KR102130153B1 - 필름 박리 장치 - Google Patents

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Abstract

기판에 부착된 필름을 박리하는 필름 박리 장치는, 챔버, 이송 유닛 및 제1 박리 롤러들을 포함한다. 상기 이송 유닛은 상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판을 이송한다. 상기 제1 박리 롤러들은 상기 챔버의 내부에 배치되고, 상기 제1 박리 롤러들 각각은 제1 정전척을 포함하여 상기 기판에 부착된 제1 필름을 흡착한다. 또한, 상기 제1 박리 롤러들은 상기 흡착된 상기 제1 필름을 롤링하여 상기 제1 필름을 상기 기판으로부터 박리한다.

Description

필름 박리 장치{APPARATUS OF PEELING FILM}
본 발명은 필름 박리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 상에 부착된 필름을 보다 용이하게 박리할 수 있는 필름 박리 장치에 관한 것이다.
평판표시장치 중에 유기전계발광 표시장치는 자체적으로 광을 발생시켜 영상을 표시한다. 유기전계발광 표시장치는 소비전력이 적고, 고속의 응답속도를 갖는 장점을 가져 점차적으로 액정표시장치를 대체하고 있다. 상기 유기전계발광 표시장치는 각 화소영역에 구비되는 유기전계발광 다이오드를 포함하고, 상기 유기전계발광 다이오드는 캐소드, 애노드 및 상기 캐소드와 상기 애노드 사이에 개재되는 유기발광층을 포함한다.
한편, 상기 유기전계발광 표시장치의 상기 유기발광층을 제조할 때, 증착법 또는 열전사법이 널리 이용되고 있다. 이 방법들 중 상기 열전사법에 따르면, 상기 유기발광층이 형성된 도너필름을 기판에 부착하고, 상기 도너 필름 측으로 레이저를 조사하여 상기 유기발광층을 상기 도너필름으로부터 상기 기판 측으로 전사한다. 상기 열전사법을 이용하여 상기 도너필름을 상기 기판 측으로 전사한 이후에, 상기 도너필름을 상기 기판으로부터 박리한다.
본 발명의 목적은 기판 상에 부착된 필름을 보다 용이하게 박리할 수 있는 필름 박리장치를 제공하는 데 있다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 기판에 부착된 필름을 박리하는 필름 박리 장치는, 챔버, 이송 유닛 및 제1 박리 롤러들을 포함한다. 상기 이송 유닛은 상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판을 이송한다. 상기 제1 박리 롤러들은 상기 챔버의 내부에 배치되고, 상기 제1 박리 롤러들 각각은 제1 정전척을 포함하여 상기 기판에 부착된 제1 필름을 흡착한다. 또한, 상기 제1 박리 롤러들은 상기 흡착된 상기 제1 필름을 롤링하여 상기 제1 필름을 상기 기판으로부터 박리한다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 기판에 부착된 필름을 박리하는 다른 필름 박리 장치는, 챔버, 이송 유닛 및 제1 박리 롤러들을 포함한다. 상기 이송 유닛은 상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판을 이송한다. 상기 제1 박리 롤러들은 상기 챔버의 내부에 배치되고, 상기 제1 박리 롤러들은 상기 기판에 부착된 제1 필름을 롤링하여 상기 제1 필름을 상기 기판으로부터 박리한다. 또한, 상기 제1 박리 롤러들은 가스 분사부를 포함하여 상기 제1 필름 측으로 가스를 분사한다.
상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 기판에 부착된 필름을 박리하는 또 다른 필름 박리 장치는, 챔버, 이송 유닛 및 제1 박리 롤러들을 포함한다. 상기 이송 유닛은 상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판을 이송한다. 상기 제1 박리 롤러들은 상기 챔버의 내부에 배치되고, 상기 제1 박리 롤러들은 상기 기판에 부착된 제1 필름을 롤링하여 상기 제1 필름을 상기 기판으로부터 박리한다. 또한, 상기 제1 박리 롤러들은 온도 조절부를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판에 부착된 도너필름을 박리하는 롤러는 정전척을 포함하고, 이에 따라 상기 정전척에 의해 발생되는 정전기력에 의해 상기 도너필름 및 상기 롤러 간에 흡착력이 충분히 확보될 수 있다. 따라서, 상기 롤러에 의해 상기 도너 필름이 상기 기판에 압착되지 않고, 상기 롤러가 상기 기판과 이격되어 상기 도너 필름을 롤링하더라도, 상기 롤러의 회전력이 상기 도너 필름에 용이하게 전달되어 필름 박리 공정이 용이하게 진행될 수 있고, 상기 롤러에 의해 상기 기판 및 상기 도너 필름에 국부적으로 가해지는 압력에 의해 유기발광층의 전사 품질이 저하되는 것이 방지될 수 있다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리장치를 나타내는 도면이다.
도 1b는 도 1a에 도시된 제1 롤러의 단면을 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1a에 도시된 필름 박리 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 박리 장치를 나타내는 도면이다.
도 4a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 박리 장치를 나타내는 도면이다.
도 4b는 도 4a에 도시된 제1 롤러의 단면을 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4a에 도시된 필름 박리 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 6a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 박리 장치를 나타내는 도면이다.
도 6b는 도 6a에 도시된 제1 롤러의 단면을 나타낸 도면이다.
도 7은 도 6a에 도시된 제1 롤러의 동작을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 박리 장치를 나타내는 도면이다.
이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 살펴보기로 한다. 상기한 본 발명의 목적, 특징 및 효과는 첨부된 도면과 관련된 실시예들을 통해서 용이하게 이해될 것이다. 다만, 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다양한 형태로 응용되어 변형될 수도 있다. 오히려, 아래의 실시예들은 본 발명에 의해 개시된 기술 사상을 보다 명확히 하고 나아가 본 발명이 속하는 분야에서 평균적인 지식을 가진 당업자에게 본 발명의 기술 사상이 충분히 전달될 수 있도록 제공되는 것이다. 따라서, 본 발명의 특허청구범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되는 것으로 해석되어서는 안 될 것이다. 한편, 하기 실시예와 함께 제시된 도면은 명확한 설명을 위해서 다소 간략화 되거나 과장된 것이며, 도면상에 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 박리장치를 나타내는 도면이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 제1 롤러의 단면을 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1a에 도시된 필름 박리 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 1a, 도 1b 및 도 2를 참조하면, 필름 박리 장치(100)는 기판(51)에 부착된 필름을 박리하는 장치로, 이 실시예에서는 상기 필름 박리장치(100)는 유기전계발광 표시장치를 제조하는 공정에 사용될 수 있다. 보다 상세하게는, 상기 기판(51)의 일면에 유기발광층이 형성된 도너필름(53)을 부착하고, 상기 기판(51)의 다른 면에 상기 도너필름(53)과 함께 상기 기판(51)을 밀봉하는 밀봉필름(52)을 부착하고, 그 이후에, 상기 도너필름(53)에 대해 열전사 공정을 수행하여 상기 유기 발광층을 상기 도너필름(53)으로부터 상기 기판(51) 측으로 전사시키고, 그 이후에 상기 필름 박리 장치(100)를 이용하여 상기 도너필름(53) 및 상기 밀봉필름(52)을 상기 기판(51)으로부터 박리하는 필름 박리 공정을 수행할 수 있다. 상기 필름 박리장치(100)의 구성은 다음과 같다.
상기 필름 박리 장치(100)는 챔버(C1), 상기 챔버(C1) 내부에 구비되는 이송 유닛(20), 제1 박리 롤러들(SR1), 제2 박리 롤러들(SR2), 제1 그립 유닛(G1), 제2 그립 유닛(G2), 제1 구동 유닛(31) 및 제2 구동 유닛(41)을 포함한다.
상기 챔버(C1)는 그 내부가 진공으로 설정될 수 있고, 상기 챔버(C1)의 일 측벽에 출입구(11)가 정의되고, 상기 일 측벽과 마주하는 상기 챔버(C1)의 다른 측벽에 인출구(12)가 정의된다. 따라서, 상기 도너필름(53) 및 상기 밀봉필름(52)이 부착된 상기 기판(51)이 상기 출입구(11)를 통해 상기 챔버(C1)의 내부로 투입되고, 그 이후에 상기 필름 박리 장치(100)를 이용하여 상기 필름 박리 공정이 수행되고, 그 이후에 상기 필름 박리 공정이 완료된 상기 기판(51)이 상기 인출구(12)를 통해 상기 챔버(C1)의 외부로 인출될 수 있다.
상기 이송 유닛(20)은 상기 챔버(C1)의 내부에 배치되어 상기 기판(51)을 이송한다. 이 실시예에서는 상기 이송 유닛(20)은 다수의 이송롤러들을 포함할 수 있고, 상기 다수의 이송롤러들은 서로 이격되어 이송 라인(TL)을 따라 배열될 수 있다. 따라서, 상기 다수의 이송롤러들(20)이 서로 동일한 방향으로 회전하여 상기 기판(51)을 상기 이송 라인(TL)을 따라 제1 방향(D1)으로 이송할 수 있다.
이 실시예에서는, 상술한 바와 같이, 상기 이송 유닛(20)은 상기 다수의 이송롤러들을 포함할 수 있으나, 다른 실시예에서는 상기 이송 유닛(20)은 이송 벨트와 같은 다른 방식으로 구현될 수도 있다.
상기 제1 박리 롤러들(SR1)은 상기 도너필름(53)을 롤링하여 상기 도너필름(53)을 상기 기판(51)으로부터 박리한다. 이 실시예에서는, 상기 제1 박리 롤러들(SR1)은 서로 마주하는 제1 롤러(R1) 및 제2 롤러(R2)를 포함할 수 있고, 상기 제1 롤러(R1)는 상기 도너필름(53)의 상부면(S1)을 롤링하고, 상기 제2 롤러(R2)는 상기 도너필름(53)의 하부면(S2)을 롤링한다.
이 실시예에서는, 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2)은 상기 기판(51)과 이격되어 배치된다. 따라서, 상기 제1 박리 롤러들(SR1)이 상기 도너 필름(53)을 롤링하여 상기 필름 박리 공정이 진행되는 동안에, 상기 제1 박리 롤러들(SR1)에 의해 상기 도너 필름(53)이 상기 기판(51)에 압착되지 않는다.
이 실시예에서는, 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2) 각각은 정전척(ESC)을 포함한다. 따라서, 상기 필름 박리 공정이 진행되는 동안에, 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2)은 상기 도너 필름(53)을 롤링하는 동시에 상기 정전척(ESC)에서 발생되는 정전기력을 이용하여 상기 도너 필름(53)을 흡착한다.
이 실시예에서는, 상기 정전척(ESC)은 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2) 각각의 내부에 내장될 수 있다. 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2) 중 상기 제1 롤러(R1)에 배치된 상기 정전척(ESC)의 구조를 예를 들어 설명하면 다음과 같다.
상기 제1 롤러(R1)는 스테인리스 강(stainless steel)과 같은 금속 재료를 포함할 수 있고, 상기 제1 롤러(R1)의 내부에는 상기 정전척(ESC)이 내장된다. 이 실시예에서는 상기 정전척(ESC)은 각각이 제1 극성을 갖는 다수의 제1 자석들(90) 및 각각이 제1 극성과 상이한 제2 극성을 갖는 다수의 제2 자석들(91)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 다수의 제1 및 제2 자석들(90, 91)은 상기 제1 롤러(R1)의 표면을 따라 서로 교대로 반복하여 배열될 수 있다. 따라서, 상기 정전척(ESC) 및 상기 제1 롤러(R1)에 감기는 상기 도너 필름(53) 간에 발생되는 정전기력에 의해 상기 도너 필름(53)이 상기 제1 롤러(R1)에 흡착될 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2)이 상기 도너 필름(53)을 롤링하고, 이와 동시에, 상기 정전척(ESC)으로부터 발생되는 정전기력에 의해 상기 도너 필름(53)이 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2)에 흡착되는 경우에, 다음과 같은 효과들이 발생될 수 있다.
일반적으로 상기 도너 필름(53)이 상기 제1 박리 롤러들(SR1)에 흡착되는 흡착력이 클수록, 상기 제1 박리 롤러들(SR1)의 회전력이 상기 도너 필름(53)에 용이하게 전달될 수 있고, 이에 따라 상기 도너 필름(53)이 상기 기판(51)으로부터 용이하게 박리될 수 있다.
이 실시예와 달리, 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2) 각각이 상기 정전척(ESC)을 포함하지 않는 경우에, 상기 흡착력을 확보하기 위하여 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2)은 상기 도너 필름(53)을 상기 기판(51)에 압착하는 것이 필요할 수 있다. 그 결과, 상기 제1 롤러(R1)의 표면에 위치할 수 있는 단단한 이물질에 의해 상기 도너 필름(53) 및 상기 기판(51)에 국부적으로 압력이 가해질 수 있고, 그 결과 상기 도너 필름(53)으로부터 상기 기판(51) 측으로 전사되는 유기 발광층의 전사 품질이 저하될 수 있다.
하지만, 이 실시예에서와 같이, 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2) 각각이 상기 정전척(ESC)을 포함하는 경우에, 상기 정전척(ESC)에 의해 발생되는 정전기력에 의해 상기 흡착력이 충분히 확보될 수 있다. 따라서, 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2)에 의해 상기 도너 필름(53)이 상기 기판(51)에 압착되지 않고, 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2)이 상기 기판(51)과 이격되어 상기 도너 필름(53)을 롤링하더라도, 상기 제1 및 제2 롤러들(R1, R2)의 회전력이 상기 도너 필름(53)에 용이하게 전달되어 상기 필름 박리 공정이 용이하게 진행될 수 있을 뿐만 아니라 상기 전사 품질이 저하되는 것이 방지될 수 있다.
상기 제2 박리 롤러들(SR2)은 상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판(51)을 사이에 두고 상기 제1 박리 롤러들(SR1)과 대향한다. 상기 제2 박리 롤러들(SR2)은 상기 밀봉 필름(53)을 롤링하여 상기 밀봉 필름(52)을 상기 기판(51)으로부터 박리한다. 이 실시예에서는, 상기 제2 박리 롤러들(SR2)은 서로 마주하는 제3 롤러(R3) 및 제4 롤러(R4)를 포함할 수 있고, 상기 제3 롤러(R3)는 상기 밀봉필름(52)의 일면을 롤링하고, 상기 제4 롤러(R4)는 상기 기판(51)과 이격되어 상기 도너필름(52)의 다른 면을 롤링한다.
상기 제1 그립 유닛(G1)은 상기 이송라인(TL)의 상부에서 상기 제1 박리 롤러들(SR1)과 인접하게 배치된다. 이 실시예에서는, 상기 제1 그립 유닛(G1)은 클램프 형상을 가져 상기 제1 박리 롤러들(SR1)에 의해 박리된 상기 도너필름(53)의 단부를 그립 할 수 있다. 또한, 상기 제2 그립유닛(G2)은 상기 이송라인(TL)의 하부에서 상기 제2 박리 롤러들(SR2)과 인접하여 배치된다. 이 실시예에서는, 상기 제2 그립 유닛(G2)은 클램프 형상을 가져 상기 제2 박리 롤러(SR2)에 의해 박리되는 상기 밀봉필름(52)의 단부를 그립 할 수 있다.
상기 제1 구동 유닛(31)은 상기 제1 그립 유닛(G1)과 결합되어 상기 제1 그립 유닛(G1)을 제1 이송가이드(32)를 따라 상기 제1 방향(D1) 및 상기 제1 방향(D1)의 역방향인 제2 방향(D2)으로 이동시킨다. 또한, 상기 제2 구동 유닛(41)은 상기 제2 그립 유닛(G2)과 결합되어 상기 제2 그립 유닛(G2)을 제2 이송가이드(42)를 따라 상기 제1 방향(D1) 또는 상기 제2 방향(D2)으로 이동시킨다.
따라서, 상기 제1 및 제2 박리 롤러들(SR1, SR1)이 상기 도너 필름(53) 및 상기 밀봉 필름(52)을 롤링하고, 이와 동시에, 상기 제1 및 제2 구동 유닛들(31, 41)에 의해 상기 도너필름(53) 및 상기 밀봉필름(52)을 그립한 상기 제1 및 제2 그립 유닛들(G1, G2)이 상기 제2 방향(D2)으로 이동되는 경우에 상기 필름 박리 공정이 보다 용이하게 수행될 수 있다.
또한, 상기 제1 및 제2 구동 유닛들(31, 41)의 구동력을 조절하여 상기 제1 및 제2 그립 유닛들(G1, G2)의 이동 속도가 제어될 수 있으므로, 상기 전사 품질이 저하되지 않도록 상기 도너필름(53) 및 상기 밀봉필름(52)이 상기 기판(51)으로부터 박리되는 속도가 제어될 수 있다.
한편, 이 실시예에서는 상기 밀봉 필름(52)이 상기 기판(51)의 하부면에 부착되고, 상기 도너 필름(53)이 상기 기판(51)의 상부면에 부착된다. 하지만, 다른 실시예에서는 상기 밀봉 필름(52)이 상기 기판(51)의 상부면에 부착되고, 상기 도너 필름(53)이 상기 기판(51)의 하부면에 부착될 수 있고, 이 경우에 상기 제1 박리 롤러들(SR1)은 상기 기판(51)의 하부에 배치되어 상기 도너 필름(53)을 롤링할 수 있고, 상기 제2 박리 롤러들(SR2)은 상기 기판(51)의 상부에 배치되어 상기 밀봉 필름(52)을 롤링할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 박리 장치를 나타내는 도면이다. 도 3을 설명함에 있어서, 앞서 설명된 구성요소들에 대해서는 도면 부호를 병기하고, 상기 구성 요소들에 대한 중복된 설명은 생략된다.
도 3을 참조하면, 필름 박리 장치(101)는 제1 박리 롤러들(SR1-1) 및 제2 박리 롤러들(SR2)을 포함한다. 상기 제1 박리 롤러들(SR1-1)은 제1 롤러(R1-1) 및 제2 롤러(R2)를 포함하고, 상기 제1 및 제2 롤러들(R1-1, R2) 각각은 그 내부에 정전척(도 1b의 ESC)을 포함한다.
다시 도 1a를 참조하면, 필름 박리 공정이 수행되는 동안에, 필름 박리 장치(100)의 제1 박리 롤러들(SR1)은 기판(51)과 이격되어 도너 필름(53)을 롤링한다. 하지만, 도 3에 도시된 실시예에서는, 상기 필름 박리 공정이 수행되는 동안에, 상기 제1 박리 롤러들(SR1-1) 중 상기 제1 롤러(R1-1)는 상기 기판(51)과 접촉된 상태에서 상기 도너 필름(53)을 롤링한다.
이 실시예에서는, 앞서 상술한 바와 같이, 상기 제1 및 제2 롤러들(R1-1, R2)은 상기 정전척을 포함하므로 상기 정전척을 이용하여 상기 도너 필름(53)을 흡착할 수 있다. 따라서, 상기 도너 필름(53)은 상기 제1 박리 롤러들(SR1-1)에 흡착될 수 있으므로, 상기 제1 박리 롤러들(SR1-1)의 회전력이 상기 도너 필름(53)에 용이하게 전달될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 롤러(R1-1)가 상기 기판(51)과 접촉되어 상기 도너 필름(53)을 롤링하더라도, 상기 제1 롤러(R1-1)가 상기 도너 필름(53)을 상기 기판(51)에 압착하는 힘을 감소시킬 수 있고, 이에 따라 상기 제1 롤러(R1-1)에 의해 상기 도너 필름(53) 및 상기 기판(51)에 국부적으로 가해지는 압력에 의해 전사 품질이 저하되는 것이 방지될 수 있다.
도 4a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 박리 장치를 나타내는 도면이고, 도 4b는 도 4a에 도시된 제1 롤러의 단면을 나타낸 도면이고, 도 5는 도 4a에 도시된 필름 박리 장치의 동작을 나타내는 도면이다. 도 4a, 도 4b 및 도 5를 설명함에 있어서, 앞서 설명된 구성 요소들에 대해서는 도면 부호를 병기하고, 상기 구성 요소들에 대한 중복된 설명은 생략된다.
도 4a, 도 4b 및 도 5를 참조하면, 필름 박리 장치(102)는 제1 박리 롤러들(SR1-2), 제2 박리 롤러들(SR2), 가스 제공 유닛(70) 및 가스 배관(71)을 포함하고, 상기 제1 박리 롤러들(SR-2)은 기판(51)과 이격되어 배치된다.
상기 제1 박리 롤러들(SR1-2)은 제1 롤러(R1-2) 및 제2 롤러(R2)를 포함한다. 이 실시예에서는 상기 제1 박리 롤러들(SR1-2) 중 상기 제1 롤러(R1-2)는 가스 분사부(200)를 포함하고, 상기 가스 분사부(200)는 상기 제1 롤러(R1-2)의 내부를 관통하여 상기 제1 롤러(R1-2)의 표면 측으로 연장된 다수의 가스 토출부들(210)로 정의될 수 있다.
상기 가스 분사부(200)는 상기 가스 제공 유닛(70)과 연결되어 상기 가스 제공 유닛(70)으로부터 가스(GS)를 제공받을 수 있다. 예를 들면, 이 실시예에서는 상기 제1 롤러(R1-2)의 내부에는 상기 제1 롤러(R1-2)의 길이 방향으로 가스 유로(215)가 형성되고, 상기 가스 유로(215)는 상기 다수의 가스 토출부들(210)과 연결될 수 있다. 또한, 상기 가스 유로(215)는 상기 제1 롤러(R1-2)의 일 측에서 가스 배관(71)을 통해 상기 가스 제공 유닛(70)과 연결될 수 있다. 따라서, 상기 가스 제공 유닛(70)이 상기 가스(GS)를 상기 가스 배관(71)을 통해 상기 가스 유로(215) 측으로 제공하면, 상기 가스(GS)는 상기 다수의 가스 토출부들(210) 각각을 통해 상기 제1 롤러(R1-2)의 외부로 토출될 수 있다.
한편, 앞서 도 2를 참조하여 설명한 바와 같이, 제1 및 제2 그립 유닛들(G1, G2)이 도너 필름(53) 및 밀봉 필름(52)을 그립한 상태에서, 상기 제1 및 제2 박리 롤러들(SR1-2, SR2)이 상기 도너 필름(53) 및 상기 밀봉 필름(52)을 롤링하여 필름 박리 공정이 진행될 때, 상기 제1 롤러(R1-2)는 상기 도너 필름(53)의 상부면을 롤링하는 동시에 상기 가스 분사부(200)를 이용하여 상기 도너 필름(53) 측으로 상기 가스(GS)를 분사할 수 있다.
따라서, 상기 필름 박리 공정이 진행되는 동안에, 상기 가스 분사부(200)로부터 토출되는 상기 가스(GS)에 의해 상기 도너 필름(53)이 상기 기판(51)에 균일하게 압착될 수 있다. 따라서, 상기 필름 박리 공정이 진행되는 동안에, 상기 제1 박리 롤러들(SR-2)에 의해 상기 도너 필름(53)이 상기 기판(51)에 압착되지 않으므로, 상기 제1 롤러(R1-2)의 표면에 부착된 이물에 의해 상기 기판(51) 및 상기 도너 필름(53)에 국부적으로 압력이 가해져 전사 품질이 저하되는 것이 방지될 수 있다.
도 6a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 박리 장치를 나타내는 도면이고, 도 6b는 도 6a에 도시된 제1 롤러의 단면을 나타낸 도면이고, 도 7은 도 6a에 도시된 제1 롤러의 동작을 나타내는 도면이다. 도 6a, 도 6b 및 도 7을 설명함에 있어서, 앞서 설명된 구성 요소들에 대해서는 도면 부호를 병기하고, 상기 구성 요소들에 대한 중복된 설명은 생략된다.
도 6a, 도 6b 및 도 7을 참조하면, 필름 박리 장치(103)는 제1 박리 롤러들(SR1-3), 제2 박리 롤러들(SR2), 유체 제공 유닛(80) 및 유체 배관(81)을 포함한다.
상기 제1 박리 롤러들(SR1-3)은 제1 롤러(R1-3) 및 제2 롤러(R2)를 포함한다. 상기 제1 박리 롤러들(SR1-3) 중 상기 제1 롤러(R1-3)는 온도 조절부(220)을 포함하고, 이 실시예에서는 상기 온도 조절부(220)는 상기 제1 롤러(R1-3)의 내부에 형성되어 상기 제1 롤러(R1-2)의 표면을 따라 연장된 관 형상을 가질 수 있다.
또한, 상기 제1 롤러(R1-3)의 내부에는 상기 제1 롤러(R1-3)의 길이 방향으로 유체 유로(216)가 형성되고, 상기 유체 유로(216)는 다수의 연결관들(217)을 통해 상기 온도 조절부(220)와 연결될 수 있다. 상기 유체 유로(216)는 상기 제1 롤러(R1-3)의 일 측에서 유체 배관(81)을 통해 상기 유체 제공 유닛(80)과 연결될 수 있다. 따라서, 상기 유체 제공 유닛(80)이 유체(FL)를 상기 유체 배관(81)을 통해 상기 유체 유로(216) 측으로 제공하면, 상기 유체(FL)는 상기 다수의 연결관들(217)을 통해 상기 온도 조절부(220) 측으로 제공될 수 있다.
이 실시예에서는, 상기 유체(FL)는 냉각수일 수 있다. 따라서, 상기 온도 조절부(220) 측으로 상기 유체(FL)가 제공되는 경우에, 상기 제1 롤러(R1-3)의 표면은 상기 유체(FL)에 의해 냉각될 수 있다. 이 실시예에서와 같이, 상기 제1 롤러(R1-3)의 표면이 상기 유체(FL)에 의해 냉각되는 경우에, 다음과 같은 효과가 발생될 수 있다.
도 1a를 참조하여 설명된 바와 같이, 필름 박리 공정이 수행되기 이전에, 도너 필름(53) 및 밀봉 필름(52)이 부착된 기판(51)에 대해 열전사 공정을 수행하여 상기 도너 필름(53)에 형성된 유기 발광층(EML)을 상기 기판(51) 측으로 전사시킨다. 이 실시예에서는 상기 도너 필름(53)은 베이스 필름(F1) 및 상기 베이스 필름(F1) 위에 형성된 광열 변환층(F2)을 포함할 수 있고, 상기 열전사 공정이 진행되는 동안에, 상기 도너 필름(53) 측으로 조사된 레이저의 광 에너지가 상기 광열 변환층(F2)에 의해 열 에너지로 변환된다. 따라서, 상기 열 에너지에 의해 상기 광열 변환층(F2)의 부피가 증가되어 상기 유기 발광층(EML)이 베이스 기판(BS) 위에 배치된 화소 정의막들(PDL) 사이에 접촉될 수 있고, 그 결과 상기 유기 발광층(EML)이 상기 도너 기판(53)으로부터 상기 기판(51) 측으로 전사될 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예와 달리, 상기 광열 변환층(F2)이 냉각되지 못하여 그 부피가 증가된 상태에서 상기 필름 박리 공정이 진행되는 경우에, 상기 광열 변환층(F2)이 부분적으로 상기 베이스 기판(BS) 측으로 전사된 상기 유기 발광층(EML)과 접촉될 수 있다. 따라서, 상기 필름 박리 공정이 진행되는 동안에, 상기 기판(51)에 전사된 상기 유기 발광층(EML)의 일부분이 다시 상기 광열 변환층(F2) 측으로 역 전사될 수 있다. 하지만, 이 실시예에서는, 상기 필름 박리 공정이 진행되는 동안에, 상기 온도 조절부(220)에 의해 상기 광열 변환층(F2)이 냉각되어 상기 광열 변환층(F2)의 부피가 감소되어 상기 광열 변환층(F2) 및 상기 유기발광층(EML) 간에 갭이 생성될 수 있고, 그 결과 상기 역 전사가 방지될 수 있다.
다른 실시예에서는, 상기 유체(FL)는 온수일 수도 있고, 이에 따라 상기 온도 조절부(220) 측으로 상기 유체(FL)가 제공되어 상기 제1 롤러(R1-3)의 표면은 상기 유체(FL)에 의해 가열될 수 있다. 이 경우에, 상기 제1 롤러(R1-3)가 가열됨에 따라 상기 제1 롤러(R1-3) 및 상기 도너 필름(53) 간에 압착력이 보다 향상될 수 있고, 그 결과 상기 제1 롤러(R1-3)가 상기 도너 필름(53)을 압착하기 위하여 상기 도너 필름(53)을 상기 기판(51)에 압착하는 힘이 감소될 수 있다. 따라서, 앞선 실시예들에서 설명된 상기 유기 발광층(EML)의 전사 품질이 저하되는 것이 방지될 수 있다.
한편, 상기 제1 롤러(R1-3)가 상기 유체(FL)에 의해 가열되는 경우에, 상기 제1 롤러(R1-3)는 상기 역 전사가 발생되지 않는 온도 범위 내에서 가열될 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 박리 장치를 나타내는 도면이다. 도 8을 설명함에 있어서, 앞서 설명된 구성요소들에 대해서는 도면 부호를 병기하고, 상기 구성요소들에 대한 중복된 설명은 생략된다.
도 8을 참조하면, 도 1a에 도시된 필름 박리 장치(도 1a의 100)의 구조는 도 8에 도시된 필름 박리 장치(104)의 구조와 전반적으로 유사하나, 상기 필름 박리 장치(104)는 도너 필름(53) 및 밀봉필름(52)을 기판(51)으로부터 중력 방향으로 박리한다.
이 경우에, 상기 필름 박리 공정이 진행되는 동안에, 상기 기판(51), 상기 밀봉필름(52) 및 상기 도너필름(53)으로부터 발생되는 파티클들 챔버(C1)의 중력 방향(D3)으로 이동하므로, 상기 파티클에 의해 상기 필름 박리 공정이 완료된 상기 기판(51)에 유입되는 것이 방지될 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100: 필름 박리 장치 SR1: 제1 박리 롤러들
SR2: 제2 박리 롤러들 R1: 제1 롤러
R2: 제1 롤러 51: 기판
53: 도너 필름 52: 밀봉 필름
ESC: 정전척 G1: 제1 그립 유닛
31: 제1 구동 유닛 32: 이송 가이드
20: 이송 유닛 200: 가스 분사부
220: 온도 조절부

Claims (19)

  1. 기판에 부착된 필름을 박리하는 필름 박리장치에 있어서,
    챔버;
    상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판을 이송하는 이송 유닛; 및
    상기 챔버의 내부에 배치되고, 각각이 제1 정전척을 포함하여 상기 기판에 부착된 제1 필름을 흡착하고, 상기 흡착된 상기 제1 필름을 롤링하여 상기 제1 필름을 상기 기판으로부터 박리하는 제1 박리 롤러들을 포함하고,
    상기 제1 정전척은,
    제1 극성을 갖는 다수의 제1 자석들; 및
    상기 제1 극성과 상이한 제2 극성을 갖고, 상기 제1 자석들과 교대로 배열된 다수의 제2 자석들을 포함하는 필름 박리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 박리 롤러들은
    상기 제1 필름의 상부면을 흡착하여 롤링하는 제1 롤러; 및
    상기 제1 필름을 사이에 두고 상기 제1 롤러와 마주하고, 상기 제1 필름의 하부면을 롤링하는 제2 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 박리 롤러들은 상기 기판과 이격되어 상기 제1 필름을 롤링하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 및 제2 롤러들 중 어느 하나는 상기 기판과 접촉되어 상기 제1 필름을 롤링하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판을 사이에 두고 상기 제1 박리 롤러들과 대향하고, 상기 기판에 부착되어 상기 제1 필름과 함께 상기 기판을 밀봉하는 제2 필름을 롤링하여 상기 제2 필름을 상기 기판으로부터 박리하는 제2 박리 롤러들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판으로부터 박리되는 상기 제1 및 제2 필름들 각각을 그립하는 그립 유닛; 및
    상기 그립 유닛과 결합되어 상기 그립 유닛을 상기 챔버의 내부에서 이동시키는 구동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 박리 롤러들은 상기 제1 필름 측으로 가스를 분사하는 가스 분사부를 포함하는 필름 박리 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제1 박리 롤러들은,
    상기 제1 필름의 상부면을 롤링하는 제1 롤러; 및
    상기 제1 필름을 사이에 두고 상기 제1 롤러와 마주하고, 상기 제1 필름의 하부면을 롤링하는 제2 롤러를 더 포함하고,
    상기 가스 분사부는 상기 제1 롤러에 배치되는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 박리 롤러들은 상기 기판과 이격되어 상기 제1 필름을 롤링하고, 상기 제1 필름 측으로 상기 가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 가스 분사부와 연결되어 상기 가스를 상기 가스 분사부 측으로 제공하는 가스 제공 유닛을 더 포함하고,
    상기 가스 분사부는 상기 제1 롤러의 내부를 관통하여 상기 제1 롤러의 표면 측으로 연장된 다수의 가스 토출부들로 정의되는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판으로부터 박리되는 상기 제1 및 제2 필름들 각각을 그립하는 그립 유닛; 및
    상기 그립 유닛과 결합되어 상기 그립 유닛을 상기 챔버의 내부에서 이동시키는 구동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  12. 제 7 항에 있어서,
    상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판을 사이에 두고 상기 제1 박리 롤러들과 대향하고, 상기 기판에 부착되어 상기 제1 필름과 함께 상기 기판을 밀봉하는 제2 필름을 롤링하여 상기 제2 필름을 상기 기판으로부터 박리하는 제2 박리 롤러들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 박리 롤러들은 온도 조절부를 포함하는 필름 박리 장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제1 박리 롤러들은,
    상기 제1 필름의 상부면을 롤링하는 제 1롤러; 및
    상기 제1 필름을 사이에 두고 상기 제1 롤러와 마주하고, 상기 제1 필름의 하부면을 롤링하는 제2 롤러를 더 포함하고,
    상기 온도 조절부는 상기 제1 롤러에 배치되는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 온도 조절부와 연결되어 유체를 상기 온도 조절부 측으로 제공하는 유체 제공 유닛을 더 포함하고,
    상기 온도 조절부는 상기 제1 롤러의 내부에 형성되고, 상기 제1 롤러의 표면을 따라 연장되어 상기 유체를 수용하는 관 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 유체는 냉각수인 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 유체는 온수인 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  18. 제 14 항에 있어서,
    상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판으로부터 박리되는 상기 제1 및 제2 필름들 각각을 그립하는 그립 유닛; 및
    상기 그립 유닛과 결합되어 상기 그립 유닛을 상기 챔버의 내부에서 이동시키는 구동 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  19. 제 13 항에 있어서,
    상기 챔버의 내부에 배치되어 상기 기판을 사이에 두고 상기 제1 박리 롤러들과 대향하고, 상기 기판에 부착되어 상기 제1 필름과 함께 상기 기판을 밀봉하는 제2 필름을 롤링하여 상기 제2 필름을 상기 기판으로부터 박리하는 제2 박리 롤러들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
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