KR20090052656A - 도너 기판 및 이를 이용한 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 도너 기판을 이용한 표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 표시장치의 제조 방법은 유기 물질층을 포함하는 도너 기판을 준비하는 단계, 억셉터 기판을 준비하는 단계, 상기 도너 기판과 상기 억셉터 기판을 정렬하는 단계, 그리고, 상기 도너 기판을 가열하고 상기 억셉터 기판을 냉각함으로써 온도 차이를 형성하여 상기 유기 물질층을 상기 억셉터 기판으로 전사하는 단계를 포함한다. 이에 의하여, 유기 물질의 소모 효율을 증가시키고, 단순한 공정에 의해 표시 소자를 제조할 수 있다.

도너기판, 억셉터기판, 유기발광부재

Description

도너 기판 및 이를 이용한 표시 장치의 제조방법{DONOR SUBSTRATE AND MANUFACTURING METHOD OF DISPLAY DEVICE USING THE SAME}

본 발명은 도너 기판 및 이를 이용한 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.

최근, 평판표시장치(flat panel display) 중 저전압 구동, 경량 박형, 광시야각 그리고 고속응답 등의 장점으로 인하여, 최근 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display)가 각광 받고 있다. 이러한 유기 발광 표시 장치는 게이트 전극, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 박막트랜지스터, 박막트랜지스터와 연결되어 있는 화소전극, 화소전극 간을 구분하고 있는 격벽, 격벽 사이 영역의 화소전극 상에 형성되어 있는 유기발광부재 및 유기발광부재 상에 형성되어 있는 공통전극을 포함한다.

유기발광부재는 백색, 적색, 녹색 및 청색 중 어느 하나 이상의 빛을 발하는 유기발광층을 포함한다. 정공 주입층, 정공 운송층, 전자 운송층, 전자 주입층 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다.

유기발광부재는 마스크를 이용한 증착(evaporation), 잉크젯 프린팅을 이용하여 형성될 수 있다. 최근에는 유기 물질을 기판 전면에 형성한 후 레이저(laser)를 선택적으로 조사하여 유기 발광 표시 장치 기판에 전사하는 방법이 개발되고 있다.

그러나, 레이저를 사용하는 공정은 설비가 복잡하고 공정 시간이 길어진다는 문제점이 있다.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 유기 물질의 소모 효율을 증가시키고, 레이저를 사용하지 않음으로써 공정을 단순화하는 표시 장치의 제조 방법 및 이 방법에 사용되는 도너(donor) 기판을 제공하는 것이다.

본 발명의 한 실시예에 따른 표시장치의 제조 방법은 유기 물질층을 포함하는도너 기판을 준비하는 단계, 억셉터 기판을 준비하는 단계, 상기 도너 기판과 상기 억셉터 기판을 정렬하는 단계, 그리고, 상기 도너 기판을 가열하고 상기 억셉터 기판을 냉각시켜 온도 차이를 유지하여 상기 유기 물질층을 상기 억셉터 기판으로 전사하는 단계를 포함한다.

상기 도너 기판과 상기 억셉터 기판 사이의 온도 차이를 유지하는 단계는 상기 도너 기판을 가열하는 단계와 상기 억셉터 기판을 냉각하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 도너 기판을 준비하는 단계는 제 1 절연 기판 상에 열 전달층을 형성하는 단계, 상기 열 전달층을 구분하는 제1 격벽을 형성하는 단계, 그리고 상기 제1 격벽 사이의 영역에 상기 유기 물질층을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 열 전달층은 몰리브덴, 텅스텐, 구리 또는 이들의 함유 금속 중 하나 이상을 포함할 수 있다.

상기 유기 물질층을 형성하는 단계는 잉크젯 프린터 또는 노즐을 이용하여 유기 물질을 분사하는 것을 특징으로 하며, 유기 발광 물질, 정공 주입 물질, 정공 운송 물질, 전자 운송 물질, 전자 주입 물질 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다..

상기 유기 물질층을 형성하는 단계는 상기 분사된 유기 물질을 건조하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 억셉터 기판을 준비하는 단계는 제2 절연 기판 위에 스위칭 소자를 형성하는 단계, 상기 스위칭 소자에 전기적으로 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계, 그리고 상기 화소 전극을 노출하는 개구부를 가지는 제2 격벽을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 도너 기판과 상기 억셉터 기판을 정렬하는 단계는 제1 격벽과 제2 격벽을 서로 대응하도록 정렬하고 접촉시킬 수 있다.

상기 도너 기판을 가열하는 단계는 상기 도너 기판을 100도 내지 500도로 가열할 수 있고, 상기 억셉터 기판을 냉각하는 단계는 상기 억셉터 기판은 10도 내지 80도로 냉각할 수 있다.

상기 유기 물질층의 전사는 진공 상태에서 이루어질 수 있다.

본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 제1 색의 빛을 발하는 제 1 유기 발광 물질을 포함하는 제 1 도너 기판을 마련하는 단계, 억셉터 기 판을 준비하는 단계, 상기 제1 도너 기판과 상기 억셉터 기판을 정렬하는 단계, 상기 제1 도너 기판을 가열하고 상기 억셉터 기판을 냉각함으로써 제1 온도 차이를 형성하여 상기 제1 유기 발광 물질층을 상기 억셉터 기판으로 전사하는 단계, 상기 제1 도너 기판을 상기 억셉터 기판으로부터 제거하는 단계, 제1 색과 다른 제2 색의 빛을 발하는 제2 유기 발광 물질을 포함하는 제2 도너 기판을 준비하는 단계, 상기 제2 도너 기판과 상기 억셉터 기판을 정렬하는 단계, 그리고, 상기 제2 도너 기판을 가열하고 상기 억셉터 기판을 냉각함으로써 제2 온도 차이를 형성하여 상기 제2 유기 발광 물질을 상기 억셉터 기판으로 전사하는 단계를 포함한다.

상기 제1 및 제2 유기 발광 물질을 전사하는 단계는 진공 상태에서 이루어질 수 있다.

상기 도너 기판들과 억셉터 기판의 온도 차이는 90도 내지 490도로 유지할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치에 이용되는 도너 기판은 절연 기판, 상기 절연 기판 상에 형성된 열 전달층, 상기 열 전달층의 일부 영역을 노출하는 개구부를 가지는 격벽, 그리고, 상기 개루부에 형성된 유기 물질층을 포함한다.

상기 열 전달층은 몰리브덴, 텅스텐, 구리 또는 이들의 함유 금속 중 하나 이상을 포함할 수 있다.

상기 유기 물질층은 유기 발광 물질, 정공 주입 물질, 정공 운송 물질, 전자 운송 물질, 전자 주입 물질 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 레이저를 사용하지 않음으로써 공정 및 설비를 단순화할 수 있는 표시 장치의 제조 방법이 제공된다.

또한, 유기 물질층이 부분적으로 형성되어 유기 물질 소모량을 감소시킬 수 있는 도너 기판이 제공된다.

그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였으며 중복 설명은 생략한다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.

도 1a와 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 발광 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.

도 1a를 참조하면, 억셉터 기판(100)은 제1 절연 기판(101), 제1 절연 기판(101) 상에 형성된 복수의 화소 전극(103), 각 화소 전극(103)을 구분하고 있는 제1 격벽(105)을 포함한다. 도너 기판(200)은 제2 절연 기판(201), 제2 절연 기판(201) 상에 형성된 복수의 금속층(203), 금속층(203) 사이에 형성되어 각 금속 층(203)을 전기적으로 분리하는 제2 격벽(205), 제2 격벽(205) 사이 영역의 금속층(203)상에 형성된 유기 물질층(207)을 포함한다.

제1 절연 기판(101)과 제2 절연 기판(201)은 같은 물질로 이루어질 수 있다.

도너 기판(200)에 형성되어 있는 유기 물질층(207)을 억셉터 기판(100)으로 전사할 때에는 먼저, 억셉터 기판(100)과 도너 기판(200)을 정렬하여 제1 격벽(105)과 제2 격벽(205)를 접촉시킨다. 격벽(105, 205)은 억셉터 기판(100)과 도너 기판(200)을 밀착할 때 두 기판 간의 간격을 유지하는 역할을 하며, 격벽(105, 205)의 높이 조절에 의해 두 기판(100, 200) 사이의 간격을 조절할 수 있다.

진공 상태에서, 가열 장치(400)를 이용하여 도너 기판(200)을 가열하여 유기 물질층(207)이 증발할 수 있는 온도를 형성한다. 도너 기판(200)의 가열 온도는 유기 물질층(207)의 종류에 따라 달라질 수 있으며, 일실시예로 도너 기판(200)은 100도 내지 500도로 유지할 수 있다.

억셉터 기판(100)은 냉각 장치(300)를 이용하여 냉각시켜 증발된 유기 물질층(207)이 응축하여 고상을 유지할 수 있는 온도로 유지한다. 억셉터 기판(100)의 냉각 온도는 유기 물질층(207)의 종류에 따라 달라질 수 있으며, 일실시예로 억셉터 기판(100)을 100도 미만으로 유지할 수 있다.

도너 기판(200) 상에 형성된 금속층(203)은 유기 물질층(207)으로 열을 원활하게 전달하는 역할을 한다.

도 1b를 참조하면, 두 기판의 온도 차이에 의해 유기 물질층(207)이 억셉터 기판(100)의 화소 전극(103) 상에 증착되어 유기 발광 부재(107)를 형성한다. 두 기판의 온도 차이는 유기 물질층(207)의 종류에 따라 달라질 수 있으며, 일실시예로 100도 내지 500도로 유지할 수 있다. 전사된 유기 발광 부재(107)의 두께는 도너 기판(200)에 형성된 유기 물질층(207)의 두께에 따라 달라질 수 있다.

전사된 유기 발광 부재(107)의 수명 향상 및 신뢰성 향상을 위하여 억셉터 기판(100)에 대하여 열처리 공정을 진행할 수 있다.

본 발명에 따르면, 유기 물질층(207)을 도너 기판(200)의 일부 영역, 즉 전사 영역에만 형성함으로써, 유기 물질 소모를 감소시킬 수 있다. 또한, 가열 장치와 냉각 장치를 사용하여 설비 구성이 단순하며 저렴하다.

도 2a 내지 2d는 도 1의 도너 기판(200)의 제조 방법 및 구조를 상세하게 설명하기 위한 도면이다.

도 2a를 참조하면, 제1 절연 기판(201)위에 금속층(203)을 형성하고, 각 금속층(203)을 노출하는 개구부를 가지는 격벽(205)을 형성한다. 격벽(205)은 각 금속층(203) 사이를 분리할 수 있다. 절연 기판(201)은 투명한 기판으로 유리 또는 플라스틱일 수 있다. 금속층(203)은 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 구리(Cu) 또는 이들의 함유 금속으로 스퍼터링이나 열증착 등에 의해 형성될 수 있다.

격벽(205)는 유기물 또는 무기물일 수 있으며, 감광성 물질일 수 있다.

도 2b를 참조하면, 격벽(205)이 가지는 개구부(202)에 잉크젯(미도시) 또는 노즐(미도시)을 이용해 유기 물질(206)을 분사한다. 유기 물질(206)을 분사하기 전에 격벽(205)과 금속층(203)을 플라즈마 처리할 수도 있다(미도시). 유기 물 질(206)의 분사량은 형성하고자 하는 유기 물질층(207)의 두께에 따라 조절될 수 있다. 격벽(205)의 높이는 1um 내지 5um 일 수 있다. 격벽(205) 높이가 1um 보다 작으면 잉크젯 또는 노즐을 이용한 공정 진행 시 유기 물질(206)이 격벽 위로 넘칠 수 있다. 격벽(205)의 높이가 5um보다 크면 억셉터 기판(100, 도 1a 및 1b 참조)과의 간격이 넓어져 전사 공정 시간이 증가할 수 있다.

도 2c 및 2d를 참조하면, 격벽(205)의 개구부(202)에 형성된 유기 물질(206)을 건조시켜 유기 물질(206)에 포함된 용매를 제거하여 평탄한 표면을 갖는 유기 물질층(207)을 형성한다.

본 실시예에서는 잉크젯이나 노즐을 이용한 유기 물질층(207) 형성을 설명하였으나, 스크린 프린터를 사용할 수도 있다.

도 3은 도 1의 억셉터 기판(100)의 구조를 설명하기 위한 도면이고, 도 4는 도 3의 a영역을 확대한 도면이다.

도 3 및 4를 참조하면, 억셉터 기판(100)은 복수의 스위칭 소자를 포함한다. 각 스위칭 소자는 게이트 전극(111), 반도체층(113), 소스 전극(114) 및 드레인 전극(115), 저항성 접촉층(114a, 115a) 등을 포함하여 이루어진다. 게이트 전극(111)은 절연 기판(101)상에 형성되어 있다. 게이트 전극(111) 및 절연 기판(101) 위에는 절연막(112)이 형성되어 있고, 절연막(112) 상에는 반도체층(113)이 형성되어 있다. 반도체층(113) 위에는 소스 전극(114) 및 드레인 전극(115)이 형성되어 있으며, 반도체층(113)과 이들 소스 전극(114) 및 드레인 전극(115)의 사이에는 저항성 접촉층(114a, 115a)이 형성되어 있다. 소스 전극(114), 드레인 전 극(115) 및 절연막(112) 상에는 보호막(116)이 형성되어 있다. 보호막(116)은 드레인 전극(115)의 일부를 노출하는 콘택홀(117)을 갖는다. 보호막(116) 상에 형성된 화소 전극(103)은 콘택홀(117)을 통해서 드레인 전극(115)과 전기적으로 연결된다. 보호막(116) 상에는 유기 발광층(도시하지 않음)이 채워질 공간을 형성하는 격벽(105)이 형성되고, 격벽(105)은 유기 발광층(도시하지 않음)이 채워질 공간이 되며 화소 전극(103)을 드러내는 개구부(118)를 갖는다.

절연 기판(101)은 투명한 기판으로 유리 또는 플라스틱일 수 있다. 화소 전극(103)은 인듐 주석 산화물(Indium Tin Oxide, ITO), 인듐 아연 산화물(Indium Zinc Oxide, IZO), 알루미늄(Al), 칼슘(Ca) 또는 바륨(Ba)으로 만들어질 수 있다.

도 5a 내지 5i는 도 1a 및 1b의 제조 방법을 이용한 일 실시예로써 적색 및 녹색 유기 발광층을 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.

도 5a를 참조하면, 격벽(205a), 금속층(203a), 금속층(203a) 상에 형성된 적색 유기 발광 물질(207a)를 포함하는 적색용 도너 기판(200a)과 화소 전극(103), 격벽(105), 및 스위칭 소자(미도시)를 포함하는 억셉터 기판(100)을 준비한다.

도 5b를 참조하면, 적색용 도너 기판(200a)과 억셉터 기판(100)을 정렬하여 두 기판(100, 200a)의 격벽(105, 205a)을 서로 대응하게 접촉시킨다.

도 5c를 참조하면, 진공 상태에서, 적색용 도너 기판(200a)을 가열 장치(400)를 이용하여 가열함으로써 적색 유기 발광 물질(207a)이 증발할 수 있는 온도로 유지한다. 억셉터 기판(100)을 적색용 도너 기판(200a)과 온도 차이를 유지할 수 있도록 냉각 장치(300)을 이용하여 냉각한다. 적색용 도너 기판(200a)의 가 열 온도 및 억셉터 기판(100)의 냉각 온도는 전사되는 적색 유기 발광 물질(207a)의 종류에 따라 달라질 수 있다. 일 실시예에 따르면, 적색용 도너 기판(200a)은 약 100도 내지 500도로 가열하고, 억셉터 기판(100)은 100도 미만으로 냉각하여, 두 기판(100, 200a)의 온도 차이를 약 100 내지 500 도로 유지시킨다.

가열 장치는 핫 플레이트(hot plate) 또는 램프(lamp)일 수 있으며, 냉각 장치는 저온의 액체가 흐를 수 있는 냉각 라인(cooling line)을 포함할 수 있다.

도 5d를 참조하면, 도너 기판(200)의 가열에 의해 증발된 적색 유기 발광 물질(207a)이 억셉터 기판(100)의 화소 전극(103)에 증착되어 적색 유기 발광층(107a)를 형성한다.

도 5e를 참조하면, 녹색 유기 발광 물질(207b)이 형성된 녹색용 도너 기판(200b)을 준비한다.

도 5f를 참조하면, 녹색 유기 발광 물질(207b)이 형성된 녹색용 도너 기판(200b)과 적색 유기 발광층(107a)이 형성된 억셉터 기판(100)을 정렬하여 두 기판(100, 200b)의 격벽(105, 205b)을 서로 대응하게 접촉시킨다. 이 때, 녹색 유기 발광 물질(207b)은 억셉터 기판(100) 상에 형성된 적색 유기 발광층(107a)이 형성되지 않은 영역에 대응하도록 배치된다.

도 5g를 참조하면, 진공 상태에서, 녹색용 도너 기판(200b)을 녹색 유기 발광 물질(207b)이 증발할 수 있도록 가열 장치(400)을 이용하여 가열한다. 억셉터 기판(100)을 녹색용 도너 기판(200b)과 온도 차이를 유지할 수 있도록 냉각 장치(300)을 이용하여 냉각한다. 녹색용 도너 기판(200b)의 가열 온도 및 억셉터 기 판(100)의 냉각 온도는 전사되는 유기 물질층의 종류에 따라 달라질 수 있다. 일 실시예에 따르면, 녹색용 도너 기판(200b)은 약 100도 내지 500도로 가열되고, 억셉터 기판(100)은 100도 미만으로 냉각되어, 두 기판(100, 200b)의 온도 차이는 약 100도 내지 500도로 유지된다.

도 5I를 참조하면, 녹색용 도너 기판(200b)의 가열에 의해 증발된 녹색 유기 발광 물질(207b)이 억셉터 기판(100)의 화소 전극(103)에 증착되어 녹색 유기 발광층(107b)을 형성한다.

도 5a 내지 도 5i에서 설명한 바와 같이 적색 및 녹색 유기 발광층(107a, 107b)와 동일한 절차에 의해 억셉터 기판(100)상에 청색 유기 발광층(미도시)을 형성할 수 있다.

이상의 실시예에서는 적색 유기 발광층과 녹색 유기 발광층을 서로 다른 도너 기판을 이용하여 형성하는 경우를 예시하였으나, 적색 유기 발광 물질과 녹색 유기 발광 물질을 동일한 도너 기판에 형성하여 동시에 억셉터 기판으로 전사할 수도 있다.

또한, 정공 주입층, 정공 운송층, 전자 운송층, 또는 전자 주입층 등 어느 유기 물질층이라도 앞서 설명한 방법과 같이 형성할 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이 며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.

도 1a와 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 간단하게설명하기 위한 도면이고,

도 2a 내지 2d는 도 1a 및 1b의 도너 기판의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이고,

도 3은 도 1의 엑셉터 기판의 구조를 설명하기 위한 도면이고,

도 4는 도 3의 A 영역을 확대하여 나타낸 도면이고,

도 5a 내지 도 5i는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 도면이다.

* 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 *

100 : 억셉터 기판 105, 205 : 격벽

103 : 화소 전극 200 : 도너 기판

207, 207a, 207b : 유기 물질층 (전사층)

Claims (19)

1. 유기 물질층을 포함하는 도너 기판을 준비하는 단계;

   억셉터 기판을 준비하는 단계;

   상기 도너 기판과 상기 억셉터 기판을 정렬하는 단계; 그리고

   상기 도너 기판과 상기 억셉터 기판 사이의 온도 차이를 유지하여 상기 유기 물질층을 상기 억셉터 기판으로 전사하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
2. 제1항에 있어서,

   상기 도너 기판과 상기 억셉터 기판 사이의 온도 차이를 유지하는 단계는 상기 도너 기판을 가열하는 단계와 상기 억셉터 기판을 냉각하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법
3. 제2항에 있어서,

   상기 도너 기판을 준비하는 단계는

   제 1 절연 기판 상에 열 전달층을 형성하는 단계;

   상기 열 전달층을 구분하는 제1 격벽을 형성하는 단계; 그리고

   상기 제1 격벽 사이의 영역에 상기 유기 물질층을 형성하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
4. 제3항에 있어서,

   상기 열 전달층은 몰리브덴, 텅스텐, 구리 또는 이들을 함유하는 금속 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
5. 제3항에 있어서,

   상기 유기 물질층을 형성하는 단계는 잉크젯 프린터 또는 노즐을 이용하여 유기 물질을 분사하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조 방법.
6. 제5항에 있어서,

   상기 유기 물질층은 유기 발광 물질, 정공 주입 물질, 정공 운송 물질, 전자 운송 물질, 전자 주입 물질 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치의 제조 방법.
7. 제5항에 있어서,

   상기 유기 물질층을 형성하는 단계는 상기 분사된 유기 물질을 건조하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
8. 제3항에 있어서,

   상기 억셉터 기판을 준비하는 단계는

   제2 절연 기판 위에 스위칭 소자를 형성하는 단계;

   상기 스위칭 소자에 전기적으로 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계; 그리고

   상기 화소 전극을 노출하는 개구부를 가지는 제2 격벽을 형성하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
9. 제8항에 있어서,

   상기 도너 기판과 상기 억셉터 기판을 정렬하는 단계는 제1 격벽과 제2 격벽을 서로 대응하도록 정렬하고 접촉시키는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법
10. 제2항에 있어서,

    상기 도너 기판을 가열하는 단계는 상기 도너 기판의 온도를 100도 내지 500도로 유지하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
11. 제10항에 있어서,

    상기 억셉터 기판을 냉각하는 단계는 상기 억셉터 기판의 온도를 100도 미만으로 유지하는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
12. 제2항에 있어서,

    상기 도너 기판과 상기 억셉터 기판 사이의 온도 차이는 100도 내지 500도 인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
13. 제2항에 있어서,

    상기 유기 물질층을 상기 억셉터 기판으로 전사하는 단계는 진공 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
14. 제1 색의 빛을 발하는 제1 유기 발광 물질층을 포함하는 제1 도너 기판을 마련하는 단계;

    억셉터 기판을 준비하는 단계;

    상기 제1 도너 기판과 상기 억셉터 기판을 정렬하는 단계;

    상기 제1 도너 기판을 가열하고 상기 억셉터 기판을 냉각함으로써 제1 온도 차이를 형성하여 상기 제1 유기 발광 물질층을 상기 억셉터 기판으로 전사하는 단계;

    상기 제1 도너 기판을 상기 억셉터 기판으로부터 제거하는 단계;

    제1 색과 다른 제2 색의 빛을 발하는 제2 유기 발광 물질층을 포함하는 제2 도너 기판을 준비하는 단계;

    상기 제2 도너 기판과 상기 억셉터 기판을 정렬하는 단계; 그리고,

    상기 제2 도너 기판을 가열하고 상기 억셉터 기판을 냉각함으로써 제2 온도 차이를 형성하여 상기 제2 유기 발광 물질층을 상기 억셉터 기판으로 전사하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
15. 제14항에 있어서,

    상기 제1 및 제2 유기 발광 물질층을 전사하는 단계는 진공 상태에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
16. 제14항에 있어서,

    상기 제1 및 제2 온도 차이는 100도 내지 500도인 것을 특징으로 하는 표시 장치의 제조 방법.
17. 절연 기판;

    상기 절연 기판 상에 형성된 열 전달층;

    상기 열 전달층의 일부 영역을 노출하는 개구부를 가지는 격벽; 그리고,

    상기 개구부에 형성된 유기 물질층을 포함하는 도너 기판.
18. 제17항에 있어서,

    상기 열 전달층은 몰리브덴, 텅스텐, 구리 또는 이들의 함유 금속 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 도너 기판.
19. 제17항에 있어서,

    상기 유기 물질층은 유기 발광 물질, 정공 주입 물질, 정공 운송 물질, 전자 운송 물질, 전자 주입 물질 중 적어도 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 도너 기판.

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