CN107833851A - 一种扩晶机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种扩晶机,包括基座、内压圈、外压圈和限位机构,基座的上端设置有下压板,下压板的边缘铰接有上压板,下压板与上压板之间设置有锁紧机构,上压板与下压板的中部对应设置有圆孔,基座上设置有圆形扩晶盘,扩晶盘的下表面连接有气缸并通过气缸驱动其上下运动,扩晶盘内部设置有加热装置,扩晶盘上表面的边缘环绕设置有阶梯,内压圈的内圈与阶梯相配合,外压圈的内圈与内压圈的外圈相配合,限位机构包括竖直设置在基座上的支撑杆,以及水平可转动设置在支撑杆顶端的限位板,下压板的边缘延伸有安装板,锁紧机构包括设置在安装板上的四杆机构和压块。本发明的一种扩晶机,具有结构简单,可以精准控制晶片扩张程度等优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种LED生产领域,尤其涉及一种扩晶机。
背景技术
现有技术中,在LED晶片的生产过程中,LED晶粒的检测和分选是一道十分重要的工序,为了易于对LED晶粒的检测和分选,必须对LED晶圆的载体——晶片膜进行扩张,使得贴在晶片膜上已经切割好的晶粒均匀扩张,LED一种扩晶机应需而生。
扩晶装置是组成一种扩晶机的一部分,现有的扩晶装置包括上压膜板、下压膜板、圆形扩晶盘和压盖,其中上膜压板与下压膜板具有相互对应的圆形窗口。在扩晶时,通过驱动装置驱动扩晶盘向上运动,从而拉伸晶片膜,使得晶片膜上的晶片扩张,驱动装置通常采用气缸,并通过手动控制按钮进行对气缸的运动行程调节,这使得每次扩晶时,气缸的运动行程不能保持一致,从而使得晶片扩张的程度不一致,从而对晶粒的检测和分选造成了一定的影响,并且用于锁紧上压板与下压板的锁紧结构复杂,操作非常不便。
发明内容
本发明旨在解决上述所提及的技术问题,提供一种结构简单,使用方便,可以精准控制晶片扩张程度的一种扩晶机。
本发明是通过以下的技术方案实现的:一种扩晶机,包括基座、内压圈、外压圈和限位机构,基座的上端设置有下压板,下压板的边缘铰接有上压板,下压板与上压板之间设置有锁紧机构,上压板与下压板的中部对应设置有圆孔,基座上设置有可穿过圆孔的圆形扩晶盘,扩晶盘的下表面连接有气缸并通过气缸驱动其上下运动,扩晶盘内部设置有加热装置,扩晶盘上表面的边缘环绕设置有阶梯,内压圈的内圈与阶梯相配合,外压圈的内圈与内压圈的外圈相配合,限位机构包括竖直设置在基座上的支撑杆,以及水平可转动设置在支撑杆顶端的限位板,下压板的边缘延伸有安装板,锁紧机构包括一四杆机构,四杆机构包括固定设置在安装板上的支承座、与支承座铰接的连接杆和从动杆,以及与连接杆和从动杆铰接的主动杆,从动杆上连接有一悬臂,悬臂上设置有压块,主动杆上设置有用于驱动其运动的把手。
优选地,所述阶梯的边缘设置有倒圆角。
优选地,所述基座与下压板通过连接柱固定连接。
优选地,所述下压板呈方形设置,连接柱设置有四根,分别与下压板下表面的四个对角处固定连接。
优选地,所述支撑杆为可伸缩调节的杆体。
优选地,所述扩晶盘下表面的中部设置有凸台,凸台中部设置有螺纹连接孔,气缸包括缸体以及与缸体滑动配合的活塞杆,活塞杆与扩晶盘连接的一端设置有与螺纹连接孔配合的螺纹连接部。
优选地,所述基座上倾斜设置有对上压板进行支撑限位的支撑柱。
优选地,所述扩晶盘、上压板和下压板均为不锈钢制成。
有益效果是:与现有技术相比,本发明的一种扩晶机通过上压板和下压板将晶片膜进行固定后,转动限位板至扩晶盘的正上方,当扩晶盘向上运动至与限位板接触时,停止扩晶盘的运动,这样使得扩晶盘进行扩晶操作时,可以确保每次对晶片膜的拉伸程度相同,从而保证晶片扩张的程度一致,并且限位板在定位完成后,可以转动至扩晶盘的侧部,从而不会影响下次扩晶操作中晶片膜的装夹,通过采用四杆机构驱动压块对上压板和下压板进行锁紧,结构简单,操作方便。
附图说明
以下结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明,其中:
图1为本发明的一种扩晶机的结构示意图;
图2为图1中的锁紧机构的结构示意图。
具体实施方式
如图1和图2所示,一种扩晶机,包括基座1、内压圈2、外压圈3和限位机构4,基座1的上端设置有下压板5,下压板5的边缘铰接有上压板6,下压板5与上压板6之间设置有锁紧机构25,上压板6与下压板5的中部对应设置有圆孔7,基座1上设置有可穿过圆孔7的圆形扩晶盘8,扩晶盘8的下表面连接有气缸9并通过气缸9驱动其上下运动,扩晶盘8内部设置有加热装置,扩晶盘8上表面的边缘环绕设置有阶梯10,内压圈2的内圈与阶梯10相配合,外压圈3的内圈与内压圈2的外圈相配合,限位机构4包括竖直设置在基座1上的支撑杆11,以及水平可转动设置在支撑杆11顶端的限位板12,下压板5的边缘延伸有安装板17,锁紧机构25包括一四杆机构,四杆机构包括固定设置在安装板17上的支承座18、与支承座18铰接的连接杆19和从动杆20,以及与连接杆19和从动杆20铰接的主动杆21,从动杆20上连接有一悬臂22,悬臂22上设置有压块23,主动杆21上设置有用于驱动其运动的把手24。在使用时,先将内压圈2预设在扩晶盘8的阶梯10上,驱动扩晶盘8运动至下压板5的圆孔7内,然后将晶片膜铺设在下压板5上,此时扩晶盘8的上表面可以对晶片膜起到支撑作用,从而使得晶片膜在铺设时更平整,铺设好后,将上压板6与下压板5盖合并锁紧,从而实现晶片膜的装夹固定,然后转动限位板12至扩晶盘8的正上方,当气缸9驱动扩晶盘8向上运动至与限位板12接触时,控制气缸9使扩晶盘8停止运动,这样使得扩晶盘8进行扩晶操作时,可以确保每次对晶片膜的拉伸程度相同,从而保证晶片扩张的程度一致,并且限位板12在定位完成后,可以转动至扩晶盘8的侧部,然后将外压圈3套装在内压圈2上,最后用刀具从外压圈3的边缘将晶片膜割破,即可去除晶片膜多余的边缘,然后再进行下一次的晶片膜的装夹,限位板12可以进行360度转动,不会对工人的操作造成阻挡,压板23通过有连杆与悬臂22固定连接,在锁紧时,可以通过把手24驱动主动杆21转动,从而带动从动杆20转动,使得设置在从动杆20上的压块23朝向或背向上压板6运动,从而将上压板6与下压板5锁紧,结构简单,操作方便。
阶梯10的边缘可以设置有倒圆角13,这样可以防止对晶片膜造成损伤。
基座1与下压板5可以通过连接柱14固定连接。进一步的,下压板5可以呈方形设置,连接柱14设置有四根,分别与下压板5下表面的四个对角处固定连接,这样可以使得下压板5的安装更加稳定,并且下压板5与基座1之间可以构造成用于安装气缸9的间隙,安装结构设置更加合理,结构紧凑。
支撑杆11可以为可伸缩调节的杆体,这样可以调节限位板12设置的高度,实现对扩晶盘8不同高度的限位,从而实现对晶片膜不同扩晶程度的加工。
扩晶盘8下表面的中部可以设置有凸台15,凸台15中部设置有螺纹连接孔,气缸9包括缸体以及与缸体滑动配合的活塞杆,活塞杆与扩晶盘8连接的一端设置有与螺纹连接孔配合的螺纹连接部,采用螺纹连接的方式,使得扩晶盘8的拆装更加方便快捷。
基座1上可以倾斜设置有对上压板6进行支撑限位的支撑柱16,支撑柱16的设置可以使得上压板6打开时,对上压板6起到支撑的作用,并对上压板6起到限位,防止上压板6继续绕铰接点转动。
扩晶盘8、上压板6和下压板5可以均为不锈钢制成,这样可以避免发生腐蚀,从而提高其使用寿命,并且采用不锈钢制成的扩晶盘8,可以提高热传导效率。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而并非对其进行限制,凡未脱离本发明精神和范围的任何修改或者等同替换,其均应涵盖在本发明技术方案的范围内。
Claims (8)
1.一种扩晶机,其特征在于,包括基座(1)、内压圈(2)、外压圈(3)和限位机构(4),基座(1)的上端设置有下压板(5),下压板(5)的边缘铰接有上压板(6),下压板(5)与上压板(6)之间设置有锁紧机构(25),上压板(6)与下压板(5)的中部对应设置有圆孔(7),基座(1)上设置有可穿过圆孔(7)的圆形扩晶盘(8),扩晶盘(8)的下表面连接有气缸(9)并通过气缸(9)驱动其上下运动,扩晶盘(8)内部设置有加热装置,扩晶盘(8)上表面的边缘环绕设置有阶梯(10),内压圈(2)的内圈与阶梯(10)相配合,外压圈(3)的内圈与内压圈(2)的外圈相配合,限位机构(4)包括竖直设置在基座(1)上的支撑杆(11),以及水平可转动设置在支撑杆(11)顶端的限位板(12),下压板(5)的边缘延伸有安装板(17),锁紧机构(25)包括一四杆机构,四杆机构包括固定设置在安装板(17)上的支承座(18)、与支承座(18)铰接的连接杆(19)和从动杆(20),以及与连接杆(19)和从动杆(20)铰接的主动杆(21),从动杆(20)上连接有一悬臂(22),悬臂(22)上设置有压块(23),主动杆(21)上设置有用于驱动其运动的把手(24)。
2.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述阶梯(10)的边缘设置有倒圆角(13)。
3.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述基座(1)与下压板(5)通过连接柱(14)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种扩晶机,其特征在于,所述下压板(5)呈方形设置,连接柱(14)设置有四根,分别与下压板(5)下表面的四个对角处固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述支撑杆(11)为可伸缩调节的杆体。
6.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述扩晶盘(8)下表面的中部设置有凸台(15),凸台(15)中部设置有螺纹连接孔,气缸(9)包括缸体以及与缸体滑动配合的活塞杆,活塞杆与扩晶盘(8)连接的一端设置有与螺纹连接孔配合的螺纹连接部。
7.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述基座(1)上倾斜设置有对上压板(6)进行支撑限位的支撑柱(16)。
8.根据权利要求1所述的一种扩晶机,其特征在于,所述扩晶盘(8)、上压板(6)和下压板(5)均为不锈钢制成。
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