CN103449179B - 基板的垂直搬送装置 - Google Patents

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Abstract

本发明是有关于一种防止基板从定位部往拾取部载移时位置偏移的基板的垂直搬送装置。具备：具有支持构件及调整载置于该支持构件上的基板位置的定位单元的定位装载机、可对载置于支持构件上的基板进行吸附并使其上升及下降的吸附升降单元以及将基板在借由拾取构件拾取的状态下往刻划单元进行搬送的拾取步骤传送部；借由吸附升降单元的下降动作，进行基板的从定位装载机往拾取步骤传送部的载换。

Description

基板的垂直搬送装置
技术领域
本发明有关于一种基板的垂直搬送装置，特别是有关于一种可以使由脆性材料等构成的基板在已正确定位的状态下垂直地移动往拾取(chucking)步骤的基板的垂直搬送装置。
背景技术
在图1，表示在现有习知技术中，将已投入供给装载机(loader)的基板，搬送至进行刻划步骤的刻划传送部的传送装置。如图1所示，为了对已投入供给装载机A的基板1以配合用途而进行刻划，必须水平地将基板1搬送至刻划传送部D上的刻划单元30。
因此，首先，使供给装载机A的传送带3旋转，而将基板1搬送至定位装载机B。定位装载机B，进行定位基板1的X轴、Y轴位置的作业。
在定位装载机B的上方，设置有用于使基板1视需要而旋转的回旋单元22。回旋单元22，一般在基板1的纵向、横向的长度为相同的情形下不使用，在基板1的纵向、横向的长度互为不同的情形下使用。在回旋单元22上，设置有用于使回旋单元22上升及下降的上下驱动单元20，且在回旋单元22的下面，安装有用于吸附基板1的吸附垫(pad)24。
在改变供给于定位装载机B上的基板1的朝向时，首先，驱动上下驱动单元20使回旋单元22朝向基板1下降。接着，借由安装于回旋单元22下面的吸附垫24对基板1进行吸附。一旦吸附，驱动上下驱动单元20使基板1往上方抬起。利用吸附垫24而吸附的基板1，当借由上下驱动单元20上升至一定的高度时，使基板1旋转。之后，驱动上下驱动单元20，使基板1下降至定位装载机B的上面。然后，解除吸附垫24的吸附，在将基板1载置于定位装载机B上之后，驱动上下驱动单元20，使回旋单元22上升且回归到最初的位置。
在将基板1从定位装载机B往下一步骤的拾取步骤传送部C进行搬送之前，使用设置于定位装载机B的前后左右的定位单元10，进行基板1的X轴、Y轴的位置调整。此为了借由正确地进行基板1的定位，而实行高精度的刻划。在借由定位单元10对基板1的X轴、Y轴的位置正确地调整后，往下一步骤即拾取步骤传送部C进行搬送。
可是，在基板1从定位装载机B的传送带6往拾取步骤传送部C的传送带9载移时，会产生微小的位置偏移。具体而言，各传送带的微小的高低落差与旋转速度的落差，会导致基板1的位置偏移。
一旦在仍处于位置已偏移的状态下于拾取步骤传送部C上拾取，存在有以下的问题：在借由安装于刻划单元30的刻划头的刀具前进或后退而刻划后，无法获得所希望的高尺寸精度的单位基板。此外，亦存在有在刻划作业的途中拾取偏移、基板破裂等问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种可在基板正确地定位后，进行刻划作业的基板的垂直搬送装置，其能够防止基板从定位部往拾取部载移时位置偏移。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。本发明提出一种基板的垂直搬送装置，具备：具有支持构件以及调整载置于该支持构件上的基板位置的定位单元的定位装载机、可对载置于该支持构件上的基板进行吸附并使其上升及下降的吸附升降单元以及将该基板在借由拾取构件拾取的状态下往刻划单元进行搬送的拾取步骤传送部；借由该吸附升降单元的下降动作，进行基板的从该定位装载机往该拾取步骤传送部的载换。
本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
较佳的，前述的基板的垂直搬送装置，其中该支持构件可在水平方向移动。
较佳的，前述的基板的垂直搬送装置，其中该支持构件由多个传送带构成，且借由各传送带在水平方向移动，形成该基板可通过的开口部。
借由上述技术方案，本发明基板的垂直搬送装置至少具有下列优点及有益效果：根据本发明，在基板借由定位装载机而定位的状态下，往下一步骤即拾取步骤传送部下降并载置，因此可明显地减少基板位置偏移的产生，此外，拾取步骤传送部配置于定位装载机的下方，因此可大幅地减少装置的设置空间。此外，定位装载机的支持构件可由多个传送带构成，各传送带在水平方向移动并形成较宽宽度的开口部，因此可使基板不会与传送带干扰，且不会伴随位置偏移地下降。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图,详细说明如下。
附图说明
图1:表示现有习知的基板搬送装置的示意图。
图2:表示本发明的垂直搬送装置的示意图。
图3:表示基板已载置于定位装载机的示意图。
图4:表示基板被定位的示意图。
图5:表示基板被吸附定位后的示意图。
图6:表示基板被吸附并上升的示意图。
图7:表示基板从定位装载机往拾取步骤传送部垂直搬送的示意图。
图8:表示定位装载机的传送带与吸附升降单元往返于基准位置的示意图。
图9:表示定位装载机的传送带在基准位置的状态下的定位装载机、拾取步骤传送部及刻划单元的立体图。
图10:表示定位装载机的传送带在退避至侧方的状态下的定位装载机、拾取步骤传送部及刻划单元的立体图。
【主要元件符号说明】
A：供给装载机 B：定位装载机
C：拾取步骤传送部 D：刻划步骤传送部
1：基板
6、6-a、6-b、6-c、6-d、6-e、6-f：传送带
10：定位单元 12：传送带
15：拾取构件 20：上下驱动机构
24：吸附垫 26：吸附升降单元
30：刻划单元
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的一种基板的垂直搬送装置的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。
以下，参照附图对本发明的较佳实施例进行更详细地说明。在本发明的实施例中，关于与现有习知技术的构成元件相同或类似的构成元件，借由使用相同的附图符号而省略说明。
本发明的基板的垂直搬送装置，如图2所示，用于供给由脆性材料等所构成的基板1的供给装载机A以水平的状态设置，在与供给装载机A相同平面上设置有定位装载机B。
在定位装载机B的前后左右，设置有用于调整基板1的X轴、Y轴位置的定位单元10。此外，在定位装载机B的上方设置有用于吸附基板1并使其升降的吸附升降单元26。吸附升降单元26，具备有上下驱动机构20、以及用于吸附基板1的吸附垫24。进一步地，吸附升降单元26，具有用于因应必要而使基板1在与定位装载机B平行的平面上旋转的回旋机构。
在定位装载机B的垂直方向下方，配置有拾取步骤传送部C。在与拾取步骤传送部C相同平面上的基板搬送方向下游，设置有刻划传送部D。
一旦将欲进行加工的基板1载置于供给装载机A上，首先，使供给装载机A的传送带3旋转，而如图2所示，将基板1搬送往定位装载机B。
接着，使用设置于定位装载机B的前后左右的定位单元10，如图3及图4般，进行将基板1的X轴、Y轴位置正确地定位。虽未具体地图示，但定位单元10使用气缸等，而从基板1的前后左右对基板1加压往中央侧并进行正确的定位。
一旦借由定位单元10决定基板1的X轴、Y轴的位置，使设置于定位装载机B上方的吸附升降单元26，如图5所示，往基板1上下降，且借由吸附垫24对基板1进行吸附。之后，驱动上下驱动机构20使基板1上升至一定高度。在该状态下，若基板1旋转为必要，则驱动配置于吸附升降单元26的回旋机构，如图6所示，使基板1旋转既定角度。
接着，如图6所示，定位装载机B的传送带6往侧方退避，在中央形成具有较宽宽度的开口部。通过该开口部，使基板1可往下方移动。亦即，如图9及图10所示，在定位装载机B，并列地设置有多个传送带6-a、6-b、6-c、6-d、6-e、6-f，而各个传送带可移动于与传送带的旋转方向正交的方向。多个传送带6之中，位于左侧的传送带6-a、6-b、6-c往左侧方退避，位于右侧的传送带6-d、6-e、6-f往右侧方退避。然而，亦可根据设置场所的空间条件或装载机等的动作条件，左右为非相同数量，使其左右非对称地移动。
一旦传送带6往侧方退避而于中央形成开口部，如图7所示，驱动上下驱动机构20使基板1下降。基板1，通过开口部而运往定位装载机B的下方。在定位装载机B的下方，以具有一定间隔的方式并列多个拾取步骤传送部C的传送带100。
一旦基板1抵接于传送带100，则解除吸附垫24的吸附。借此，完成脆性材料基板1往拾取步骤传送部C的传送带100上的载置。之后，如图8所示，驱动上下驱动机构20使吸附升降单元26上升，使退避至侧方的定位装载机B的传送带6回到最初的位置。
载置于拾取步骤传送部C的传送带100上的基板1，在定位装载机B中已完成定位，因此若维持该状态进行拾取而往下一步骤移送较佳。亦即，在使基板1往拾取步骤传送部C的传送带100上移动时，在既已在定位装载机B完成定位的状态下，仅进行垂直方向的移动，因此不会产生传送带在载移时的位置偏移等。
接着，一边以拾取构件15对基板1进行拾取，一边朝向刻划单元30反复进行前进与后退，借由该过程而刻划基板1。如此，使基板1从定位装载机B往拾取步骤传送部C下降移动，借此可明显地减少基板1的位置偏移。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (2)

1.一种基板的垂直搬送装置，其特征在于具备：
定位装载机，具有支持构件以及调整载置于该支持构件上的基板的位置的定位单元；
吸附升降单元，可对载置于该支持构件上的基板进行吸附，并使其上升及下降；以及
拾取步骤传送部，配置于该定位装载机的垂直方向下方，将该基板在借由拾取构件拾取的状态下往刻划单元进行搬送；
借由该吸附升降单元的下降动作，进行基板的从该定位装载机往该拾取步骤传送部的载换；
该拾取步骤传送部配置于该定位装载机的下方；
一边以该拾取构件对该基板进行拾取，一边朝向该刻划单元反复进行前进与后退，借此刻划该基板；
该支持构件可以在水平方向移动。
2.如权利要求1所述的基板的垂直搬送装置，其特征在于其中该支持构件由多个传送带构成，借由各传送带在水平方向移动，形成该基板可通过的开口部。
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