JP4085995B2 - 回転テーブル機構 - Google Patents
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Description
イド手段とで構成することにより、テーブル部材を容易にベース部材から取り外すことができ、複数種類のテーブル部材を容易に交換自在に装着することができる。
時におけるテーブル部材6の回転範囲では、当接ガイド部材13と切欠き部11bの位置が一致しないように配置が決定されており、装置稼動状態においてテーブル部材6が離脱することはない。
用可能である。
4 回転テーブル機構
5 ベース部材
5a テーブル保持面
6 テーブル部材
7 エキスパンドリング
8 回転駆動機構
9 ウェハリング
10 半導体チップ
11 ガイドリング
11a 鍔部
11b 切欠き部
12 転動支持部材
13 当接ガイド部材
18 スプリング
19 モータ
20 駆動ギア
21 従動ギア
Claims (4)
- 電子部品を保持する部品保持部を部品保持平面内で回転させる回転テーブル機構であって、前記部品保持部が装着され前記部品保持平面に略平行な平面内で回転自在なテーブル部材と、前記テーブル部材を前記部品保持平面と略平行に保持するテーブル保持面が形成されたベース部材と、前記ベース部材に対して前記テーブル部材を回転自在に保持する回転保持機構と、前記テーブル部材を回転駆動する回転駆動手段とを備え、前記回転保持機構は、前記テーブル部材を前記ベース部材に対して相対移動自在に支持する支持手段と、前記ベース部材の上面側に形成された円周状ガイド面に対して前記テーブル部材の下面に結合された当接ガイド部材を当接させることにより、前記テーブル部材を前記円周状ガイド面の中心点に対して回転自在にガイドする回転ガイド手段とを含むことを特徴とする回転テーブル機構。
- 前記支持手段は、前記テーブル部材の下面に結合されていることを特徴とする請求項1記載の回転テーブル機構。
- 前記円周状ガイド面は円筒状部材の外周に設けられており、前記円筒状部材の上端部に鍔部を設けたことを特徴とする請求項1記載の回転テーブル機構。
- 前記鍔部に、前記当接ガイド部材が上下方向に通過可能な切欠き部を設けたことを特徴とする請求項3記載の回転テーブル機構。
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