CN112449681B - 剥离把持装置、剥离检查装置以及超声波振动接合系统 - Google Patents

剥离把持装置、剥离检查装置以及超声波振动接合系统 Download PDF

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Abstract

本发明的目的在于提供不借助手动处理地将测定对象物从基板剥离并把持的剥离把持装置。本发明在作为剥离把持用控制部发挥功能的剥离检查控制装置(55)的控制下执行以下的第1以及第2步骤。在第1步骤中，维持接触辊(32)的加工外周面(C32)与导线(12)的表面接触的加工面接触状态，执行一边使接触辊(32)旋转一边使接触辊(32)在导线(12)的表面上移动的接触辊旋转动作。在第1步骤的执行中，导线(12)的前端部分被从玻璃基板(11)剥离。然后，在第2步骤中，通过把持机构，执行对从玻璃基板(11)剥离的导线(12)的前端部分进行把持的把持动作。

Description

剥离把持装置、剥离检查装置以及超声波振动接合系统
技术领域
本发明涉及剥离把持装置，其被用于剥离检查装置中，将接合在基板的表面上的测定对象物从基板剥离并进行把持。
背景技术
作为太阳电池等的制造中使用的装置，存在通过超声波振动动作来将电极线等接合对象物接合到形成有太阳电池等的基板上的超声波振动接合装置。
此外，为了定量地评价接合到基板上的接合对象物与基板之间的紧贴力即剥离强度而使用现有的测力计。以下，说明使用测力计进行的剥离强度测定方法的处理步骤。
首先，手动地将接合对象物的前端部分撕离，使规定的把持构件对撕离的接合对象物的一端进行把持。
然后，与把持构件连结地安装测力计，从而能够测定出测力计受到的张力。
然后，使用规定的上升机构，在对接合对象物的一端进行把持的状态下使把持构件以及测力计上升，在上升时测定测力计受到的张力，由此能够测定接合对象物的剥离强度。
作为这样的测定接合对象物的剥离强度的装置，例如有专利文献1所公开的剥离试验装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：特开2006－194599号公报
发明内容
发明要解决的课题
如上述那样，在将通过超声波振动动作等而被接合的接合对象物作为测定对象物的以往的剥离强度的测定方法中，需要进行利用人手的手动处理从基板将测定对象物的一部分剥离并将其安装于把持构件这样的准备处理。
上述准备处理是以人手的手动处理为主的处理，因此，存在比较花费工时的问题点。而且，与上述准备处理中包含手动处理相应地，还存在剥离强度的测定精度不稳定的问题点。
本发明的目的在于解决上述那样的问题点，提供一种不借助手动处理地将测定对象物从基板剥离并把持的剥离把持装置。
用于解决课题的手段
本发明所涉及的剥离把持装置执行将在基板上沿着规定方向接合的测定对象物剥离并把持的剥离把持处理，具备：夹头机构；移动机构，执行使所述夹头机构沿水平方向移动的水平移动动作、以及使所述夹头机构沿垂直方向移动的垂直移动动作；以及剥离把持用控制部，控制所述夹头机构以及所述移动机构，控制所述剥离把持处理的执行，所述夹头机构包括：接触辊，在外周面的一部分具有被进行了凹凸加工的加工外周面；把持机构，与所述接触辊的旋转动作连动地进行把持动作；以及施压机构，执行相对于所述接触辊的下降动作、以及在所述测定对象物与所述接触辊接触的状态下对所述接触辊朝下方施压的施压动作，在所述剥离把持用控制部的控制下执行的所述剥离把持处理具备：(a)使所述移动机构执行所述水平移动动作以及所述垂直移动动作，在所述测定对象物的前端部分的上方配置所述接触辊的步骤；(b)使所述施压机构执行所述下降动作，使所述接触辊的外周面与所述测定对象物的表面抵接，使所述施压机构执行所述施压动作，设定所述接触辊的所述加工外周面与所述测定对象物的表面接触的加工面接触状态的步骤；以及(c)维持所述加工面接触状态，使所述移动机构执行所述水平移动动作，执行一边使所述接触辊旋转一边使所述接触辊在所述测定对象物的表面上沿着所述规定方向移动的接触辊旋转动作的步骤，在所述步骤(c)的执行中，所述测定对象物的前端部分被从所述基板剥离，所述剥离把持处理还具备：(d)通过所述把持机构，执行对从所述基板剥离的所述测定对象物的前端部分进行把持的所述把持动作的步骤。
发明效果
本申请发明的剥离把持装置在剥离把持用控制部的控制下执行包含上述的步骤(a)～(d)的剥离把持处理，从而，能够不借助手动处理而自动地将测定对象物从基板剥离并由把持机构对测定对象物的前端部分进行把持。
本发明的目的、特征、方面以及优点通过以下的详细的说明和附图能够更加清楚。
附图说明
图1是示意性地表示包含实施方式的剥离把持装置的、剥离检查装置的整体构成的立体图。
图2是示意性地表示图1所示的夹头机构的整体构成的说明图。
图3是表示图2所示的接触辊以及接触辊连动凸轮的详细情况的说明图。
图4是示意性地表示在剥离检查控制装置的控制下执行的剥离把持处理的处理内容的说明图。
图5是示意性地表示超声波振动接合系统的构成的说明图。
图6是示意性地表示超声波振动接合装置的构成的立体图。
具体实施方式
＜装置构成＞
图1是示意性地表示包含实施方式的剥离把持装置的剥离检查装置300的整体构成的立体图。该图中示出了XYZ正交坐标系。此外，以下所示的图2～图6各自中也示出了XYZ正交坐标系。
如图1所示那样，在承载台50上承载有基板工作台10以及水平方向移载机54，在基板工作台10上设置有玻璃基板11。在玻璃基板11的表面，在Y方向的两端，沿着X方向而超声波接合有2个导线12。这样，在作为基板的玻璃基板11上沿着X方向(规定方向)接合的导线12成为测定对象物。
图6是示意性地表示一般的超声波振动接合装置100的构成的立体图。如该图所示那样，示出了如下状态：在基板工作台10上配置有玻璃基板11，在玻璃基板11的最上层即太阳电池薄膜11g上接合有具有导电性的导线12。这样，在基板即玻璃基板11(太阳电池薄膜11g)上沿着X方向(规定方向)配置的导线12成为接合对象物。
如图6所示那样，超声波振动接合装置100包含焊头4，焊头4在其下方前端部具有抵接前端部4t。
由未图示的超声波振子产生的超声波振动经由振动变幅杆部6而传递到焊头4。
在这种构成的超声波振动接合装置100中，一边在玻璃基板11(太阳电池薄膜11g)上将具有导电性的作为电极线的导线12沿着X方向进行配置，一边执行基于超声波振动接合装置100的超声波振动动作。
通过驱动力F1，焊头4一边将朝基板工作台10侧的规定的压力施加于导线12，一边执行将由超声波振子产生并经由振动变幅杆部6而得到的超声波振动UV从焊头4的抵接前端部4t施加到导线12的超声波接合点12p上的超声波振动动作。
作为其结果，能够在超声波接合点12p处将导线12接合到玻璃基板11(的太阳电池薄膜11g)的表面上。
返回至图1，剥离检查装置300中作为主要构成的构成要素而包括：夹头(chuckinghand)机构30、测力计51、垂直方向移载机53、水平方向移载机54以及剥离检查控制装置55。
夹头机构30与作为剥离强度测定器的测力计51相互连结，测力计51如后面详述那样，能够测定作为测定对象物的导线12的剥离强度。
垂直方向移载机53具有能够沿垂直方向D2(Z方向)移动的保持单元53V，测力计51连结于垂直移载用的保持单元53V。
因此，通过垂直方向移载机53，能够执行使保持单元53V沿着垂直方向D2移动、使夹头机构30以及测力计51沿垂直方向D2移动的垂直移动动作。
水平方向移载机54具有能够沿水平方向D1(X方向)移动的水平移载用的保持单元54H，当夹头机构30被配置于下方的规定位置时，夹持把持用的保持单元52对夹头机构30进行把持。作为其结果，夹头机构30被连结于保持单元52。保持单元52被连结于水平移动的保持单元54H。另外，在夹头机构30不存在于下方的规定位置的情况下，保持单元52不对夹头机构30进行把持而使夹头机构30解放。即，保持单元52与夹头机构30之间不具有连结关系。因而，保持单元52不会沿垂直方向(Z方向)移动。
因此，在夹头机构30被配置于下方的规定位置的情况下，通过水平方向移载机54，能够执行使保持单元52以及保持单元54H沿着水平方向D1移动、使夹头机构30、测力计51以及垂直方向移载机53作为一体沿水平方向D1移动的、水平移动动作。
这样，垂直方向移载机53以及水平方向移载机54作为移动机构发挥功能，该移动机构能够执行以夹头机构30以及测力计51为移动对象而使该移动对象沿垂直方向D2移动的垂直移动动作以及使该移动对象沿水平方向D1移动的水平移动动作。
剥离检查控制装置55作为剥离把持用控制部发挥功能，该剥离把持用控制部以夹头机构30、垂直方向移载机53以及水平方向移载机54为主要控制对象，控制对成为测定对象物的导线12进行剥离并把持的剥离把持处理的执行。
剥离检查控制装置55还作为剥离强度测定用控制部发挥功能，该剥离强度测定用控制部以夹头机构30、测力计51、垂直方向移载机53以及水平方向移载机54为主要控制对象，除了控制上述的剥离把持处理的执行，还控制测定导线12与玻璃基板11的剥离强度(接合强度)的剥离强度测定处理的执行。
因此，从剥离检查装置300中去掉测力计51和剥离检查控制装置55中的剥离强度测定用控制部的功能之后的部分就是实施方式的剥离把持装置。
图2是示意性地表示夹头机构30的整体构成的说明图。如该图所示那样，夹头机构30中作为主要构成的构成要素而包括施压机构37以及夹头主体31。
夹头主体31中作为主要构成部分而包括接触辊32、接触辊连动凸轮33、电极线固定夹具34、弹簧35、旋转锁止机构36。
施压机构37进行：使夹头主体31朝向下方移动的下降动作；使夹头主体31朝向上方移动的上升动作；以及在接触辊32接触到测定对象物即导线12的表面之后由接触辊32对导线12的表面施压的施压动作。作为施压机构37，例如可想到气缸。
接触辊32以能够进行旋转动作的方式安装于夹头主体31。并且，接触辊32在XZ平面中俯视呈大致圆状，具有宽度5mm程度的外周面。接触辊32的旋转动作成为以中心点C1为中心并沿着旋转方向R1的旋转动作。
接触辊连动凸轮33能够与接触辊32的旋转动作连动地进行旋转动作，通过连结构件33J而与接触辊32一体地连结。接触辊连动凸轮33的旋转动作与接触辊32同样，成为以中心点C1为中心并沿着旋转方向R1的旋转动作。
接触辊连动凸轮33具有：半径为第1半径的作为第1外周面的短径外周面S33；以及具有比第1半径长的第2半径的作为第2外周面的长径外周面L33。接触辊连动凸轮33在XZ平面中俯视呈包括具有第1半径的圆弧和具有第2半径的圆弧的形状。
旋转锁止机构36是对接触辊32进行定位固定的机构，在前端具有锁止机构前端部36t，具有对该锁止机构前端部36t赋予固定用弹力的弹簧成分。
在旋转锁止机构36的锁止机构前端部36t抵接于定位用槽41内的第1停止位置、锁止机构前端部36t抵接于定位用槽42内的第2停止位置处，对接触辊32进行定位固定。
另外，定位用槽41以及42分别在XZ平面中俯视呈V字状，定位用槽42是与定位用槽41相比形成深度更深的槽。
因此，旋转锁止机构36能够将接触辊32的旋转动作锁止而在第1或者第2停止位置处对接触辊32进行固定。在第1以及第2停止位置处对接触辊32进行固定时，旋转锁止机构36对锁止机构前端部36t在朝向接触辊32的中心点C1的方向上赋予固定用弹力。
作为固定构件的电极线固定夹具34具有向朝向接触辊连动凸轮33的短径外周面S33以及长径外周面L33的方向(图2的－X方向)突出的突出端34t。
电极线固定夹具34还具有与接触辊32的外周面对置地设置、且形状与接触辊32的外周面的一部分一致的把持面34g。
弹簧35以对电极线固定夹具34赋予弹簧作用力F2的方式安装于夹头主体31。弹簧作用力F2具有使把持面34g朝向接触辊32的外周面的方向的向量成分，成为对剥离的导线12的前端部分进行把持的把持力。
如图2所示那样，接触辊连动凸轮33在接触辊32停止于第1停止位置的情况下，在长径外周面L33的端部区域抵接着突出端34t。而且，长径外周面L33与短径外周面S33的边界点P33位于大致正下方。
因此，在图2中，以边界点P33为基准，在右侧(+X方向侧)设置长径外周面L33，在左侧(－X方向侧)设置短径外周面S33。
在此，在以接触辊32的旋转中心即中心点C1为基准的坐标系中，当以向下方(－Z方向)延伸的坐标轴为基准轴RX时，边界点P33相对于基准轴RX的角度大致为0度。
图3是表示接触辊32以及接触辊连动凸轮33的详细情况的说明图。如该图所示那样，接触辊32在其外周面的1/4圆周部分具有被进行了滚花状的凹凸加工的加工外周面C32。
接触辊32在锁止机构前端部36t抵接于定位用槽41的第1停止位置时，加工外周面C32位于图中左下的1/4圆周部分。即，接触辊32在第1停止位置时，以基准轴RX为基准而在0度～－90度的区域具有加工外周面C32。
接触辊连动凸轮33在接触辊32为第1停止位置时，长径外周面L33位于图中右下的1/4圆周部分起至图中右上的一部分为止的区域。即，接触辊连动凸轮33在接触辊32为第1停止位置时，以基准轴RX为基准而在0度～120度的区域具有长径外周面L33。
图4是示意性地表示在作为剥离把持用控制部发挥功能的剥离检查控制装置55的控制下执行的剥离把持处理的处理内容的说明图。以下，参照该图，说明剥离把持处理。
接触辊32在初始状态下，通过旋转锁止机构36而被固定于第1停止位置。因此，加工外周面C32在初始状态下位于以基准轴RX为基准、从0度至－90度的区域，接触辊连动凸轮33的边界点P33相对于基准轴RX而位于0度附近。
在该图的(a)所述的步骤S1中，使垂直方向移载机53执行沿着垂直方向D2的垂直移动动作，使水平方向移载机54执行沿着水平方向D1的水平移动动作，在作为测定对象物的导线12的前端部分的上方，配置被固定于第1停止位置的接触辊32。
接下来，在该图的(b)所述的步骤S2中，使施压机构37执行下降动作，从而，使夹头主体31沿下降方向DL下降，使接触辊32的外周面抵接于作为测定对象物的导线12的表面。
然后，在该图的(b)所示的步骤S3中，使施压机构37执行施压动作，设定接触辊32的加工外周面C32与导线12的表面接触的加工面接触状态。另外，步骤S3接续步骤S2而连续地执行。
而且，在该图的(c)所述的步骤S4中，维持上述加工面接触状态，使水平方向移载机54执行沿着－X方向的水平移动动作，执行一边使接触辊32沿着旋转方向R1旋转一边使夹头机构30在导线12的表面上沿着X方向(规定方向)移动的接触辊旋转动作。
另外，定位用槽41的形成深度比较浅，因此，随着上述的接触辊旋转动作的执行，接触辊32从由旋转锁止机构36固定于第1停止位置的固定状态被解放，无障碍地沿着旋转方向R1旋转。
随着上述的接触辊旋转动作，接触辊连动凸轮33的边界点P33相对于基准轴RX的角度从0度向90度变化，加工外周面C32的右侧(+X方向侧)的前端部位也以基准轴RX为基准而从0度向90度移动。
在该步骤S4的执行中，作为测定对象物的导线12的前端部分被从玻璃基板11剥离。以下，对导线12的剥离现象进行说明。
若由施压机构37执行施压动作，同时维持使电极线即导线12的表面与加工外周面C32接触的加工面接触状态，沿着旋转方向R1使接触辊32旋转，则通过加工外周面C32使导线12的表面产生滚花状的变形，同时导线12自身中产生因施压引起的内部应力。
作为其结果，与加工外周面C32接触的导线12的前端部分向上方向(+Z方向)翘曲，因此，产生导线12的前端部分从玻璃基板11剥离的剥离现象。该剥离现象在导线12是铝等具有比较软的特性的材质的情况下特别显著。作为导线12的构成材料，除了上述的铝以外，例如还想到铜。
此外，加工外周面C32形成于接触辊32的外周面的1/4程度的区域，因此，该加工外周面C32的沿着外周方向的长度与导线12被剥离的长度即剥离长度大致相等。
在步骤S4的执行时，接触辊连动凸轮33的长径外周面L33与电极线固定夹具34的突出端34t抵接，因此，确保了供剥离的导线12的前端部分进入并存在于接触辊32的外周面与电极线固定夹具34的把持面34g之间的间隙。另外，边界点P33实质上也与长径外周面L33同样地从中心点C1起具有第2半径，因此被包含于长径外周面L33。
因此，在步骤S4的执行中，剥离的导线12的前端部分自动地进入到接触辊32的外周面与把持面34g之间的间隙。
然后，在该图的(d)所示的步骤S5中，随着接触辊旋转动作，从电极线固定夹具34的突出端34t抵接于接触辊连动凸轮33的长径外周面L33的第1抵接状态，变化为突出端34t抵接于短径外周面S33的第2抵接状态。
即将但还未变化为第2抵接状态时，上述剥离长度程度的导线12的前端部分进入到在接触辊32的外周面与把持面34g之间形成的间隙中。这是因为，接触辊连动凸轮33的长径外周面L33的周方向的长度被设定成使得在从第1抵接状态变化为第2抵接状态的定时接触辊32的加工外周面C32的末端与导线12的表面接触。
若从第1抵接状态变化为第2抵接状态，则通过包括接触辊32、接触辊连动凸轮33、电极线固定夹具34以及弹簧35的把持机构，执行对从玻璃基板11剥离的导线12的前端部分进行把持的把持动作。以下，详细描述由把持机构进行的把持动作。
在步骤S5的执行时，接触辊连动凸轮33的短径外周面S33与电极线固定夹具34的突出端34t抵接。于是，由接触辊32的外周面和电极线固定夹具34的把持面34g，夹住存在于上述间隙的导线12的前端部分(规定长)，从而执行上述把持动作。作为把持力的弹簧作用力F2始终被赋予于电极线固定夹具34，因此，能够由接触辊32的外周面和电极线固定夹具34的把持面34g来稳定性良好地对剥离的导线12的前端部分进行把持。
这样，对剥离的导线12的前端部分进行把持的把持机构通过接触辊32(的加工外周面C32)、接触辊连动凸轮33、电极线固定夹具34以及弹簧35的组合而实现。
在步骤S5的执行中，接触辊32的沿着旋转方向R1的旋转动作在锁止机构前端部36t抵接于定位用槽42内的第2停止位置处被停止。定位用槽42的形成槽形成得比较深，因此，即使使夹头主体31沿水平方向移动，接触辊32也不会旋转而被固定于第2停止位置。然后，由水平方向移载机54进行的水平方向动作迅速地被停止。
此外，电极线固定夹具34的把持面34g中的与接触辊32的外周面的一部分对应的周方向的长度被设定为与上述的剥离长度(加工外周面C32的形成长度)同程度。
因此，通过包含电极线固定夹具34的把持面34g的、上述把持机构，能够稳定性良好地把持导线12的剥离的前端部分。
此外，在接触辊32为第2停止位置时，接触辊连动凸轮33的边界点P33成为相对于基准轴RX为120度的角度的位置。
这样，实施方式的剥离把持装置在作为剥离把持用控制部发挥功能的剥离检查控制装置55的控制下执行参照图4的(a)～(d)说明的步骤S1～S5，从而执行从玻璃基板11剥离导线12的前端部分并把持所剥离的导线12的前端部分的剥离把持处理。
而且，包含实施方式的剥离把持装置的剥离检查装置300在剥离把持处理的执行后，在该图的(e)所示的步骤S6中，使施压机构37执行上升动作，从而在把持着导线12的前端部分的状态下使夹头主体31沿着上升方向LH上升。
最终，在设定成导线12的剥离的前端部分相对于玻璃基板11的水平面(XY平面)成为垂直状态、即设定成导线12的剥离的前端部分沿着+Z方向延伸时，能够由测力计51正确地测定导线12的剥离强度。
实施方式的剥离把持装置在作为剥离把持用控制部发挥功能的剥离检查控制装置55的控制下执行包含上述的步骤S1～S5的剥离把持处理，从而，能够不借助人手的手动处理而自动地将作为测定对象物的导线12从玻璃基板11剥离，能够通过上述的把持机构对导线12的前端部分进行把持。
而且，与接触辊32的接触辊旋转动作连动地，在步骤S4的执行中，成为固定构件即电极线固定夹具34的突出端34t与接触辊连动凸轮33的长径外周面L33接触的第1抵接状态。然后，在步骤S5的执行中，变化为电极线固定夹具34的突出端34t与接触辊32的短径外周面S33接触的第2抵接状态。
通过从第1抵接状态向第2抵接状态的转移，在步骤S4中将导线12的前端部分从玻璃基板11剥离后，在步骤S5中能够可靠地执行对导线12的剥离的前端部分进行把持的把持动作。
＜剥离检查装置＞
剥离检查装置300包含实施方式的剥离把持装置，而且还具备测力计51。并且，剥离检查装置300的剥离检查控制装置55作为控制测力计51、控制对测定对象物即导线12的剥离强度进行测定的剥离强度测定处理的执行的剥离强度测定用控制部发挥功能。
因此，在作为剥离强度测定用控制部发挥功能的剥离检查控制装置55的控制下执行的剥离强度测定处理具有以下的步骤S11和步骤S12。
在步骤S11中，通过实施方式的剥离把持装置执行上述剥离把持处理。
在步骤S12中，在步骤S11的执行后，从保持单元52释放夹头机构30，使用测力计51对导线12的剥离强度进行测定。此时，测力计51连结于保持单元53V。因此，夹头机构30以及测力计51被从由移动机构之一即水平方向移载机54、保持单元54H以及保持单元52进行的水平移动动作解放。
另外，导线12的剥离强度的测定以下那样进行。在通过垂直方向移载机53使夹头机构30以及测力计51上升了时，测定由测力计51测定到的张力。该张力成为导线12的剥离强度。另外，使夹头机构30以及测力计51上升时，优选导线12的剥离的前端部分沿垂直方向(Z方向)而设定。此外，也可以采用通过与垂直方向移载机53另外的独立的上升机构使夹头机构30以及测力计51上升的变形例。该情况下，在步骤S12的执行时，夹头机构30以及测力计51被从由垂直方向移载机53进行的垂直移动动作以及由水平方向移载机54进行的水平移动动作解放。
剥离检查装置300在作为剥离强度测定用控制部发挥功能的剥离检查控制装置55的控制下执行包含上述的步骤S11、S12的剥离强度测定处理。
因而，剥离检查装置300能够自动地执行在通过夹头机构30将导线12的前端部分剥离并把持后、使用作为剥离强度测定器的测力计51测定导线12的剥离强度的一系列处理。
＜超声波振动接合装置＞
图5是示意性地表示具有图6所示的超声波振动接合装置100、图1所示的剥离检查装置300的超声波振动接合系统500的构成的说明图。在图5中示出了超声波振动接合装置100被收纳于接合装置收纳部150内的状态。以下，以超声波振动接合系统500的特征部分为中心进行说明，其以外的说明适当地赋予相同的附图标记并省略。
如该图所示那样，将剥离检查装置300以及超声波振动接合装置100收纳于装置壳体200内，在承载台50上除了基板工作台10外，还设置剥离检查装置300以及超声波振动接合装置100。
超声波接合控制装置57除了上述的剥离把持用控制部以及剥离强度测定用控制部的功能之外，还作为控制超声波振动接合装置100的超声波振动动作的超声波振动接合用控制部发挥功能。
因此，超声波振动接合系统500在超声波接合控制装置57的控制下，能够以配置于玻璃基板11上的导线12为接合对象物而执行超声波振动接合装置100的超声波振动动作，在玻璃基板11上接合导线12。
而且，超声波振动接合系统500在超声波接合控制装置57的控制下，能够以已经超声波接合在玻璃基板11上的导线12为测定对象物而执行剥离检查装置300的剥离强度测定处理。即，超声波振动接合系统500能够在由夹头机构30将导线12的前端部分剥离并把持后，执行使用测力计51对导线12的剥离强度进行测定的剥离强度测定处理。
这样，超声波振动接合系统500能够以相同的导线12为处理对象而执行剥离检查装置300的剥离强度测定处理和超声波振动接合装置100的超声波振动动作。
因而，超声波振动接合装置100能够在以配置于玻璃基板11上的导线12为接合对象物而将导线12的超声波接合点12p超声波接合到玻璃基板11上后，迅速地以超声波接合结束的导线12为测定对象物，测定导线12的剥离强度。
本发明详细地进行说明，但上述说明是在全部方面进行示例，本发明并不限于此。应认为，在不脱离本发明的范围内存在未示例的无数变形例。
附图标记的说明
11 玻璃基板
12 导线
12p 超声波接合点
30 夹头机构
31 夹头主体
32 接触辊
33 接触辊连动凸轮
34 电极线固定夹具
35 弹簧
36 旋转锁止机构
37 施压机构
51 测力计
52，53V，54H 保持单元
53 垂直方向移载机
54 水平方向移载机
55 剥离检查控制装置
57 超声波接合控制装置
C32 加工外周面
L33 长径外周面
S33 短径外周面
100 超声波振动接合装置
300 剥离检查装置
500 超声波振动接合系统

Claims (4)

1.一种剥离把持装置，执行将在基板(11)上沿着规定方向接合的测定对象物(12)剥离并把持的剥离把持处理，具备：
夹头机构(30)；
移动机构(53，54)，执行使所述夹头机构沿水平方向移动的水平移动动作、以及使所述夹头机构沿垂直方向移动的垂直移动动作；以及
剥离把持用控制部(55)，控制所述夹头机构以及所述移动机构，控制所述剥离把持处理的执行，
所述夹头机构包括：
接触辊(32)，在外周面的一部分具有被进行了凹凸加工的加工外周面；
把持机构(33，34，35)，与所述接触辊的旋转动作连动地进行把持动作；以及
施压机构(37)，执行相对于所述接触辊的下降动作、以及在所述测定对象物与所述接触辊接触的状态下对所述接触辊朝下方施压的施压动作，
在所述剥离把持用控制部的控制下执行的所述剥离把持处理具备：
(a)使所述移动机构执行所述水平移动动作以及所述垂直移动动作，在所述测定对象物的前端部分的上方配置所述接触辊的步骤；
(b)使所述施压机构执行所述下降动作，使所述接触辊的外周面与所述测定对象物的表面抵接，使所述施压机构执行所述施压动作，设定所述接触辊的所述加工外周面与所述测定对象物的表面接触的加工面接触状态的步骤；以及
(c)维持所述加工面接触状态，使所述移动机构执行所述水平移动动作，执行一边使所述接触辊旋转一边使所述接触辊在所述测定对象物的表面上沿着所述规定方向移动的接触辊旋转动作的步骤，
在所述步骤(c)的执行中，所述测定对象物的前端部分被从所述基板剥离，
所述剥离把持处理还具备：
(d)通过所述把持机构执行对从所述基板剥离的所述测定对象物的前端部分进行把持的所述把持动作的步骤。
2.根据权利要求1记载的剥离把持装置，其中，
所述把持机构包括：
接触辊连动凸轮(33)，设置成能够与所述接触辊同时旋转，具备相对于旋转中心具有第1半径的第1外周面(S33)和相对于旋转中心具有比所述第1半径长的第2半径的第2外周面(L33)；以及
固定构件(34)，具备突出端(34t)和把持面(34g)，该突出端(34t)向朝向所述接触辊连动凸轮的所述第1以及第2外周面的方向突出，该把持面(34g)与所述接触辊的外周面对置地设置且形状与所述接触辊的外周面的一部分一致，所述固定构件被赋予使所述把持面朝向所述接触辊的外周面的把持力，
在所述步骤(c)的执行时，通过所述接触辊连动凸轮的所述第2外周面与所述突出端抵接，从而确保了供所述测定对象物的剥离的前端部分存在于所述接触辊的表面与所述把持面之间的间隙，
在所述步骤(d)的执行时，通过所述接触辊连动凸轮的所述第1外周面与所述突出端抵接，从而在所述固定构件被赋予所述把持力的状态下由所述接触辊的外周面和所述把持面夹住所述测定对象物的剥离的前端部分，由此执行所述把持动作。
3.一种剥离检查装置，具备：
权利要求1或2记载的剥离把持装置；
剥离强度测定器(51)，与所述夹头机构连结；以及
剥离强度测定用控制部(55)，控制所述剥离强度测定器，控制对所述测定对象物的剥离强度进行测定的剥离强度测定处理的执行，
在所述剥离强度测定用控制部的控制下执行的所述剥离强度测定处理包括：
(x)使所述剥离把持装置执行所述剥离把持处理的步骤；以及
(y)在所述步骤(x)的执行后，从所述移动机构的至少所述水平移动动作中使所述夹头机构解放，使用所述剥离强度测定器对所述测定对象物的剥离强度进行测定的步骤。
4.一种超声波振动接合系统，具备：
权利要求3记载的剥离检查装置；以及
超声波振动接合装置，对配置在所述基板上的接合对象物执行超声波振动动作，在所述基板上接合所述接合对象物。
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