JPWO2013171869A1 - ダイ剥離装置 - Google Patents
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Abstract
Description
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。本実施形態のダイ剥離装置100は、図3に示すダイ集合体500を1ずつ剥離するものである。ダイ集合体500は、図3に示すように、樹脂等で構成された枠体501と、枠体の内周側に取り付けられ上面に粘着層が形成された粘着シート502と、粘着シート502上に貼り付けられた複数の半導体素子であるダイ503とから構成されている。
以下に、図5のフローチャート、図6の説明図、図7のタイムチャートを用いて、粘着シート502からダイ503を剥離する第一の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」について説明する。なお、負圧とは、大気圧よりも低い圧力であり、負圧が大きくなるとは、圧力が低下することをいう。保持テーブル20でダイ集合体500が保持されると、第一の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」が開始し、S11において、制御部70は、粘着シート502から剥離するダイ503の「強度情報」を取得する。「強度情報」は、ダイ503が粘着シート502から剥離される際の割れやすさの情報である。S11が終了すると、プログラムは、S12に進む。
以下に、図8に示すフローチャート及び図9の説明図を用いて、第二の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」について第一の実施形態と異なる点について説明する。なお、第二の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」のS11、S12、S13、S21、S31、S41、S61、S71、S91、S92は、それぞれ、第一の実施形態のS11、S12、S13、S21、S31、S41、S61、S71、S91、S92と同一の処理であるので、その説明を省略する。
以下に、図10のフローチャート及び図11の説明図を用いて、第三の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」について第一の実施形態と異なる点について説明する。なお、第三の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」のS11、S12、S13、S21、S31、S41、S61、S71、S91、S92は、それぞれ、第一の実施形態のS11、S12、S13、S21、S31、S41、S61、S71、S91、S92と同一の処理であるので、その説明を省略する。
以下に、図12のフローチャート及び図13説明図を用いて、第四の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」について第一の実施形態と異なる点について説明する。なお、第四の実施形態の「ダイ剥離搬送処理」のS12、S13、S21、S31、S41、S61、S71、S91、S92は、それぞれ、第一の実施形態のS12、S13、S21、S31、S41、S61、S71、S91、S92と同一の処理であるので、その説明を省略する。
上述した説明から明らかなように、図5、図8、図10及び図12のS21、図8のS15において、調圧弁80(吸引負圧調整部)が、吸引ノズル32の「吸引負圧」を調整することにより、吸引面32aにおける「吸引負圧」を調整する。これにより、破損しやすいダイ503を粘着シート502から剥離する場合には、調圧弁80によって、吸引面32aにおける「吸引負圧」を小さくすることにより、ピン33の押し上げによりダイ503が粘着シート502から剥離する際に、ダイ503が粘着シート502から緩慢に剥離し、剥離時にダイ503への過大な応力の作用が防止される。このため、ダイ503を粘着シート502から剥離する際における、ダイ503の破損が防止される。
(別の実施形態)
100…ダイ剥離装置
500…ダイ集合体、501…枠体、502…粘着シート、503…ダイ
Claims (5)
- 粘着シート上に貼り付けられた複数のダイを、粘着シートから引き剥がすダイ剥離装置であって、
前記粘着シートを保持する保持部と、
上端に吸引面が形成された吸引ノズルと、
前記吸引面において吸引負圧を発生させる負圧源と、
前記吸引面から上方に突出可能に前記吸引ノズルに装着されたピンと、
前記ピンを上下動させる押し上げ装置と、
前記吸引負圧を調整する吸引負圧調整部と、を有し、
前記吸引面において、前記保持部で保持されている前記粘着シートの下面を、前記吸引前記吸引負圧調整部で調整された吸引負圧で吸引し、
前記吸引面で吸引されている前記粘着シート下面を、前記押し上げ装置を駆動させることにより前記ピンで押し上げ、前記ダイを前記粘着シートから剥離させるダイ剥離装置。 - 請求項1において、
前記吸引負圧が一定以上に達した場合に、前記ピンを押し上げるピン制御手段を有するダイ剥離装置。 - 請求項1において、
前記保持部と前記吸引ノズルを相対回動させる回動機構と、
前記ダイを前記粘着シートから剥離させる前に、前記回動機構を作動させることにより、前記吸引ノズルを前記剥離時における前記保持部との相対位置から前記吸引ノズルの軸線回りに所定角度相対回動したプレ剥離位置に回動させ、前記粘着シートの下面を前記吸引ノズルで吸引しつつ、前記ピンで前記粘着シートの下面を押し上げるプレ剥離実行手段を有するダイ剥離装置。 - 請求項1において、
前記吸引ノズルを、前記吸引ノズルの軸線回りに回動させる吸引ノズル回動機構を有し、
前記吸引ノズルで前記粘着シートの下面を吸引しつつ、前記ピンで前記粘着シートの下面を押し上げている際に、前記吸引ノズル回動機構を作動させて、前記吸引ノズルを回動させる回動剥離手段を有するダイ剥離装置。 - 請求項1において、
前記吸引ノズルを、前記吸引ノズルの軸線回りに回動させる吸引ノズル回動機構を有し、前記ピンが前記吸引面において吸引されている前記粘着シート下面を押し上げる前に、吸引ノズル回動機構を作動させて、前記吸引ノズルを、前記吸引ノズルの軸線回りに回動させたうえで位置決めする吸引ノズル回動位置決め手段を有するダイ剥離装置。
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