JP4846776B2 - 部品実装装置 - Google Patents
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Description
このときには、ウェハをウェハテーブル3に引き込んだ後に、ウェハテーブル3の回転時には、ロッド35によって補強部材17の移動を阻止し、図5に示した状態でウェハシート50を拡張し、部品を供給した後には、一旦ロッド35を引き込み、ウェハテーブル3を補強部材17と共に反時計回り方向に例えば30度回転させ、補強部材17をシリンダ34の反時計回り方向上流側、即ち、図4においては上側に位置させる。次に、ロッド35を伸ばし、ロッドによって補強部材17の時計回り方向への移動を阻止しつつ、ウェハテーブル3を時計回り方向へ回転させる。そして、開口16側の分割部10が図6に示した位置に到達する前にロッド35を引き込み、補強部材17をウェハテーブル3と共に時計回り方向へ回転させ、ウェハテーブル3の回転が停止したときには、補強部材17が図1或いは図6に示した位置に止まるようにしてもよい。このように構成することにより、シリンダは1個で済み、またシリンダを移動させる機構を省略することができる。
2 ウェハ
3 ウェハテーブル
4 上下ベース
5 拡張板
6 第1の間隔板
7 第2の間隔板
8 溝
10 分割部
11 右部拡張板
12 左部拡張板
13 ウェハフレーム
14 空間(スリット)
15 切り欠き
17 補強部材
22 ピン
23 溝
24 拡張機構
34 シリンダ
50 ウェハシート
51 スライド装置
Claims (6)
- ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームが入り込むスリットが形成され、前記ウェハフレームを支持する挟み込み部材を有したウェハテーブルを備え、前記ウェハフレームを前記挟み込み部材によって支持して前記ウェハシートを拡張し、前記ウェハから部品を供給する部品供給装置において、前記ウェハフレームを前記ウェハテーブル内に引き込む経路に位置し、前記挟み込み部材を補強する補強部材を設けたことを特徴とする部品供給装置。
- ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームを支持する環状のベースと、前記ベースの上方に間隔を存して設けられた拡張板と、この拡張板と前記ベースとの間に設けられ、前記ウェハフレームが引き込むまれる部分に切り欠き部が形成された間隔板とを備え、前記ウェハフレームを外部から前記切り欠き部の前端から引き込み、前記ウェハシートをウェハ前記ベース及び前記拡張板の内側に位置させ、前記ウェハフレームを前記拡張板によって上方から押さえて拡張した後に前記ウェハから部品を供給する部品供給装置であり、前記拡張板の前記切り欠き部に対応した部分を上方から押さえる補強装置を備えたことを特徴とする部品供給装置。
- ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームを支持する環状のベースと、前記ウェハフレームを前記ベース内に引き込むスライド装置と、このスライド装置が通過する分割部が形成され前記ベースの上方に間隔を存して設けられた拡張板と、この拡張板と前記ベースとの間に設けられて、前記ウェハフレームが引き込まれるときに通過する切り欠き部が分割部に対応して形成された間隔板とを備え、前記ウェハフレームを外部から前記切り欠き部の前端から引き込み、前記ウェハシートを前記ベース及び前記拡張板の内側に位置させ、前記ウェハフレームを前記拡張板によって上方から押さえて前記ウェハシートを拡張した後にウェハから部品を供給する部品供給装置であり、前記分割部に位置し、前記拡張板を上方から押さえる補強装置を備えたことを特徴とする部品供給装置。
- ウェハが貼られているウェハシートの周縁部を支持するウェハフレームを支持する環状のベースと、前記ウェハフレームを前記ベース内に引き込むスライド装置と、このスライド装置が通過する分割部が形成され前記ベースの上方に間隔を存して設けられた拡張板と、この拡張板と前記ベースとの間に設けられて、前記ウェハフレームが引き込まれるときに通過する切り欠き部が分割部に対応して形成された間隔板とを備え、前記ウェハフレームを外部から前記切り欠き部の前端から引き込み、前記ウェハシートを前記ベース及び前記拡張板の内側に位置させ、前記ウェハフレームを前記拡張板によって上方から押さえて拡張した後にウェハから部品を供給する部品供給装置であり、前記ウェハフレームを前記拡張板によって押さえて前記ウェハシートを拡張しウェハから部品を供給するときには、前記拡張板の分割部において前記ベースと拡張板とを上下から挟み込む補強装置を設けたことを特徴とする部品供給装置。
- 前記補強装置は、前記ベース及び前記拡張板の周縁部を上下から挟み込み、前記ベースと前記拡張板との間隔を維持する断面コの字状の補強部材と、この補強部材の上壁に設けられ下方へ突出した抜け止め部材とを備え、前記拡張板の周縁部には前記抜け止め部材が入り込む溝が形成され、前記抜け止め部材が前記溝に入り込んだ状態で、前記ベース及び拡張板と前記補強部材との相対的な位置を変更させる回転機構の回転によって、前記補強部材は前記分割部に移動することを特徴とする請求項4に記載の部品供給装置。
- 前記補強装置は、前記ベース及び前記拡張板の周縁部を上下から挟み込み、前記ベースと前記拡張板との間隔を維持する断面コの字状の補強部材と、この補強部材の上壁に設けられ下方へ突出した抜け止め部材とを備え、前記拡張板の周縁部に形成されて前記抜け止め部材が入り込む溝と、前記ベース及び拡張板を同時に回転させる回転機構と、この回転機構の回転時に前記補強部材の移動を阻止する移動阻止部材とを備え、前記拡張板は前記回転機構の動作によって前記抜け止め部材が前記溝内に位置した状態で回転し、前記補強部材は前記分割部に位置することを特徴とする請求項5に記載の部品供給装置。
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