KR100992190B1 - 자동필름편집장치 및 이를 구비하는 필름 로더/언로더 - Google Patents

자동필름편집장치 및 이를 구비하는 필름 로더/언로더 Download PDF

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Abstract

본 발명은 소진된 릴을 자동으로 교체하는 자동필름편집장치를 개시한다. 본 발명에 따르는 자동필름편집장치는, 작업 필름을 절단하는 절단유닛; 상기 절단유닛이 절단한 상기 작업 필름을 연결위치로 이송시키는 필름 이송유닛; 상기 연결위치에서 대기하고 있는 대기 필름 일단과 상기 필름 이송유닛에 의해 이송된 작업 필름 일단을 연결하는 연결유닛; 및 상기 대기 필름과 상기 작업 필름의 연결부위에 퍼포레이션 홀을 형성시키는 천공유닛;을 포함한다.
필름 로더, 필름 언로더, 릴, 필름

Description

자동필름편집장치 및 이를 구비하는 필름 로더/언로더{AN AUTOMATIC FILM EDITOR AND A FILM LOADER HAVING THE SAME AND A FILM UNLOADER HAVING THE SAME}
본 발명은 릴 타입(reel type)의 테이프 캐리어(tape carrier)를 활용하는 반도체 패키징 공정과 필름제조 공정에 사용되는 릴 교체장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 소진된 릴을 자동으로 새로운 릴과 연결해주는 자동필름편집장치 및 이를 구비하는 필름 로더/언로더에 관한 것이다.
반도체는 반도체를 수용하도록 제작된 캐리어(carrier)에 포장되어 출하되는 것이 일반적이다. 특히, 필름(film) 형태로 제공되는 테이프 케리어(tape carrier)가 주로 사용되며, 이송 및 작업의 편의성을 위해 필름은 릴(reel)에 감겨져 있다.
반도체 장비는 릴에 감기어진 필름에 칩을 부착시키거나 포팅시키는 등의 소정의 작업을 하게 된다. 이러한 작업이 수행되기 위하여 반도체 장비로 필름을 공급하는 필름 로더(loader) 및 반도체 장비에서 소정의 작업이 수행된 필름을 회수하는 필름 언로더(loader)가 필요하다.
도 1은 일반적인 반도체 장비를 나타낸다.
로더(10)는 공급 릴(11), 스페이서 릴(spacer reel, 12), 필름공급유닛(13) 을 포함하며, 공급 릴(11)에 감기어진 필름(1)을 메인장비(20)로 공급한다. 공급 릴(11)에는 필름(1)과 상기 필름(1)을 보호하는 보호용 테이프(2)가 감기어져 있다. 스페이서 릴(12)에는 필름(1)에서 분리된 보호용 테이프(2)가 감기어진다. 필름공급유닛(13)은 보호용 테이프(2)가 분리된 필름(1)을 메인장비(20)로 공급한다.
메인장비(20)는 필름 로더(10)에서 공급된 필름(1)에 칩을 부착시키거나 포팅시키는 등의 소정의 작업을 수행한다.
필름 언로더(30)는 회수 릴(31), 스페이서 릴(32), 필름회수유닛(33)을 포함하며, 메인장비(20)에서 작업이 완료된 필름(1)을 회수한다. 메인장비(20)에서 작업이 완료된 필름(1)은 필름회수유닛(33)이 회수하며, 스페이서 릴(32)에 감기어진 보호용 필름(2)과 함께 회수 릴(31)에 감기어진다.
이러한 반도체 장비에 있어서, 필름 로더(10)에는 하나의 공급 릴(11)만이 장착되고 필름 언로더(30)에는 하나의 회수 릴(31)만이 장착된다. 따라서 메인장비(20)에서 상당기간 작업이 진행되어 공급 릴(11)에 감기어진 필름(1)이 소진된 경우, 작업자는 소진된 공급 릴의 교체작업과 교체된 공급 릴의 필름을 연결하는 필름편집작업을 모두 수작업으로 수행해야 한다. 즉, 작업자는 필름 로더(10)에서 제공된 필름을 절단한 후 소진된 공급 릴을 제거하고, 새로운 공급 릴을 장착한 후 새로운 공급 릴의 필름의 일단과 상기 절단된 필름의 일단을 접착 테이프로 연결한다. 또한 필름 언로더(30)에 장착된 회수 릴(31)에 대해서도 작업자가 동일한 작업을 수행해야 한다. 따라서, 작업자가 공급 릴 또는 회수 릴의 교체작업과 필름편집작업을 하는 동안 메인장비(20)는 쉬게 되어 생산성이 떨어지는 문제점이 발생한 다.
또한, 여러 개의 반도체 장비를 사용할 경우, 릴의 교체작업과 필름 편집작업을 수행할 작업자가 여러 명 필요하기 때문에 인건비가 증가하는 문제점이 발생한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 안출한 것으로, 자동으로 작업 필름과 대기 필름을 연결할 수 있는 자동필름편집장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 소진된 공급 릴이 자동으로 새로운 공급 릴로 교체되는 필름 로더를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 포화된 회수 릴이 자동으로 새로운 회수 릴로 교체되는 필름 언로더를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 릴이 자동으로 교체될 수 있는 포팅시스템을 제공하는 것이다.
본 발며의 또 다른 목적은 릴이 자동으로 교체될 수 있는 본딩시스템을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 자동필름편집장치는, 작업 필름을 절단하는 절단유닛; 상기 절단유닛이 절단한 상기 작업 필름을 연결위치 로 이송시키는 필름 이송유닛; 상기 연결위치에서 대기하고 있는 대기 필름 일단과 상기 필름 이송유닛에 의해 이송된 작업 필름 일단을 연결하는 연결유닛; 및 상기 대기 필름과 상기 작업 필름의 연결부위에 퍼포레이션 홀을 형성시키는 천공유닛;을 포함한다.
상기 자동필름편집장치는 상기 연결위치로 이송된 상기 작업 필름 일단을 고정하고, 상기 연결유닛이 상기 대기 필름 일단과 상기 작업 필름 일단을 연결한 후에 상기 작업 필름 일단의 고정을 해제하는 제1필름고정유닛;을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 자동필름편집장치는 상기 연결위치에서 대기하고 있는 상기 대기 필름 일단을 고정하고, 상기 연결유닛이 상기 대기 필름 일단과 상기 작업 필름 일단을 연결한 후에 상기 대기 필름 일단의 고정을 해제하는 제2필름고정유닛;을 더 포함할 수 있다.
상기 제1필름고정유닛은, 상기 작업 필름 일단의 인접부를 누르는 제1고정블록; 및 상기 제1고정블록을 승하강시키는 제1실린더;를 포함할 수 있다.
상기 제2필름고정유닛은, 상기 대기 필름 일단의 인접부를 누르는 제2고정블록; 및 상기 제2고정블록을 승하강시키는 제2실린더;를 포함할 수 있다.
상기 제2필름고정유닛은, 상기 대기 필름 일단의 고정과 해제를 가능하게 하는 제1진공발생수단;을 포함할 수 있다.
상기 절단유닛은, 필름을 절단하는 블레이드; 및 상기 블레이드를 승하강시키는 블레이드 승하강유닛;을 포함할 수 있다.
상기 필름 이송유닛은, 필름과 접촉하여 필름을 이송하는 롤러; 및 상기 롤러를 승하강시키는 롤러 승하강유닛;을 포함할 수 있다.
상기 연결유닛은, 접착테이프가 부착되는 연결블록; 상기 접착테이프를 상기 연결블록에 고정하는 제2진공발생수단; 및 상기 연결블록을 승하강시키는 연결블록 승하강유닛;을 포함할 수 있다.
상기 천공유닛은, 필름에 퍼포레이션 홀을 천공하는 펀치; 상기 펀치가 천공하기 전에 필름을 고정하는 제3필름고정유닛; 상기 펀치를 승하강시키는 펀치 승하강유닛;을 포함할 수 있다.
상기 제3필름고정유닛은, 천공될 필름의 인접부를 누르는 제3고정블록; 및
천공될 필름의 인접부에 위치하는 퍼포레이션 홀에 삽입되는 삽입핀;을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 본 발명의 목적을 달성하기 위한 필름 로더는, 작업위치에서 메인장비로 필름을 공급하는 공급 릴과 1 이상의 대기 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임; 상기 릴 프레임을 이동시키는 릴 프레임 이동유닛; 상기 공급 릴의 소진 여부를 감지하는 센서유닛; 전술한 바와 같은 특징을 갖는 자동필름편집장치; 및 상기 센서유닛이 상기 공급 릴의 소진을 감지하면 상기 자동필름편집장치가 상기 공급 릴에서 공급된 작업 필름을 절단한 후 상기 릴 프레임 이동유닛이 상기 대기 릴을 상기 작업위치로 이동시키고, 상기 자동필름편집장치가 절단된 작업 필름과 상기 대기 릴에서 제공된 대기 필름을 연결하도록 상기 릴 프레임 이동유닛과 상기 자동필름편집장치를 제어하는 제어유닛;을 포함한다.
상기 센서유닛은, 필름의 인쇄된 패턴을 감지하는 이미지 센서;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 필름 로더는 상기 자동필름편집장치와 상기 메인장비 사이에 위치하고, 상기 자동필름편집장치가 필름편집작업을 하는 동안에도 상기 메인장비로 필름을 공급할 수 있도록 여분의 필름을 형성시키는 버퍼유닛;을 더 포함할 수 있다.
상기 버퍼유닛은, 필름을 중력방향으로 처지게 하는 처짐봉; 상기 처짐봉의 위치를 감지하는 버퍼센서; 및 상기 처짐봉의 위치를 일정 범위 내로 유지시키는 버퍼제어부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 본 발명의 목적을 달성하기 위한 필름 언로더는, 작업위치에서 메인장비에서 나오는 필름을 회수하는 회수 릴과 1 이상의 대기 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임; 상기 릴 프레임을 이동시키는 릴 프레임 이동유닛; 상기 회수 릴의 포화 여부를 감지하는 센서유닛; 전술한 바와 같은 특징을 갖는 자동필름편집장치; 및 상기 센서유닛이 상기 회수 릴의 포화를 감지하면 상기 자동필름편집장치가 상기 회수 릴로 감기어질 작업 필름을 절단한 후 상기 릴 프레임 이송유닛이 상기 대기 릴을 상기 작업위치로 이동시키고, 상기 자동필름편집장치가 절단된 작업 필름과 상기 대기 릴에서 제공된 대기 필름을 연결하도록 상기 릴 프레임 이동유닛과 상기 자동필름편집장치를 제어하는 제어유닛;을 포함한다.
상기 필름 언로더는, 상기 메인장비와 상기 자동필름편집장치 사이에 위치하고, 상기 자동필름편집장치가 필름편집작업을 하는 동안에도 상기 메인장비에서 나 오는 필름을 수용할 수 있도록 여분의 필름을 형성시키는 버퍼유닛;을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 본 발명의 목적을 달성하기 위한 포팅시스템은 2 이상의 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임과 전술한 바와 같은 특징을 갖는 자동필름편집장치를 포함하는 필름 로더; 상기 필름 로더에서 공급된 필름에 포팅작업을 수행하는 포팅장비; 및 상기 포팅장비에서 나오는 필름을 회수하며, 2 이상의 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임과 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따르는 자동필름편집장치를 포함하는 필름 언로더;를 포함한다.
본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 본 발명의 목적을 달성하기 위한 본딩시스템은 2 이상의 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임과 전술한 바와 같은 특징을 갖는 자동필름펴집장치를 포함하는 필름 로더; 상기 필름 로더에서 공급된 필름에 반도체 칩을 부착하는 본딩장비; 및 상기 본딩장비에서 나오는 필름을 회수하며, 2 이상의 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임과 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 따르는 자동필름편집장치를 포함하는 필름 언로더;를 포함한다.
상기와 같은 본 발명의 자동필름편집장치에 따르면, 반도체 장비에 사용되는 릴을 교체할 때 필요한 필름 편집작업을 자동으로 수행할 수 있어서 생산성이 향상되고 인건비가 절감된다.
또한, 상기와 같은 본 발명의 필름 로더에 따르면, 소진된 릴을 자동으로 교체할 수 있어서 생산성이 향상되고 인건비가 절감된다.
또한, 상기와 같은 본 발명의 필름 언로더에 따르면, 포화된 릴을 자동으로 교체할 수 있어서 생산성이 향상되고 인건비가 절감된다.
본 발명의 상기와 같은 목적 및 다른 특징은 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명함으로써 더욱 명백해질 것이다. 참고로 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 필름 로더(100)의 정면도, 도 3 및 도 4은 상기 필름 로더(100)의 측면도이다.
도 2에서 참조부호 101a는 공급 릴을 의미하고, 참조부호 102는 스페이서 릴을 의미하고, 참조부호 103은 필름공급유닛을 의미한다. 공급 릴(101a)에 감기어져 메인장비로 공급되는 필름을 작업 필름(51)이라 칭하고, 대기 릴(101b)에 감기어진 필름을 대기 필름(61, 도 6 참조)이라 칭한다. 작업 필름(51)에서 분리된 보호용 테이프(52)는 스페이서 릴(102)에 감기어지고, 필름공급유닛(103)은 개구(104)를 통하여 필름(1)을 메인장비로 공급한다. 참조부호 105는 이온나이저(ionizer)로 필름에 발생할 수 있는 정전기를 예방한다.
메인장비는 필름 로더(100)에서 공급된 필름에 포팅작업을 수행하는 포팅장비 또는 필름 로더(100)에서 공급된 필름에 반도체 칩을 부착하는 본딩장비가 될 수 있다.
도 2 내지 도 4을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따르는 필름 로더(100) 는 메인장비로 필름을 공급하고, 릴 프레임(110), 릴 프레임 이동유닛(120), 센서유닛(130), 버퍼유닛(140), 자동필름편집장치(200), 제어유닛(미 도시)을 포함한다. 메인장비는 필름 로더(100)에서 공급된 필름에 칩을 부착시키거나 포팅시키는 등의 소정의 작업을 수행한다.
릴 프레임(110)에는 공급 릴(101a)과 대기 릴(101b)이 병렬로 장착된다. 상기 공급 릴(101a)과 대기 릴(101b)에는 필름이 감기어져 있다. 공급 릴(101a)에 감기어진 작업 필름(51)이 소진되면 자동으로 대기 릴(101b)에 감기어진 대기 필름(61)이 메인장비로 공급될 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에서는 하나의 대기 릴(101b)이 사용되는 것으로 예시되었으나, 이에 한정되지 않고 둘 이상의 대기 릴(101b)이 사용될 수 있다. 공급 릴(101a)에서 공급하는 작업 필름(51)에서 분리된 보호용 테이프(52)는 스페이서 릴(102)에 감긴다. 공급 릴(101a)과 대기 릴(101b) 각각에 대응되는 스페이서 릴(102)도 릴 프레임(110)에 장착된다.
릴 프레임 이동유닛(120)은 릴 프레임(110)을 이동시킨다. 도 3 및 도 4는 릴 프레임(110)이 가이드 레일(121)을 따라 이동된 모습을 나타낸다. 여기서 A-A선 상에 위치하는 릴이 메인장비로 필름을 공급할 수 있다. A-A선과 같이 메인장비로 필름을 공급할 수 있는 릴의 위치를 작업위치라 칭한다. 도 3에서는 공급 릴(101a)이 메인장비로 필름을 공급하고, 소진된 공급 릴(101a)을 대체할 대기 릴(101b)이 준비된 상태를 나타낸다. 도 4에서는 공급 릴(101a)이 소진된 경우, 릴 프레임 이동유닛(120)이 릴 프레임(110)을 이동시켜, 작업위치에 있는 대기 릴(101b)이 메인장비로 필름을 공급하는 상태를 나타낸다.
센서유닛(130)은 공급 릴(101a)의 소진 여부를 감지한다. 일반적으로 릴에 감겨진 필름의 양끝 부분에는 자재가 장착되지 않는 더미 필름이 일정 길이로 형성된다. 따라서 메인장비로 필름을 공급하는 중에 더미 필름이 감지되면, 공급 릴(101a)이 소진되었음을 의미한다. 즉, 센서유닛(130)은 더미 필름을 감지함으로써 공급 릴(101a)의 소진 여부를 알 수 있다. 더미 필름의 감지를 위하여, 센서유닛(130)은 필름의 인쇄된 패턴을 감지하는 이미지 센서를 포함할 수 있다. 더미 필름에는 인쇄된 패턴이 없기 때문에 자재가 장착된 필름과는 구별될 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고 공급 릴(101a)의 소진을 감지하는 다양한 감지 방법이 사용될 수 있다. 예컨대, 공급 릴(101a)에 감기어진 필름의 두께를 직접적으로 감지하는 센서유닛(130)도 사용될 수 있다.
버퍼유닛(140)은 자동필름편집장치(200)와 메인장비 사이에 위치하고, 자동필름편집장치(200)가 필름편집작업을 하는 동안에도 메인장비로 필름을 공급할 수 있도록 여분의 필름을 형성시킨다. 즉, 공급 릴(101a)에서 공급된 필름을 곧바로 메인장비로 제공하지 않고, 버퍼유닛(140)이 여분의 필름을 준비한다. 공급 릴(101a)이 대기 릴(101b)로 교체되고 자동필름편집장치(200)가 필름편집작업을 하는 동안에는 필름이 공급될 수 없다. 이때 버퍼유닛(140)이 준비한 여분의 필름을 메인장비로 공급하게 되면, 메인장비는 중단없이 작업을 계속 수행할 수 있기 때문에 생산성이 증가한다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 버퍼유닛(140)은 처짐봉(141), 버퍼센서(142), 버퍼 제어부(미 도시)를 포함한다.
처짐봉(141)은 도 1에 도시된 바와 같이 처짐봉 자체의 자중을 이용하여 필 름을 일정 길이 만큼 중력방향으로 처지게 한다. 필름이 처진 일정 길이 만큼이 여분의 필름이 된다.
버퍼센서(142)는 처짐봉(141)의 위치를 감지한다. 본 발명의 일 실시 예에서는 발광부에서 나온 빛이 수광부에서 검출되는지 여부를 통해 처짐봉(141)의 위치를 감지한다. 그러나 이에 한정되지 않고 처짐봉(141)의 위치를 감지할 수 있는 다양한 방식의 버퍼센서(142)가 사용될 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 버퍼센서(142)는 높이를 달리하여 설치된 제1버퍼센서(143), 제2버퍼센서(144), 제3버퍼센서(145)를 포함한다.
제1버퍼센서(143)는 가장 아래쪽에 설치되는 버퍼센서로서 제1발광부(143a), 제1수광부(143b)를 포함한다. 처짐봉(141)이 제1버퍼센서(143)가 설치된 높이까지 내려오면, 제1버퍼센서(144)가 이를 감지한다.
제2버퍼센서(144)는 제1버퍼센서(143)보다 높은 위치에 설치되며 제2발광부(144a), 제2수광부(144b)를 포함한다. 처짐봉(141)이 제2버퍼센서(144)가 설치된 높이까지 올라오면, 제2버퍼센서(144)가 이를 감지한다.
제3버퍼센서(145)는 제2버퍼센서(144)의 바로 위에 설치되며 제3발광부(145b)를 포함한다. 처짐봉(141)이 제3버퍼센서(145)가 설치된 높이까지 올라오면, 제3버퍼센서(145)가 이를 감지한다. 제3버퍼센서(145)는 제2버퍼센서(144)가 고장 등에 의하여 작동되지 않을 경우를 대비하기 위한 센서이다.
미 도시된 버퍼제어부는 버퍼센서(142)에서 감지된 처짐봉(141)의 위치에 기반하여 처짐봉(141)의 위치를 일정 범위 내로 유지시킨다. 즉, 제1버퍼센서(143)가 처짐봉(141)이 제1버퍼센서(143)가 설치된 높이까지 내려온 것을 감지하면, 버퍼제어부는 필름공급유닛(103)을 구동시켜 메인장비로 필름(1)을 공급시킨다. 이에 따라 처짐봉(141)은 제1버퍼센서(143)가 설치된 위치보다 위로 올라가게 된다. 그리고 제2버퍼센서(144)가 처짐봉(141)이 제2버퍼센서(144)가 설치된 높이까지 올라온 것을 감지하면, 버퍼제어부는 공급 릴(101a)을 구동시켜 공급 릴(101a)에 감기어진 필름(1)을 버퍼유닛(140)으로 공급시킨다.이에 따라 처짐봉(141)은 제2버퍼센서(144)가 설치된 위치보다 아래로 내려간다. 이와 같이 처짐봉(141)의 위치는 일정 범위 내로 유지되기 때문에, 메인장비로 공급될 여분의 필름도 일정 범위 내로 유지될 수 있다. 상기 여분의 필름은 자동필름편집장치(200)가 필름편집작업을 하는 동안에도 메인장비로 필름을 공급될 정도의 길이가 되도록, 제1버퍼센서(143)와 제2버퍼센서(144)가 적절한 위치에 설치되어야 한다.
도 5는 도 1에 도시된 자동필름편집장치(200)의 확대도 이다. 본 발명의 일 실시 예에 따르는 자동필름편집장치(200)는 절단유닛(210), 필름이송유닛(220), 연결유닛(230), 천공유닛(240), 제1필름고정유닛(250), 제2필름고정유닛(260)을 포함한다. 여기서 연결유닛(230), 제1필름고정유닛(250), 제2필름고정유닛(260)은 공급 릴과 대기 릴에 대응되는 개수만큼 이동 가능한 릴 프레임(110)에 설치된다. 즉, 본 발명의 일 실시 예에서는 하나의 공급 릴(101a)과 하나의 대기 릴(101b)이 사용되기 때문에 연결유닛(230), 제1필름고정유닛(250), 제2필름고정유닛(260)은 공급 릴(101a)과 대기 릴(101b) 아래쪽에 각각 하나 씩 이동 가능한 릴 프레임(110)에 설치된다. 반면에, 절단유닛(210), 필름이송유닛(220), 천공유닛(240)은 이동 가능 한 릴 프레임(110)에 설치되지 않고 고정된 필름 로더 프레임(115)에 설치된다. 또한, 절단유닛(210), 필름이송유닛(220), 천공유닛(240)은 릴 프레임(110)과 버퍼유닛(140) 사이에 위치한다.
절단유닛(210)은 공급 릴(101a)에 감겨져서 메인장비로 공급될 작업 필름(51)을 절단한다. 절단유닛(210)은 필름을 절단하는 블레이드(211), 상기 블레이드(211)를 승하강시키는 블레이드 승하강유닛(212)을 포함한다. 블레이드 승하강유닛(212)으로서 유압 실린더 등이 사용될 수 있다. 공급 릴(101a)에 감기어진 필름이 충분할 경우에는 블레이드(211)는 작업 필름에서 떨어져 있다. 센서유닛(130)이 공급 릴(101a)의 소진을 감지하면, 블레이드 승하강유닛(212)이 블레이드(211)를 하강시켜서 작업 필름을 절단시킨다.
필름 이송유닛(220)은 절단유닛(220)이 절단한 작업 필름을 연결위치로 이송시킨다. 상기 연결위치는 연결유닛(230)에 의해 절단된 작업 필름(51)이 연결될 대기 필름(61)이 대기하는 위치를 의미한다. 필름 이송유닛(220)은 필름과 접촉하여 필름을 이송하는 롤러(221), 상기 롤러(221)를 승하강시키는 롤러 승하강유닛(222)을 포함한다. 롤러 승하강유닛(222)으로서 유압 실린더 등이 사용될 수 있다. 공급 릴(101a)에 감기어진 필름이 충분할 경우에는 롤러(221)는 작업 필름에서 떨어져 있다. 센서유닛(130)이 공급 릴(101a)의 소진을 감지하여 절단유닛(210)이 작업 필름을 절단하기 전에, 롤러 승하강유닛(222)이 롤러(221)를 승하강시켜서 롤러(221)는 절단된 작업 필름과 접촉한다. 작업 필름이 절단된 후에 롤러(221)는 절단된 작업 필름을 연결위치로 이송시킨다 (도 5의 왼쪽 방향).
연결유닛(230)은 상기 연결위치에서 대기하고 있는 대기 필름 일단과 상기 필름 이송유닛(22)에 의해 이송된 작업 필름 일단을 연결한다. 작업 필름의 일단과 대기 필름의 일단은 접착테이프를 사용하여 연결될 수 있다. 연결유닛(230)은 연결블록(231), 제2진공발생수단(미 도시), 연결블록 승하강유닛(233)을 포함한다.
연결블록(231)은 필름 위쪽에 위치하는 제1연결블록(231a)과 필름 아래쪽에 위치하는 제2연결블록(231b)을 포함한다. 접착테이프의 접착면이 필름을 향하도록 두 개의 접착테이프가 각각의 연결블록(231a, 231b)에 부착된다.
제2진공발생수단은 접착테이프를 연결블록(231a, 231b)에 고정한다. 연결블록(231a, 231b)에 미세한 구멍을 형성하고 이 구멍을 진공펌프와 연결하는 유로를 구성하는 것이 진공발생수단의 일 예가 될 수 있다. 필름 위쪽에 위치하는 제1연결블록(231a)에 부착된 접착테이프는 제2진공발생수단에 의해 중력방향으로 떨어지지 않고 제1연결블록(231a)에 고정될 수 있다. 또한 필름 아래쪽에 위치하는 제2연결블록(231b)에 부착된 접착테이프도 제2진공발생수단에 의해 제2연결블록(231b)에 고정될 수 있다.
연결블록 승하강유닛(233)은 연결블록(231)을 승하강시킨다. 공급 릴(101a)에 감기어진 필름이 충분할 경우에는 연결블록(231)은 작업필름에서 떨어져 있다. 센서유닛(130)이 공급 릴(101a)의 소진을 감지하여 절단된 작업필름이 연결위치로 이송된 경우, 연결블록 승하강유닛(233)은 제1연결블록(231a)을 하강시키고 제2연결블록(231b)을 상승시킨다. 그에 따라, 접착면이 필름을 향하도록 상기 연결블록(231a, 231b)에 부착된 접착테이프가 대기필름의 일단과 절단된 작업필름의 일단 을 연결한다.
천공유닛(240)은 대기 필름과 작업 필름의 연결부위에 퍼포레이션 홀을 형성시킨다. 연결유닛(230)에 의해 접착테이프가 대기 필름의 일단과 작업 필름의 일단에 붙여지면, 접착테이프가 필름에 형성된 퍼포레이션 홀을 덮는다. 메인장비가 소정의 작업을 수행하기 위해서는 퍼포레이션 홀이 필수적으로 형성되어야 한다. 접착테이프가 붙여진 대기 필름과 작업 필름의 연결부위에 퍼포레이션 홀을 형성시키기 위해 천공유닛(240)이 사용된다. 천공유닛(240)은 펀치(241), 제3필름고정유닛(242), 펀치 승하강유닛(243)을 포함한다.
펀치(241)는 필름에 퍼포레이션 홀을 천공한다. 펀치(241)는 접착테이프에 의해 가려진 퍼포레이션 홀의 개수만큼 구비된다. 본 발명의 일 실시 예에서는 3개의 펀치가 사용되었으며, 이는 접착테이프에 의해 3개의 퍼포레이션 홀이 가려졌음을 의미한다. 펀치(241)의 개수는 접착테이프의 길이에 따라 변경될 수 있다.
제3필름고정유닛(242)은 펀치(241)가 천공하기 전에 필름을 고정시킨다. 제3필름고정유닛(242)에 의하여 펀치(241)는 정확한 위치에 안정적으로 퍼포레이션 홀을 천공할 수 있다. 제3필름고정유닛(242)은 제3필름고정블록(242a), 삽입핀(242b)을 포함한다.
제3고정블록(242a)는 천공될 필름의 인접부를 누르게 된다. 제3고정블록(242a)이 필름을 고정함으로써, 펀치(241)는 안정적으로 퍼포레이션 홀을 형성할 수 있다.
삽입핀(242b)은 천공될 필름의 인접부에 위치하는 퍼포레이션 홀에 삽입되 어, 천공될 필름을 안정적으로 고정한다.
펀치 승하강유닛(243)은 펀치(241)를 승하강시킨다. 평상시에는 펀치(241)가 작업 필름에서 떨어져 있으나 퍼포레이션 홀을 형성시키기 위하여 펀치 승하강유닛(243)이 펀치(241)를 상승 또는 하강시킨다. 펀치 승하강유닛(243)으로서 유압 실린더 등이 사용될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서는 펀치(241), 제3필름고정블록(242a), 삽입핀(242b)이 작업 필름 위쪽에 있는 천공블록(244)에 설치되고, 펀치승하강유닛(243)이 천공블록(244)을 승하강시킨다. 그러나 이러한 실시예에 한정되지 않고 다양한 구조의 천공유닛이 사용될 수 있다.
제1필름고정유닛(250)은 연결위치로 이송된 작업 필름(51) 일단을 고정한다. 작업 필름 일단이 고정됨으로써, 연결유닛(230)이 안정적으로 대기 필름(61) 일단과 작업 필름(51) 일단을 연결할 수 있다. 연결유닛(230)이 대기 필름 일단과 작업 필름 일단을 연결한 후에, 제1필름고정유닛(250)은 작업 필름 일단의 고정을 해제한다. 제1필름고정유닛(250)은 제1고정블록(251), 제1실린더(252)를 포함한다.
제1고정블록(251)은 연결유닛(230)이 대기 필름 일단과 작업 필름 일단을 연결하는 동안 상기 작업 필름(51)의 인접부를 누른다.
제1실린더(252)는 제1고정블록(251)을 승하강시켜서, 작업 필름 일단의 고정 및 해제가 가능하도록 한다.
제2필름고정유닛(260)은 연결위치에서 대기하고 있는 대기 필름 일단을 고정한다. 연결유닛(230)이 대기 필름(61) 일단과 작업 필름(51) 일단을 연결한 후에, 제2필름고정유닛(260)은 대기 필름 일단의 고정을 해제한다. 제2필름고정유닛(260) 은 제2고정블록(261), 제2실린더(262), 제1진공발생수단(미 도시)을 포함한다.
제2고정블록(261)은 대기 필름 일단의 인접부를 누른다.
제2실린더(262)는 제2고정블록을 승하강시키서, 대기 필름 일단의 고정 및 해제가 가능하도록 한다.
이러한 제2고정블록(261)과 제2실린더에 의해 대기 필름 일단은 지지판(263)에 고정된다. 참조부호 264는 지지판(263)에 형성된 삽입핀을 나타낸다. 삽입핀(264)은 대기 필름 일단에 있는 퍼포레이션 홀에 끼워져서, 대기 필름이 움직이는 것을 방지한다.
제1진공발생수단은 지지판(263)에 있는 대기 필름 일단의 고정과 해제를 가능하게 한다. 지지판(263)에 미세한 구멍을 형성하고 이 구멍을 진공펌프와 연결하는 유로를 구성하는 것이 진공발생수단의 일 예가 될 수 있다.
제어유닛(미 도시)은 릴 프레임 이동유닛(120)과 자동필름편집장치(200)를 제어하여 공급 릴(101a)에서 제공된 작업 필름과 대기 릴(101b)에서 제공된 대기 필름을 연결할 수 있도록 한다. 즉, 센서유닛(130)이 공급 릴(101a)의 소진을 감지하면, 제어유닛은 자동필름편집장치(200)가 공급 릴(101a)에서 공급된 작업 필름(51)을 절단시키도록 한다. 그 후 제어유닛은 릴 프레임 이송유닛(120)이 대기 릴(101b)을 작업위치로 이동시키도록 한다. 그 후 제어유닛은 자동필름편집장치(200)가 절단된 작업 필름(51)과 대기 릴(101b)에서 제공된 대기 필름(61)을 연결하도록 한다.
이하 본 발명의 일 실시 예에 따르는 필름 로더(100)와 자동필름편집장 치(200)의 작동을 설명한다.
도 6은 대기 릴(101b)의 상태를 나타내는 정면도이다. 도 2에 도시된 바와 같이 공급 릴(101a)이 작업위치에서 필름을 메인장비로 공급하는 동안에, 작업자는 도 3에 도시된 바와 같이 대기 릴(101b)을 릴 프레임(11)에 장착한다. 그 후 작업자는 도 6에 도시된 상태로 대기 릴(101b)에서 제공된 대기 필름(61) 일단을 고정한다. 대기 필름(51) 일단은 제2고정블록(261)과 삽입핀(264)에 의해 지지판(263)에 고정된다. 작업자는 접착테이프(106)의 접착면이 필름을 향하도록 접착테이프(106)를 연결블록(231a, 231b)에 부착한다. 접착테이프(106)는 제2진공발생수단에 의해 고정된다. 작업자는 대기 필름(61) 일단의 아랫면을 제2연결블록(231b) 위에 위치하는 접착테이프(106)에 부착한다. 도 7은 대기 필름(61) 일단(105)이 접착테이프(106)와 부착된 모습을 위에서 바라본 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이 공급 릴(101a)에 감기어진 작업 필름(107)이 메인장비로 상당 기간 공급되면, 센서유닛(130)이 공급 릴(101a)의 소진을 감지한다. 그러면, 공급 릴(101a)의 회전이 중지되어 더 이상 필름이 공급되지 않는다. 롤러 승하강유닛(222)은 롤러(221)를 작업 필름(107)에 접촉시키고, 블레이드 승하강유닛(212)은 블레이드(211)를 사용하여 작업필름을 절단한다. 그리고, 릴 프레임 이동유닛(120)은 대기 릴(101b)을 작업위치로 이동시킨다. 도 4는 대기 릴(101b)이 작업위치로 이동된 모습을 나타낸다. 대기 릴(101b)이 작업위치로 이동되면, 롤러(221)는 절단된 작업 필름(107)을 대기 필름 일단(105)이 위치하는 연결위치로 이송한다. 이때, 작업 필름(107)이 절단된 위치와 연결 위치 사이의 거리 만큼 정 확하게 작업 필름(107)을 이송하는 것이 필요하다. 작업 필름(107)이 연결위치로 이송되면 제1필름고정유닛(250)이 작업 필름(51) 일단을 고정한다. 제2실린더(262)는 제2고정블록(261)이 대기 필름(61) 일단에서 떨어지게 한다. 연결블록 승하강유닛(233)은 제1연결블록(231a)을 하강시키고, 제2연결블록(231b)을 상승시킨다. 이에 따라 제1연결블록(231a)과 제2연결블록(231b)에 부착된 접착테이프(106)가 대기 필름(61) 일단과 작업 필름(51) 일단을 연결한다. 도 8은 대기 필름(61) 일단과 작업 필름(51) 일단이 연결된 모습을 나타낸다. 상기 대기 필름(61) 일단과 작업 필름(51) 일단은 모두 더미 필름이 형성된 구간이다. 즉, 대기 필름(61)의 더미 필름 부분과 작업 필름(51)의 더미 필름 부분이 서로 연결되는 것이다.
대기 필름(61) 일단과 작업 필름(51) 일단이 연결된 후, 연결유닛(230)과 제2필름고정유닛(260)에 있는 제1진공발생수단은 작동을 중지하여 더 이상 대기 필름(105)과 작업 필름(107)을 고정하지 않는다. 연결블록(231)과 제1필름고정블록(251)이 필름에서 떨어진 후, 롤러(221)는 대기 필름(61)과 작업 필름(51)의 연결부위를 천공유닛(240) 쪽으로 이송한다. 천공유닛(240)은 접착테이프(106)에 의해 가려진 퍼포레이션 홀을 다시 형성시킨다. 그 이후에 롤러(221)는 필름에서 떨어진다. 그 이후에는 도 2에서와 같이 대기 릴(101b)에 감기어진 대기 필름(105)을 메인장비로 공급할 수 있다.
상기와 같은 작동이 수행되는 동안에도 버퍼유닛(140)이 준비하고 있는 여분의 필름이 메인장비로 공급된다. 따라서 소진된 공급 릴(101a)이 자동으로 대기 릴(101b)로 교체되더라도 메인장비는 정지하지 않게 계속 작업을 수행할 수 있어 생산성이 증가한다.
도 4와 같이 대기 릴(101b)에서 메인장비로 필름을 공급하는 동안에, 작업자는 소진 된 공급 릴(101a)을 새로운 릴로 교체한다. 이제는 소진된 공급 릴(101a)이 대기 릴이 되고, 교체된 대기 릴(101b)이 공급 릴이 된다. 앞서 서술한 바와 마찬가지로, 작업자는 도 6과 같은 상태로 새로운 대기 릴을 준비하면 된다. 대기 릴의 준비작업은 공급 릴이 소진되기 전 까지만 수행하면 된다. 따라서, 한 명의 작업자가 여러 개의 반도체 장비를 관리할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따르는 필름 언로더(300)의 정면도, 도 10은 상기 필름 언로더(300)의 측면도이다.
참조부호 301a는 회수 릴을 의미하고, 참조부호 301b는 대기 릴을 의미하고, 참조부호 302는 스페이서 릴을 의미하고, 참조부호 303은 필름회수유닛을 의미한다. 메인장비에서 소정의 작업이 완료된 필름은 필름회수유닛(303)이 회수하여, 스페이서 릴(302)에 감기어진 보호용 테이프와 함께 회수 릴(301a)에 감기어진다.
이하 필름 로더(100)와 동일한 기능을 하는 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 자세한 설명은 생략하고, 차이가 나는 부분만을 설명한다.
본 발명의 일 실시 예에 따르는 필름 언로더(300)는 릴 프레임(110), 릴 프레임 이동 유닛(120), 센서유닛(130), 버퍼유닛(140), 자동필름편집장치(200)를 포함한다. 회수 릴(301a)이 포화될 경우에 자동으로 회수 릴(301a)이 대기 릴(301b)로 교체되는 점만이 다를 뿐, 필름 언로더(300)의 구성요소는 앞서 설명한 필름 로더(100)의 구성요소와 실질적으로 동일하다.
센서유닛(130)은 공급 릴(101a)의 소진 여부를 감지한다. 필름 언로더(300)에서 더미 필름이 감지되면, 하나의 공급 릴(101a)이 제공된 필름이 소진되었음을 의미한다. 이는 곧 회수 릴(301a)도 포화 되었음을 의미한다. 즉, 센서유닛(130)은 더미 필름을 감지함으로써 회수 릴(301a)의 포화 여부를 알 수 있다. 더미 필름의 감지를 위하여, 센서유닛(130)은 필름의 인쇄된 패턴을 감지하는 이미지 센서를 포함할 수 있다. 더미 필름에는 인쇄된 패턴이 없기 때문에 자재가 장착된 필름과는 구별될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에서는 센서유닛(130)이 필름 언로더(300)에 설치되었다. 그러나 일반적으로 메인장비는 더미 필름을 감지하는 센서유닛을 구비한다. 따라서 센서유닛(130)을 별도로 설치하지 않고 메인장치에 구비된 센서유닛을 필름 언로더(300)의 센서유닛(130)으로서 사용할 수 있다. 다만 이 경우 메인장비에서 감지된 더미 필름이 자동필름편집장치(200)에 도달한 후에, 릴 프레임 이동유닛(120)과 자동필름편집장치(200)에 의해 회수 릴(301a)은 자동으로 대기 릴(301b)로 교체된다.
그러나 이에 한정되지 않고 회수 릴(101a)의 포화를 감지하는 다양한 감지 방법이 사용될 수 있다. 예컨대, 회수 릴(301a)에 감기어진 필름의 두께를 직접적으로 감지하는 센서유닛(130)도 사용될 수 있다.
본 발명은 예시적인 방법으로 설명되었다. 여기서 사용된 용어들은 설명을 위한 것이며, 한정의 의미로 이해되어서는 안 될 것이다. 상기 내용에 따라 본 발명의 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 따로 부가 언급하지 않는 한 본 발 명은 청구범위의 범주 내에서 자유로이 실행될 수 있을 것이다.
도 1은 일반적인 반도체 장비의 사시도,
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 필름 로더의 정면도,
도 3, 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 필름 로더의 측면도,
도 5는 도 2에 도시된 자동필름편집장치의 확대도,
도 6은 대기 릴의 상태를 나타내는 정면도,
도 7은 대기 필름 일단이 접착테이프와 부착된 모습을 나타내는 평면도,
도 8은 대기 필름 일단과 작업 필름 일단이 연결된 모습을 나타내는 평면도,
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 필름 언로더의 정면도, 그리고
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 필름 언로더의 측면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100; 필름 로더 110; 릴 프레임
120; 릴 프레임 이동유닛 130; 센서유닛
140; 버퍼유닛 200; 자동필름편집장치
210; 절단유닛 220; 필름이송유닛
230; 연결유닛 240; 천공유닛
250; 제1필름고정유닛 260; 제2필름고정유닛

Claims (21)

  1. 삭제
  2. 작업 필름을 절단하는 절단유닛;
    상기 절단유닛이 절단한 상기 작업 필름을 연결위치로 이송시키는 필름 이송유닛;
    상기 연결위치에서 대기하고 있는 대기 필름 일단과 상기 필름 이송유닛에 의해 이송된 작업 필름 일단을 연결하는 연결유닛;
    상기 대기 필름과 상기 작업 필름의 연결부위에 퍼포레이션 홀을 형성시키는 천공유닛; 및
    상기 연결위치로 이송된 상기 작업 필름 일단을 고정하고, 상기 연결유닛이 상기 대기 필름 일단과 상기 작업 필름 일단을 연결한 후에 상기 작업 필름 일단의 고정을 해제하는 제1필름고정유닛;을 포함하는 자동필름편집장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 연결위치에서 대기하고 있는 상기 대기 필름 일단을 고정하고, 상기 연결유닛이 상기 대기 필름 일단과 상기 작업 필름 일단을 연결한 후에 상기 대기 필름 일단의 고정을 해제하는 제2필름고정유닛;을 더 포함하는 자동필름편집장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제1필름고정유닛은,
    상기 작업 필름 일단의 인접부를 누르는 제1고정블록; 및
    상기 제1고정블록을 승하강시키는 제1실린더;를 포함하는 자동필름편집장치.
  5. 제3항에 있어서, 상기 제2필름고정유닛은,
    상기 대기 필름 일단의 인접부를 누르는 제2고정블록; 및
    상기 제2고정블록을 승하강시키는 제2실린더;를 포함하는 자동필름편집장치.
  6. 제3항에 있어서, 상기 제2필름고정유닛은,
    상기 대기 필름 일단의 고정과 해제를 가능하게 하는 제1진공발생수단;을 포함하는 자동필름편집장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 절단유닛은,
    필름을 절단하는 블레이드; 및
    상기 블레이드를 승하강시키는 블레이드 승하강유닛;을 포함하는 자동필름편집장치.
  8. 제2항에 있어서, 상기 필름 이송유닛은,
    필름과 접촉하여 필름을 이송하는 롤러; 및
    상기 롤러를 승하강시키는 롤러 승하강유닛;을 포함하는 자동필름편집장치.
  9. 제2항에 있어서, 상기 연결유닛은,
    접착테이프가 부착되는 연결블록;
    상기 접착테이프를 상기 연결블록에 고정하는 제2진공발생수단; 및
    상기 연결블록을 승하강시키는 연결블록 승하강유닛;을 포함하는 자동필름편집장치.
  10. 제2항에 있어서, 상기 천공유닛은,
    필름에 퍼포레이션 홀을 천공하는 펀치;
    상기 펀치가 천공하기 전에 필름을 고정하는 제3필름고정유닛;
    상기 펀치를 승하강시키는 펀치 승하강유닛;을 포함하는 자동필름편집장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제3필름고정유닛은,
    천공될 필름의 인접부를 누르는 제3고정블록; 및
    천공될 필름의 인접부에 위치하는 퍼포레이션 홀에 삽입되는 삽입핀;을 포함하는 자동필름편집장치.
  12. 작업위치에서 메인장비로 필름을 공급하는 공급 릴과 1 이상의 대기 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임;
    상기 릴 프레임을 이동시키는 릴 프레임 이동유닛;
    상기 공급 릴의 소진 여부를 감지하는 센서유닛;
    제2항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따르는 자동필름편집장치; 및
    상기 센서유닛이 상기 공급 릴의 소진을 감지하면 상기 자동필름편집장치가 상기 공급 릴에서 공급된 작업 필름을 절단한 후 상기 릴 프레임 이동유닛이 상기 대기 릴을 상기 작업위치로 이동시키고, 상기 자동필름편집장치가 절단된 작업 필름과 상기 대기 릴에서 제공된 대기 필름을 연결하도록 상기 릴 프레임 이동유닛과 상기 자동필름편집장치를 제어하는 제어유닛;을 포함하는 필름 로더.
  13. 제12항에 있어서, 상기 센서유닛은,
    필름의 인쇄된 패턴을 감지하는 이미지 센서;를 포함하는 필름 로더.
  14. 제12항에 있어서,
    상기 자동필름편집장치와 상기 메인장비 사이에 위치하고, 상기 자동필름편집장치가 필름편집작업을 하는 동안에도 상기 메인장비로 필름을 공급할 수 있도록 여분의 필름을 형성시키는 버퍼유닛;을 더 포함하는 필름 로더.
  15. 제14항에 있어서, 상기 버퍼유닛은,
    필름을 중력방향으로 처지게 하는 처짐봉;
    상기 처짐봉의 위치를 감지하는 버퍼센서; 및
    상기 처짐봉의 위치를 일정 범위 내로 유지시키는 버퍼제어부;를 포함하는 필름 로더.
  16. 작업위치에서 메인장비에서 나오는 필름을 회수하는 회수 릴과 1 이상의 대기 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임;
    상기 릴 프레임을 이동시키는 릴 프레임 이동유닛;
    상기 회수 릴의 포화 여부를 감지하는 센서유닛;
    제2항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따르는 자동필름편집장치; 및
    상기 센서유닛이 상기 회수 릴의 포화를 감지하면 상기 자동필름편집장치가 상기 회수 릴로 감기어질 작업 필름을 절단한 후 상기 릴 프레임 이송유닛이 상기 대기 릴을 상기 작업위치로 이동시키고, 상기 자동필름편집장치가 절단된 작업 필름과 상기 대기 릴에서 제공된 대기 필름을 연결하도록 상기 릴 프레임 이동유닛과 상기 자동필름편집장치를 제어하는 제어유닛;을 포함하는 필름 언로더.
  17. 제16항에 있어서, 상기 센서유닛은,
    필름의 인쇄된 패턴을 감지하는 이미지 센서;를 포함하는 필름 언로더.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 메인장비와 상기 자동필름편집장치 사이에 위치하고, 상기 자동필름편집장치가 필름편집작업을 하는 동안에도 상기 메인장비에서 나오는 필름을 수용할 수 있도록 여분의 필름을 형성시키는 버퍼유닛;을 더 포함하는 필름 언로더.
  19. 제18항에 있어서, 상기 버퍼유닛은,
    필름을 중력방향으로 처지게 하는 처짐봉;
    상기 처짐봉의 위치를 감지하는 버퍼센서; 및
    상기 처짐봉의 위치를 일정 범위 내로 유지시키는 버퍼제어부;를 포함하는 필름 언로더.
  20. 2 이상의 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임과 제2항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따르는 자동필름편집장치를 포함하는 필름 로더;
    상기 필름 로더에서 공급된 필름에 포팅작업을 수행하는 포팅장비; 및
    상기 포팅장비에서 나오는 필름을 회수하며, 2 이상의 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임과 제2항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따르는 자동필름편집장치를 포함하는 필름 언로더;를 포함하는 포팅장치.
  21. 2 이상의 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임과 제2항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따르는 자동필름편집장치를 포함하는 필름 로더;
    상기 필름 로더에서 공급된 필름에 반도체 칩을 부착하는 본딩장비; 및
    상기 본딩장비에서 나오는 필름을 회수하며, 2 이상의 릴이 병렬로 장착되는 릴 프레임과 제2항 내지 제11항 중 어느 한 항에 따르는 자동필름편집장치를 포함하는 필름 언로더;를 포함하는 본딩장치.
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