JP6163199B2 - 電子回路部品実装システム - Google Patents
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- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 65
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 57
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 14
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 11
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 20
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 230000003466 anti-cipated effect Effects 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000006071 cream Substances 0.000 description 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6838—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping with gripping and holding devices using a vacuum; Bernoulli devices
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
- H05K13/0404—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws
- H05K13/0413—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws with orientation of the component while holding it; Drive mechanisms for gripping tools, e.g. lifting, lowering or turning of gripping tools
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
- H05K13/082—Integration of non-optical monitoring devices, i.e. using non-optical inspection means, e.g. electrical means, mechanical means or X-rays
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages
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Description
上記課題はまた、上記(a)部品供給装置,(b)対象材保持装置,(c)実装装置および(d)破損検知装置を含む電子回路部品実装システムに、さらに、(e)対象材保持装置,電子回路部品および実装対象材の1組に対し、部品保持具に保持された電子回路部品を対象材保持装置に保持された実装対象材に当接させる動作を、その動作のパラメータである動作パラメータを予め定められた規則に従って変化させつつ繰り返し行わせ、破損検知装置により電子回路部品の破損が検知された場合の動作パラメータを破損時動作パラメータとして取得する破損時動作パラメータ取得部を設けることにより解決される。
上記課題はまた、上記(a)部品供給装置,(b)対象材保持装置,(c)実装装置および(d)破損検知装置を含む電子回路部品実装システムに、さらに、(e)部品供給装置と電子回路部品との1組に対し、部品保持具を部品供給装置に保持された電子回路部品に当接させる動作を、その動作のパラメータである動作パラメータを予め定められた規則に従って変化させつつ繰り返し行わせ、破損検知装置により電子回路部品の破損が検知された場合の動作パラメータを取得する破損時動作パラメータ取得部を設けることにより解決される。
上記動作パラメータを変化させる規則は、電子回路部品が破損し難い側から破損し易い側へ変化させるものであっても、逆の側へ変化させるものであってもよいが、前者の方が破損させられる電子回路部品を少なくできる点で望ましい。
破損時動作パラメータが得られれば、それに基づいて、破損が検知された場合と破損が検知されない場合との境界の動作パラメータである境界動作パラメータを取得することができる。この境界動作パラメータの取得も自動で行われるようにすることが望ましいが、不可欠ではなく、人によって行われるようにすることも可能である。
また、破損検知装置に加えて破損時動作パラメータ取得部を備えた電子回路部品実装システムによれば、実際の回路基板製造時と同じ条件で破損時動作パラメータを取得することができる。その破損時動作パラメータに基づけば破損が検知された場合と破損が検知されない場合との境界の動作パラメータである境界動作パラメータを取得することができ、それに適切な余裕を付加した適正動作パラメータで回路基板を能率良く製造することができる。その上、実際の回路基板製造中も破損検知装置を機能させておくこともでき、その場合には、万一破損が生じた場合にそれを検知できるため、上記余裕を比較的小さく設定することができ、一層能率良く回路基板の製造を行うことができる。
また、上記適正下降速度が、上記N0涸の破損検知時下降速度Vbのいずれよりも小さい値に決定されるようにすることも、最も小さい破損検知時下降速度Vbよりは大きい値に決定されるようにすることも可能である。前者の場合には、後に実際の電子回路の生産中に部品146の破損が生じることを良好に回避し得る反面、生産能率が過剰に低下させられてしまう可能性があり、後者の場合は、逆に生産能率の過剰な低下は回避し得る反面、実際の電子回路の生産中に部品146の破損が生じる可能性がある。部品146が破損した場合の損失の大きさ等に基づき、実際上いずれが望ましいかを考慮して、正整数N0(破損検知時下降速度Vbの取得数)および安全率cが決定されるべきである。
ただし、上記当接が検出されるためには、吸着ノズル62に対する反力の増分が設定増分を超えたことが検出されることが必要であり、この設定増分は動作パラメータの一種と考えることもでき、そのように考えれば、本実施形態においては吸着ノズル62の適正下降速度と反力の設定増分との2つが適正動作パラメータであることになる。
本実施形態においては、第2リニアモータ120の駆動電流が、部品146の破損を回避しつつ能率良く回路基板の製造を行うために制御されるべき動作パラメータの少なくとも1つであり、当接を検出し、吸着ノズル62の下降制御から上昇制御へ転換すべき駆動電流である適正駆動電流が適正動作パラメータであることとなる。
回転昇降軸52はロータ182の回転軸線を中心とする一円周上の等角度間隔の複数の位置、図示の例では6つの位置に、それぞれ回転軸線に平行な方向に摺動可能かつ自転可能に設けられている。ロータ182はロータ回転駆動モータ190により回転させられる。また、ロータ182の外周面には、一体のギヤ192,194がロータ182に対して相対回転可能に嵌合されており、ピニオン196を介してノズル回転駆動モータ198により回転させられ、複数のピニオン200を介して複数組の回転昇降軸52および吸着ノズル62を一斉に回転させる。
本実施形態においても、第2リニアモータ120の制御や、部品146の破損検知や、吸着ノズル62の適性下降速度ならびに吸着ノズル62の下降制御から上昇制御への転換時期を決める反力の設定増分の決定等が前記実施形態におけるのと同様に行われる。
ただし、図10に示す実装ヘッド178において、吸着ノズル62およびその周辺を前記図3に示した構成とし、部品146の破損を回避しつつ能率良く回路基板の製造を行うために制御されるべき適正動作パラメータの決定が図8に示す適正動作パラメータ決定ルーチンの実行により行われるようにすることも可能である。
Claims (8)
- 電子回路部品を供給する部品供給装置と、
電子回路部品を実装すべき実装対象材を保持する対象材保持装置と、
電子回路部品を保持する部品保持具およびその部品保持具を昇降させる昇降装置を備え、前記部品保持具により前記部品供給装置から電子回路部品を受け取り、前記対象材保持装置に保持された実装対象材に実装する実装装置と
を含む電子回路部品実装システムであって、
前記昇降装置により前記部品保持具が下降させられることにより、その部品保持具が電子回路部品に当接させられる際と、その部品保持具に保持された電子回路部品が前記実装対象材に当接させられる際との少なくとも一方において、電子回路部品が破損したことを検知する破損検知装置を含み、
その破損検知装置が、
前記部品保持具が電子回路部品に当接させられる際と、前記部品保持具に保持された電子回路部品が実装対象材に当接させられる際との少なくとも一方における部品保持具に対する反力を検出する反力検出部と、
その反力検出部により検出された反力の変化状態に基づいて電子回路部品の破損の有無を判定する破損判定部と
を含むことを特徴とする電子回路部品実装システム。 - 前記反力検出部が、前記昇降装置の駆動源の電流を、前記部品保持具に対する反力に対応する量として検出する駆動源電流検出部を有する請求項1に記載の電子回路部品実装システム。
- 前記反力検出部が、前記昇降装置の駆動源と前記部品保持具との間に設けられ、部品保持具から駆動源に加えられる反力を検出する反力センサを有する請求項1又は2に記載の電子回路部品実装システム。
- 前記破損判定部が、前記反力検出部により検出された反力の変化状態が、予め設定された設定変化状態に対して設定状態以上異なった場合に、電子回路部品が破損したと判定する反力変化状態依拠判定部を有する請求項1ないし3のいずれかに記載の電子回路部品実装システム。
- 前記反力変化状態依拠判定部が、反力検出部により検出された反力が増加中に設定量以上急減した場合に電子回路部品が破損したと判定する反力急減依拠判定部を有する請求項4に記載の電子回路部品実装システム。
- 電子回路部品を供給する部品供給装置と、
電子回路部品を実装すべき実装対象材を保持する対象材保持装置と、
電子回路部品を保持する部品保持具およびその部品保持具を昇降させる昇降装置を備え、前記部品保持具により前記部品供給装置から電子回路部品を受け取り、前記対象材保持装置に保持された実装対象材に実装する実装装置と
を含む電子回路部品実装システムであって、
前記昇降装置により前記部品保持具が下降させられることにより、その部品保持具が電子回路部品に当接させられる際と、その部品保持具に保持された電子回路部品が前記実装対象材に当接させられる際との少なくとも一方において、電子回路部品が破損したことを検知する破損検知装置を含み、
さらに、前記対象材保持装置,電子回路部品および実装対象材の1組に対し、前記部品保持具に保持された電子回路部品を前記対象材保持装置に保持された実装対象材に当接させる動作を、その動作のパラメータである動作パラメータを予め定められた規則に従って変化させつつ繰り返し行わせ、破損検知装置により電子回路部品の破損が検知された場合の動作パラメータを取得する破損時動作パラメータ取得部を含むことを特徴とする電子回路部品実装システム。 - 電子回路部品を供給する部品供給装置と、
電子回路部品を実装すべき実装対象材を保持する対象材保持装置と、
電子回路部品を保持する部品保持具およびその部品保持具を昇降させる昇降装置を備え、前記部品保持具により前記部品供給装置から電子回路部品を受け取り、前記対象材保持装置に保持された実装対象材に実装する実装装置と
を含む電子回路部品実装システムであって、
前記昇降装置により前記部品保持具が下降させられることにより、その部品保持具が電子回路部品に当接させられる際と、その部品保持具に保持された電子回路部品が前記実装対象材に当接させられる際との少なくとも一方において、電子回路部品が破損したことを検知する破損検知装置を含み、
さらに、前記部品供給装置と電子回路部品との1組に対し、前記部品保持具を前記部品供給装置に保持された電子回路部品に当接させる動作を、その動作のパラメータである動作パラメータを予め定められた規則に従って変化させつつ繰り返し行わせ、前記破損検知装置により電子回路部品の破損が検知された場合の動作パラメータを取得する破損時動作パラメータ取得部を含むことを特徴とする電子回路部品実装システム。 - さらに、
前記破損検知装置により電子回路部品の破損が検知されたことを報知する破損報知部と、
前記破損検知装置により電子回路部品の破損が検知された場合に、当該電子回路部品実装システムによる電子回路部品の実装動作を停止させる実装動作停止部と
の少なくとも一方を含む請求項1ないし7のいずれかに記載の電子回路部品実装システム。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2013/058818 WO2014155535A1 (ja) | 2013-03-26 | 2013-03-26 | 電子回路部品実装システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2014155535A1 JPWO2014155535A1 (ja) | 2017-02-16 |
JP6163199B2 true JP6163199B2 (ja) | 2017-07-12 |
Family
ID=51622615
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015507745A Active JP6163199B2 (ja) | 2013-03-26 | 2013-03-26 | 電子回路部品実装システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9992919B2 (ja) |
EP (1) | EP2981163B1 (ja) |
JP (1) | JP6163199B2 (ja) |
CN (1) | CN105247978B (ja) |
WO (1) | WO2014155535A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6666651B2 (ja) * | 2014-10-27 | 2020-03-18 | ハンファ精密機械株式会社 | 表面実装機の部品実装ヘッド |
US9847313B2 (en) * | 2015-04-24 | 2017-12-19 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Thermocompression bonders, methods of operating thermocompression bonders, and horizontal scrub motions in thermocompression bonding |
JP6570385B2 (ja) * | 2015-09-15 | 2019-09-04 | 株式会社Fuji | 部品装着機 |
US10746618B2 (en) * | 2015-11-04 | 2020-08-18 | Fuji Corporation | Load measuring device and load measuring method |
CN106028786A (zh) * | 2016-07-20 | 2016-10-12 | 北亚美亚电子科技(深圳)有限公司 | 一种自动换吸嘴的插件装置 |
JP6886981B2 (ja) * | 2016-09-21 | 2021-06-16 | 株式会社Fuji | 部品実装機 |
EP3522205A4 (en) * | 2016-09-28 | 2019-10-09 | Fuji Corporation | jig |
EP3522692B1 (en) * | 2016-09-29 | 2021-10-27 | Fuji Corporation | Mounting device and mounting method |
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JP6764522B2 (ja) * | 2017-03-10 | 2020-09-30 | 株式会社Fuji | 部品実装機 |
JP7213411B2 (ja) * | 2017-09-25 | 2023-01-27 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 部品搭載装置 |
JP6916097B2 (ja) * | 2017-11-20 | 2021-08-11 | キヤノンマシナリー株式会社 | ボンディング装置およびボンディング方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS62271689A (ja) * | 1986-05-14 | 1987-11-25 | オムロン株式会社 | 部品組込装置 |
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-
2013
- 2013-03-26 WO PCT/JP2013/058818 patent/WO2014155535A1/ja active Application Filing
- 2013-03-26 US US14/779,466 patent/US9992919B2/en active Active
- 2013-03-26 JP JP2015507745A patent/JP6163199B2/ja active Active
- 2013-03-26 CN CN201380075048.2A patent/CN105247978B/zh active Active
- 2013-03-26 EP EP13879683.4A patent/EP2981163B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2014155535A1 (ja) | 2017-02-16 |
EP2981163A1 (en) | 2016-02-03 |
WO2014155535A1 (ja) | 2014-10-02 |
US9992919B2 (en) | 2018-06-05 |
CN105247978A (zh) | 2016-01-13 |
CN105247978B (zh) | 2018-03-27 |
US20160037694A1 (en) | 2016-02-04 |
EP2981163B1 (en) | 2020-02-26 |
EP2981163A4 (en) | 2016-11-02 |
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Legal Events
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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