JPH05162205A

JPH05162205A - フィルム張付装置

Info

Publication number: JPH05162205A
Application number: JP35237191A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Taguchi; 博田口; Seiji Sugimoto; 清二杉本
Original assignee: Somar Corp
Current assignee: Somar Corp
Priority date: 1991-12-13
Filing date: 1991-12-13
Publication date: 1993-06-29
Also published as: EP0547328A1

Abstract

(57)【要約】【目的】圧着ローラの拭き取りローラの耐久性を高め
て、圧着不良を未然に防止することができる。【構成】ウェットローラ４８から基板６に水を付着さ
せるウェットローラ４８を有して、水の付着された基板
６のフィルム張付面に圧着ローラ２８により積層体フィ
ルム１Ｂを張付ける際に、圧着ローラ２８に接して回動
し、圧着ローラ２８に付着した水を拭き取りローラ７８
で除去する。この際、拭き取りローラ７８の拭き取り面
は金属材からなるメッシュ構造のため、耐久性が高く、
しかも、拭き取りが迅速且つ確実なため圧着不良が生じ
ることがない。又、耐久性の高さから拭き取りローラ交
換の作業時間を著しく減少させて作業能率、生産性を向
上させ得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、水等の空泡防止液を基
板に付着させる手段を有し、空泡防止液の付着された基
板のフィルム張付面に圧着ローラによりフィルムを張付
けるためのフィルム張付装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板は、銅等からなる所定パターンの配線が
絶縁基板の片面又は両面に形成されたものである。

【０００３】この種のプリント配線板の製造工程におい
ては、先ず、絶縁性基板上に設けられた導電層（銅薄
膜）上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保
護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体
フィルムを熱圧着（熱圧着ラミネートとも称される）す
る。この熱圧着は、フィルム張付装置（薄膜張付装置と
も称される）、いわゆるラミネータによる量産工程にお
いて行われる。

【０００４】前記のフィルム張付装置に関して、従来か
ら種々の技術が提案されている（例えば、出願人が既に
特開昭６３−２０８０３７号公報、特開平３−７３４４
号公報で提案したものがある）。

【０００５】図７は、前記のような従来のフィルム張付
装置の構成例を示すものである。なお、図７には、絶縁
性基板（以下単に基板という）の搬送経路を中心に上・
下の構成機器が略同様なため、当該経路から上部側の構
成のみを示している。

【０００６】薄膜張付装置においては、透光性樹脂フィ
ルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムの３層構造
からなる積層体フィルム（以下、３層積層体フィルムと
いう）が、供給ローラ２に連続的に巻き回されている。
該３層積層体フィルム１は、前記供給ローラ２から巻き
出され、その後、薄膜分離ローラ３で、透光性樹脂フィ
ルム１Ａと、１面（接着面となる）が露出された感光性
樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体フィルム
１Ｂとに分離される。分離された積層体フィルム１Ｂ
は、テンションローラ９を経由してメインバキュームプ
レート（フィルム供給部材）５の表面上に供給される。
その後、積層体フィルム１Ｂの供給経路にはサブバキュ
ームプレート１３とカッタ１４とが設けられ、その先に
バキュームバー１５及び圧着ロール１６が設けられてい
る。

【０００７】前記圧着ロール１６は、一般に、金属ロー
ルの表面をゴムシートで被覆した構造とされている。

【０００８】前記メインバキュームプレート５は、前記
積層体フィルム１Ｂを吸着して保持しながら、前記供給
ローラ２から基板６の導電層上に仮付けするためのもの
である。前記メインバキュームプレート５は、図７に示
されるように、前記基板６に近接し且つ離反する（矢印
Ｂ方向に移動する）支持部材７に進退動可能に設けられ
ている。

【０００９】前記この支持部材７は、ガイド部材８に摺
動して矢印Ｂ方向に移動可能なように装置本体（フィル
ム張付装置のフレーム部材）９に設けられる。又、支持
部材７は、前記基板６の搬送経路を中心に、上下、一対
に設けられており、上部の支持部材７と下部の支持部材
７とは、ラックアンドピニオン機構により連動的に動作
する。つまり、上下、一対の支持部材７には、各々にラ
ック７Ａが設けられており、この各々のラック７Ａと噛
合うピニオン７Ｂ（このピニオン７Ｂは前記装置本体９
に固定されている）が設けられて、図示しない駆動源の
駆動力が与えらることにより、連動的に動作する。

【００１０】又、前記メインバキュームプレート５は、
前記支持部材７の移動とは独立的に基板６に近接し且つ
離反する（矢印Ｃ方向に移動する）動作をするように、
支持部材７に設けられている。即ち、メインバキューム
プレート５は、支持部材１２に設けられたシリンダ等か
らなるラックアンドピニオン機構により前記のような動
作をする。このラックアンドピニオン機構は、支持部材
７に固着された第１のラック１２Ａと、第２の駆動源１
１により前記ラック１２Ａに沿い前後動し、且つ当該ラ
ック１２Ａと噛合うピニオン１２Ｂと、前記ラック１２
Ａと平行に移動し、且つ、前記ピニオン１２Ｂと噛合う
第２のラック１２Ｃとからなる。

【００１１】なお、前記メインバキュームプレート５の
先端には仮付部５Ａが設けられている。この仮付け部５
Ａはその内部に発熱体５Ｂが設けられている。メインバ
キュームプレート５で積層体フィルム１Ｂを基板に仮付
けするときには、前記仮付け部５Ａが積層体フィルム１
Ｂを巻き付けた状態で基板６に近接（あるいは当接）す
る。この際、前記仮付部５Ａは、前記発熱体５Ｂの発熱
により加熱されており、これにより積層体フィルム１Ｂ
の先端部を熱圧着により仮付けする。

【００１２】前記サブバキュームプレートは、前記積層
体１Ｂの供給方向の先端部を吸着し、前記仮付け部５Ａ
に当該先端部を吸着（保持）させるように動作する。こ
のサブバキュームプレート１３の動作は、支持部材７に
取付けられた、例えばエアシリンダからなる駆動源１３
Ａで、積層体１Ｂの供給経路に対して近接及び離反（矢
印Ｄ方向に移動）することにより行われる。又、この動
作は、メインバキュームプレート５が積層体フィルム１
３を基板６に仮付けする際も行われる。

【００１３】前記カッタ１４は、積層体フィルム１Ｂを
基板６の寸法に応じた長さ分に切断するものである。前
記カッタ１４は、前記サブバキュームプレート１３に前
記供給経路を挟んで、対向して設けれられる。

【００１４】前記圧着ローラ１６は、基板搬送経路の上
・下に設けられており、上・下の圧着ロール１６は、積
層体フィルム１Ｂが仮付された基板６を所定圧力で挟
み、且つ、熱を加えることにより、該積層体フィルム１
Ｂを基板６に熱圧着する。

【００１５】前記のようなフィルム張付装置により、積
層体フィルム１Ｂを圧着するに際しては、圧着後に該フ
ィルム１Ｂと基板６間に気泡（空泡）が生じては、圧着
製品の不良の原因になる。そこで、この気泡を防止する
ため、圧着前の基板６にウェットローラにより、水等の
空泡防止液を塗布している。

【００１６】ここで、圧着される積層体フィルム１Ｂ
は、基板６全面よりやや小さい面積に張付けられるのが
通常であり、基板６の端部に塗布された水（空泡防止
液）は、圧着ローラに付着する。又、基板の全面に積層
体フィルム１Ｂが張付けられたときも、張付けた端部か
ら水がしみ出すときがあり、この場合も圧着ローラに水
が付着する。

【００１７】この圧着ローラに水が付着したままとなっ
たならば、積層体フィルム１Ｂ表面に付着水が転写さ
れ、後の露光工程でマスクとして作用してしまい、パタ
ーン不良を生じる。更に、積層体フィルム１Ｂへの伝熱
不良が生じて、圧着不良が生じる恐れがある。

【００１８】このため、圧着ローラには、前記水を拭き
取って除去するための拭き取りローラが設けられてい
る。従来の拭き取りローラはその拭き取り面がフェル
ト、スポンジ等からなっていた。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】圧着ローラは熱圧着す
るために熱を発しており、該圧着ローラに接する拭き取
りローラに、熱が伝わる。

【００２０】しかしながら、従来の拭き取りローラは、
その拭き取り面に、前記のようにスポンジ、フェルト等
を用いており、これらは熱に弱いことから耐久力がなか
った。このため、拭き取りローラの拭き取り能力が一定
せず、拭き取り能力の低下により、拭き取り残りが生じ
て圧着不良が生じる恐れがあった。

【００２１】又、従来の圧着ローラの拭き取りローラ
は、耐久性の低さから頻繁な交換が必要となり、作業負
荷が大きいという問題点があった。

【００２２】本発明は、前記従来の問題点を解消するた
めなされたものであって、圧着ローラの拭き取りローラ
の耐久性を高めて、圧着不良を未然に防止できる圧着ロ
ーラの拭き取りローラを提供することを課題とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】本発明は、水等の空泡防
止液を基板に付着させる手段を有し、空泡防止液の付着
された基板のフィルム張付面に圧着ローラによりフィル
ムを張付けるためのフィルム張付装置において、前記圧
着ローラに接して回動し、前記圧着ローラに付着した空
泡防止液を除去するための拭き取りローラが設けられ、
該拭き取りローラの拭き取り面が、金属材とされている
ことにより、前記課題を解決するものである。

【００２４】又、本発明においては、前記拭き取りロー
ラの拭き取り面を吸液構造とすることができる。

【００２５】又、本発明においては、前記吸液構造をメ
ッシュ構造とすることができる。

【００２６】又、本発明においては、前記吸液構造を多
孔質構造とすることができる。

【００２７】又、本発明においては、前記吸液構造を溝
構造とすることができる。

【００２８】又、本発明においては、前記拭き取りロー
ラにより拭き取った液を、該拭き取りローラ内に吸引す
るようにすることができる。

【００２９】更に、本発明においては、前記拭き取りロ
ーラにヒータが内蔵されているようにすることができ
る。

【００３０】

【作用】本発明においては、フィルム張付装置におい
て、圧着ローラに接して回動し、該圧着ローラに付着し
た水等の空泡防止液を除去する拭き取りローラを設け、
該拭き取りローラの拭き取り面を金属材としている。

【００３１】従って、拭き取りローラの回転によって拭
き取り面が常に更新され、拭き取った付着液は蒸発等す
るので、常に乾いた面が圧着ローラに接する。

【００３２】更に、拭き取り面が金属材からなるものの
ため、拭き取りローラは熱に対する耐久力が高い。よっ
て、圧着ローラが熱圧着のため熱を発して拭き取りロー
ラに熱が伝わった場合でも、拭き取りローラは劣化せ
ず、あるいは、劣化が少ない。このため、拭き取り能力
が安定するため、拭き取り不良が発生せず、これが原因
する、空泡防止液の残存による圧着不良が生じる恐れが
全くない。

【００３３】又、耐久性が高いことから、頻繁な拭き取
りローラ交換を必要としない。従って、ローラ交換によ
る装置停止時間が著しく減少するため、作業能率更には
生産能率が向上する。

【００３４】なお、前記吸液構造をメッシュ構造や多孔
質構造としたり、溝幅が小さな溝構造とすれば、メッシ
ュ間に毛細管現象が生じるため、吸液能力が高く、従っ
て、圧着ローラ上の空泡防止液を迅速且つ確実に除去す
ることができる。

【００３５】又、前記吸液構造を、メッシュ構造、多孔
質構造、溝構造等の拭き取りローラの表面積を増やす構
成とすれば、拭き取った付着液の蒸発が促進され、常に
乾いた面が圧着ローラに接する。

【００３６】更に、ヒータを併用すれば、蒸発が一層促
進される。

【００３７】又、拭き取りローラを吸引構造として、該
拭き取りローラ内に付着液を吸引除去してもよい。

【００３８】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００３９】この実施例は、基板（絶縁性基板）６のフ
ィルム張付面に基板の長さに応じた積層体フィルム１Ｂ
を張付けるためのフィルム張付装置に本発明を実施した
ものである。

【００４０】図１は、実施例に係るフィルム張付装置の
全体的な構成を示すものである。

【００４１】又、図２は、前記張付装置の基板搬送路か
ら上方向の構成を中心に示したものである。

【００４２】図１及び図２に示されるように、前記フィ
ルム張付装置は、主に、基板６を仮付け及び圧着位置に
前進させて搬入するための搬入部２０と、前記積層体フ
ィルム１Ｂが圧着された基板６を搬出するための搬出部
２２と、透光性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性
樹脂フィルムの３層構造からなる３層積層体フィルム１
を蓄積し、一面（接着面）が露出された感光性樹脂層及
び透光性樹脂フィルムからなる積層体フィルム１Ｂを供
給するための積層体フィルム蓄積部２４と、供給された
積層体フィルム１Ｂを吸着し、基板６のフィルム張付面
に積層体フィルム１の先端側を仮止めするための仮止め
部２６と、前記フィルム１Ｂが仮止めされた基板６に当
該フィルム１Ｂを圧着ローラ２８で熱圧着（熱圧着ラミ
ネート）させるための圧着部３０とを有する。

【００４３】即ち、図１及び図２に示されるように、前
記積層体フィルム蓄積部２４においては、前記３層積層
体フィルム１が、供給ローラ２に連続的に巻き回されて
蓄積されている。巻き回された積層体フィルム１は、巻
き出されて、ガイドローラ３２を介してフィルム分離ロ
ーラ（フィルムの分離部材）３に至る。このフィルム分
離ローラ３は、前記積層体フィルムを、透光性樹脂フィ
ルム（保護膜）１Ａと、前記一面（接着面）が露出され
た感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体
フィルム１Ｂとに分離するものである。分離された透光
性樹脂フィルム１Ａは、ガイドローラ３４を介して前記
巻き回されて積層体フィルム１上を移動し、巻取ローラ
４に巻取られるようになっている。なお、巻き回されて
積層体フィルム１の側面側には、フィルムの蓄積されて
いる量を、フィルム巻径から検出する巻径検出センサ、
即ち、フィルム巻径用が所定に大きいことを検出する大
径用フィルム巻径検出センサ３６Ａと、フィルム巻径が
所定に小さいことを検出する小径用フィルム巻径検出セ
ンサ３６Ｂが設けられる。

【００４４】前記搬入部２０には、基板６に駆動力を与
えて搬送するための駆動ローラ３８が、搬入経路に沿っ
て、適宜の間隔で複数設けられている。この駆動ローラ
３８は、図示されないモータ等の駆動手段から駆動力が
与えられて駆動する。又、この駆動ローラ３８の１つお
き（又は、適宜の駆動ローラ３８）のものの搬送経路を
挟んで対向する位置には、回動自在な従動ローラ４０が
設けられている。この従動ローラ４０は、駆動ローラ３
８と共に基板６を挟んで、基板６に確実に駆動力を付与
するものである。

【００４５】又、前記搬送経路に沿い、且つ、駆動ロー
ラ３８間の適宜の箇所には、前記基板６の幅方向位置を
所定位置に合せるための幅寄せ器４２が設けられてい
る。

【００４６】又、前記駆動ローラ３８のうち、圧着部３
０側終端のものの搬送経路を挟んで対向する側には、回
動自在な基板押えローラ４６が設けられている。例えば
この基板押えローラ４６はエアシリンダからなる基板押
え部材４４により上昇及び下降する。この基板押えロー
ラ４６は、基板押え部材４４により下降したときに、当
該駆動ローラ３８と共に基板６を挟持して、積層体フィ
ルム１Ｂが仮付け又は熱圧着される際の基板６の上下方
向の揺動を制止するものである。

【００４７】又、前記終端の駆動ローラ３８の搬送方向
下流側には、熱圧着される積層体フィルム１Ｂと基板６
との間に気泡（空泡）が生じるのを防止するため、水等
の空泡防止液を基板６に付着させるウェットローラ４８
が設けられている。

【００４８】なお、前記基板６の搬送経路の近傍には、
基板６を検出する各センサＳ１〜Ｓ３が設けられる。搬
送経路の上流側に設けられたセンサＳ１は、前記搬入部
２０中に送られてきた基板６の例えば先端位置を検出し
て、その検出信号により、前記幅寄せ器４２を作動させ
るための幅寄せ開始センサＳ１である。又、この幅寄せ
開始センサＳ１の下流側に設けられたセンサＳ２は、基
板６の後端部を検出するための基板後端検出センサＳ２
である。又、前記圧着部３０入側に設けられたセンサＳ
３は、基板６の先端部を検出するための基板先端検出セ
ンサＳ３である。

【００４９】前記搬出部２２には、基板６に駆動力を与
えて搬送するための、図示されない駆動モータで駆動さ
せる出側駆動ローラ５０が複数設けられる。その駆動ロ
ーラ５０の適宜のものには、搬送経路を挟んでに対向す
る位置に、回動自在な従動ローラ５２が設けられてい
る。この従動ローラ５２は、前記駆動ローラ５０と共に
基板６を挟んで、基板６に確実に駆動力を付与するため
のものである。又、この搬出部２２の圧着部３０出側近
傍には、基板６の通過したことを検出するための基板通
過検出センサＳ４が設けられる。

【００５０】前記仮付部２６には、前記積層体フィルム
蓄積部２４から供給された積層体フィルム１Ｂが、テン
ションローラ５４を介して搬送されるようになってい
る。なお、このテンションローラ５４は、前記供給ロー
ラ２とメインバキュームプレート（フィルム供給部材に
相当）５６との間の積層体フィルム１Ｂに適度な張力を
与えるものである。この適度な張力により前記メインバ
キュームプレート５６に供給する積層体フィルム１Ｂに
はしわ等が生じない。

【００５１】又、前記テンションローラ５４出側からメ
インバキュームプレート５６迄の積層体フィルム１Ｂ供
給経路上には、当該積層体フィルム１Ｂの静電気を除去
する静電気除去器５８が設けられている。

【００５２】又、メインバキュームプレート５６と前記
圧着部３０間の積層体フィルム搬送路上には、先端巻き
付けフィルム保持部材６０と、カッタ６２と、サポート
ローラ６４が設けられている。

【００５３】前記メインバキュームプレート５６は、前
記供給ローラ２から送られてきた積層体フィルム１Ｂの
先端側を吸着し、且つ、搬送された基板６の搬送方向先
端部に近接して、当該基板６先端部表面（上・下の両表
面）に積層体フィルム１Ｂの先端側を仮付けするよう作
動するものである。なお、このメインバキュームプレー
ト５６は取付け部材６６に固着されて当該取付部材６６
と一体的に作動し、且つ、上・下のメインバキュームプ
レート５６が同調して動作し、基板６に同時に接近して
仮付けするようになっている。

【００５４】前記先端巻き付けフィルム保持部材６０
は、前記積層体フィルム１Ｂの先端側を負圧により吸引
し、基板搬送方向（図１中に、矢印Ａの方向）に後退す
ることによりメインバキュームプレート５６の先端側フ
ィルム仮付け部５６Ａに当該積層体フィルム１Ｂを吸着
させるものである。

【００５５】前記カッタ６２は、円筒部材の外周面にや
や螺旋を描くように切断刃が設けられた回転刃６２Ａと
直線状の切断刃からなる固定刃６２Ｂを有するものであ
る。固定刃６２Ｂ上を搬送される積層体フィルム１Ｂ
を、前記回転刃６２Ａの回転によりフィルム１Ｂをその
搬送方向に直角に切断するものである。カッタ６２は回
転刃６２Ａが回転することにより、回転刃６２Ａ及び固
定刃６２Ｂ同士を接近させて積層体フィルム１Ｂを基板
６の寸法に応じた所定の長さに切断するものである。こ
のカッタ６２は積層体フィルム１Ｂを供給する方向に直
角に切断するため、積層体フィルム１Ｂ供給中に回転刃
６２Ａ及び固定刃６２Ｂの長手方向片側を供給方向に移
動させ、カッタ６２の切断点が供給方向に移動する速度
を前記フィルム１Ｂの供給速度と同調するようになって
いる。

【００５６】前記サポートローラ６４は、カッタ６２及
び圧着ローラ２８間のフィルム供給経路上に前記メイン
バキュームプレート５６の吸着面上のフィルム供給経路
と同一平面に接するように設けられたローラからなるも
のである。

【００５７】前記サポートローラ６４は、圧着ローラ２
８に送られる積層体フィルム１Ｂが、前記カッタ６２で
切断された後の、しわ等が寄らないように当該ロール２
８に円滑に送るように導くものである。

【００５８】前記メインバキュームプレート５６が固着
される取付部材６６は、図１に示すように、上と下で同
様の構成を有し、これら取付部材６６を、同調して基板
方向に移動させるため、各取付部材６６にはラックギヤ
６８が設けられると共に、当該ラックギヤ６８の双方に
噛合うピニオンギヤ７０が設けられる。

【００５９】又、前記取付部材６６は、ガイドレール７
２上を摺動して移動し、このガイドレール７２に従った
取付け部材６６の移動方向がメインバキュームプレート
５６の移動方向となるようになってる。

【００６０】前記ピニオンギヤ７０は、フィルム張付装
置の本体フレームの一定位置で回動するため、ラックギ
ヤ６８と共に上・下のメインバキュームプレート５６を
同調動作させる。又、前記ピニオンギヤ７０は、図示さ
れないサーボモータ（メインバキュームプレート駆動用
サーボモータ）で電磁クラッチを介して駆動される。上
・下の取付部材６６にはバキュームプレート５６幅方向
に一対設けられたシリンダ（図示省略）のシリンダ管
体、ピストンロッドがそれぞれ連結され、上・下の取付
部材６６が連動するようになっている。なお、実施例で
は、基板６から所定距離となるまでは前記サーボモータ
で前進させる。その後、電磁クラッチを切り、シリンダ
で駆動して仮付けし、仮付け後、基板からの離反はシリ
ンダで行うようになっている。

【００６１】前記圧着部３０には、前記積層体フィルム
１Ｂを基板上に熱圧着するための圧着ローラ２８と共
に、当該圧着ローラ２８が軸支され、当該圧着ローラ２
８を前後動させるように保持する圧着ローラ保持部材７
４と、当該圧着ローラ２８の周囲を、前記積層体フィル
ム１Ｂを吸着しながら回動するバキュームバー７６と、
前記圧着ローラ２８に付着した水等の空泡防止液を拭き
取るための圧着ローラ拭き取りローラ７８と、圧着後の
基板６の表面の空泡防止液を拭き取るための基板拭き取
りローラ８０と、上・下に対称となる圧着ローラ保持部
材７８を揺動させて、圧着ローラ２８で積層体フィルム
１Ｂを基板６上に圧着させるための圧着ローラ上下移動
用エアシリンダ８２を有する。

【００６２】図３に詳細に示すように、前記圧着ローラ
拭き取りローラ７８は、圧着ローラ２８の圧着側以外の
適宜の箇所に設けられる。

【００６３】この圧着ローラ拭き取りローラ７８は、自
重、あるいは、ばね部材の付勢力により、圧着ローラ２
８にある程度の力で接して従動するように、圧着ローラ
保持部材７４に回動自在に設けられている。なお、図３
において符号７８Ａは軸受けである。

【００６４】前記拭き取りローラ７８は、図４に示すよ
うに、その外周面が金属材からなるメッシュ構造を有し
ている。

【００６５】この場合、前記外周面が、金属材からなる
もののため、熱に対する耐久性が高く、圧着ローラ２８
の発熱が伝わっても劣化せず、あるいは劣化が少ない。

【００６６】このため、拭き取り能力が安定し、拭き取
り不良が原因する、水の残存による圧着不良が生じる恐
れが全く生じない。

【００６７】又、耐久性の高いことから頻繁な拭き取り
ローラ交換を必要としない。従って、作業能率、更には
生産能率が向上する。

【００６８】又、前記のメッシュ構造によれば、圧着ロ
ーラ２８に付着した空泡防止液を毛細管現象により速や
かに吸い上げるため、迅速、且つ、確実に前記空泡防止
液を除去することができる。

【００６９】なお、実施例では、前記拭き取りローラ７
８の拭き取り面の吸液構造は、前記のようにメッシュ構
造とされている。

【００７０】しかしながら、本発明の拭き取りローラの
吸液構造は、これに限定されるものではなく、吸液能力
のある構造であれば他の構造を採用できる。例えば、梨
地肌等細かい凹凸がついた構造や比較的細い棒状材料を
束ねた構造とすることができる。

【００７１】又、前記拭き取りローラ７８は中実あるい
は中空いずれでもよい。中空の場合、その中空部に乾燥
空気、温風等を吹き込めば乾燥が早いため、更に、圧着
ロールの水分除去能力が向上する。

【００７２】圧着ローラ保持部材７４の基板６搬出側に
は、前記基板６に付着した残余の空泡防止液を拭き取る
ための基板拭き取りローラ８０が回動自在に設けられて
いる。

【００７３】なお、前記圧着ローラ上下移動用エアシリ
ンダ８２は、左右で上下に対になっている圧着ローラ保
持部材７４に対して一つずつ設けられている。

【００７４】前記実施例のフィルム張付け装置の制御系
の信号経路を図５に示す。

【００７５】図５に示すように、この制御系において
は、各センサＳ１〜Ｓ４と共に、各シリンダ前・後端の
検出センサ（図示省略）やフィルム巻径の各センサ３６
Ａと３６Ｂの検出信号に従って、中央制御ユニット１１
０が各シリンダ用ソレノイド及び各モータの制御信号を
出力するようになっている。カウンタやタイマの機能も
有している。この中央制御ユニット１１０は、図６に示
す手順に従って前記フィルム張付装置を制御するように
構成されている。この中央制御ユニット１１０は、例え
ばプログラマブルコントローラやリレーシーケンス回路
により構成することができる。

【００７６】次に、実施例の作用を説明する。

【００７７】実施例に係るフィルム張付装置は、主に図
６の手順に従って作動する。

【００７８】先ず、積層体フィルム１Ｂの張付け開始準
備状態に手動により設定する（ステップ１）。即ち、十
分な三層積層体フィルム１が巻き回された供給ローラ２
をこのフィルム張付装置に設置する。次いで、前記三層
積層体フィルム１をガイドローラ３２からフィルム分離
部材３に通過させて、透光性樹脂フィルム１Ａ、積層体
フィルム１Ｂに分離する。フィルム分離部材３で分離さ
れた積層体フィルム１Ｂをメインバキュームプレート５
６からカッタ６２の先まで送る。この場合、カッタ６２
の回転刃６２Ａは、手動により固定刃６２Ｂと離すこと
ができ、その間に前記積層体フィルム１Ｂを通す。

【００７９】次いで、積層体フィルム１Ｂをカッタ６２
で切断する（ステップ２）。即ち、回転刃６２Ａ及び固
定刃６２Ｂを傾斜させない状態で手動により回転刃６２
Ａを回転させてフィルム１Ｂを切断する。

【００８０】次いで、メインバキュームプレート５６、
圧着ローラ２８等を原位置とする（ステップ３）。この
場合、メインバキュームプレート５６は、上昇端からあ
る程度下がると共に、メインバキュームプレート５６と
先端巻き付けフィルム保持部材６０のフィルム搬送面側
は一致する状態とする。

【００８１】次いで、自動運転を開始する（ステップ
４）。

【００８２】即ち、自動運転が開始すると、前記フィル
ム保持部材６０が積層体フィルム１Ｂを吸着しながら基
板搬送方向に移動する。これにより、積層体フィルム１
Ｂは、メインバキュームプレート５６の先端の仮付け部
５６Ａに巻き付けられる。

【００８３】一方、基板の搬入部２０においては、基板
６が搬送されてきて、幅寄せ開始位置センサＳ１で当該
基板６が検出されると、該基板６は、幅寄せ装置４２で
幅寄せされ、所定の幅方向位置になる。

【００８４】次いで、幅寄せされた基板６を搬送方向に
進行させ、当該基板の先端を基板先端検出センサＳ３で
検出すると、その検出信号に従って、中央制御ユニット
１１０がカウンタのカウントを始める。このカウント
は、予め設定された所定時間をカウントして、基板６の
搬送方向先端部を仮付け位置に停止させる。又、前記基
板先端検出センサＳ３の信号により、前記中央制御ユニ
ット１１０の他のカウンタがカウントを開始する。該カ
ウンタが所定時間カウントすると、前記先端巻き付けフ
ィルム保持部材６０が基板搬送方向出側に後退して、メ
インバキュームプレート５６の仮付部５６Ａに積層体フ
ィルム１Ｂを巻付ける。

【００８５】なお、前記メインバキュームプレート５６
が前進して仮付けするまでに、基板押えローラ４６は、
基板押え部材４４の駆動により基板６方向に下降し、駆
動ローラ３８と共に基板６を挟み付ける。

【００８６】次いで、メインバキュームプレート５６の
前進により、積層体フィルム１Ｂを基板６に仮付けする
（ステップ７）。

【００８７】即ち、前記他のカウンタが作動しながら、
上・下のメインバキュームプレート５６は、ラックギヤ
６８及びピニオンギヤ７０により同調しながらメインバ
キュームプレート駆動用サーボモータ（図示省略）の駆
動により、基板６の上・下面に向かって前進してくる。
この場合、基板６の上・下面表面上の例えば２cm手前の
位置で、メインバキュームプレート駆動用サーボモータ
の駆動を停止する。その後、メインバキュームプレート
駆動用エアシリンダ（図示省略）の駆動力で上下のメイ
ンバキュームプレート５６を前進させ、仮付部５６Ａを
基板６上・下表面に接近させる。この際、メインバキュ
ームプレート幅方向（積層体フィルム１Ｂ幅方向に沿
う）両端に設けられた一対のエアシリンダで仮付けの押
圧力を与える。このため、基板６の両面には、同じ力で
積層体フィルム１Ｂを仮付けすることができる。なお、
この際、前記サーボモータの駆動力は、前記サーボモー
タの電磁クラッチが解放されるため、ピニオンギヤ７０
へは伝達されないようになっている。

【００８８】次いで、メインバキュームプレート５６を
基板６から離す方向へ後退させ、圧着ローラ２８は、前
記メインバキュームプレート５６の仮止め部５６Ａと干
渉し合わないように前進させて、当該圧着ローラ２８で
前記仮止めされた積層体フィルム１Ｂの圧着を開始する
（ステップ８）。

【００８９】次いで、積層体フィルム１Ｂの圧着ローラ
２８による圧着が進行していき、基板６に張付けるべき
積層体フィルム１Ｂの後端がカッタの位置まできたと
き、メインバキュームプレート５６による積層体フィル
ム１Ｂの吸着、及びカッタ６２による当該フィルム１Ｂ
の切断を行う（ステップ９）。

【００９０】即ち、カッタ６２の切断点が積層体フィル
ム１Ｂの供給速度と応じた積層体フィルムを供給方向に
直接に切断可能な傾斜をカッタ６２に与えて、カッタ６
２で切断を開始させる。この切断により、積層体フィル
ム１Ｂは搬送方向に直角に切断される。

【００９１】なお、切断中及び切断後、積層体フィルム
１Ｂはサポートローラ６４で誘導される。このため、圧
着ローラ２８の径が小さいものであっても、積層体フィ
ルム１Ｂは固定刃６２Ｂに摺動することなく送られる。
又、圧着中及び切断後にバキュームバー７６の吸引が開
始されており、このバキュームバー７６は、積層体フィ
ルム１Ｂを吸着しながらその外周面上を滑らせて、熱圧
着させる。熱圧着するべき積層体フィルム１Ｂの後端部
に近くなったならば、バキュームバー７６は、基板６に
接近するように圧着ローラ２８の周囲を旋回動し、熱圧
着が終了する直前まで吸着動作を行う。これにより、積
層体フィルム１Ｂに適度な張力を与え、積層体フィルム
１Ｂにしわ等が発生することを防止している（ステップ
９）。なお、前記積層体フィルム１Ｂをカッタ６２で切
断した後は、メインバキュームプレート５６及び先端巻
き付けフィルム保持部材６０は吸着動作を行い、積層体
フィルム１Ｂを吸着して保持する。

【００９２】次いで、積層体フィルム１Ｂの熱圧着動作
を続行するか否かを判断する。続行するならば、ステッ
プ５から再び圧着作業を続行する。又、続行しないなら
ば、この作業を終了する。

【００９３】なお、前記実施例においては、図１及び図
２に示すフィルム張付装置の圧着ローラの拭き取りロー
ラについて本発明を実施していたが、本発明の拭き取り
ローラを用いることができるフィルム張付装置は、図１
及び図２の構成のものに限定されず、他のいずれの種類
のフィルム張付装置でも本発明の拭き取りローラを用い
ることができる。

【００９４】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
圧着ローラの拭き取りローラの耐久性を高めて、圧着不
良を未然に防止することができる。

【００９５】又、耐久性の高いことから拭き取りローラ
交換の作業時間を著しく減少させて作業能率更には生産
性を向上させることができる等の優れた効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の実施例に係るフィルム張付装
置の全体構成を示す直面図である。

【図２】図２は、前記フィルム張付装置の基板搬送路か
ら上側の構成を詳細に示す側面図である。

【図３】図３は、前記装置に設けられる圧着ローラ拭き
取りローラの詳細な取付構成を示す側面図である。

【図４】図４は、前記拭き取りローラの詳細な構成を示
す斜視図である

【図５】図５は、前記装置の電気的な信号入出力の構成
を示すブロック図である。

【図６】図６は、前記実施例の作用を説明するための前
記装置における圧着手順を示す流れ図である。

【図７】図７は、従来のフィルム張付装置の構成例を示
す側面図である。

【符号の説明】

１Ｂ…積層体フィルム、２…供給ローラ、３…分離ローラ、２０…搬入部、２２…搬出部、２４…積層体フィルム蓄積部、２６…仮付け部、２８…圧着ローラ、３０…圧着部、３８…駆動ローラ、４０…従動ローラ、４２…幅寄せ器、４４…基板押え部材（エアシリンダ）、４６…基板押えローラ、４８…ウェットローラ、５０…搬出部の駆動ローラ、５２…搬出部の従動ローラ、５４…テンションローラ、５６…メインバキュームプレート、６０…先端巻付フィルム保持部材、６２…カッタ、６２Ａ…回転刃、６２Ｂ…固定刃、６４…サポートローラ、６６…取付部、６８…ラックギヤ、７０…ピニオンギヤ、７４…圧着ローラ保持部材、７６…バキュームバー、７８…圧着ローラ拭き取りローラ、８０…基板拭き取りローラ、８２…圧着ローラ上下移動用シリンダ、Ｓ１…幅寄せ開始位置センサ、Ｓ２…基板後端検出センサ、Ｓ３…基板先端検出センサ、Ｓ４…基板通過検出センサ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】水等の空泡防止液を基板に付着させる手段
を有し、空泡防止液の付着された基板のフィルム張付面
に圧着ローラによりフィルムを張付けるためのフィルム
張付装置において、前記圧着ローラに接して回動し、前記圧着ローラに付着
した空泡防止液を除去するための拭き取りローラが設け
られ、該拭き取りローラの拭き取り面が、金属材とされている
ことを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項２】請求項１において、前記拭き取りローラの拭き取り面が吸液構造とされてい
ることを特徴とするフィルム張付装置。
【請求項３】請求項２において、前記吸液構造がメッシュ構造とされていることを特徴と
するフィルム張付装置。
【請求項４】請求項２において、前記吸液構造が多孔質構造とされていることを特徴とす
るフィルム張付装置。
【請求項５】請求項２において、前記吸液構造が溝構造とされていることを特徴とするフ
ィルム張付装置。
【請求項６】請求項１において、前記拭き取りローラにより拭き取った液を、該拭き取り
ローラ内に吸引するようにされていることを特徴とする
フィルム張付装置。
【請求項７】請求項１において、前記拭き取りローラにヒータが内蔵されていることを特
徴とするフィルム張付装置。