48a)는 그 대기 위치로 복귀하고 제조 장치(20)가 보통 동작시에 있을 때 사용되지 않을 것이다.

도 12에 도시된 바와 같이, 감광성 웹922)이 고무 롤러(90a, 90b)에 의해 그 후단부까지 글래스 기판(24)에 적층될 때 고무 롤러(90a)는 회전이 정지되고, 적층된 감광성 웹(22)의 글래스 기판(24)[또는, 접합 기판(24a)이라 칭함)은 기판 반송 롤러(102)에 의해 클램프된다.

고무 롤러(90b)는 고무 롤러(90a)로부터 멀어지게 리트랙트되고, 접합 기판(24a)을 클램프 해제한다. 특히, 도 6에 도시된 바와 같이, 구동 모터(103)에 연결된 감속기(103a)는 역방향으로 회전 구동되어 볼 나사(104) 및 너트(105)가 화살표(B1) 방향으로 슬라이드 베이스(106)를 이동시키도록 한다. 그러므로, 테이퍼드 캠(107a, 107b)은 롤러(108a, 108b)에 접촉하는 캠 표면이 낮아지고, 가압 실린더(94a, 94b)를 하강시킨다. 백업 롤러(92b) 및 고무 롤러(90b)는 하강되어 접합 기판(24a)을 클램프 해제한다.

그리고, 기판 반송 롤러(102)는 화살표(C) 방향으로 일정한 간격을 두어 접합 기판(24a)을 반송하기 위해 회전을 시작한다. 2개의 인접한 글래스 기판(24) 사이에반송될 감광성 웹(22)의 위치(22b)는 고무 롤러(90a)의 하부 위치로 이제 이동된다. 다음 글래스 기판(24)은 기판 반송 기구(40)에 의해 접합 위치를 향해 반송된다. 다음 글래스 기판(24)의 선단이 고무 롤러(90a, 90b) 사이에 설치될 때 고무 롤러(90b)는 리프트되고, 고무 롤러(90a, 90b) 사이에 다음 글래스 기판(24) 및 감광성 웹(22)을 클램프한다. 고무 롤러(90a, 90b) 및 기판 반송 롤러(102)는 글래스 기판(24)상에 감광성 웹(22)을 적층을 시작하기 위해 회전되고, 화살표(C) 방향으로 접합 기판(24a)을 반송한다(도 13 참조).

이때, 도 14에 도시된 바와 같이, 접합 기판(24a)은 각 마스킹 테이프(36)로 커버된 양 단부를 가진다. 그러므로, 감광성 수지층(28)이 글래스 기판(24)으로 반송될 때 감광성 수지층(28)은 프레임을 형성하기 위해 반송된다.

도 15에 도시된 바와 같이, 제 1 접합 기판(24a)의 후단부가 기판 반송 롤러(102)에 도달할 때 기판 반송 롤러(102)의 상부 롤러는 제 1 접합 기판(24a)을 클램프 해제하기 위해 리프트되고 기판 반송 롤러(102)의 하부 롤러 및 반송 경로(98)의 다른 롤러는 접합 기판(24a)을 반송하기 위해 연속적으로 회전된다. 그 다음, 즉 제 2 접합 기판(24a)의 후단부는 고무 롤러(90a, 90b)의 근처 위치에 도달될 때 고무 롤러(90a, 90b) 및 기판 반송 롤러(102)는 회전이 정지된다.

기판 반송 롤러(102)의 상부 롤러는 제 2 접합 기판(24a)을 클램프하기 위해 하강되고 고무 롤러(90b)는 제 2 접합 기판(24a)을 클램프 해제하기 위해 하강된다. 그리고, 기판 반송 롤러(102)는 2개의 인접한 글래스 기판(24) 사이에 반송될 감광성 웹(22)의 위치(22b)는 고무 롤러(90a)의 하부 위치로 이제 이동되고, 감광성 웹(22)은 제 3 및 다음 글래스 기판(24)에 반복적으로 적층된다.

도 16에 도시된 바와 같이, 접합 기판(24a)과 동일한 속도로 화살표(C) 방향으로 이동하면서 2개의 인접한 접합 기판(24a)이 기판간 웹 절단 기구(48)에 대응하는 위치에 도달할 때 기판간 웹 절단 기구(48)는 접합 기판(24a) 사이에 감광성 웹(22), 즉 마스킹 테이프(36)를 통한 매개를 제공한다. 이후, 기판간 웹 절단 기구(48)는 대기 위치로 복귀하고 베이스 필름(26) 및 마스킹 테이프(36)는 선 접합 기판(24a)으로부터 박리되어, 감광성 적층체(116)를 제조한다(도 1 참조).

적층 공정이 일시적으로 정지될 때, 도 17에 도시된 바와 같이, 필름 반송 롤러(100) 및 고무 롤러(90b)는 클램프 해제 위치로 반송되고 접촉 방지 롤러(96)는 감광성 웹(22)이 고무 롤러(90a)를 접촉하는 것을 방지하기 위해 하강된다.

제조 장치(20)가 운전이 종료될 때 기판 반송 롤러(102)는 화살표(C) 방향으로 접합 기판(24a)을 반송하기 위해 회전되고 웹 선단 절단 기구(48a)는 감광성 웹(22)을 클램프한다. 회전중의 필름 반송 롤러(100)이 감광성 웹(22)을 클램프하고 있을 때 웹 선단 절단 기구(48a)는 감광성 웹(22)의 폭방향으로 이동하며, 감광성 웹을 절단한다.

그 결과, 도 18에 도시된 바와 같이, 감광성 웹(22)은 고무 롤러(90a, 90b) 사이를 통과하고 필름 반송 롤러(100)에 의해 샌드위치되며, 하강된 접촉 방지 롤 러(96)에 의해 고무 롤러(90a)로부터 멀어지게 된다. 웹 선단 절단 기구(48a)는 접합 기판(24a)을 클램프 해제하고, 그 대기 위치에 설치된다.

기판간 웹 절단 기구(48) 및 웹 선단 절단 기구(48a)가 감광성 웹(22)을 절단할 때 이는 화살표(C) 방향으로 감광성 웹(22)을 동기하여 이동시킨다. 그러나, 기판간 웹 절단 기구(48) 및 웹 선단 절단 기구(48a)는 감광성 웹(22)을 절단하기 위해 감광성 웹(22)의 폭방향으로만 이동시킬 수 있다. 감광성 웹(22)은 정지중에 유지되면서 톰슨 블레이드(Thomson blade)에 의해 절단될 수 있거나 동작중에 로터리 블레이드에 의해 절단될 수 있다.

제어 장치(20)는, 도 19에 도시된 바와 같이, 그 초기 상태에서 동작될 때 접촉 방지 롤러(96)는 하부 위치에 설치되고, 고무 롤러(90a)는 고무 롤러(90a)로부터 멀어지게 설치된다. 그리고, 필름 반송 롤러(100)는 웹 처리 컨테이너(도시 생략)로 감광성 웹(22)을 방출하기 위해 회전된다. 이때, 감광성 웹(22)은 웹 선단 절단 기구(48a)에 의해 어느 길이로 제공된다.

검출 기구(44)는 마스킹 테이프(36)를 검출할 때 감광성 웹(22)은 검출 위치로부터 소정 길이로 반송된다. 특히, 접촉 방지 롤러(96)가 상승될 때 감광성 웹(22)은 마스킹 테이프(36)가 감광성 웹(22) 고무 롤러(90a 90b)에 의해 적층될 위치에 도달할 때까지 반송된다. 감광성 웹(22)의 선단은 이제 위치된다.

제 1 실시예에서, 감광성 웹(22)에 마스킹 테이프(36)는 접합 기구(42)의 상류 근방에서 검출 기구(44)에 의해 직접 검출된다. 검출 기구(44)로부터 마스킹 테이프(36)가 고무 롤러(90a, 90b)에 의해 정지된 위치까지의 거리는 적층될 감광성 웹(22)의 가장 짧은 길이보다 더 작을 필요가 있다. 이는 검출된 마스킹 테이프(36)의 정보가 피드백을 통해 다음 적층 공정에 사용되기 때문이다.

검출 기구(44)는 이하 설명된 바와 같이, 2개의 측정 공정을 수행한다. 제 1 측정 공정에 의하면, 고무 롤러(90a, 90b)는 글래스 기판(24)을 클램프하고, 글래스 기판(24)이 고무 롤러(90a, 90b)의 회전 시작으로부터 반송되는 거리를 나타냄에 따라, 고무 롤러(90a, 90b)를 회전시키는 구동 모터(도시 생략)와 결합된 인코더에 의해 발생된 펄스의 수는 마스킹 테이프(36)가 검출 기구(44)에 의해 검출될 때 발생된 펄스의 설정과 비교하여 마스킹 테이프(36)의 위치를 측정한다. 마스킹 테이프(36)가 펄스의 설정 수에 도달하기 전에 검출되면 마스킹 테이프(36)는 펄스의 수 차이에 의해 나타난 거리에 의해 글래스 기판(24)에 소정 위치의 앞으로 이동됨에 따라 판단된다. 반대로, 마스킹 테이프(36)가 펄스의 설정 수에 도달한 후에 검출되면 마스킹 테이프(36)는 글래스 기판(24)에 소정 위치의 뒤로 이동됨에 따라 판단된다.

제 2 측정 공정에 의하면, 고무 롤러(90a, 90b)를 회전하는 구동 모터(도시 생략)와 결합된 인코더에 의해 발생된 펄스의 수는 마스킹 테이프(36)의 검출로부터 다음 마스킹 테이프(36)의 검출까지 측정되어 감광성 웹(22)의 적층된 길이(H)를 측정한다. 감광성 웹(22)의 보통 조건 하에 적층된 길이(H)에 대응하는 펄스의 설정 수는 실제로 측정된 펄스의 수와 비교된다. 실제로 측정한 펄스의 수가 펄스의 설정 수보다 많으면 감광성 웹(22)은 펄스의 수 사이의 차이에 의해 나타낸 거리에 의해 가열 등으로 인해 연신되었는지가 판단된다. 반대로, 실제로 측정된 펄 스의 수가 펄스의 설정수보다 적으면 감광성 웹(22)은 보통보다 더 짧게 되었는지가 판단된다.

감광성 수지층(28)의 선단이, 도 20에 도시된 바와 같이, 제 1 측정 공정에 따른 글래스 기판(24)의 부착 범위(P1 내지 P2)에 대해 이동되는(나아가는)지가 검출되고, 감광성 웹(22)에 글래스 기판(24) 및 마스킹 테이프(36)의 상대 위치는 조정된다.

특히, 광전 센서(82)에 의해 검출된 마스킹 테이프(36)가 소정 위치로부터 진행되는가가 판단되면, 도 12에 도시된 바와 같이, 기판 반송 롤러(102)는 설정 거리와 진행 거리 사이의 차이에 의해 나타낸 거리에 의해 적층된 후에 감광성 웹(22)의 비부착 부분에 반송한다. 이 결과로서, 마스킹 테이프(36)는 위치 조정되고 고무 롤러(90a, 90b) 사이의 소정 위치에 시험적으로 설치된다. 그 후, 글래스 기판(24)은 고무 롤러(90a, 90b) 사이에 보통 반송 제어 하에 반송되고, 감광성 수지층(28)은 글래스 기판(24)에 보통 위치, 즉 글래스 기판(24)의 부착 범위(P1 내지 P2)에 부착된다.

광전 센서(82)에 의해 검출된 마스킹 테이프(36)의 위치가, 도 21에 도시된 바와 같이, 글래스 기판(24)의 접합 범위(P1, P2)로부터 반송되는가가 판단되면 기판 반송 롤러(102)는 설정 거리 및 반송된 거리의 합계에 의해 나타낸 거리에 의해 적층된 후에 감광성 웹(22)의 비부착 부분에 반송한다.

접합 기판(24a)이 기판 반송 롤러(102)에 의해 반송된 거리를 조정하는 것보다 기판 반송 기구(40)는 진행되거나 지연된 거리에 의해 글래스 기판(24)이 정 지될 위치를 조정하도록 제어될 수 있다. 또한, 마스킹 테이프 부착 기구(38)의 제 2 및 제 2 이동 설치대(74a, 74b)에 대한 제 2 위치(S2)는 마스킹 테이프(36)의 위치를 조정하도록 제어될 것이다.

광전 센서(82)에 의해 검출된 마스킹 테이프(36) 사이의 거리, 즉 글래스 기판(24)에 부착될 감광성 수지층(28)의 길이(H)는 제 2 측정 공정에 따라 측정된다. 길이(H)가 접합 범위(P1 내지 P2)보다 길면 마스킹 테이프(36) 사이의 길이는 마스킹 테이프(36) 및 접합 범위(P1 내지 P2) 사이의 차이에 의해 감소된다. 길이(H)가 접합 범위(P1 내지 P2)보다 짧으면 마스킹 테이프(36) 사이의 길이는 길이(H) 및 접합 범위(P1 내지 P2) 사이의 차이에 의해 증가된다. 이 방법으로, 감광성 수지층(28)의 부착 길이는 소정 길이로 조정된다.

또한, 텐션 제어 기구(52)의 텐션 댄서(56)로 감광성 웹(22)의 텐션을 조정 함으로써 감광성 웹(22)의 신장량을 변경시키는 것도 가능하다.

그 결과, 감광성 웹(22)에 마스킹 테이프(36)는 접합 위치에 대해 고정밀도로 위치 결정될 수 있고, 감광성 웹(22)의 감광성 수지층(28)이 글래스 기판(24)의 원하는 영역에 정확하게 부착되도록 할 수 있다. 간단한 공정 및 구성으로 고품질의 감광성 적층체(116)를 효율적으로 제조할 수 있다.

보호 필름(30)이 감광성 웹(22)으로부터 연속적으로 박리된 후 마스킹 테이프(36)는 감광성 웹(22)의 표면에 노광된 감광성 수지층(28)에 부착된다. 그러므로, 감광성 웹(22)이 부분적으로 절단되거나 관통되고, 또는 감광성 웹(22)에 보호 필름(30)의 일부를 남기도록 처리되지 않으므로 진애 및 오염 입자는 감광성 웹(22)으로부터 발생되지 않는다. 접합 기판(24a)은 손상되는 것을 방지한다. 고품질의 접합 기판(24a)을 효율적 또한 경제적으로 제조할 수 있다.

도 22는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제조 장치의 마스킹 테이프 부착 기구(130)를 사시도로 도시하고 도 23은 도 22에 도시된 마스킹 테이프 부착 기구(130)를 측면 윤곽도로 도시한다. 제 1 실시예에 따른 이와 동일한 마스킹 테이프 부착 기구(130)의 일부는 동일한 참조 부호에 의해 나타내지고 이하 상세하게 설명되지 않을 것이다.

마스킹 테이프 부착 기구(130)는 이에 부착된 마스킹 테이프(36)와 권회된 이형지(64)를 포함하는 테이프 롤(132)을 포함하는 라벨 송출 유닛(134)을 구비하고, 라벨 송출 유닛(134)은 이동 유닛(133)에 의해 화살표(A) 방향으로 전후로 이동할 수 있다. 라벨 송출 유닛(134)은 테이프 롤(132)로 축 배치되고 모터(136)에 의해 회전축(138)을 구비한다. 회전축(138)이 회전할 때 거기에 부착된 마스킹 테이프(36)를 갖는 이형지(64)는 테이프 롤(132)로부터 비권취된다.

마스킹 테이프(36)를 갖는 이형지(64)는 복수의 가이드 롤러(140)에 의해 가이드됨으로써 수평하게 반송되고 가이드 폴딩(folding) 부재(142)에 의해 예리한 각을 통해 뒤집어 접어진다. 마스킹 테이프(36)가 이형지(64)로부터 이탈된 후 이형지(64)는 복수의 가이드 롤러(144)에 의해 가이드되고 모터(148)에 의해 회전된 테이크업 축(146) 둘레로 권취된다.

폴딩 부재(142)는 라벨 흡착 반송 유닛(150) 하부에 위치된다. 라벨 흡착 반송 유닛은 화살표(B) 방향으로 수평으로 연장한 레일(152) 및 레일(152)을 따라 전 후 이동시키는 레일(152)상에 이동가능하게 설치된 자체 추진 이동 베이스(154)를 구비한다.

이동 베이스(154)는 그 하단부에 설치된 각 흡착 패드(160a, 160b)와 하방으로 연장되고, 각 하방으로 연장된 로드(158a, 158b)를 구비하는 실린더(156a, 156b)를 지지한다. 흡착 패드(160a, 160b)는 각 마스킹 테이프(36)의 길이 방향의 길이에 대응하는 거리로 화살표(B) 방향으로 서로 간격을 갖는다.

또한, 이동 베이스(154)는 하방으로 연장되고, 실린더(156a, 156b)의 안쪽에 위치된 실린더(162a, 162b)를 지지한다. 실린더(162a, 162b)는 그 하단부에 지지된 수평 프레서 바(166)를 가진 하방으로 각각 연장된 로드(164a, 164b)를 구비한다. 프레서 바(166)는 흡착할 수 있다. 하방으로 연장된 커터(cutter, 168)는 실린더(156b)의 가까이 외부로 이동 베이스(154)에 설치된다. 커터(168)는 마스킹 테이프(36)가 흡착 패드(160a, 160b)에 흡착되고 유지되면서 소정 위치에 마스킹 테이프(36)를 절단할 수 있다.

또한, 마스킹 테이프 부착 기구(130)는 마스킹 테이프(36)가 흡착 패드(160a, 160b)에 의해 감광성 웹(22)에 부착될 접합 위치에 하부로부터 감광성 웹(22)을 유지하는 백킹(backing) 테이블(170)을 구비한다. 백킹 테이블(170)은 실린더(172a, 172b)에 의해 수직으로 이동가능하게 지지된다. 백킹 테이블(170)은 화살표(A) 방향으로 이동 유닛(174)에 의해 전후 이동할 수 있다.

제 2 실시예에 의하면, 테이프 롤(132)은 라벨 송출 유닛(134)의 회전축(138)에 설치된다. 회전축(138)이 모터(136)에 의해 회전되므로 이형지(64)는 회 전축(138)이 회전될 때 테이프 롤(132)로부터 마스킹 테이프(36)와 함께 비권취된다.

이형지(64) 및 마스킹 테이프(36)가 가이드 롤러(140)에 의해 가이드됨으로써 수평하게 반송된 후 이는 폴딩 부재(142)에 의해 예리한 각을 통해 뒤로 접힌다. 그러므로, 마스킹 테이프(36)의 선단은 이형지(64)로부터 분리되고, 흡착 패드(160a)에 흡착되고 지지된다. 그래서, 폴딩 부재(142)는 도 23에 왼쪽으로 이동되고 이형지(64)로부터 마스킹 테이프(36)를 분리한다. 흡착 패드(160a)는 실린더(156a)에 의해 수직으로 이동되며, 이형지(64)로부터 분리된 마스킹 테이프(36)의 표면을 흡착하고 유지한다.

이동 베이스(154)는 마스킹 테이프(36)의 흡착 위치에 대응해서 이동하여 흡착 패드(160b)가 마스킹 테이프(36)의 후단부로 가져온다. 흡착 패드(160b)는 실린더(156b)에 의해 수직으로 이동되며, 마스킹 테이프(36)의 후단을 흡착하여 지지한다.

마스킹 테이프(36)가 이형지(64)로부터 분리된 후 폴딩 부재(142)에 의해 예리한 각을 통해 뒤집어 접어진 이형지(64)는 가이드 롤러(144)에 의해 가이드되고 테이크업 축(146)으로 반송된다. 모터(148)는 테이크업 축(146)을 회전하여 테이크업 축(146) 둘레로 이형지(64)를 권취한다.

흡착 패드(160a, 160b)가 마스킹 테이프(36)의 선단과 후단을 흡착하여 지지할 때 흡착 패드(160b)에 근접하여 설치된 커터(168)는 구동되어 마스킹 테이프(36)의 후단을 절단한다. 그래서, 이동 베이스(154)는 화살표(B) 방향으로 레 일(152)을 따라 이동하여 흡착 패드(160a, 160b)에 의해 흡착된 마스킹 테이프(36)를 마스킹 테이프(36)가 감광성 웹(22)에 부착될 접합 위치에 설치된다.

마스킹 테이프(36)가 접합 위치에 설치될 때 라벨 송출 유닛(134) 및 백킹 테이블(170)은 마스킹 테이프(36)가 감광성 웹(22)에 부착될 동안 감광성 웹(22)과 동기하여 화살표(A) 방향으로 이동한다.

특히, 백킹 테이블(170)은 감광성 웹(22)의 하부면을 지지할 때까지 실린더(172a, 172b)에 의해 상승된다. 흡착 패드(160a, 160b)는 실린더(156a, 156b)에 의해 하강되어 감광성 웹(22)에 대항햐여 마스킹 테이프(36)를 지지하고, 프레서 바(166)는 실린더(162a, 162b)에 의해 하강되어 감광성 웹(22)에 대향하여 마스킨 테이브(36)를 지지한다. 마스킹 테이프(36)는 감광성 웹(22)에 확실하게 부착된다.

도 24는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 감광성 적층체를 제조하는 제조 장치(180)를 개략적인 측면 윤곽도로 도시한다. 제 1 실시예에 따른 제조 장치(20)의 이와 동일한 제조 장치(180)의 일부는 동일한 참조 번호에 의해 나타나고 이하 상세히 설명되지 않을 것이다.

도 24에 도시된 바와 같이, 제조 장치(180)는 검출 기구(44a), 기판간 웹 절단 기구(48)의 하류에 배치된 냉각 기구(182) 및 냉각 기구(182)의 하류에 배치된 베이스 박리 기구(184)를 구비한다. 검출 기구(44a)는 서로 소정 거리(L)의 간격을 갖고 각각 백업 롤러(83a, 83b)에 직면하여 설치된 광전 센서(82a, 82b)를 구비한다.

냉각 기구(182)는 감광성 웹(22)이 기판간 웹 절단 기구(48)에 의해 접합 기 판(24a) 사이에 절단된 후 접합 기판(24a)에 냉각 공기를 공급하여 접합 기판(24a)을 냉각한다. 특히, 냉각 기구(182)는 1.0 내지 2.0 m/min의 범위에서 10℃의 온도를 갖는 냉각 공기를 공급한다. 변경에 따라, 냉각 기구(182)는 분배되고 접합 기판(24a)은 이하 설명될 감광성 적층체 저장 프레임(192)에서 자연스레 냉각될 수 있다.

냉각 기구(182)의 하류에 배치된 베이스 박리 기구(184)는 접합 기판(24a)의 하부면에 부착된 복수의 흡착 패드(186)를 구비한다. 접합 기판(24a)이 흡착 패드(186)에 의해 흡착 하에 흡착될 때 베이스 필르(26) 및 마스킹 테이프(36)는 로봇 핸드(188)에 의해 흡착 기판(24a)으로부터 박리된다. 접합 기판(24a)의 적층 영역의 4개 측에 이온 공기를 배출하는 전기 중화 송풍기(도시 생략)는 흡착 패드(186)의 상류, 하류 및 양측에 설치된다. 베이스 필르(26) 및 마스킹 테이프(36)는 접합 기판(24a)을 지지하는 테이블이 진애 제거를 위해 수직, 경사, 또는 거꾸로 향하면서 접합 기판(24a)으로부터 박리될 수 있다.

베이스 박리 기구(184)는 복수의 감광성 적층체(116)를 수용하는 감광성 ㅈ거층체 저장 프레임(192)에 의해 하류에 배치된다. 베이스 필름(26) 및 마스킹 테이프(36)가 베이스 박리 기구(184)에 의해 접합 기판(24a)으로부터 박리될 때 제조된 감광성 적층체(116)는 로봇(194)의 핸드(194a)에 흡착 패드(196)에 의해 흡착되며, 베이스 박리 기구(184)로부터 박리되고, 감광성 적층체 저장 프레임(192)에 설치된다.

진애 제거 팬 유닛[또는 덕트 유닛](197)은 배출 및 제거 포트 측 이외의 기 판 저장 프레임(81) 및 감광성 적층체 저장 프레임(192)의 3개의 측에 설치된다. 팬 유닛(197)은 기판 저장 프레임(81) 및 감광성 적층체 저장 프레임(192)으로 중화한 깨끗한 공기를 주입한다.

적층 공정 제어기(110)에, 적층 제어기(112) 및 기판 가열 제어기(114) 및 베이스 박리 제어기(198)가 연결되어 있다. 베이스 박리 제어기(198)는 베이스 박리 기구(184)를 제어하여 접합 기구(42)로부터 공급되는 접합 기판(24a)으로부터 베이스 필름(26)을 박리하고, 하류 공정에 감광성 적층체(116)를 배출한다. 또한, 베이스 박리 제어기(198)는 접합 기판(24a) 및 감광성 적층체(116)에 관한 정보를 다룬다.

제 3 실시예에 의하면, 검출 기구(44a)에서 우선 광전 센서(82a)의 상류에 위치된 광전 센서(82a)는 감광성 웹(22)에 마스킹 테이프(36)를 검출한다. 이후, 하류 광전 센서(82b)는 감광성 웹(22)에 마스킹 테이프(36)를 검출한다. 백업 롤러(83a, 83b) 사이의 거리(L)는 글래스 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)의 길이에 대응한다.

감광성 수지층(28)의 실제 부착 길이는 상류 광전 센서(82a)가 감광성 웹(22)의 마스킹 테이프(36)를 검출할 시와 하류 광전 센서(82b)가 감광성 웹(22)의 마스킹 테이프(36)를 검출할 시 사이의 펄스 수로부터 정확하게 산출될 수 있다. 감광성 수지층(28)의 산출된 실제 부착 길이에 의거하여, 감광성 웹(22)이 반송된 비율은 감광성 수지층(28)을 글래스 기판(24)의 중앙부에 부착하도록 조정된다.

그러므로, 제 3 실시예에 의하면, 감광성 웹(22)의 마스킹 테이프(36) 사이의 거리, 즉 글래스 기판(24)에 부착된 감광성 수지층(28)의 길이(H)는 감광성 수지층(28)을 글래스 기판(24)의 중앙부에 부착하도록 정확하게 검출된다(도 25참조).

검출 기구(44a)에 의해 검출된 감광성 수지층(28)의 길이(H1)가 도 26에 도시된 바와 같이, 정규 길이(H)보다 길 경우, 감광성 수지층(28)은 글래스 기판(24)의 중앙부에 감광성 수지층(28)의 양단이 부착 길이(L)의 단부로부터 바깥쪽으로 동일한 거리를 가진다.

검출 기구(44a)에 의해 검출된 감광성 수지층(28)의 길이(H2)가 도 27에 도시된 바와 같이, 정규 길이(H)보다 짧을 경우, 감광성 수지층(28)은 글래스 기판(24)의 중앙부에 부착되어 감광성 수지층(28)의 양단이 부착 길이(L)의 안쪽으로 동일한 거리를 가진다. 이 경우에, 감광성 수지층(28)의 접합 위치의 타겟 변위는 감광성 수지층(28)의 양단이 부착 길이(L)의 단부로부터 안쪽으로 동일한 거리를 갖지 않을 때 발생하는 약 1/2 변위이다.

제 3 실시예에 의하면, 웹 송출 기구(32)로부터 비권취된 감광성 웹(22)의 보호 필름(30)은 박리되고 마스킹 테이프(36)는 감광성 수지층(28)에 부착된다. 이후, 감광성 웹(22)은 글래스 기판(24)에 적층되어 감광성 수지층(28)을 반송하고 베이스 필름(26) 및 마스킹 테이프(36)는 베이스 박리 기구(184)에 의해 박리되어, 감광성 적층체(116)를 제조한다. 감광성 적층체(116)는 용이하고 자동적으로 제조될 수 있다.

도 28은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 제조 장치(200)를 측면 윤곽도로 도시한다. 제 1 실시예에 따른 제조 장치(200)의 이와 동일한 제 4 실시예에 따른 제조 장치(200)의 일부는 동일한 참조 번호에 의해 나타내어지고, 이하 상세히 설명되지 않을 것이다.

제조 장치(200)는 문제시 감광성 웹(22)을 절단하고 불량품을 배출하기 위해 감광성 웹(22)을 분리하는 것 이외에 보통 사용되지 않는 기판간 웹 절단 기구(48)를 포함한다. 제조 장치(200)는 웹 선단 절단 기구(48a)의 하류에 냉각 기구(182) 및 자동 베이스 박리 기구(202)를 구비한다. 자동 베이스 박리 기구(202)는 주어진 간격을 갖고 글래스 기판(24)에 부착된 긴 베이스 필름(26)을 마스킹 테이프(36)와 함께 연속적으로 박리되도록 한다. 자동 베이스 박리 기구(202)는 예비 박리부(204), 상대적 작은 직경을 갖는 박리 롤러(206), 테이크업 축(208) 및 자동 부착 유닛(210)을 구비한다.

도 29 및 도 30에 도시된 바와 같이, 예비 박리부(204)는 한 쌍의 닙 롤러 어셈블리(212, 214) 및 박리 바(216)를 구비한다. 닙 롤러 어셈블리(212, 214)는 글래스 기판(24)이 반송된 방향으로 전후 이동할 수 있다. 닙 롤러 어셈블리(212, 214)는 수직으로 이동가능한 상측 롤러(212a, 214a) 및 하측 롤러(212b, 214b)를 구비한다. 상측 롤러(212a, 214a)가 하강할 때 상측 롤러(212a, 214a) 및 하측 롤러(212b, 214b)는 그 사이의 글래스 기판(24)을 그립한다. 박리 바(216)는 글래스 기판(24) 사이에 수직으로 이동할 수 있다. 상측 롤러(212a, 214a)는 프레스 바 또는 프레스 핀으로 대체될 수 있다.

감광성 웹(22)은 박리 롤러(206) 또는 박리 롤러(206) 직전 위치에서 30℃ 내지 120℃의 범위의 온도로 재가열된다. 감광성 웹(22)이 재가열될 때 감광성 수지층(28)[칼라 재료층] 베이스 필름(26) 박리시 박리되는 것이 방지되어서 고품질의 적층면이 글래스 기판(24)에 제조될 수 있다. 감광성 웹(22)을 가열하기 위해, 박리 롤러(206)는 뜨거운 물 롤러 등과 같은 가열 롤러를 포함하거나 바 히터 또는 IR 히터와 결합될 수 있다.

자동 베이스 박리 기구(202)는 글래스 기판(24)에 실제 부착된 감광성 수지층(28)의 영역을 측정하는 측정 유닛(218)에 의해 하류에 따른다. 측정 유닛(218)은 예컨대, 감광성 수지층(28)이 부착된 글래스 기판(24)의 4개의 코너(K1 내지 K4)의 화상을 캡쳐하는 4개의 카메라를 구비한다. 대안으로, 측정 유닛(218)은 4개의 코너(K1 내지 K4)보다 글래스 기판(24)의 길이측 및 폭측의 각각의 화상을 캡쳐하는 2개 이상의 카메라를 구비할 수 있다.

측정 유닛(218)은 글래스 기판(24)의 단부면을 검출하는 칼라 센서 또는 레이저 센서를 포함할 수 있고, 또는 글래스 기판(24)의 단부면을 검출하는 LED 센서, 포토 다이오드 센서 또는 라인 센서의 조합을 포함할 수 있다. 이 센서의 2개 이상은 단부면의 각각의 선형성을 검출하기 위해 단부면의 각각의 화상을 캡쳐하도록 사용되는 것이 바람직하다.

표면 검사 유닛(도시 생략)은 감광성 웹(22)에 의해 발생된 표면 불규칙, 제조 시설에 의해 발생된 적층 필름 밀도 불규칙, 주름, 줄무늬 패턴, 진애 입자, 및 다른 외래 물질과 같은 감광성 적층체의 표면 결점을 검출하기 위해 사용될 수 있 다. 그러한 표면 결점이 검출될 때 제조 장치(200)는 경보를 발생하며, 결점을 가진 제품을 배출하고 검출 표면 결점에 의거하여 후속 공정을 관리한다.

제 4 실시예에 의하면, 감광성 웹(22)이 적층된 접합 기판(24a)은 냉각 기구(182)에 의해 냉각된 후 예비 박리기(204)로 반송된다. 예비 박리기(204)에서, 닙 롤러 어셈블리(212, 214)는 2개의 인접한 글래스 기판(24)의 후단 및 선단을 그립하고, 닙 롤러 어셈블리(212)는 화살표(C) 방향으로 이동 중에 감속되는 닙 롤러 어셈블리(214)의 글래스 기판(24)과 동일한 속도로 화살표(C) 방향으로 이동한다.

그 결과, 도 30에 도시된 바와 같이, 글래스 기판(24) 사이의 감광성 웹(22)은 닙 롤러 어셈블리(212, 214) 사이에 고정된다. 그리고, 박리 바(216)는 감광성 웹(22)을 상부로 밀어 올리고, 2개의 인접한 글래스 기판(24)의 후단 및 선단으로부터 마스킹 테이프(36)를 박리한다.

자동 베이스 박리 기구(202)에서, 테이크업 축(208)은 접합 기판(24a)으로부터의 마스킹 테이프(36) 및 베이스 필름(26)을 연속적으로 권취하기 위해 회전한다. 감광성 웹(22)이 문제의 경우에 절단되고 결점부를 방출하기 위해 분리된 후, 감광성 웹(22)이 적층되기 시작하는 접합 기판(24a)에 베이스 필름(26)의 선단 및 테이크업 축(208)에 권취된 베이스 필름(26)의 후단은 자동 부착 유닛(210)에 의해 서로 자동 부착된다.

베이스 필름(26) 및 마스킹 테이브(36)가 박리된 글래스 기판(24)은 측정 유닛(218)과 결합된 검사 스테이션에 위치된다. 검사 스테이션에서, 글래스 기판(24) 위치에서 고정되고 4개의 카메라(220)는 글래스 기판(24) 및 감광성 수지층(28)의 화상을 캡쳐한다. 캡쳐된 화상은 접합 위치(a 내지 d)를 결정하기 위해 처리된다[도 31 참조].

검사 스테이션에서, 글래스 기판(24)은 정지하지 않고 따라 반송되고 글래스 기판(24)의 폭 단부는 카메라나 화상 주상 의해 검출될 수 있으며 그 길이 단부는 타이밍 센서에 의해 검출될 수 있다. 그리고, 글래스 기판(24)은 카메라나 화상 주사 및 센서에 의해 제조된 검출 데이터에 의거하여 측정될 수 있다.

제 4 실시예에 의하면, 감광성 웹(22)이 글래스 기판(24)에 적층된 후에 2개의 인접한 접합 기판(24a) 사이에 감광성 웹(22)은 절단되지 않는다. 오히려, 베이스 필름(26) 및 마스킹 테이프(36)는 접합 기판(24a)으로부터 연속적으로 박리될 수 있고 회전중에 있는 테이크업 축(208) 둘레에 권취될 수 있다. 박리된 베이스 필름(26) 및 마스킹 테이브(36)는 용이하게 처리될 수 있다. 베이스 필름(26) 및 마스킹 테이브(36)는 동일한 재료로 이루어지면 더 용이하게 처리될 수 있다.

마스킹 테이프(36)는 수용성 물질, 즉 종이(깨끗한 종이)로 이루어지면 경제적이다. 마스킹 테이프(36)의 부착층은 수용성 또는 열로서 박리가능한 부착물로 이루어질 수 있다.

제 4 실시예에 의하면, 제 3 실시예의 것과 동일한 장점이 달성되고, 예컨대 감광성 적층체(116)는 자동적이고 효과적으로 제조될 수 있다. 또한, 제조 장치(200)는 구조에 있어서 간단하다.

본 발명에 의하면, 긴 형상의 감광성 웹에 부착된 마스킹 테이프의 위치가 직접 또는 간접 검출되므로, 마스킹 테이프는 긴 형상의 감광성 웹이 연신되거나 수축되더라도 접합 위치에 대해 고정밀도로 위치될 수 있다. 마스킹 테이프 및 기판의 상대 위치는 얻어진 검출 정보에 의거하여 조정된다. 그 결과, 긴 형상의 감광성 웹의 감광성 재료층은 간단한 공정 및 정렬을 통해 기판의 소망 영역에 정확하게 부착될 수 있고, 고품질의 감광성 적층체를 효과적으로 제조하는 것을 가능하게 한다.

또한, 감광 필름이 긴 형상의 감광성 웹으로부터 연속적으로 박리된 후에 마스킹 테이프는 긴 형상의 감광성 웹의 노출된 감광성 재료층에 부착된다. 그러므로, 감광성 웹이 감광성 웹에 보호 필름의 일부를 남겨두기 위해 일부 절단되고, 관통되거나 그렇지 않으면 처치되므로, 진애 및 오염 입자는 감광성 웹으로부터 제조된다. 접합 기판은 오염되는 것으로부터 신뢰성 있게 방지된다. 고품질의 감광성 적층체를 효과적이고 경제적으로 제조할 수 있다.

Claims (17)

1. 지지체(26), 상기 지지체(26)상에 배치된 감광성 재료층(28) 및 상기 감광성 재료층(28)에 배치된 보호 필름(30)을 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 송출하는 웹 송출 기구(32);

   상기 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 상기 보호 필름(30)을 연속적으로 박리시키는 박리 기구(34);

   상기 긴 형상의 감광성 웹(22)이 송출되는 송출 방향으로 일정한 간격을 두어 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)의 표면에 노출되는 상기 감광성 재료층(28)에 마스킹 테이프(36)를 부착하는 마스킹 테이프 부착 기구(38);

   소정 온도로 가열된 기판(24)을 접합 위치로 반송하는 기판 반송 기구(40);

   상기 접합 위치에서 상기 마스킹 테이프(36)를 상기 기판(24) 사이에 위치시키고, 상기 감광성 재료층(28)을 상기 기판(24)에 부착하여 접합 기판(24a)을 제조하는 접합 기구(42);

   상기 긴 형상의 감광성 웹(22)에 부착된 상기 마스킹 테이프(36)의 위치를 검출하는 검출 기구(44); 및

   상기 검출 기구(44)로부터의 검출 정보에 의거하여 상기 접합 위치에 있어서의 상기 마스킹 테이프(36)와 상기 기판(24)의 상대 위치를 조정하는 제어 기구(112)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 검출 기구(44)는 상기 접합 위치의 상류 근방에 배치되어 상기 마스킹 테이프(36)를 직접 검출하는 센서(82)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 검출 기구(44a)는 상기 접합 위치의 상류 근방에 배치되고 소정 간격씩 서로 이격되어 상기 마스킹 테이프(36)를 직접 검출하는 2개의 센서(82a, 82b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 검출 기구(44)는 상기 마스킹 테이프 부착 기구(38)로부터 상기 마스킹 테이프(36)를 전기적으로 트래킹하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층제의 제조 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 박리 기구(34)와 상기 접합 기구(42) 사이에 배치되어 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)에 텐션을 부여하는 텐션 제어 기구(52)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층제의 제조 장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   상기 접합 기구(42)의 하류에 배치되어 상기 접합 기판(24a) 사이에서 긴 형상의 상기 지지체(26)를 절단하는 절단 기구(48); 및

   상기 절단 기구(48)의 하류에 배치되어 상기 접합 기판(24a)으로부터 상기 마스킹 테이프(36)와 함께 상기 지지체(26)를 박리해서 감광성 적층체(116)를 제조하는 지지체 박리 기구(184)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
7. 제 1 항에 있어서,

   상기 접합 기구(42)의 하류에 배치되어 상기 접합 기판(24a)으로부터 상기 마스킹 테이프(36)와 함께 긴 형상의 상기 지지체(26)를 연속적으로 박리해서 감광성 적층체(116)를 제조하는 지지체 박리 기구(202)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
8. 제 1 항에 있어서,

   상기 접합 기구(42)는,

   소정 온도로 가열될 수 있는 한 쌍의 고무 롤러(90a, 90b), 및

   한쪽의 고무 롤러(90b)를 전후 이동시키는 롤러 클램프 유닛(93)을 포함하며;

   상기 롤러 클램프 유닛(93)은,

   상기 한쪽의 고무 롤러(90b)에 클램핑 압력을 부여하는 실린더(94a); 및

   액츄에이터(103)의 작용하에 상기 실린더(94a)를 전후 이동시키는 캠(107a)을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
9. 제 1 항에 있어서,

   상기 접합 기구(42)의 상류 근방에 배치되어 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)을 소정 온도로 예비 가열하는 예비 가열 유닛(97)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
10. 제 1 항에 있어서,

    상기 마스킹 테이프 부착 기구(38)는,

    상기 송출 방향으로 위치 조정가능한 이동 유닛(74a)을 포함하며;

    상기 제어 기구(112)는 상기 이동 유닛(74a)을 제어해서 상기 마스킹 테이프 부착 기구(38)에 의해 상기 마스킹 테이프(36)가 상기 감광성 재료층(28)에 부착되는 위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 장치.
11. 지지체(26), 상기 지지체(26)상에 배치된 감광성 재료층(28) 및 상기 감광성 재료층(28)에 배치된 보호 필름(30)을 포함하는 긴 형상의 감광성 웹(22)을 송출하는 공정;

    송출된 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 상기 보호 필름(30)을 연속적 으로 박리하는 공정;

    상기 긴 형상의 감광성 웹(22)이 송출되는 송출 방향으로 일정한 간격을 두어 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)의 표면에 노출되는 상기 감광성 재료층(28)에 마스킹 테이프(36)를 부착하는 공정;

    상기 긴 형상의 감광성 웹(22)에 부착된 상기 마스킹 테이프(36)의 위치를 검출하는 공정;

    소정 온도로 가열된 기판(24)을 접합 위치로 반송하는 공정;

    상기 마스킹 테이프(36)의 검출 정보에 의거하여 상기 접합 위치에 있어서의 상기 마스킹 테이프(36)와 상기 기판(24)의 상대 위치를 조정하는 공정; 및

    상기 접합 위치에서 상기 마스킹 테이프(36)를 상기 기판(24) 사이에 위치시키고 상기 감광성 재료층(28)을 상기 기판(24)에 접합하여 접합 기판(24a)을 제조하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
12. 제 11 항에 있어서,

    상기 검출 정보는 상기 접합 위치의 상류 근방에서 생성되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
13. 제 11 항에 있어서,

    상기 검출 정보는 마스킹 테이프 부착 위치로부터 상기 마스킹 테이프(36)를전기적으로 트래킹함으로써 생성되는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방 법.
14. 제 11 항에 있어서,

    상기 긴 형상의 감광성 웹(22)은 상기 보호 필름(30)이 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)으로부터 박리되는 위치와 상기 접합 위치 사이에 텐션이 부여가능한 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
15. 제 11 항에 있어서,

    상기 접합 위치의 하류에서 상기 지지체(26)를 상기 접합 기판(24a) 사이에서 절단하는 공정; 및

    상기 접합 기판(24a)으로부터 상기 마스킹 테이프(36)와 함께 상기 지지체(26)를 박리해서 감광성 적층체(116)를 제조하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
16. 제 11 항에 있어서,

    상기 접합 위치의 하류에서 상기 접합 기판(24a)으로부터 상기 마스킹 테이프(36)와 함께 긴 형상의 지지체(26)를 연속적으로 박리해서 감광성 적층체(116)를 제조하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.
17. 제 11 항에 있어서,

    상기 접합 위치의 상류 근방에서 상기 긴 형상의 감광성 웹(22)을 소정 온도로 예비 가열하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 감광성 적층체의 제조 방법.

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