JP2001031249A - 基板の整列移載システム及び整列移載方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の搬送作業及び整列作業を極力自動化し
得る基板の整列移載システム及び整列移載方法を提供す
る。 【解決手段】 コンベア５にて受渡位置に水平姿勢で順
次移送される基板６を第１吸着保持手段１１により吸着
保持して姿勢調整位置に移載し、姿勢調整位置にて水平
面内において基板６の姿勢を正した後、第２吸着保持手
段１２で吸着保持して、最上位置の基板高さが変化しな
いように第１移載台２又は第２移載台３を下降させなが
ら、第１移載台２又は第２移載台３に順次整列させて積
層状に順次移載し、第１移載台２又は第２移載台３に積
層した基板６が設定枚数になると、第２吸着保持手段１
２にて吸着保持した基板６の移載位置を、第１移載台２
から第２移載台３にあるいは反対に切り替えて連続的に
移載する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板を積層状に整
列移載する基板の整列移載システム及び整列移載方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、プリント配線基板の製造工場で
は、孔あけ工程やプレス工程や洗浄工程等の各工程にお
ける作業のほとんどを自動機により行えるようになりつ
つあるが、各工程間における基板の搬送は、現在でも複
数枚の基板を積層状に積み重ねて台車で順次搬送すると
いう搬送方法が採用されている。

【０００３】このような搬送方法を採用する場合には、
通常、各工程の最終段階で基板を積層状に積み重ね、こ
れを人手により台車に積み替えて搬送することになる
が、次工程における作業を円滑に行うため、この積み替
え作業時に、基板を整列させるため、複数枚の基板を両
手で保持して縦向きにし、平坦な作業面に基板の側縁を
緩やかに落下させるという作業を行っている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前述のような基板の積
み替え作業は、例えば４００枚の基板が積層される毎に
行う必要があるが、自動機を用いて基板を処理する場合
には、１日に２００００枚程度の処理が可能なことか
ら、例えば１０分おきにこのような積み替え作業を行う
必要があり、それだけで一人の作業者を配置させる必要
があった。

【０００５】また、前述のように人手により基板を整列
させる場合には、基板同士がすれて、配線を傷つけると
いう問題もある。特に、近年における配線の高密度化に
より、配線自体の幅が狭くなるとともに線間距離が短く
なり、しかも配線の厚さが、例えば１８〜１２μmもの
薄肉のものが採用されつつあることを考えると、配線の
損傷が致命的な製品欠陥になることが懸念される。

【０００６】本発明は、基板の搬送作業及び整列作業を
極力自動化し得る基板の整列移載システム及び整列移載
方法を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段及びその作用】請求項１に
係る基板の整列移載システムは、基板を吸着保持可能な
第１及び第２吸着保持手段と、両吸着保持手段を基板移
送方向に間隔をあけて連動して進退移動させる移動手段
と、基板移送方向の途中部の姿勢調整位置において、基
板の姿勢を水平面内において調整する姿勢調整手段と、
第２吸着保持手段を側方へ移動さて基板移送方向を切り
替える切替手段とを有し、受渡位置に水平姿勢で順次移
送される基板を第１吸着保持手段により吸着保持して姿
勢調整位置に移載し、姿勢調整位置において姿勢調整手
段により基板の姿勢を調整した後、第２吸着保持手段で
吸着保持して第１移載位置又は第２移載位置に切替手段
により移載位置を切替えて積層状に整列移載する基板整
列移載装置と、前記第１及び第２移載位置に配置した第
１及び第２移載台と、両移載台を昇降する昇降手段とを
有し、基板整列移載装置により積層状に整列移載された
基板の最上位置の高さが変化しないように、第１及び第
２移載台を昇降する基板受取装置とを備えたものであ
る。

【０００８】この整列移載システムの基板整列移載装置
においては、移動手段により第１及び第２吸着保持手段
を連動して進退移動させ、受渡位置に水平姿勢で順次移
送される基板を第１吸着保持手段により吸着保持して姿
勢調整位置に移載し、姿勢調整位置において姿勢調整手
段により基板の姿勢を水平面内において姿勢調整した
後、該基板を第２吸着保持手段で吸着保持して、第１移
載台又は第２移載台に切替手段により基板移送方向を切
り替えて順次積層状に移載することになる。また、基板
受取装置においては、移載台に積層状に整列移載された
基板の最上位置の高さが変化しないように、つまり第２
吸着保持手段により移載される基板が常時略同じ高さ位
置で移載されるように、載置台を昇降手段により順次下
降させることになる。

【０００９】このように、この整列移載システムにおい
ては、第２吸着保持手段により保持された基板の移載位
置を第１移載台と第２移載台とに切替手段により切り替
えるので、一方の移載台に対して設定枚数の基板を整列
移載した後、直ちに他方の移載台に対する基板の移載を
開始することが可能となり、途切れることなく基板を積
層状に整列移載できる。しかも、他方の移載台に対して
基板を整列移載している間に、一方の移載台上の基板を
搬送台車等に移し替えることも可能となる。また、第２
吸着保持手段から移載台への移載時における基板の落下
距離を略一定にできるので、基板移載時における姿勢の
変動を効果的に防止できる。

【００１０】請求項２記載の整列移載システムは、前記
昇降手段として、第１移載台と第２移載台を同期して逆
方向に昇降する昇降手段を設けたものである。このよう
な昇降手段を設けると、一方の移載台を順次下降させな
がら該移載台に設定枚数の基板を移載した後、移載の開
始位置に上昇した他方の移載台に対して直ちに基板を整
列移載できるので、基板整列移載装置を停止させること
なく、連続移載が可能となる。

【００１１】請求項３記載の整列移載システムは、設定
枚数の基板が移載された移載台の上面と略同じ高さ位置
の収容底面を有する搬送台車を基板受取装置に対面状に
設けるとともに、該移載台に積層状に移載された基板を
搬送台車側に押し出す押出手段を基板受取装置に設けた
ものである。このように構成することで、移載台に積層
移載した設定枚数の基板を自動的に搬送台車へ移送する
ことが可能となる。

【００１２】請求項４に係る基板の整列移載方法は、受
渡位置に水平姿勢で順次移送される基板を第１吸着保持
手段により吸着保持して姿勢調整位置に移載し、姿勢調
整位置にて水平面内において基板の姿勢を正した後、第
２吸着保持手段で吸着保持して、最上位置の基板高さが
変化しないように移載台を下降させながら、第１移載台
又は第２移載台に順次整列させて積層状に移載し、第１
移載台又は第２移載台に積層した基板が設定枚数になる
と、第２吸着保持手段にて吸着保持した基板の移載位置
を、第１移載台から第２移載台にあるいは反対に切り替
えて移載するものである。

【００１３】この整列移載方法においては、受渡位置か
ら移載台への基板の移送途中に設けた姿勢調整位置にお
いて、基板の姿勢を調整するので、第２吸着保持手段に
より移送された基板は、移載台に積層状に整列移載され
ることになる。また、第１移載台又は第２移載台に積層
した基板が設定枚数になると、第２吸着保持手段にて吸
着保持した基板の移載位置を、第１移載台から第２移載
台にあるいは反対に切り替えて移載するので、移載台に
対して途切れることなく基板を積層状に整列移載でき
る。しかも、他方の移載台に対して基板を整列移載して
いる間に、一方の移載台上の基板を搬送台車等に移し替
えることも可能となる。また、第２吸着保持手段から移
載台への移載時における基板の落下距離を略一定にでき
るので、基板移載時における姿勢の変動を効果的に防止
できる。

【００１４】請求項５記載の整列移載方法は、第１移載
台と第２移載台とを同期して逆方向に昇降させながら、
移載台上に順次積層状に基板を整列移載するものであ
る。このように構成すると、一方の移載台を順次下降さ
せながら該移載台に設定枚数基板を移載した後、移載の
開始位置に上昇した他方の移載台に対して直ちに基板を
移載できるので、基板整列移載装置を停止させることな
く、連続移載が可能となる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら説明する。図１〜図３に示すよ
うに、整列移載システム１は、昇降可能な第１移載台２
及び第２移載台３を有する基板受取装置４と、コンベア
５により水平姿勢で順次搬送される基板６を第１移載台
２又は第２移載台３に順次積層状に整列移載する基板整
列移載装置７とを備えている。コンベア５にて搬送され
る基板６は、例えばプレス装置により外周部の不要な部
分を打ち抜き成形したプリント配線基板６であり、整列
移載システム１では、プレス成形した基板６を洗浄工程
へ搬送し易くするとともに、洗浄工程における基板６の
ハンドリング性等を向上するため、プレス成形した複数
枚の基板６を積層状に整列配置して搬送台車７０に収納
することになる。但し、プレス成形工程から洗浄工程へ
の基板６の搬送以外の工程間における基板６の搬送のた
めに、この整列移載システム１を利用することも可能で
あるし、プリント基板以外の平板状の基板を積層状に整
列移載する基板の整列移載システムに対しても本発明を
適用できる。

【００１６】基板整列移載装置７は、コンベア５にて受
渡位置に搬送された基板６の姿勢を大まかに調整する第
１姿勢調整手段１０と、基板６を吸着保持可能な第１及
び第２吸着保持手段１１，１２と、両吸着保持手段１
１，１２を基板移送方向に間隔をあけて連動して進退移
動させる移動手段１３と、基板移送方向の途中部の姿勢
調整位置において、基板６の姿勢を水平面内において調
整する第２姿勢調整手段１４と、第２吸着保持手段１２
を側方へ移動させて基板移送方向を切り替える切替手段
１５とを備えている。尚、本実施例では、コンベア５に
よる基板６の搬送方向を前後方向、移動手段１３による
基板６の移送方向を左右方向と定義して説明する。

【００１７】第１姿勢調整手段１０について説明する
と、コンベア５の下流端部に基板６の受渡位置が設けら
れ、受渡位置の前側には左右方向に延び受渡位置に基板
６を停止させる停止板２０が設けられ、受渡位置の左右
両側には前後方向に延びる長板状の位置規制板２１と、
位置規制板２１側へ基板６を押し当てる押圧手段２２と
が設けられている。押圧手段２２は、基板６の側縁に当
接される当接板２３と、当接板２３を進退駆動するエア
シリンダなどからなるアクチュエータ２４とを備えてい
る。そして、コンベア５により基板６が受渡位置に搬送
されると、該基板６の搬送方向前縁が停止板２０に当接
して、基板６の姿勢が調整されるとともに、図示外のセ
ンサにより受渡位置に基板６が搬送されたことが検出さ
れて、押圧手段２２の当接板２３がアクチュエータ２４
により突き出され、基板６の側縁に当接板２３が押し当
てられて、停止板２０と当接板２３と位置規制板２１と
で、コンベア５にて搬送される基板６の水平面内におけ
る姿勢が修正されるとともに、受渡位置の適正な位置に
基板６が移動するように構成されている。尚、コンベア
５にて搬送される基板サイズに応じて押圧手段２２の取
付位置等を調整できるように構成することが好ましい。

【００１８】第１及び第２吸着保持手段１１，１２は、
下面を開放した箱状の本体部２５ａとこの本体部２５ａ
の下面に設けた軟質ゴムからなるパッド部２５ｂとを有
する吸着パッド２５を備え、図示外の減圧手段により本
体部２５ａ内を減圧可能に構成したものである。そし
て、パッド部２５ｂを基板６に密着させた状態で、本体
部２５ａ内を減圧することで、本体部２５ａの内圧と大
気圧間に基板重量を支持し得る差圧を付与し、基板６の
スルーホールや基板６と吸着パッド２５間の隙間から吸
着パッド２５内に外気が侵入しても、基板６が脱落しな
いように構成され、本体部２５ａ内を大気開放あるいは
本体部２５ａ内に加圧エアを供給することで吸着保持し
た基板６を切り離せるように構成されている。但し、基
板６の一部にスルーホールを有しない部分を形成し、真
空パッドにより該部分を吸着保持する吸着保持手段を用
いることも可能である。

【００１９】移動手段１３について説明すると、コンベ
ア５の左側には上面をコンベア５の搬送面と略同じ高さ
に設定した機台３０が設けられ、機台３０の上方には左
右方向に延びるフレーム３１が１対の脚柱３２を介して
固定支持されている。フレーム３１には図示外のサーボ
モータ及びスクリュー軸を介して、図２に図示の前進位
置と、図３に図示の後退位置とに進退移動するベースプ
レート３３が設けられ、第１及び第２吸着保持手段１
１，１２はベースプレート３３に取付けられ、第１吸着
保持手段１１はベースプレート３３とともに受渡位置と
姿勢調整位置とに亙って進退移動し、第２吸着保持手段
１２はベースプレート３３とともに姿勢調整位置と第１
又は第２移載台２，３の上方位置とに亙って進退移動可
能に構成されている。但し、ベースプレート３３を進退
移動させるための駆動手段としては、前述したサーボモ
ータとスクリュー軸とを備えた駆動手段以外の構成のも
のを採用することも可能である。また、第１及び第２吸
着保持手段１１，１２は、別系統の駆動手段を用いて同
期して進退移動させてもよい。

【００２０】ベースプレート３３に対する第１吸着保持
手段１１の取付構造を更に詳細に説明すると、ベースプ
レート３３の前面の右部には第１昇降手段３４が設けら
れ、第１昇降手段３４の下端には略水平に右方へ延びる
第１レバー部材３５が設けられ、第１吸着保持手段１１
は第１レバー部材３５の右端近傍部に固定され、第１昇
降手段３４により第１レバー部材３５とともに、基板６
を移送するための上昇位置と基板６を吸着保持可能な下
降位置と亙って昇降可能に取付けられている。

【００２１】第２吸着保持手段１２は、次のような構成
の切替手段１５及び第２昇降手段３６を介してベースプ
レート３３に取付けられている。切替手段１５について
説明すると、ベースプレート３３の前面の左部には前方
へ延びるガイドフレーム３７が設けられ、ガイドフレー
ム３７にはエアシリンダなどのアクチュエータを介して
前後移動する支持体３８が設けられている。

【００２２】切替手段１５の支持体３８には第２昇降手
段３６が設けられ、第２昇降手段３６の下端には左方へ
略水平に延びる第２レバー部材３９が設けられ、第２吸
着保持手段１２は、第２レバー部材３９の左端近傍部に
固定され、第２昇降手段３６により第２レバー部材３９
とともに、基板６を移送するための上昇位置と基板６を
吸着保持可能な下降位置と亙って昇降可能に取付けら
れ、更に切替手段１５のアクチュエータにより、第２昇
降手段３６とともに第１移載台２に対応する図３に仮想
線で図示の前進位置と、第２移載台３に対応する実線で
図示の後退位置とに位置切替可能に取付けられている。

【００２３】両吸着保持手段１１，１２の間隔は、移動
手段１３による進退移動距離と略同じに設定され、第１
吸着保持手段１１が受渡位置に移動したときに第２吸着
保持手段１２が姿勢調整位置に移動し、第１吸着保持手
段１１が姿勢調整位置に移動したときに、第２吸着保持
手段１２が第１又は第２移載台２，３の上方位置に移動
するように構成されている。

【００２４】第２姿勢調整手段１４について説明する
と、姿勢調整位置には水平な平坦面４０が形成され、第
１吸着保持手段１１により吸着保持された基板６は、こ
の平坦面４０上に移載される。平坦面４０の前側と右側
には姿勢調整板４１が設けられ、後側と左側にはエアシ
リンダなどからなるアクチュエータ４２が設けられてい
る。両アクチュエータ４２には当接板４３が進退可能に
設けられ、第１吸着保持手段１１により平坦面４０上に
基板６を移載した状態で、両アクチュエータ４２により
当接板４３を押し出して、該基板６を当接板４３と姿勢
調整板４１との間で挟持することで、該基板６の姿勢が
水平面内において適正な姿勢に調整されるとともに、姿
勢調整位置の適正な位置に該基板６が位置調整されるこ
とになる。尚、各種サイズの基板６の姿勢及び位置を調
整するため、基板６のサイズに応じてアクチュエータ４
２の取付位置を変更できるように構成することが好まし
い。

【００２５】次に、昇降可能な第１移載台２及び第２移
載台３を有する基板受取装置４について説明する。図１
〜図４に示すように、機台３０の左側面の後部及び前部
には上下方向に延びる１対の第１ガイドロッド５０及び
１対の第２ガイドロッド５１が設けられ、第１及び第２
ガイドロッド５０，５１には第１及び第２移載台２，３
がそれぞれ上下移動自在に案内されている。第１ガイド
ロッド５０の上部間及び第２ガイドロッド５１の上部間
において機台３０の左側面には第１及び第２スプロケッ
ト５２，５３が回転自在に設けられ、第１及び第２ガイ
ドロッド５０，５１の途中部間において機台３０の左側
面には図示外のサーボモータにより回転される駆動スプ
ロケット５４が設けられ、これら３つのスプロケット５
２〜５４にはチェーン５５が略M字状に掛装され、チェ
ーン５５の一端部は第１移載台２に、またチェーン５５
の他端部は第２移載台３に連結され、駆動スプロケット
５４が回転すると第１移載台２と第２移載台３とが連動
して上下逆方向に昇降されるように構成されている。

【００２６】両移載台２，３の上面には前後方向に延び
る左右１対のガイドレール５６が設けられ、両ガイドレ
ール５６には可動仕切板５７が前後移動自在に支持さ
れ、両移載台２，３の上面前部には左右方向に延びるＬ
型の支持体５８が設けられている。可動仕切板５７の下
部と支持体５８の上部には左右方向に一定間隔おきにガ
イドローラ５９がそれぞれ設けられ、第２吸着保持手段
１２に吸着保持された基板６は、第１移載台２又は第２
移載台３のガイドローラ５９上に載置される。可動仕切
板５７には左右方向に延びるエアシリンダ等からなるア
クチュエータ６０が設けられ、アクチュエータ６０の右
端部には上方へ延びる押出板６１が設けられ、ガイドロ
ーラ５９上に積層状に整列移載された基板６は、アクチ
ュエータ６０により押出板６１が左方へ駆動されること
で、搬送台車７０内に送り出される。また、両移載台
２，３の前側には固定仕切板６２が機台３０側に固定さ
れ、可動仕切板５７と固定仕切板６２とで基板６の前後
方向への移動が規制されるように構成されている。尚、
本実施例では、チェーン５５により第１及び第２移載台
２，３を相互に上下逆方向に昇降させたが、ワイヤ等の
紐体を用いて相互に逆方向に昇降させてもよいし、サー
ボモータとスクリュー軸などの駆動手段を用いて個別に
昇降させてもよい。個別に昇降させる場合には、一方の
移載台に所定枚数の基板６が積層状に移載される前に、
予め他方の移載台を上昇させることになる。

【００２７】搬送台車７０の上部には平面視略コ字状の
側壁７１が形成され、搬送台車７０の下部には一定間隔
おきにボールベアリング７２を組み込んだ収容底面７３
が形成され、搬送台車７０は収容底面７３の高さ位置が
移載台のガイドローラ５９と略同じ高さ位置になるよう
に、側壁７１の開口側を右側に向けて両移載台２，３に
接近配置されている。

【００２８】次に、整列移載システム１の作動を説明し
ながら、基板６の整列移載方法について説明する。基板
整列移載装置７では、先ず、図３に示すように、プレス
成形された基板６がコンベア５により受渡位置に搬送さ
れる毎に、第１姿勢調整手段１０により該基板６の姿勢
を水平面内において大まかに調整する。次に、図５
（ａ）に示すように、移動手段１３により第１及び第２
吸着保持手段１１，１２が前進位置に移動し、第１昇降
手段３４により第１吸着保持手段１１が下降し、受渡位
置の基板６を吸着保持して上昇する。このとき第２吸着
保持手段１２も第２昇降手段３６により下降してから上
昇するがこれについては後述する。

【００２９】次に、図５（ｂ）に示すように、移動手段
１３により第１及び第２吸着保持手段１１，１２が後退
位置へ移動し、第１昇降手段３４により第１吸着保持手
段１１が下降し、吸着保持している基板６を姿勢調整位
置に移載して上昇する。このとき第２吸着保持手段１２
も第２昇降手段３６により下降してから上昇するがこれ
については後述する。

【００３０】次に、第２姿勢調整手段１４により姿勢調
整位置の平坦面４０に移載された基板６の姿勢を水平面
内において調整するとともに、図５（ｃ）に示すよう
に、第１及び第２吸着保持手段１１，１２が前進位置へ
移動して、第２昇降手段３６により第２吸着保持手段１
２が下降し、姿勢調整された基板６を吸着保持して上昇
する。一方、第１吸着保持手段１１も第１昇降手段３４
により下降して、前述のように受渡位置に搬送された基
板６を吸着保持して上昇する。

【００３１】次に、図３，図５（ｄ）に示すように、移
動手段１３により第１及び第２吸着保持手段１２が後退
位置へ移動し、第２昇降手段３６により第２吸着保持手
段１２が下降し、吸着保持している基板６を第１移載台
２のガイドローラ５９上に移載して上昇する。一方、第
１吸着保持手段１１も第１昇降手段３４により下降し
て、前述のように吸着保持している基板６を姿勢調整位
置に移載する。

【００３２】こうして基板整列移載装置７では、コンベ
ア５により受渡位置に基板６が搬送される毎に、移動手
段１３により第１及び第２吸着保持手段１１，１２を進
退移動させ、搬送された基板６を１枚ずつ第１移載台２
上に姿勢調整して積層状に移載することになる。そし
て、第１移載台２に設定枚数の基板６が移載されると、
次回からは移動手段１３による第１及び第２吸着保持手
段１１，１２の後退移動時に、図３に仮想線で示すよう
に、切替手段１５により第２吸着保持手段１２をガイド
フレーム３７に沿って前進させ、第２吸着保持手段１２
を第２移載台３の上方位置に移動させ、第２吸着保持手
段１２に吸着保持された基板６を第２移載台３に移載す
る。また、移動手段１３による第１及び第２吸着保持手
段１１，１２の前進移動時には、切替手段１５により第
２吸着保持手段１２をガイドフレーム３７に沿って後退
させ、第２吸着保持手段１２を姿勢調整位置の上方に移
動させることになる。こうして、第１移載台２と第２移
載台３とに設定枚数の基板６を順次積層状に整列移載す
ることになる。

【００３３】一方、基板受取装置４では、第１移載台２
に１乃至複数枚の基板６が移載される毎に、移載された
基板６の最上位置が変化しないように、第１移載台２を
下降させるとともに第２移載台３を上昇させる。そし
て、第１移載台２に設定枚数の基板６が移載されると、
アクチュエータ６０により第１移載台２上の基板６を搬
送台車７０側へ押出して、搬送台車７０の収容底面７３
上に移し、次回からは第２移載台３に１乃至複数枚の基
板６が移載される毎に、第２移載台３を下降させるとと
もに第１移載台２を上昇させ、設定枚数の基板６が移載
される毎に、移載された基板６を順次搬送台車７０に移
すとともに、両移載台２，３の昇降動作を逆転させる。
こうして、搬送台車７０に一定枚数の基板６が収容され
ると、この搬送台車７０を洗浄装置へ移動させるととも
に、新たな搬送台車７０を基板受取装置４の左側にセッ
トすることになる。

【００３４】

【発明の効果】本発明に係る基板の整列移載システム及
び整列移載方法によれば、第２吸着保持手段により保持
された基板の移載位置を第１移載台と第２移載台とに切
り替えるので、一方の移載台に対して設定枚数の基板を
整列移載した後、直ちに他方の移載台に対する基板の移
載を開始することが可能となり、途切れることなく基板
を積層状に整列移載できる。しかも、他方の移載台に対
して基板を整列移載している間に、一方の移載台上の基
板を搬送台車等に移し替えることも可能となる。また、
第２吸着保持手段から移載台への移載時における基板の
落下距離を略一定にできるので、基板移載時における姿
勢の変動を効果的に防止できる。

【００３５】また、昇降手段として、第１移載台と第２
移載台を同期して逆方向に昇降する昇降手段を設ける
と、一方の移載台を順次下降させながら該移載台に設定
枚数の基板を移載した後、移載の開始位置に上昇した他
方の移載台に対して直ちに基板を整列移載できるので、
基板移送手段を停止させることなく、連続移載が可能と
なる。

【００３６】更に、設定枚数の基板が移載された移載台
の上面と略同じ高さ位置の収容底面を有する搬送台車を
基板受取装置に対面状に設けるとともに、該移載台に積
層状に移載された基板を搬送台車側に押し出す押出手段
を基板受取装置に設けると、移載台に積層移載した設定
枚数の基板を自動的に搬送台車へ移送することが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 整列移載システムの斜視図

【図２】 整列移載システムの平面図

【図３】 整列移載システムの作動説明図

【図４】 基板受取装置の斜視図

【図５】 整列移載システムの作動説明図

【符号の説明】

１ 整列移載システム ２ 第１移載台 ３ 第２移載台 ４ 基板受取装置 ５ コンベア ６ 基板 ７ 基板整列移載装置 １０ 第１姿勢調整手段 １１ 第１吸着保持手
段 １２ 第２吸着保持手段 １３ 移動手段 １４ 第２姿勢調整手段 １５ 切替手段 ２０ 停止板 ２１ 位置規制板 ２２ 押圧手段 ２３ 当接板 ２４ アクチュエータ ２５ａ 本体部 ２５ｂ パッド部 ２５ 吸着パッド ３０ 機台 ３１ フレーム ３２ 脚柱 ３３ ベースプレート ３４ 第１昇降手段 ３５ 第１レバー部材 ３６ 第２昇降手段 ３７ ガイドフレーム ３８ 支持体 ３９ 第２レバー部材 ４０ 平坦面 ４１ 姿勢調整板 ４２ アクチュエータ ４３ 当接板 ５０ 第１ガイドロッド ５１ 第２ガイドロッ
ド ５２ 第１スプロケット ５３ 第２スプロケッ
ト ５４ 駆動スプロケット ５５ チェーン ５６ ガイドレール ５７ 可動仕切板 ５８ 支持体 ５９ ガイドローラ ６０ アクチュエータ ６１ 押出板 ６２ 固定仕切板 ７０ 搬送台車 ７１ 側壁 ７２ ボールベアリン
グ ７３ 収容底面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 北村 重敏 大阪府寝屋川市石津元町10番32号 皆見電 子工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3C030 DA11 DA23 DA25 DA27 DA32 DA37 3F029 BA09 CA82 DA04 3F072 AA14 AA28 AA29 GD05 GG04 GG12 KA01 KA38 KD03 KD12 KD15 KD22 KD27 KD30 KE01 KE04 KE11 KE23

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を吸着保持可能な第１及び第２吸着
   保持手段と、両吸着保持手段を基板移送方向に間隔をあ
   けて連動して進退移動させる移動手段と、基板移送方向
   の途中部の姿勢調整位置において、基板の姿勢を水平面
   内において調整する姿勢調整手段と、第２吸着保持手段
   を側方へ移動さて基板移送方向を切り替える切替手段と
   を有し、受渡位置に水平姿勢で順次移送される基板を第
   １吸着保持手段により吸着保持して姿勢調整位置に移載
   し、姿勢調整位置において姿勢調整手段により基板の姿
   勢を調整した後、第２吸着保持手段で吸着保持して第１
   移載位置又は第２移載位置に切替手段により移載位置を
   切替えて積層状に整列移載する基板整列移載装置と、 前記第１及び第２移載位置に配置した第１及び第２移載
   台と、両移載台を昇降する昇降手段とを有し、基板整列
   移載装置により積層状に整列移載された基板の最上位置
   の高さが変化しないように、第１及び第２移載台を昇降
   する基板受取装置と、 を備えた基板の整列移載システム。
2. 【請求項２】 前記昇降手段として、第１移載台と第２
   移載台を同期して逆方向に昇降する昇降手段を設けた請
   求項１記載の基板の整列移載システム。
3. 【請求項３】 設定枚数の基板が移載された移載台の上
   面と略同じ高さ位置の収容底面を有する搬送台車を基板
   受取装置に対面状に設けるとともに、該移載台に積層状
   に移載された基板を搬送台車側に押し出す押出手段を基
   板受取装置に設けた請求項１又は２記載の基板の整列移
   載システム。
4. 【請求項４】 受渡位置に水平姿勢で順次移送される基
   板を第１吸着保持手段により吸着保持して姿勢調整位置
   に移載し、姿勢調整位置にて水平面内において基板の姿
   勢を正した後、第２吸着保持手段で吸着保持して、最上
   位置の基板高さが変化しないように移載台を下降させな
   がら、第１移載台又は第２移載台に順次整列させて積層
   状に移載し、第１移載台又は第２移載台に積層した基板
   が設定枚数になると、第２吸着保持手段にて吸着保持し
   た基板の移載位置を、第１移載台から第２移載台にある
   いは反対に切り替えて移載することを特徴とする基板の
   整列移載方法。
5. 【請求項５】 第１移載台と第２移載台とを同期して逆
   方向に昇降させながら、移載台上に順次積層状に基板を
   整列移載する請求項４記載の基板の整列移載方法。