JP2558037B2 - フィルム張付装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、水等の空泡防止液を基
板に付着させるウェットローラを有し、空泡防止液の付
着された基板のフィルム張付面に圧着ローラによりフィ
ルムを張付けるフィルム張付装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板は、銅等からなる所定パターンの配線が
絶縁基板の片面又は両面に形成されたものである。

【０００３】この種のプリント配線板の製造工程におい
ては、先ず、絶縁性基板上に設けられた導電層（銅薄
膜）上に、感光性樹脂（フォトレジスト）層とそれを保
護する透光性樹脂フィルム（保護膜）とからなる積層体
フィルムを熱圧着（熱圧着ラミネートとも称される）す
る。この熱圧着は、フィルム張付装置（薄膜張付装置と
も称される）、いわゆるラミネータによる量産工程にお
いて行われる。

【０００４】前記のフィルム張付装置に関して、従来か
ら種々の技術が提案されている（例えば、出願人が既に
特開昭６３−２０８０３７号公報、特開平３−７３４４
号公報で提案したものがある）。

【０００５】図１８は、前記のような従来のフィルム張
付装置の構成例を示すものである。なお、図１８には、
絶縁性基板（以下単に基板という）の搬送経路を中心に
上・下の構成機器が略同様なため、当該経路から上部側
の構成のみを示している。

【０００６】フィルム張付装置においては、透光性樹脂
フィルム、感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムの３層
構造からなる積層体フィルム（以下、３層積層体フィル
ムという）が、供給ローラ２に連続的に巻き回されてい
る。該３層積層体フィルム１は、前記供給ローラ２から
巻き出され、その後、薄膜分離ローラ３で、透光性樹脂
フィルム１Ａと、１面（接着面となる）が露出された感
光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体フィ
ルム１Ｂとに分離される。分離された積層体フィルム１
Ｂは、テンションローラ９を経由してメインバキューム
プレート（フィルム供給部材）５の表面上に供給され
る。その後、積層体フィルム１Ｂの供給経路にはサブバ
キュームプレート１３とカッタ１４とが設けられ、その
先にバキュームバー１５及び圧着ロール１６が設けられ
ている。

【０００７】前記圧着ロール１６は、一般に、金属ロー
ルの表面をゴムシートで被覆した構造とされている。

【０００８】前記メインバキュームプレート５は、前記
積層体フィルム１Ｂを吸着して保持しながら、前記供給
ローラ２から基板６の導電層上に仮付けするためのもの
である。前記メインバキュームプレート５は、図１４に
示されるように、前記基板６に近接し且つ離反する（矢
印Ｂ方向に移動する）支持部材７に進退動可能に設けら
れている。

【０００９】前記この支持部材７は、ガイド部材８に摺
動して矢印Ｂ方向に移動可能なように装置本体（フィル
ム張付装置のフレーム部材）９に設けられる。又、支持
部材７は、前記基板６の搬送経路を中心に、上下、一対
に設けられており、上部の支持部材７と下部の支持部材
７とは、ラックアンドピニオン機構により連動的に動作
する。つまり、上下、一対の支持部材７には、各々にラ
ック７Ａが設けられており、この各々のラック７Ａと噛
合うピニオン７Ｂ（このピニオン７Ｂは前記装置本体９
に固定されている）が設けられて、図示しない駆動源の
駆動力が与えらることにより、連動的に動作する。

【００１０】又、前記メインバキュームプレート５は、
前記支持部材７の移動とは独立的に基板６に近接し且つ
離反する（矢印Ｃ方向に移動する）動作をするように、
支持部材７に設けられている。即ち、メインバキューム
プレート５は、支持部材７に設けられたシリンダ等から
なるラックアンドピニオン機構により前記のような動作
をする。このラックアンドピニオン機構は、支持部材７
に固着された第１のラック１２Ａと、第２の駆動源１１
により前記ラック１２Ａに沿い前後動し、且つ当該ラッ
ク１２Ａと噛合うピニオン１２Ｂと、前記ラック１２Ａ
と平行に移動し、且つ、前記ピニオン１２Ｂと噛合う第
２のラック１２Ｃとからなる。

【００１１】なお、前記メインバキュームプレート５の
先端には仮付部５Ａが設けられている。この仮付け部５
Ａはその内部に発熱体５Ｂが設けられている。メインバ
キュームプレート５で積層体フィルム１Ｂを基板に仮付
けするときには、前記仮付け部５Ａが積層体フィルム１
Ｂを巻き付けた状態で基板６に近接（あるいは当接）す
る。この際、前記仮付部５Ａは、前記発熱体５Ｂの発熱
により加熱されており、これにより積層体フィルム１Ｂ
の先端部を熱圧着により仮付けする。

【００１２】前記サブバキュームプレート１３は、前記
積層体１Ｂの供給方向の先端部を吸着し、前記仮付け部
５Ａに当該先端部を吸着（保持）させるように動作す
る。このサブバキュームプレート１３の動作は、支持部
材７に取付けられた、例えばエアシリンダからなる駆動
源１３Ａで、積層体１Ｂの供給経路に対して近接及び離
反（矢印Ｄ方向に移動）することにより行われる。又、
この動作は、メインバキュームプレート５が積層体フィ
ルム１Ｂを基板６に仮付けする際も行われる。

【００１３】前記カッタ１４は、積層体フィルム１Ｂを
基板６の寸法に応じた長さ分に切断するものである。前
記カッタ１４は、前記サブバキュームプレート１３に前
記供給経路を挟んで、対向して設けられる。

【００１４】前記圧着ロール１６は、基板搬送経路の上
・下に設けられており、上・下の圧着ロール１６は、積
層体フィルム１Ｂが仮付された基板６を所定圧力で挟
み、且つ、熱を加えることにより、該積層体フィルム１
Ｂを基板６に熱圧着する。

【００１５】前記のようなフィルム張付装置により、積
層体フィルム１Ｂを圧着するに際しては、圧着中に該フ
ィルム１Ｂと基板６との間に微細な気泡（空泡）が発生
することがあり、この気泡は、積層体フィルム１Ｂと基
板６の密着性を損ない、微細なライン幅を有する配線パ
ターンを絶縁基板上に形成する工程においてはラインの
部分的欠落の原因、換言すれば、圧着製品の不良の原因
になる。

【００１６】それ故、前記気泡の発生を防止し、積層体
フィルム１Ｂと基板６の密着性を良好にする必要があ
る。

【００１７】そこで、この気泡の発生を防止するには圧
着前の基板６に水等の空泡防止液を付着させるのが効果
的であるため、フィルム張付装置には、圧着前の基板６
に水等の空泡防止液を付着させるウェットローラ１８が
設けられている。例えば図１９は、従来のウェットロー
ラが基板６の搬送経路に設けられている状態を示すもの
である。図１９中１９は搬送ローラ（図示省略）を支持
する側板、１８Ａは給液ブロックである。

【００１８】図１９に示すように、前記従来のウェット
ローラ１８は、圧着ロール１６の入側方向において、搬
送される基板６の上・下面に接するように上・下に固定
して設けられている。なお、該ウェットローラ１８の従
来の構成例には、出願人が既に特開平３−７３４４号公
報で開示したものがある。即ち、前記公報に開示したウ
ェットローラ１８は主に給水パイプと、被覆層とを有し
ている。該給水パイプは、例えばステンレス等の錆び難
い金属あるいは硬質プラスチックからなる円筒体に複数
個の水供給孔が設けられて構成される。又、被覆層は、
当該給水パイプ表面上にスポンジ等の水を含み易い多孔
性物質からなる被覆層が設けられて構成される。

【００１９】前記ウェットローラ１８で基板６に空泡防
止液を付着させる際には、前記ウェットローラ１８（給
水パイプ）の軸方向端部から前記防止液を供給し、前記
供給孔を介して前記被覆層を湿らせる。上・下のウェッ
トローラ１８は、この各被覆層が前記基板６の上・下面
に転接して当該基板６に空泡防止液を付着させる。以
下、このような基板６に空泡防止液を付着させる運転を
ウェット運転という。

【００２０】一方、基板６には、空泡防止液を付着させ
なくてもよい種類のものがある。即ち、微細でないライ
ン幅を有する配線パターンを絶縁基板上に形成するよう
な場合に使う基板の場合がその例である。その種の基板
６は、前記ウェットローラ１８が設けられていないフィ
ルム張付装置で張付処理を行うか、あるいは、前記ウェ
ットローラ１８を基板搬送経路から取り外して張付処理
を行っていた。以下、このような基板６に空泡防止液を
付着させない運転をドライ運転という。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】ここで、基板６へのフ
ィルム張付操業を行う際に、空泡防止液を付着させる種
類の基板６に対するウェット運転と、付着させない種類
の基板６に対するドライ運転と適宜に交替して行う必要
が生じる場合がある。

【００２２】これに対して、空泡防止液を付着させるフ
ィルム張付装置と、当該液を付着させないフィルム張付
装置を各々設置し、それらを適宜に交替して操業するこ
とが考えられる。しかしながら、このように操業した場
合は、各張付装置は処理が断続的で、常にいずれかの張
付装置が休止状態となり、装置使用効率が悪い。

【００２３】又、１台のフィルム張付装置で、ウェット
運転とドライ運転を切り替えて行う場合、従来は、前記
のようにウェットローラを外し、ドライローラを配設す
る等してドライ運転に対処していた。しかしながら、従
来のフィルム張付装置では、ウェットローラを取り付け
たり取り外したりする作業は非常に繁雑で、手間及び時
間がかかり、特にウェットローラを基板搬送経路に適正
に位置決めするのに時間がかかってしまう。従って、頻
繁にウェット運転とドライ運転を切り替えて行う場合、
著しい作業負荷となり、更には、連続高速運転の大きな
障害となるという問題点が生じる。

【００２４】本発明は、前記従来の問題点を解消すべく
なされたもので、基板に空泡防止液を付着させるウェッ
ト運転と付着させないドライ運転の切替えを容易、且つ
短時間に行うことができるようにし、従って、このよう
な運転切替えが操業負荷増大の原因となることを防止
し、且つ、連続高速運転の障害を無くすことができるフ
ィルム張付装置を提供することを課題とする。

【００２５】

【課題を解決するための手段】本発明は、水等の空泡防
止液を基板に付着させるためのウェットローラを有し、
空泡防止液の付着された基板のフィルム張付面に圧着ロ
ーラによりフィルムを張付けるフィルム張付装置におい
て、ウェットローラの空泡防止液が基板に付着されるの
を防止するための液付着防止部材と、前記液付着防止部
材を、ウェットローラと基板搬送経路との間への挿入及
び脱出が自在のものとして、任意にウェット運転とドラ
イ運転との選択をするための運転選択手段とを備えたこ
とにより、前記課題を解決するものである。

【００２６】

【作用】本発明においては、フィルム張付装置におい
て、液付着防止部材を設け、これにより、ドライ運転時
にウェットローラの空泡防止液が基板に付着されるのを
防止すると共に、任意にウェット運転とドライ運転との
選択ができるようにする。

【００２７】従って、ウェット運転及びドライ運転との
切替えを容易、且つ、短時間に行うことができる。又、
頻繁にウェット運転とドライ運転とを切替えて行う場
合、この運転切替えが操業負荷増大の原因となることを
防止でき、又、連続高速運転の障害とならない。

【００２８】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。

【００２９】この実施例は、基板（絶縁性基板）６のフ
ィルム張付面に基板の長さに応じた積層体フィルム１Ｂ
を張付けるためのフィルム張付装置に本発明を実施した
ものである。

【００３０】図１は、実施例に係るフィルム張付装置の
全体的な構成を示すものである。

【００３１】又、図２は、前記張付装置の基板搬送路か
ら上方向の構成を中心に示したものである。

【００３２】図１及び図２に示されるように、前記フィ
ルム張付装置は、主に、基板６を仮付け及び圧着位置に
前進させて搬入するための搬入部２０と、前記積層体フ
ィルム１Ｂが圧着された基板６を搬出するための搬出部
２２と、透光性樹脂フィルム、感光性樹脂層及び透光性
樹脂フィルムの３層構造からなる３層積層体フィルム１
を蓄積し、一面（接着面）が露出された感光性樹脂層及
び透光性樹脂フィルムからなる積層体フィルム１Ｂを供
給するための積層体フィルム蓄積部２４と、供給された
積層体フィルム１Ｂを吸着し、基板６のフィルム張付面
に積層体フィルム１の先端側を仮付けするための仮付部
２６と、前記フィルム１Ｂが仮付けされた基板６に当該
フィルム１Ｂを圧着ローラ２８で熱圧着（熱圧着ラミネ
ート）させるための圧着部３０とを有する。

【００３３】即ち、図１及び図２に示されるように、前
記積層体フィルム蓄積部２４においては、前記３層積層
体フィルム１が、供給ローラ２に連続的に巻き回されて
蓄積されている。巻き回された積層体フィルム１は、巻
き出されて、ガイドローラ３２を介してフィルム分離ロ
ーラ（フィルムの分離部材）３に至る。このフィルム分
離ローラ３は、前記積層体フィルムを、透光性樹脂フィ
ルム（保護膜）１Ａと、前記一面（接着面）が露出され
た感光性樹脂層及び透光性樹脂フィルムからなる積層体
フィルム１Ｂとに分離するものである。分離された透光
性樹脂フィルム１Ａは、ガイドローラ３４を介して前記
巻き回されている積層体フィルム１上を接動し、巻取ロ
ーラ４に巻取られるようになっている。なお、巻き回さ
れて積層体フィルム１の側面側には、フィルムの蓄積さ
れている量を、フィルム巻径から検出する巻径検出セン
サ、即ち、フィルム巻径が所定に大きいことを検出する
大径用フィルム巻径検出センサ３６Ａと、フィルム巻径
が所定に小さいことを検出する小径用フィルム巻径検出
センサ３６Ｂが設けられる。

【００３４】前記搬入部２０には、基板６に駆動力を与
えて搬送するための駆動ローラ３８が、搬入経路に沿っ
て、適宜の間隔で複数設けられている。この駆動ローラ
３８は、図示されないモータ等の駆動手段から駆動力が
与えられて駆動する。又、この駆動ローラ３８の１つお
き（又は、適宜の駆動ローラ３８）のものの搬送経路を
挟んで対向する位置には、回動自在な従動ローラ４０が
設けられている。この従動ローラ４０は、駆動ローラ３
８と共に基板６を挟んで、基板６に確実に駆動力を付与
するものである。

【００３５】又、前記搬送経路に沿い、且つ、駆動ロー
ラ３８間の適宜の箇所には、前記基板６の幅方向位置を
所定位置に合せるための幅寄せ器４２が設けられてい
る。

【００３６】又、前記駆動ローラ３８のうち、圧着部３
０側終端のものの搬送経路を挟んで対向する側には、回
動自在な基板押えローラ４６が設けられている。例えば
この基板押えローラ４６はエアシリンダからなる基板押
え部材４４により上昇及び下降する。この基板押えロー
ラ４６は、基板押え部材４４により下降したときに、当
該駆動ローラ３８と共に基板６を挟持して、積層体フィ
ルム１Ｂが仮付け又は熱圧着される際の基板６の上下方
向の揺動を制止するものである。

【００３７】又、前記終端の駆動ローラ３８の搬送方向
下流側には、熱圧着される積層体フィルム１Ｂと基板６
との間に気泡（空泡）が生じるのを防止するため、水等
の空泡防止液を基板６に塗布するためのウェットローラ
４８Ａ、４８Ｂが設けられている。

【００３８】なお、前記基板６の搬送経路の近傍には、
基板６を検出する各センサＳ１〜Ｓ３が設けられる。搬
送経路の上流側に設けられたセンサＳ１は、前記搬入部
２０中に送られてきた基板６の例えば先端位置を検出し
て、その検出信号により、前記幅寄せ器４２を作動させ
るための幅寄せ開始センサＳ１である。又、この幅寄せ
開始センサＳ１の下流側に設けられたセンサＳ２は、基
板６の後端部を検出するための基板後端検出センサＳ２
である。又、前記圧着部３０入側に設けられたセンサＳ
３は、基板６の先端部を検出するための基板先端検出セ
ンサＳ３である。

【００３９】前記搬出部２２には、基板６に駆動力を与
えて搬送するための、図示されない駆動モータで駆動さ
せる出側駆動ローラ５０が複数設けられる。その駆動ロ
ーラ５０の適宜のものには、搬送経路を挟んでに対向す
る位置に、回動自在な従動ローラ５２が設けられてい
る。この従動ローラ５２は、前記駆動ローラ５０と共に
基板６を挟んで、基板６に確実に駆動力を付与するため
のものである。又、この搬出部２２の圧着部３０出側近
傍には、基板６の通過したことを検出するための基板通
過検出センサＳ４が設けられる。

【００４０】前記仮付部２６には、前記積層体フィルム
蓄積部２４から供給された積層体フィルム１Ｂが、テン
ションローラ５４を介して搬送されるようになってい
る。なお、このテンションローラ５４は、前記供給ロー
ラ２とメインバキュームプレート（フィルム供給部材に
相当）５６との間の積層体フィルム１Ｂに適度な張力を
与えるものである。この適度な張力により前記メインバ
キュームプレート５６に供給する積層体フィルム１Ｂに
はしわ等が生じない。

【００４１】又、前記テンションローラ５４出側からメ
インバキュームプレート５６迄の積層体フィルム１Ｂ供
給経路上には、当該積層体フィルム１Ｂの静電気を除去
する静電気除去器５８が設けられている。

【００４２】又、メインバキュームプレート５６と前記
圧着部３０間の積層体フィルム搬送路上には、先端巻き
付けフィルム保持部材６０と、カッタ６２と、サポート
ローラ６４が設けられている。

【００４３】前記メインバキュームプレート５６は、前
記供給ローラ２から送られてきた積層体フィルム１Ｂの
先端側を吸着し、且つ、搬送された基板６の搬送方向先
端部に近接して、当該基板６先端部表面（上・下の両表
面）に積層体フィルム１Ｂの先端側を仮付けするよう作
動するものである。なお、このメインバキュームプレー
ト５６は取付け部材６６に固着されて当該取付部材６６
と一体的に作動し、且つ、上・下のメインバキュームプ
レート５６が同調して動作し、基板６に同時に接近して
仮付けするようになっている。

【００４４】前記先端巻き付けフィルム保持部材６０
は、前記積層体フィルム１Ｂの先端側を負圧により吸引
し、基板搬送方向（図１中に、矢印Ａの方向）に後退す
ることによりメインバキュームプレート５６の先端側フ
ィルム仮付け部５６Ａに当該積層体フィルム１Ｂを吸着
させるものである。

【００４５】前記カッタ６２は、円筒部材の外周面にや
や螺旋を描くように切断刃が設けられた回転刃６２Ａと
直線状の切断刃からなる固定刃６２Ｂを有するものであ
る。固定刃６２Ｂ上を搬送される積層体フィルム１Ｂ
を、前記回転刃６２Ａの回転によりフィルム１Ｂをその
搬送方向に直角に切断するものである。カッタ６２は回
転刃６２Ａが回転することにより、回転刃６２Ａ及び固
定刃６２Ｂ同士を接近させて積層体フィルム１Ｂを基板
６の寸法に応じた所定の長さに切断するものである。こ
のカッタ６２は積層体フィルム１Ｂを供給する方向に直
角に切断するため、積層体フィルム１Ｂ供給中に回転刃
６２Ａ及び固定刃６２Ｂの長手方向片側を供給方向に移
動させ、カッタ６２の切断点が供給方向に移動する速度
を前記フィルム１Ｂの供給速度と同調するようになって
いる。

【００４６】前記サポートローラ６４は、カッタ６２及
び圧着ローラ２８間のフィルム供給経路上に前記メイン
バキュームプレート５６の吸着面上のフィルム供給経路
と同一平面に接するように設けられたローラからなるも
のである。

【００４７】前記サポートローラ６４は、圧着ローラ２
８に送られる積層体フィルム１Ｂが、前記カッタ６２で
切断された後の、しわ等が寄らないように当該ロール２
８に円滑に送るように導くものである。

【００４８】前記メインバキュームプレート５６が固着
される取付部材６６は、図１に示すように、上と下で同
様の構成を有し、これら取付部材６６を、同調して基板
方向に移動させるため、各取付部材６６にはラックギヤ
６８が設けられると共に、当該ラックギヤ６８の双方に
噛合うピニオンギヤ７０が設けられる。

【００４９】又、前記取付部材６６は、ガイドレール７
２上を摺動して移動し、このガイドレール７２に従った
取付け部材６６の移動方向がメインバキュームプレート
５６の移動方向となるようになってる。

【００５０】前記ピニオンギヤ７０は、フィルム張付装
置の本体フレームの一定位置で回動するため、ラックギ
ヤ６８と共に上・下のメインバキュームプレート５６を
同調動作させる。又、前記ピニオンギヤ７０は、図示さ
れないサーボモータ（メインバキュームプレート駆動用
サーボモータ）で駆動される。上・下の取付部材６６に
はバキュームプレート５６幅方向に一対設けられたシリ
ンダ（図示省略）のシリンダ管体、ピストンロッドがそ
れぞれ連結され、上・下の取付部材６６が連動するよう
になっている。なお、実施例では、基板６から所定距離
となるまでは前記サーボモータで前進させる。その後、
サーボモータをフリーにし、シリンダで駆動して仮付け
し、仮付け後、基板からの離反はシリンダで行うように
なっている。

【００５１】前記圧着部３０には、前記積層体フィルム
１Ｂを基板上に熱圧着するための圧着ローラ２８と共
に、当該圧着ローラ２８が軸支され、当該圧着ローラ２
８を前後動させるように保持する圧着ローラ保持部材７
４と、当該圧着ローラ２８の周囲を、前記積層体フィル
ム１Ｂを吸着しながら回動するバキュームバー７６と、
前記圧着ローラ２８に付着した水等の空泡防止液を拭き
取るための圧着ローラ拭き取りローラ７８と、圧着後の
基板６の表面の空泡防止液を拭き取るための基板拭き取
りローラ８０と、上・下に対称となる圧着ローラ保持部
材７４を揺動させて、圧着ローラ２８で積層体フィルム
１Ｂを基板６上に圧着させるための圧着ローラ上下移動
用エアシリンダ８２を有する。

【００５２】圧着ローラ保持部材７４の基板６搬出側に
は、前記基板６に付着した残余の空泡防止液を拭き取る
ための基板拭き取りローラ８０が回動自在に設けられて
いる。

【００５３】なお、前記圧着ローラ上下移動用エアシリ
ンダ８２は、左右で上下に対になっている圧着ローラ保
持部材７４に対して一つずつ設けられている。

【００５４】ここで、実施例のフィルム張付装置は、ウ
ェットローラ４８Ａ、４８Ｂを取り付けたまま、任意に
ウェット運転とドライ運転とを切替え可能なように、図
３乃至図１１に示すように、上下のウェットローラ４８
Ａ、４８Ｂが、それぞれ独立して上昇下降するようにな
っており、且つ、ドライ運転時にウェットローラ４８
Ａ、４８Ｂの空泡防止液が基板６に付着されるのを防止
するための液受部（液付着防止部材に相当）９０を設け
ている。

【００５５】ここで、ウェットローラ４８及び液受部材
９０と、その周辺の詳細な構成を、図３乃至図１１に基
づき説明する。

【００５６】図３は、搬入部２０のウェットローラ４８
周辺を圧着ローラ２８方向から見た斜視図である。

【００５７】又、図４は、下のウェットローラ４８Ｂの
軸受機構を中心に基板６搬入方向から見た斜視図であ
り、上のウェットローラ４８Ａの軸受機構は取り外した
状態を示している。又、図５は、前記上側ウェットロー
ラ４８Ａの軸受機構を詳細に示すものであり、（Ａ）は
平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は側面図である。

【００５８】図３に詳細に示すように、ウェットローラ
４８は、前記搬入部２０の基板進行方向先端に設けられ
ており、上側のウェットローラ４８（以下、符号４８Ａ
で示す）と下側のウェットローラ４８（以下、符号４８
Ｂで示す）が対向して、基板６の上・下面に空泡防止液
を塗布するように配置されている。このウェットローラ
４８Ａ、４８Ｂは、いずれも給液パイプを軸とし、その
被覆層を有し、被覆層の軸方向長さが基板６の幅方向長
さより十分長くなっている。なお、この給液パイプ及び
被覆層は、出願人が既に特開平３−７３４４号公報で開
示したものと同様であるため、その説明は略する。但
し、これは一例であり、ウェットローラ４８Ａ、４８Ｂ
には、他の構成のものを用いることができる。

【００５９】前記ウェットローラ４８Ａ、４８Ｂは、給
液パイプの軸が被覆層よりも長く基板６幅方向に延びて
おり、被覆層の設けられている箇所の両端には、給液ブ
ロック９２が設けられている。該給液ブロック９２は、
ウェットローラ４８Ａ、４８Ｂの給液パイプに連通する
構造となっており、該ブロック９２を介して外部から供
給された空泡防止液は、該給液パイプ更には被覆層に供
給されて、ウェット運転がされる。

【００６０】前記各ウェットローラ４８Ａ、４８Ｂの各
給液ブロック９２には、図４及び図５に詳細に示すよう
に、共に、その垂直方向に貫通するガイドピン９２Ａが
設けられている。このガイドピン９２Ａに係止されたス
プリング部材９２Ｂで各ウェットローラ４８Ａ、４８Ｂ
が互いに対向する方向へ押圧される。前記ガイドピン９
２Ａとスプリング部材９２Ｂの構成は、詳細には図６に
示されている。

【００６１】前記ウェットローラ４８Ａ、４８Ｂの給水
ブロック９２より更に延びた先には、上下のウェットロ
ーラ４８Ａ、４８Ｂ各々の軸受機構が設けられている。

【００６２】図４及び図５に示すように、前記ウェット
ローラ４８Ｂの軸受機構は、軸受ブロック９４Ａと、軸
受ブロック保持部材９４Ｂと、位置移動用つまみ９４Ｃ
とから主に構成される。

【００６３】前記軸受ブロック９４Ａは、前記ウェット
ローラ４８Ｂの軸を図示しないベアリングで軸支する。
又、前記軸受ブロック保持部材９４Ｂは、前記軸受ブロ
ック９４Ａを左右（基板６搬送方向に沿う）及び上下か
ら囲んでおり、左右の該部材９４Ｂ間で該ブロック９４
Ａを上下動させると共に、上下の該部材９４Ｂで該上下
動範囲を決める。なお、上下の前記部材９４Ｂには、軸
受ブロック９４Ａの上下動範囲を決めるため、位置めね
じ９４Ｄが設けられる。又、前記位置移動つまみ９４Ｃ
の下端の雄ねじに軸受ブロック９４Ａの上端の雌ねじが
螺合しており、前記位置移動つまみ９４Ｃを回転させる
ことにより、軸受ブロック９４Ａは、前記保持部材９４
Ｂ中を上下に摺動する。

【００６４】従って、使用者は、前記位置移動つまみ９
４Ｃを回転させれば、下のウェットローラ４８Ｂに任意
の上下位置が選べる。なお、前記ウェットローラ４８Ｂ
の軸は、前記軸受ブロック９４Ａよりも更に延びて当該
延びた部分に歯付プーリ９６が嵌合される。又、駆動ロ
ーラ３８の軸は、一方の軸端部が軸受３８Ａから延び
て、そこに歯付プーリ９６Ｂが設けられており、各歯付
プーリ９６により、駆動ローラ３８の駆動力が、タイミ
ングベルト９８を介してウェットローラ４８Ｂに伝達さ
れる。又、図４に示すように、上下のウェットローラ４
８Ａ、４８Ｂの軸上で側板１９内側には互いに噛み合う
歯車１００が設けられ、この歯車１００により、上下の
ウェットローラ４８Ａ、４８Ｂが同調して回転する。
又、図３及び図４に示すように、側板１９の各ウェット
ローラ４８Ａ、４８Ｂ軸が通る箇所には、上方向に延
び、且つ開放された切り欠き１１０が形成される。

【００６５】又、前記駆動ローラ３８と対向してピンチ
ローラ１０２が設けられる。このピンチローラ１０２
は、自重により基板６上面を押圧して、基板６がウェッ
トローラ４８Ａ、４８Ｂに水平の状態で通るようにす
る。又、このピンチローラ１０２の軸方向長さ及び取付
け位置は、偏った基板６が搬送されてきたとしても、ピ
ンチローラ１０２が当該基板６の一部を押え得るような
位置及び幅となっている。なお、ピンチローラ１０２
は、軸の周りに例えばウレタン樹脂製の被覆層が巻かれ
て構成されており、当該軸端部を、ピンチローラ保持部
材１０４の下面に垂下される保持板１０４Ａに回動及び
上下動自在に支持される。前記保持部材１０４は、基板
６幅方向に沿って延びて、側板１９に載置固定される。

【００６６】図６は、上のウェットローラ４８Ａの軸受
機構を中心に示した斜視図、又、図７（Ａ）は該ウェッ
トローラ４８Ａの平面図、図７（Ｂ）は該ウェツトロー
ラ４８Ａの正面図、図７（Ｃ）は図７（Ｂ）のＡ−Ａ線
断面図である。図６及び図７は、下のウェットローラ４
８Ｂの軸受機構は軸受ブロック９４Ａ以外は取り外した
状態を示している。

【００６７】又、図６及び図７に示すように当該上のウ
ェットローラ４８Ａの軸受機構は、当該ウェットローラ
４８Ａの給液ブロック９２から延びたウェットローラ４
８Ａ軸を、基板６搬送方向斜め上方に解放されたフック
１０８により支持する。このフック１０８は、フック保
持部材１０８Ａ中に上下動可能に取付けられており該フ
ック保持部材１０８Ａには、第２の移動つまみ１０８Ｄ
から下側に延びたねじが螺合する。従って、使用者が当
該つまみ１０８Ｄを回転させれば上のウェットローラ４
８Ａに任意の上下位置が選べる。

【００６８】前記上のウェットローラ４８Ａは、前記の
ようにフック１０８で支持するため、軸受機構の構成が
簡単である。又、フック１０８を取り外さなくても、ウ
ェットローラ４８Ａを取り外すことができるため、取り
扱いが容易である。

【００６９】図８は、前記上、下のウェットローラ４８
Ａ、４８Ｂ（図中二点鎖線で示す）を略し、前記液受部
材９０を中心に基板出側から出た搬送ロール２０を示す
ものである。又、図９は、上下のウェットローラ４８
Ａ、４８Ｂ間に、液受部材９０を設けた状態の平面図で
ある。又、図１０（Ａ）は、図９のＸＡ−ＸＡ線断面
図、同（Ｂ）は、図９のＸＢ−ＸＢ線断面図、図１１は
図９のＸＩ−ＸＩ線断面図である。なお、図８乃至図１
１には、前記図３と共に、ドライ運転状態を示してい
る。

【００７０】図８乃至図１１に示すように、前記液受部
材９０Ａ、９０Ｂは、１つの辺が基板６の搬送経路と平
行方向となっている断面が略Ｌ字形状で、且つ、長手方
向がウェットローラ４８Ａ、４８Ｂの軸方向に沿う形板
材を上下に対向して設ける。前記液受部材９０Ａ、９０
Ｂの対向した面の基板搬送方向への長さは、ウェットロ
ーラ４８Ａ、４８Ｂの外径よりも長く、空泡防止液が基
板６に垂れないようにする。上の液受部材９０Ａは、特
に、空泡防止液の垂れがないように、基板６出側が斜め
上方へ曲げられる。又、上下の液受部材９０Ａ、９０Ｂ
は、その長手方向端部Ｂは、一括して液受保持部材１１
２に、幅方向端部で支持される。なお、上下の液受部材
９０Ａ、９０Ｂの対向間隔は、基端６を抵抗なく通せる
幅とする。

【００７１】前記液受保持部材１１２は、側板１９内側
に固着されたスライドベース１１４上に載置され、且
つ、押え板１１６を介してねじ止めされる。

【００７２】なお、前記軸受保持部材１１２は、スライ
ドベース１１４上において長孔を有するように構成され
ており、ねじを弛めて前後動させて、位置が決まったな
らば、押え板１１６をねじ止めして位置決めする。

【００７３】又、前記液受保持部材１１２には、上方に
向かって取手ロッド１１８が取付けられる。

【００７４】この取手ロッド１１８は、ドライ運転とウ
ェット運転を切り替えるに際して、使用者がこの取手ロ
ッド１１８をもって前後動させることにより、液受部材
９０Ａ、９０Ｂを前後動させ、運転切替えを行うもので
ある。実施例では、この運転状態が一目で分かるよう
に、取手ロッド１１８に切替え矢印板１２０を設け、ピ
ンチローラ保持部材１０４の表面上に切替え表示板１２
０Ａを設けている。運転を切り替えるため、取手ロッド
１１８を操作すれば、矢印板１２０の指示が変わり、現
在どのような運転状態かを一目で確認することができ
る。

【００７５】又、図３にも示したが、図８及び図９に示
すように、ウェットローラ４８Ａ、４８Ｂの出側には、
サポートローラ１２２が設けられる。このサポートロー
ラ１２２は、ウェットローラ４８Ａ、４８Ｂ、あるいは
液受部材９０Ａ、９０Ｂを通過中の基板６が水滴受プレ
ート１２４に擦れる等して、不具合が生じるのを防止す
るためのローラである。なお、サポートローラ１２２は
左右に分割されて水滴受プレート１２４に取付けられて
いる。サポートローラ１２２の間の水滴受プレート１２
４の近傍には、前記基板先端位置検出センサＳ３が設け
られており、サポートローラ１２２により、このセンサ
Ｓ３に基板６があたってしまうことを防止する。又、水
滴受プレート１２４の下には、ドレンパン１２６が設け
られており、ウェットローラ４８Ａ、４８Ｂの空泡防止
液が機械下部のベースや床面に垂れることを防止する。

【００７６】前記実施例のフィルム張付け装置の制御系
の信号経路を図１２に示す。

【００７７】図１２に示すように、この制御系は、各セ
ンサＳ１〜Ｓ４と共に、各シリンダ前・後端の検出セン
サ（図示省略）やフィルム巻径の各センサ３６Ａと３６
Ｂの検出信号に従って、中央制御ユニット１３０が各シ
リンダ用ソレノイド及び各モータの制御信号を出力す
る。又、カウンタやタイマの機能も有する。この中央制
御ユニット１３０は、図１３に示す手順に従って前記フ
ィルム張付装置を制御する。この中央制御ユニット１３
０は、例えばプログラマブルコントローラやリレーシー
ケンス回路により構成することができる。

【００７８】次に、実施例の作用を説明する。

【００７９】実施例に係るフィルム張付装置は、主に図
１３の手順に従って作動するが、この作動の前に、当該
処理すべき基板６がウェット運転するべきものか、ドラ
イ運転するべきものかの情報により、運転状態を設定す
る。

【００８０】即ち、この運転状態の設定は、前記図３か
ら図１１に示したように、押え板１１６のねじを弛め
て、取手ロッド１１８の操作により、液受部材９０Ａ、
９０Ｂを移動させて所望の運転状態に設定する。ウェッ
ト運転する場合は、図３の基板搬送方向とは逆方向へ液
受部材９０Ａ、９０Ｂを移動させる。又、ドライ運転状
態のときは、液受部材９０Ａ、９０Ｂを基板６の搬送方
向へ移動させる。移動が適正に行われたか否かは、切替
え矢印板１２０が切替え表示板１２０Ａのいずれの表示
を指し示しているかで確認することができる。表示を確
認後、押え板１１６をねじ止めし、液受保持部材１１２
ひいては液受部材９０Ａ、９０Ｂの固定を行う。

【００８１】運転状態を設定した後、前記フィルム張付
装置は、図１３の手順に従って作動する。

【００８２】先ず、積層体フィルム１Ｂの張付け開始準
備状態に手動により設定する（ステップ１）。即ち、十
分な三層積層体フィルム１が巻き回された供給ローラ２
をこのフィルム張付装置に設置する。次いで、前記三層
積層体フィルム１をガイドローラ３２からフィルム分離
部材３に通過させて、透光性樹脂フィルム１Ａ、積層体
フィルム１Ｂに分離する。フィルム分離部材３で分離さ
れた積層体フィルム１Ｂをメインバキュームプレート５
６からカッタ６２の先まで送る。この場合、カッタ６２
の回転刃６２Ａは、手動により固定刃６２Ｂと離すこと
ができ、その間に前記積層体フィルム１Ｂを通す。

【００８３】次いで、積層体フィルム１Ｂをカッタ６２
で切断する（ステップ２）。即ち、回転刃６２Ａ及び固
定刃６２Ｂを傾斜させない状態で手動により回転刃６２
Ａを回転させてフィルム１Ｂを切断する。

【００８４】次いで、メインバキュームプレート５６、
圧着ローラ２８等を原位置とする（ステップ３）。この
場合、メインバキュームプレート５６は、上昇端からあ
る程度下がると共に、メインバキュームプレート５６と
先端巻き付けフィルム保持部材６０のフィルム搬送面側
は一致する状態とする。

【００８５】次いで、自動運転を開始する（ステップ
４）。

【００８６】即ち、自動運転が開始すると、前記フィル
ム保持部材６０が積層体フィルム１Ｂを吸着しながら基
板搬送方向に移動する。これにより、積層体フィルム１
Ｂは、メインバキュームプレート５６の先端の仮付け部
５６Ａに巻き付けられる。

【００８７】一方、基板の搬入部２０においては、基板
６が搬送されてきて、幅寄せ開始位置センサＳ１で当該
基板６が検出されると、該基板６は、幅寄せ装置４２で
幅寄せされ、所定の幅方向位置になる。

【００８８】次いで、幅寄せされた基板６を搬送方向に
進行させ、当該基板の先端を基板先端検出センサＳ３で
検出すると、その検出信号に従って、中央制御ユニット
１２０がカウンタのカウントを始める。このカウント
は、予め設定された所定時間をカウントして、基板６の
搬送方向先端部を仮付け位置に停止させる。又、前記基
板先端検出センサＳ３の信号により、前記中央制御ユニ
ット１２０の他のカウンタがカウントを開始する。該カ
ウンタが所定時間カウントすると、前記先端巻き付けフ
ィルム保持部材６０が基板搬送方向出側に後退して、メ
インバキュームプレート５６の仮付部５６Ａに積層体フ
ィルム１Ｂを巻付ける。

【００８９】なお、前記メインバキュームプレート５６
が前進して仮付けするまでに、基板押えローラ４６は、
基板押え部材４４の駆動により基板６方向に下降し、駆
動ローラ３８と共に基板６を挟み付ける。又、前進する
基板６には、ウェットローラ４８で空泡防止液が塗布さ
れる。

【００９０】次いで、メインバキュームプレート５６の
前進により、積層体フィルム１Ｂを基板６に仮付けする
（ステップ７）。

【００９１】即ち、前記他のカウンタが作動しながら、
上・下のメインバキュームプレート５６は、ラックギヤ
６８及びピニオンギヤ７０により同調しながらメインバ
キュームプレート駆動用サーボモータ（図示省略）の駆
動により、基板６の上・下面に向かって前進してくる。
この場合、基板６の上・下面表面上の例えば２cm手前の
位置で、メインバキュームプレート駆動用サーボモータ
の駆動を停止する。その後、メインバキュームプレート
駆動用エアシリンダ（図示省略）の駆動力で上下のメイ
ンバキュームプレート５６を前進させ、仮付部５６Ａを
基板６上・下表面に接近させる。この際、メインバキュ
ームプレート幅方向（積層体フィルム１Ｂ幅方向に沿
う）両端に設けられた一対のエアシリンダで仮付けの押
圧力を与える。このため、基板６の両面には、同じ力で
積層体フィルム１Ｂを仮付けすることができる。なお、
この際、前記サーボモータの駆動力は、前記サーボモー
タのブレーキが解放され回転自在になるため、ピニオン
ギヤ７０へは伝達されないようになっている。

【００９２】次いで、メインバキュームプレート５６を
基板６から離す方向へ後退させ、圧着ローラ２８は、前
記メインバキュームプレート５６の仮止め部５６Ａと干
渉し合わないように前進させて、当該圧着ローラ２８で
前記仮止めされた積層体フィルム１Ｂの圧着を開始する
（ステップ８）。

【００９３】次いで、積層体フィルム１Ｂの圧着ローラ
２８による圧着が進行していき、基板６に張付けるべき
積層体フィルム１Ｂの後端がカッタの位置まできたと
き、メインバキュームプレート５６による積層体フィル
ム１Ｂの吸着、及びカッタ６２による当該フィルム１Ｂ
の切断を行う（ステップ９）。

【００９４】即ち、カッタ６２の切断点が積層体フィル
ム１Ｂの供給速度と応じた積層体フィルムを供給方向に
直接に切断可能な傾斜をカッタ６２に与えて、カッタ６
２で切断を開始させる。この切断により、積層体フィル
ム１Ｂは搬送方向に直角に切断される。

【００９５】なお、切断中及び切断後、積層体フィルム
１Ｂはサポートローラ６４で誘導される。このため、圧
着ローラ２８の径が小さいものであっても、積層体フィ
ルム１Ｂは固定刃６２Ｂに摺動することなく送られる。
又、圧着中及び切断後にバキュームバー７６の吸引が開
始されており、このバキュームバー７６は、積層体フィ
ルム１Ｂを吸着しながらその外周面上を滑らせて、熱圧
着させる。熱圧着するべき積層体フィルム１Ｂの後端部
に近くなったならば、バキュームバー７６は、基板６に
接近するように圧着ローラ２８の周囲を旋回動し、熱圧
着が終了する直前まで吸着動作を行う。これにより、積
層体フィルム１Ｂに適度な張力を与え、積層体フィルム
１Ｂにしわ等が発生することを防止している（ステップ
９）。なお、カッタ６２による前記積層体フィルム１Ｂ
の切断開始から、メインバキュームプレート５６及び先
端巻き付けフィルム保持部材６０は吸着動作を行い、積
層体フィルム１Ｂを吸着し、積層体フィルム１Ｂの熱圧
着速度と等速で基板６に接近しつつカッタ６２がフィル
ムの切断を行い、切断終了後、直ちにメインバキューム
プレート５６と先端巻き付けフィルム保持部材６０の基
板６への接近動作が停止する。

【００９６】次いで、積層体フィルム１Ｂの熱圧着動作
を続行するか否かを判断する。続行するならば、ステッ
プ５から再び圧着作業を続行する。又、続行しないなら
ば、この作業を終了する。

【００９７】なお、前記実施例においては、ウェットロ
ーラ４８Ｂは、これを支持する軸受ブロック９４Ａと螺
合する位置移動ツマミ９４Ｃを回転させることにより、
又、ウェットローラ４８Ａはフック保持部材１０８Ａに
螺合する第２の移動つまみ１０８Ｄを回転させることに
より、それぞれ任意に上下位置を選択できるようになっ
ているが、本発明はこれに限定させるものではなく、他
の構成であってもよい。

【００９８】例えば、図１４〜１７に示される本発明の
第２実施例のように、左右同期して駆動させるカム機構
によってウェットローラ４８Ａ及び４８Ｂを上下動させ
るようにしてもよい。

【００９９】以下この構成を図面を参照して詳細に説明
する。なお前記第１実施例におけると同一又は相当部分
には、これらと同一の符号を付すことにより説明を省略
するものとする。

【０１００】この実施例は、ウェットローラ４８Ａ及び
４８Ｂを、これらの上方を平行に横断して配置された連
動軸１４０を介してクランク１４２により左右同期して
上下動、即ち、両ウェットローラ４８Ａ、４８Ｂ間の間
隔を調整できるようにしたものである。

【０１０１】前記連動軸１４０の両端には、各々１８０
°位相をずらした偏心カム１４４、１４６が取付られて
いる。連動軸１４０の中心側の一対の偏心カム１４４、
１４４は、それぞれ第１実施例におけるフック１０８に
相当するフック部１４５Ａを、偏心量に応じて上下動す
ることにより、ウェットローラ４８Ａを上下動させるよ
うになっている。

【０１０２】即ち、偏心カム１４４は四角枠形状のカム
フォロワー１４５と摺動自在に係合して、これと共に確
動カムを構成し、該カムフォロワー１４５の下端には、
前記ウェットローラ４８Ａの軸を支持するフック部１４
５Ａが一体的に形成されている。

【０１０３】前記左右一対の偏心カム１４４の外側に配
置された偏心カム１４６は、コ字枠形状のカムフォロワ
ー１４７と摺動自在に係合されている。このカムフォロ
ワー１４７は、前記ウェットローラ４８Ｂを支持する軸
受ブロック９４Ａの上端に結合され、偏心カム１４６の
回転に従い、軸受ブロック９４Ａ及びこれに支持される
ウェットローラ４８Ｂを上下動するようにされている。

【０１０４】前記連動軸１４０の、偏心カム１４６から
更に突出した端部にはクランク１４２が着脱自在に係合
するように面取部１４０Ａが形成されている。

【０１０５】図の符号１４８は連動軸１４０の中間継
手、１５０は前記連動軸１４０を回転自在に支持すると
共に、カムフォロワー１４５を上下方向摺動自在に支持
するための支持ブロックを示す。この支持ブロック１５
０は側板１９にこれを跨座するように取付固定されてい
る。

【０１０６】ここで、前記カムフォロワー１４５は、支
持ブロック１５０に形成された縦溝１５０Ａにより上下
方向摺動自在に支持され、且つ、該縦溝１５０Ａの外側
に取付けられたストッパプレート１５０Ｂにより脱落し
ないようにされている。

【０１０７】前記外側の偏心カム１４６の更に外側位置
にはクリック機構１５２が設けられている。このクリッ
ク機構１５２は、連動軸１４０に、偏心カム１４６の外
側位置で固定されたクリック溝付リング１５４と、該ク
リック溝付リング１５４の外周面に対向して前記支持ブ
ロック１５０から突出配置されたブラケット１５６先端
に支持されたクリックボール１５８とから構成されてい
る。

【０１０８】このクリックボール１５８は、プランジャ
１５８Ａ内のばね１５８Ｂにより、クリック溝付リング
１５４方向に付勢されている。

【０１０９】該クリック溝付リング１５４には、図に示
されるように１８０°間隔で一対のクリック溝１５４
Ａ、１５４Ｂが形成され、連動軸１４０を回転すると
き、１８０°間隔で節度感が得られるようにしている。

【０１１０】又、クリック溝付リング１５４外周には、
該クリック溝付リング１５４及び連動軸１４０が、１８
０°の間隔でのみ往復揺動できるようにストッパピン１
５４Ｃ及び１５４Ｄが設けられている。

【０１１１】前記偏心カム１４４及び１４６は、１８０
°位相がずれて連動軸１４０に取付けられているので、
この連動軸１４０をクランク１４２によって回転する
と、図１５に示されるように、連動軸１４０を１８０
°、即ちストッパピン１４０Ｃがその時計方向にストロ
ークエンドとなっている状態から、反時計方向に回転し
てストッパピン１５４Ｄが反時計方向にストロークエン
ドとなるまで回転することによって、カムフォロワー１
４５と１４７は、高さ方向に最も接近した位置及び離間
した位置をとる。

【０１１２】このときのウェットローラ４８Ａと４８Ｂ
間は両者が接触した状態から、偏心カム１４４及び１４
６のリフトの和に等しいだけ開いた状態の間で上下方向
に位置が変化させることになる。

【０１１３】この実施例では、上下のウェットローラ４
８Ａ、４８Ｂをその軸方向両端で同期してしかも装置の
一方の側からクランク１４２で連動軸１４０を駆動する
ことによって、左右同期して上下動されるので両ウェッ
トローラ４８Ａ、４８Ｂ間の距離を軸方向に等しくする
ことができると共に、操作が簡単であり、更に、両ウェ
ットローラ４８Ａ、４８Ｂ間を迅速に開閉することがで
きる。

【０１１４】又、この実施例ではクランク１４２が連動
軸１４０に着脱自在とされているので、不要な場合はク
ランク１４２を取り外しておくことができ、狭いスペー
スでの設置も可能となる。

【０１１５】なお上記実施例において、偏心カム１４４
と１４６はその位相差が１８０°とされているが、本発
明はこれに限定されるものでなく、位相差は１８０°よ
り小さい角度又は大きい角度としてもよい。

【０１１６】又、この実施例では、連動軸１４０により
偏心カム１４４、１４６を回転させることによって上下
のウェットローラ４８Ａ、４８Ｂ間の距離を調整してい
るが、本発明はこれに限定されるもでなく、例えば連動
軸１４０によってスクリュー機構を駆動して、ウェット
ローラ４８Ａ、４８Ｂ間の距離を調整するようにしても
よい。

【０１１７】更に、上記実施例は、図１及び図２に示す
フィルム張付装置に対して、図３〜図１１に示すウェッ
ト／ドライ運転が切替え可能なウェットローラ４８Ａ、
４８Ｂを適用して実施していたが、本発明のウェットロ
ーラ４８Ａ、４８Ｂを用いることができるフィルム張付
装置は、図１及び図２の構成のものに限定されず、他の
いずれの種類のフィルム張付装置でも本発明のウェット
ローラを用いることができる。

【０１１８】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、基
板に空泡防止液を付着させる運転（ウェット運転）と、
付着させない運転（ドライ運転）との切替えを容易、且
つ、短時間で行うことができる。従って、このような切
替えが操業負荷増大の原因となることを確実に防止で
き、又、連続高速運転を行う際の障害がなくなるという
優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係るフィルム張付装置の全体
構成を示す側面図

【図２】前記フィルム張付装置の基板搬送路から上側の
構成を詳細に示す側面図

【図３】前記フィルム張付装置に設けられるウェットロ
ーラ及び液受部材の詳細な構成を示す斜視図

【図４】前記ウェットローラの下の軸受部材を中心に詳
細な構成を示す斜視図

【図５】前記上、下のウェットローラ及び下のウェット
ローラ軸受部材を詳細に示す平面図、正面図及び側面図

【図６】上下のウェットローラ及び上のウェットローラ
の軸受部材を詳細に示す斜視図

【図７】上下のウェットローラ及び上のウェットローラ
の軸受部材を詳細に示す、平面図、正面図及び側面図

【図８】前記液受部材及びその周辺を詳細に示す要部斜
視図

【図９】前記液受部材及びその周辺を詳細に示す平面図

【図１０】図９のＸＡ−ＸＡ線、ＸＢ−ＸＢに沿う断面
図

【図１１】図９のＸＩ−ＸＩ線に沿う断面図

【図１２】前記フィルム張付装置の信号及び制御系構成
を示すブロック図

【図１３】前記フィルム張付装置の制御手順を示す流れ
図

【図１４】本発明の第２実施例を示す図４と同様の斜視
図

【図１５】同第２実施例のウェットローラ位置調整機構
を拡大して示す断面図

【図１６】同実施例の連動軸のクリック機構を示す正面
図

【図１７】同実施例の偏心カム、連動軸及びカムフォロ
ワーの関係を示す斜視図

【図１８】従来のフィルム張付装置の構成を示す側面図

【図１９】従来のウェットローラの構成を示す斜視図

【符号の説明】

４８Ａ、４８Ｂ…上、下のウェットローラ ９０Ａ、９０Ｂ上、下の…液受部材 ９１…側板 ９２…給水ブロック ９２Ａ…ガイドピン ９２Ｂ…スプリング部材 ９４Ａ…軸受ブロック ９４Ｂ…軸受ブロック保持部材 ９４Ｃ…位置移動ツマミ ９６Ａ、９６Ｂ…歯付プーリ ９８…タイミングベルト １００…歯車 １０２…ピンチローラ １０４…ピンチローラ保持部材 １０４Ａ…保持板 １０８…フック部材 １０８Ａ…フック保持部材 １０８Ｂ…第２の位置移動つまみ １１２…液受保持部材 １１４…スライドベース １１４Ａ、１１４Ｂ…係止部 １１６…押え板 １１８…取手ロッド １２０…切換矢印板 １２０Ａ…切換表示板 １２２…サポートローラ １２４…水滴受けプレート １３０…中央制御ユニット

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】水等の空泡防止液を基板に付着させるため
   のウェットローラを有し、空泡防止液の付着された基板
   のフィルム張付面に圧着ローラによりフィルムを張付け
   るフィルム張付装置において、 ウェットローラの空泡防止液が基板に付着されるのを防
   止するための液付着防止部材と、 前記液付着防止部材を、ウェットローラと基板搬送経路
   との間への挿入及び脱出が自在のものにして、任意にウ
   ェット運転とドライ運転との選択をするための運転選択
   手段と、 を備えたことを特徴とするフィルム張付装置。