JP5136100B2 - チップ供給装置 - Google Patents
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Description
ブル15(移動テーブル)を水平移動させることにより、パレット固定機構によって固定されたパレットのチップをチップ移送装置の所定のピックアップ位置P1に位置決めする水平移動機構を構成している。
ット2をマガジン(パレット収納部)1にX方向(一方向)から出し入れする動作を行う機能を備えている。
2 パレット
2a 被保持部
2b 被固定部
8 第2テーブル
9、16 スライダ
11、17 レール
12、18 送りねじ
13、19 モータ
14、20 ナット
15 第3テーブル(移動テーブル)
21 回転アクチュエータ
22 パレット保持部材
23 直動アクチュエータ
24 パレット固定部材
Claims (1)
- チップ供給用のパレットに保持されたウェハシート上のチップをチップ移送装置へ供給するチップ供給装置であって、
複数のパレットを一方向へ出し入れ自在な状態で収納するパレット収納部と、
前記パレット収納部の前記一方向側に隣接して配置された移動テーブルと、
前記移動テーブルの前記パレット収納部側に配置され、パレット収納部内のパレットを保持して水平面内で旋回することによりパレットを前記移動テーブルの中央部上方に位置させるパレット旋回機構と、
前記移動テーブルに配置され、前記パレット旋回機構によって前記移動テーブルの中央部上方に位置させられたパレットを固定するパレット固定機構と、
前記移動テーブルを水平移動させることにより、前記パレット固定機構によって固定されたパレットのチップを前記チップ移送装置の所定のピックアップ位置に位置決めする動作と、前記パレット旋回機構に保持されたパレットをパレット収納部に前記一方向から出し入れする動作を行う水平移動機構と、を備えたことを特徴とするチップ供給装置。
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