JP2003309165A - ウェハの供給装置 - Google Patents
ウェハの供給装置Info
- Publication number
- JP2003309165A JP2003309165A JP2002115823A JP2002115823A JP2003309165A JP 2003309165 A JP2003309165 A JP 2003309165A JP 2002115823 A JP2002115823 A JP 2002115823A JP 2002115823 A JP2002115823 A JP 2002115823A JP 2003309165 A JP2003309165 A JP 2003309165A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magazine
- wafer
- wafer holder
- elevator
- pickup
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェハシートが貼着されたウェハホルダを、
マガジンに容易に出し入れでき、また設置スペースを小
さくできるウェハの供給装置を提供すること。 【解決手段】 マガジン２を載せるエレベータ４の台部
８の下面前部に棒５３をマガジン２の前面に沿って移動
させるシリンダ５０を設ける。ピックアップステージ上
のウェハホルダ１は、チャック部にチャックされてマガ
ジン２のラック上に回収されるが、その状態でウェハホ
ルダ１の端部はマガジン２からかなり突出している。そ
こで棒５３をマガジン２の前面に沿って移動させること
により、所定距離を確保してウェハホルダ１をマガジン
２内に押し込む。ウェハホルダ１はマガジン２から所定
長さを確保した位置にあるので、チャック部はウェハホ
ルダ１を一定の位置でチャックしてピックアップステー
ジへ簡単に引き出すことができる。
マガジンに容易に出し入れでき、また設置スペースを小
さくできるウェハの供給装置を提供すること。 【解決手段】 マガジン２を載せるエレベータ４の台部
８の下面前部に棒５３をマガジン２の前面に沿って移動
させるシリンダ５０を設ける。ピックアップステージ上
のウェハホルダ１は、チャック部にチャックされてマガ
ジン２のラック上に回収されるが、その状態でウェハホ
ルダ１の端部はマガジン２からかなり突出している。そ
こで棒５３をマガジン２の前面に沿って移動させること
により、所定距離を確保してウェハホルダ１をマガジン
２内に押し込む。ウェハホルダ１はマガジン２から所定
長さを確保した位置にあるので、チャック部はウェハホ
ルダ１を一定の位置でチャックしてピックアップステー
ジへ簡単に引き出すことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハを保持する
ウェハホルダをマガジンからチップのピックアップステ
ージに供給するウェハの供給装置に関するものである。
ウェハホルダをマガジンからチップのピックアップステ
ージに供給するウェハの供給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウェハはウェハホルダに保持されてマガ
ジンに収納されており、ウェハホルダをマガジンからチ
ップのピックアップステージまで引き出し、そこでピッ
クアップヘッドによりウェハのチップをピックアップし
て基板などの実装対象物に実装するようになっている。
ジンに収納されており、ウェハホルダをマガジンからチ
ップのピックアップステージまで引き出し、そこでピッ
クアップヘッドによりウェハのチップをピックアップし
て基板などの実装対象物に実装するようになっている。
【０００３】図６は従来のウェハの供給装置の平面図、
図７は従来のウェハの供給装置の側面図である。１は板
状のウェハホルダであり、これにウェハシートが張設し
て保持されている。ウェハシート上にはウェハ（図示せ
ず）が貼着されている。図７において２はマガジンであ
り、その内部にはラック３が多段に形成されており、ウ
ェハホルダ１はラック３上に多段に段積して収納されて
いる。マガジン２はその背後に設けられたエレベータ４
の台部８に支持されており、エレベータ４により上下動
する。エレベータ４の背後にはシリンダ５から成るプッ
シャが水平に設けられており、そのロッド６が前方へ突
出することにより、マガジン２内のウェハホルダ１を前
方へ押送して、ウェハホルダ１の端部をマガジン２から
一定距離の位置へ移動させる（図７において、最上段の
ウェハホルダ１を参照）。
図７は従来のウェハの供給装置の側面図である。１は板
状のウェハホルダであり、これにウェハシートが張設し
て保持されている。ウェハシート上にはウェハ（図示せ
ず）が貼着されている。図７において２はマガジンであ
り、その内部にはラック３が多段に形成されており、ウ
ェハホルダ１はラック３上に多段に段積して収納されて
いる。マガジン２はその背後に設けられたエレベータ４
の台部８に支持されており、エレベータ４により上下動
する。エレベータ４の背後にはシリンダ５から成るプッ
シャが水平に設けられており、そのロッド６が前方へ突
出することにより、マガジン２内のウェハホルダ１を前
方へ押送して、ウェハホルダ１の端部をマガジン２から
一定距離の位置へ移動させる（図７において、最上段の
ウェハホルダ１を参照）。
【０００４】図６において、マガジン２の前方にはピッ
クアップステージ１０が設けられている。ピックアップ
ステージ１０はＸテーブル１１とＹテーブル１２によ
り、Ｘ方向、Ｙ方向へ水平移動する。ピックアップステ
ージ１０の下方にはダイエジェクタ装置１３が設けられ
ており、ピックアップステージ１０に位置決めされたウ
ェハホルダ１のウェハシート上の所望のチップをピンに
より下方から突き上げる。
クアップステージ１０が設けられている。ピックアップ
ステージ１０はＸテーブル１１とＹテーブル１２によ
り、Ｘ方向、Ｙ方向へ水平移動する。ピックアップステ
ージ１０の下方にはダイエジェクタ装置１３が設けられ
ており、ピックアップステージ１０に位置決めされたウ
ェハホルダ１のウェハシート上の所望のチップをピンに
より下方から突き上げる。
【０００５】１４は長尺のロッドであり、その先端部に
はチャック部１５が設けられている。図７に示すように
チャック部１５は上下２個あり、これが開閉することに
より、ウェハホルダ１の縁部をチャックし、またチャッ
ク状態を解除する。ロッド１４は移動テーブル１６（図
６）によりＸ方向へ水平移動する。１７はピックアップ
ヘッドであって、図示しない可動テーブルによりＸ方向
やＹ方向へ水平移動する。
はチャック部１５が設けられている。図７に示すように
チャック部１５は上下２個あり、これが開閉することに
より、ウェハホルダ１の縁部をチャックし、またチャッ
ク状態を解除する。ロッド１４は移動テーブル１６（図
６）によりＸ方向へ水平移動する。１７はピックアップ
ヘッドであって、図示しない可動テーブルによりＸ方向
やＹ方向へ水平移動する。
【０００６】Ｘテーブル１１とＹテーブル１２が駆動す
ることにより、ピックアップステージ１０はＸ方向やＹ
方向へ水平移動し、ウェハホルダ１に張設されたウェハ
シート上の所定のチップをピックアップヘッド１７によ
るピックアップ位置に位置させる。そこでピックアップ
位置に到来したピックアップヘッド１７がノズル１８で
真空吸着してこのチップＰをピックアップし、位置決め
部１９に位置決めされた基板２０の所定の座標位置に搭
載する。ピックアップヘッド１７がウェハシート上のチ
ップＰをピックアップするとき、ダイエジェクタ装置１
３のピンはこのチップを下方から突き上げる。
ることにより、ピックアップステージ１０はＸ方向やＹ
方向へ水平移動し、ウェハホルダ１に張設されたウェハ
シート上の所定のチップをピックアップヘッド１７によ
るピックアップ位置に位置させる。そこでピックアップ
位置に到来したピックアップヘッド１７がノズル１８で
真空吸着してこのチップＰをピックアップし、位置決め
部１９に位置決めされた基板２０の所定の座標位置に搭
載する。ピックアップヘッド１７がウェハシート上のチ
ップＰをピックアップするとき、ダイエジェクタ装置１
３のピンはこのチップを下方から突き上げる。
【０００７】次に、マガジン２に対するウェハホルダ１
の出し入れ作業を説明する。ウェハシート上のチップの
品切れなどにより、ピックアップステージ１０のウェハ
ホルダ１をマガジン２に回収するときは、図６におい
て、予め右方へ移動して待機していたチャック部１５で
ウェハホルダ１の右端部をチャックする（図６におい
て、鎖線で示すロッド１４及びチャック部１５を参
照）。
の出し入れ作業を説明する。ウェハシート上のチップの
品切れなどにより、ピックアップステージ１０のウェハ
ホルダ１をマガジン２に回収するときは、図６におい
て、予め右方へ移動して待機していたチャック部１５で
ウェハホルダ１の右端部をチャックする（図６におい
て、鎖線で示すロッド１４及びチャック部１５を参
照）。
【０００８】次にチャック部１５をマガジン２へ向って
左方へ移動させ、ウェハホルダ１を図７において最上段
で示す位置まで移動させる（矢印Ａ）。この状態で、ウ
ェハホルダ１の大半はマガジン２のラック３上に収納さ
れるが、その右端部はマガジン２外にわずかに突出して
いる。なおチャック部１５は、ウェハホルダ１をチャッ
クした状態で、マガジン２内へは進入できない。次にチ
ャック部１５によるウェハホルダ１のチャック状態を解
除してチャック部１５を右方へ後退させ（矢印Ｂ）、チ
ャック部１５を閉じる（図７において、鎖線で示すチャ
ック部１５を参照）。
左方へ移動させ、ウェハホルダ１を図７において最上段
で示す位置まで移動させる（矢印Ａ）。この状態で、ウ
ェハホルダ１の大半はマガジン２のラック３上に収納さ
れるが、その右端部はマガジン２外にわずかに突出して
いる。なおチャック部１５は、ウェハホルダ１をチャッ
クした状態で、マガジン２内へは進入できない。次にチ
ャック部１５によるウェハホルダ１のチャック状態を解
除してチャック部１５を右方へ後退させ（矢印Ｂ）、チ
ャック部１５を閉じる（図７において、鎖線で示すチャ
ック部１５を参照）。
【０００９】このようにチャック部１５が閉じた状態
で、チャック部１５を前進させることにより（矢印
Ｃ）、マガジン２からその右端部が部分的に突出してい
たウェハホルダ１をマガジン２内に押し込んで収納す
る。図７において、２段目以下のウェハホルダ１は、こ
のようにしてマガジン２内に完全に収納されたものを示
している。
で、チャック部１５を前進させることにより（矢印
Ｃ）、マガジン２からその右端部が部分的に突出してい
たウェハホルダ１をマガジン２内に押し込んで収納す
る。図７において、２段目以下のウェハホルダ１は、こ
のようにしてマガジン２内に完全に収納されたものを示
している。
【００１０】マガジン２内のウェハホルダ１をピックア
ップステージ１０へ送り出すときは、エレベータ４でマ
ガジン２を上下動させ、所望のウェハホルダ１をチャッ
ク部１５と同じレベルにする。そこでシリンダ５のロッ
ド６が突出し（図７の矢印Ｄ）、マガジン２内のウェハ
ホルダ１の右端部をマガジン２から一定距離の位置へ移
動させる（図６において、一点鎖線で示すウェハホルダ
１を参照）。次にチャック部１５はウェハホルダ１のこ
の突出部分をチャックし、右方へ移動してピックアップ
ステージ１０へ引き出す（図６において、二点鎖線で示
すウェハホルダ１を参照）。なお、マガジン２内のウェ
ハホルダ１を引き出すためにチャックする際、チャック
部１５はウェハホルダ１の位置に合わせてその位置を変
えることはなく、常に一定の位置でウェハホルダ１をチ
ャックするようになっている。
ップステージ１０へ送り出すときは、エレベータ４でマ
ガジン２を上下動させ、所望のウェハホルダ１をチャッ
ク部１５と同じレベルにする。そこでシリンダ５のロッ
ド６が突出し（図７の矢印Ｄ）、マガジン２内のウェハ
ホルダ１の右端部をマガジン２から一定距離の位置へ移
動させる（図６において、一点鎖線で示すウェハホルダ
１を参照）。次にチャック部１５はウェハホルダ１のこ
の突出部分をチャックし、右方へ移動してピックアップ
ステージ１０へ引き出す（図６において、二点鎖線で示
すウェハホルダ１を参照）。なお、マガジン２内のウェ
ハホルダ１を引き出すためにチャックする際、チャック
部１５はウェハホルダ１の位置に合わせてその位置を変
えることはなく、常に一定の位置でウェハホルダ１をチ
ャックするようになっている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来のウェハ
の供給装置には次のような問題点があった。すなわち、
ウェハホルダ１をマガジン２に回収するときは、図７に
おいて矢印Ａ，Ｂ，Ｃに示すようにチャック部１５は前
進（矢印Ａ）、後退（矢印Ｂ）、前進（矢印Ｃ）の動作
を行うことにより（すなわち、２段モーションで前進動
作を繰り返すことにより）、ウェハホルダ１をマガジン
２に回収していたため、回収動作が複雑であり、回収に
時間を要していた。またウェハホルダ１は、図７に示す
ようにマガジン２内に収納されているが、マガジン２を
エレベータ４で上下動させる際や、台車７で運搬したり
エレベータ４に着脱する際などにマガジン２ががたつく
と、ウェハホルダ１がマガジン２から不要に飛び出すお
それがあった。
の供給装置には次のような問題点があった。すなわち、
ウェハホルダ１をマガジン２に回収するときは、図７に
おいて矢印Ａ，Ｂ，Ｃに示すようにチャック部１５は前
進（矢印Ａ）、後退（矢印Ｂ）、前進（矢印Ｃ）の動作
を行うことにより（すなわち、２段モーションで前進動
作を繰り返すことにより）、ウェハホルダ１をマガジン
２に回収していたため、回収動作が複雑であり、回収に
時間を要していた。またウェハホルダ１は、図７に示す
ようにマガジン２内に収納されているが、マガジン２を
エレベータ４で上下動させる際や、台車７で運搬したり
エレベータ４に着脱する際などにマガジン２ががたつく
と、ウェハホルダ１がマガジン２から不要に飛び出すお
それがあった。
【００１２】またマガジン２の背後にチャック部１５が
ウェハホルダ１の縁部を所定の位置でチャックするべ
く、ウェハホルダ１をその移送方向の所望位置に押し出
すための押し出し用のシリンダ５などのプッシャが必要
なため、それだけ広い設置スペースを必要としていた。
Ｔはシリンダ５の設置のために要するスペースである。
ウェハホルダ１の縁部を所定の位置でチャックするべ
く、ウェハホルダ１をその移送方向の所望位置に押し出
すための押し出し用のシリンダ５などのプッシャが必要
なため、それだけ広い設置スペースを必要としていた。
Ｔはシリンダ５の設置のために要するスペースである。
【００１３】またマガジン２の交換は、図７に示すよう
に新規のマガジン２を台車７に載せてシリンダ５の背後
まで運搬し、そこで作業者は使用済のマガジン２をエレ
ベータ４から取りはずして台車７上に回収するととも
に、新規のマガジン２をエレベータ４に装着していた
（矢印Ｅ参照）。
に新規のマガジン２を台車７に載せてシリンダ５の背後
まで運搬し、そこで作業者は使用済のマガジン２をエレ
ベータ４から取りはずして台車７上に回収するととも
に、新規のマガジン２をエレベータ４に装着していた
（矢印Ｅ参照）。
【００１４】しかしながらエレベータ４の背後にはシリ
ンダ５が存在しているため、作業者はマガジン２を抱え
て、矢印Ｅで示すように障害となるこのシリンダ５を乗
り越えてマガジン２の交換を行わねばならず、マガジン
２は重量化していることから（マガジン２の重量は、重
いものは２０ｋｇあるいはそれ以上ある）、この交換作
業に多大な労力を要し、またマガジン２内のウェハホル
ダ１を落下させてウェハを痛めてしまいやすいという問
題点があった。なおエレベータは、マガジン２の側部に
配置するものもあるが、この場合も、シリンダ５はマガ
ジン２の交換の障害になる。
ンダ５が存在しているため、作業者はマガジン２を抱え
て、矢印Ｅで示すように障害となるこのシリンダ５を乗
り越えてマガジン２の交換を行わねばならず、マガジン
２は重量化していることから（マガジン２の重量は、重
いものは２０ｋｇあるいはそれ以上ある）、この交換作
業に多大な労力を要し、またマガジン２内のウェハホル
ダ１を落下させてウェハを痛めてしまいやすいという問
題点があった。なおエレベータは、マガジン２の側部に
配置するものもあるが、この場合も、シリンダ５はマガ
ジン２の交換の障害になる。
【００１５】そこで本発明は、上記従来の問題点を解消
し、マガジンに対するウェハホルダの出し入れやマガジ
ンの交換を簡単に行えるウェハの供給装置を提供するこ
とを目的とする。
し、マガジンに対するウェハホルダの出し入れやマガジ
ンの交換を簡単に行えるウェハの供給装置を提供するこ
とを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明のウェハの供給装
置は、ウェハを保持するウェハホルダを段積して収納す
るマガジンを支持する台部を上下動させるエレベータ
と、ウェハのチップをピックアップヘッドに供給するピ
ックアップステージと、ウェハホルダをチャックしてマ
ガジンとピックアップステージの間を往来させるウェハ
ホルダの移送手段とを備え、前記台部の前部に、前記マ
ガジンの前面に沿って移動することにより前記マガジン
から突出するウェハホルダを所定長さを確保して前記マ
ガジン内に押し込む押し込み手段を設けた。
置は、ウェハを保持するウェハホルダを段積して収納す
るマガジンを支持する台部を上下動させるエレベータ
と、ウェハのチップをピックアップヘッドに供給するピ
ックアップステージと、ウェハホルダをチャックしてマ
ガジンとピックアップステージの間を往来させるウェハ
ホルダの移送手段とを備え、前記台部の前部に、前記マ
ガジンの前面に沿って移動することにより前記マガジン
から突出するウェハホルダを所定長さを確保して前記マ
ガジン内に押し込む押し込み手段を設けた。
【００１７】上記構成の本発明によれば、ウェハホルダ
をその移送方向において所定長さを確保してマガジンの
所望の位置に収納しておくことができるので、ウェハホ
ルダをチャック部により一定位置で簡単にチャックして
ピックアップステージへ移送することができる。また従
来必要であったシリンダのようなプッシャを不要にでき
るので、設置スペースを小さくでき、またマガジンの交
換も容易に行うことができる。
をその移送方向において所定長さを確保してマガジンの
所望の位置に収納しておくことができるので、ウェハホ
ルダをチャック部により一定位置で簡単にチャックして
ピックアップステージへ移送することができる。また従
来必要であったシリンダのようなプッシャを不要にでき
るので、設置スペースを小さくでき、またマガジンの交
換も容易に行うことができる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態にお
けるウェハの供給装置の平面図、図２および図３は本発
明の一実施の形態におけるマガジンとエレベータの斜視
図、図４は本発明の一実施の形態におけるウェハホルダ
の収納状態を示すマガジンの平面図、図５は本発明の一
実施の形態におけるマガジンの部分平面図である。な
お、各図において、上記従来例と同一要素には同一符号
を付している。
を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態にお
けるウェハの供給装置の平面図、図２および図３は本発
明の一実施の形態におけるマガジンとエレベータの斜視
図、図４は本発明の一実施の形態におけるウェハホルダ
の収納状態を示すマガジンの平面図、図５は本発明の一
実施の形態におけるマガジンの部分平面図である。な
お、各図において、上記従来例と同一要素には同一符号
を付している。
【００１９】図１において、１は板状のウェハホルダで
あり、これにウェハシートが張設して保持されている。
ウェハシート上にはウェハ（図示せず）が貼着されてい
る。図２において２はマガジンであり、その内部にはラ
ック３が多段に形成されており、ウェハホルダ１はラッ
ク３に多段に段積して収納されている。マガジン２はそ
の背後に設けられたエレベータ４の台部８に支持されて
おり、エレベータ４により上下動する。
あり、これにウェハシートが張設して保持されている。
ウェハシート上にはウェハ（図示せず）が貼着されてい
る。図２において２はマガジンであり、その内部にはラ
ック３が多段に形成されており、ウェハホルダ１はラッ
ク３に多段に段積して収納されている。マガジン２はそ
の背後に設けられたエレベータ４の台部８に支持されて
おり、エレベータ４により上下動する。
【００２０】図２において、エレベータ４は、立板４１
の前面に垂直な左右２本のガイドレール４２と送りねじ
４３を装着して成っている。マガジン２の背後に設けら
れたナット４４（図４）に送りねじ４３が螺入されてい
る。送りねじ４３はモータ４５に駆動されて回転し、こ
れにより台部８に載せられたマガジン２は上下動し、マ
ガジン２の所望のラック３上のウェハホルダ１をチャッ
ク部５による出し入れ高さに位置させる。
の前面に垂直な左右２本のガイドレール４２と送りねじ
４３を装着して成っている。マガジン２の背後に設けら
れたナット４４（図４）に送りねじ４３が螺入されてい
る。送りねじ４３はモータ４５に駆動されて回転し、こ
れにより台部８に載せられたマガジン２は上下動し、マ
ガジン２の所望のラック３上のウェハホルダ１をチャッ
ク部５による出し入れ高さに位置させる。
【００２１】図１において、マガジン２の前方にはピッ
クアップステージ１０が設けられている。ピックアップ
ステージ１０はＸテーブル１１とＹテーブル１２によ
り、Ｘ方向、Ｙ方向へ水平移動する。ピックアップステ
ージ１０の下方にはダイエジェクタ装置１３が設けられ
ており、ピックアップステージ１０に位置決めされたウ
ェハホルダ１のウェハシート上の所望のチップをピンに
より下方から突き上げる。
クアップステージ１０が設けられている。ピックアップ
ステージ１０はＸテーブル１１とＹテーブル１２によ
り、Ｘ方向、Ｙ方向へ水平移動する。ピックアップステ
ージ１０の下方にはダイエジェクタ装置１３が設けられ
ており、ピックアップステージ１０に位置決めされたウ
ェハホルダ１のウェハシート上の所望のチップをピンに
より下方から突き上げる。
【００２２】１４は長尺のロッドであり、その先端部に
はチャック部１５が設けられている。チャック部１５は
図７の示す従来例と同様に上下２個あり、これが開閉す
ることにより、ウェハホルダ１の端部をチャックし、ま
たチャック状態を解除する。ロッド１４は移動テーブル
１６によりＸ方向へ水平移動する。ロッド１４、チャッ
ク部１５、移動テーブル１６は、ウェハホルダ１をマガ
ジン２とピックアップステージ１０の間を往来させる移
送手段となっている。
はチャック部１５が設けられている。チャック部１５は
図７の示す従来例と同様に上下２個あり、これが開閉す
ることにより、ウェハホルダ１の端部をチャックし、ま
たチャック状態を解除する。ロッド１４は移動テーブル
１６によりＸ方向へ水平移動する。ロッド１４、チャッ
ク部１５、移動テーブル１６は、ウェハホルダ１をマガ
ジン２とピックアップステージ１０の間を往来させる移
送手段となっている。
【００２３】１７はピックアップヘッドであって、図示
しない可動テーブルにより水平方向へ移動する。Ｘテー
ブル１１とＹテーブル１２が駆動することにより、ピッ
クアップステージ１０はＸ方向やＹ方向へ水平移動し、
ウェハシート上の所定のチップをピックアップヘッド１
７によるピックアップ位置に位置させる。そこでピック
アップ位置に到来したピックアップヘッド１７のノズル
１８がこのチップＰを真空吸着してピックアップし、位
置決め部１９に位置決めされた基板２０の所定の座標位
置に搭載する。ピックアップヘッド１７がウェハシート
上のチップＰをピックアップするとき、ダイエジェクタ
装置１３のピンはこのチップを下方から突き上げる。
しない可動テーブルにより水平方向へ移動する。Ｘテー
ブル１１とＹテーブル１２が駆動することにより、ピッ
クアップステージ１０はＸ方向やＹ方向へ水平移動し、
ウェハシート上の所定のチップをピックアップヘッド１
７によるピックアップ位置に位置させる。そこでピック
アップ位置に到来したピックアップヘッド１７のノズル
１８がこのチップＰを真空吸着してピックアップし、位
置決め部１９に位置決めされた基板２０の所定の座標位
置に搭載する。ピックアップヘッド１７がウェハシート
上のチップＰをピックアップするとき、ダイエジェクタ
装置１３のピンはこのチップを下方から突き上げる。
【００２４】図２において、台部８の前面には起立体と
しての棒５３が設けられており、また台部８の下面には
棒５３の移動手段としてのシリンダ５０が設けられてい
る。シリンダ５０のロッド５１はマガジン２の前面と平
行に台部８の下面の少なくとも中央部まで延出してい
る。棒５３は少なくともマガジン２の最上段のウェハホ
ルダ１に届く長さでシリンダ５０の移動子５２に立設さ
れており、シリンダ５０が駆動すると、棒５３はマガジ
ン２の前面に沿って移動する。マガジン２の前面と棒５
３の間には、所定距離ｔが確保されている（図５も参
照）。またウェハホルダ１の角部１ａは、アールがとら
れており、これにより棒５３が当接しやすくなってい
る。所定距離ｔは、チャック部１５がウェハホルダ１の
端部をウェハホルダ１の移送方向に関して一定の位置で
チャックできるようにチャックマージンとして確保され
たものである。シリンダ５０や棒５３は、マガジン２の
前面との間に所定距離ｔを確保してウェハホルダ１をマ
ガジン２内に押し込む押し込み手段になっている。な
お、棒５３の少なくともウェハホルダ１に当接する部分
を、その軸心線を中心に回転自在にしておけば、ウェハ
ホルダ１に当接した際の摺接抵抗が小さくなる利点があ
る。
しての棒５３が設けられており、また台部８の下面には
棒５３の移動手段としてのシリンダ５０が設けられてい
る。シリンダ５０のロッド５１はマガジン２の前面と平
行に台部８の下面の少なくとも中央部まで延出してい
る。棒５３は少なくともマガジン２の最上段のウェハホ
ルダ１に届く長さでシリンダ５０の移動子５２に立設さ
れており、シリンダ５０が駆動すると、棒５３はマガジ
ン２の前面に沿って移動する。マガジン２の前面と棒５
３の間には、所定距離ｔが確保されている（図５も参
照）。またウェハホルダ１の角部１ａは、アールがとら
れており、これにより棒５３が当接しやすくなってい
る。所定距離ｔは、チャック部１５がウェハホルダ１の
端部をウェハホルダ１の移送方向に関して一定の位置で
チャックできるようにチャックマージンとして確保され
たものである。シリンダ５０や棒５３は、マガジン２の
前面との間に所定距離ｔを確保してウェハホルダ１をマ
ガジン２内に押し込む押し込み手段になっている。な
お、棒５３の少なくともウェハホルダ１に当接する部分
を、その軸心線を中心に回転自在にしておけば、ウェハ
ホルダ１に当接した際の摺接抵抗が小さくなる利点があ
る。
【００２５】このウェハの供給装置は上記のような構成
より成り、次にウェハホルダ１をマガジン２に出し入れ
する動作を説明する。ウェハシート上のチップの品切れ
などにより、ピックアップステージ１０のウェハホルダ
１をマガジン２に回収するときは、図１において、予め
右方へ移動して待機していたチャック部１５でウェハホ
ルダ１の右端部をチャックする（鎖線で示すロッド１４
及びチャック部１５を参照）。
より成り、次にウェハホルダ１をマガジン２に出し入れ
する動作を説明する。ウェハシート上のチップの品切れ
などにより、ピックアップステージ１０のウェハホルダ
１をマガジン２に回収するときは、図１において、予め
右方へ移動して待機していたチャック部１５でウェハホ
ルダ１の右端部をチャックする（鎖線で示すロッド１４
及びチャック部１５を参照）。
【００２６】次にチャック部１５をマガジン２へ向って
左方へ移動させ、ウェハホルダ１をマガジン２の所定の
ラック３上に回収する（この動作は、図７において矢印
Ａで示した従来例の動作と同じである）。図４（ａ）
は、このときの状態を示している。このときのウェハホ
ルダ１の回収位置は、図７の最上段に示すウェハホルダ
１の位置と同じであり、チャック部１５があるので、ウ
ェハホルダ１をマガジン２内に完全に収納することはで
きず、ウェハホルダ１の端部はマガジン２から部分的に
突出している（突出長は、図４（ａ）においてＤ）。次
にチャック部１５は開いてウェハホルダ１のチャック状
態を解除し、マガジン２から離れて後方へ退避する。
左方へ移動させ、ウェハホルダ１をマガジン２の所定の
ラック３上に回収する（この動作は、図７において矢印
Ａで示した従来例の動作と同じである）。図４（ａ）
は、このときの状態を示している。このときのウェハホ
ルダ１の回収位置は、図７の最上段に示すウェハホルダ
１の位置と同じであり、チャック部１５があるので、ウ
ェハホルダ１をマガジン２内に完全に収納することはで
きず、ウェハホルダ１の端部はマガジン２から部分的に
突出している（突出長は、図４（ａ）においてＤ）。次
にチャック部１５は開いてウェハホルダ１のチャック状
態を解除し、マガジン２から離れて後方へ退避する。
【００２７】次にシリンダ５０が駆動し、棒５３は図４
（ａ）に示すマガジンの端部の原位置（待機位置）から
図４（ｂ）に示すように右方（マガジン２の中央側）へ
移動してウェハホルダ１のアール状の角部１ａに当接
し、図４（ｃ）で示すように棒５３が更に右方へ移動す
ることによりウェハホルダ１をマガジン２内に押し込む
（矢印Ｋ）。図３は、棒５３が右方へ移動した状態を示
している。図４（ｃ）に示すようにウェハホルダ１をマ
ガジン２に押し込んだ状態で、ウェハホルダ１の端部は
マガジン２から所定長さｔの位置にある（図５も参
照）。そしてウェハホルダ１をマガジン２内に押し込ん
だならば、シリンダ５０は逆方向に駆動して、棒５３は
図４（ａ）に示す原位置に復帰する。
（ａ）に示すマガジンの端部の原位置（待機位置）から
図４（ｂ）に示すように右方（マガジン２の中央側）へ
移動してウェハホルダ１のアール状の角部１ａに当接
し、図４（ｃ）で示すように棒５３が更に右方へ移動す
ることによりウェハホルダ１をマガジン２内に押し込む
（矢印Ｋ）。図３は、棒５３が右方へ移動した状態を示
している。図４（ｃ）に示すようにウェハホルダ１をマ
ガジン２に押し込んだ状態で、ウェハホルダ１の端部は
マガジン２から所定長さｔの位置にある（図５も参
照）。そしてウェハホルダ１をマガジン２内に押し込ん
だならば、シリンダ５０は逆方向に駆動して、棒５３は
図４（ａ）に示す原位置に復帰する。
【００２８】マガジン２内のウェハホルダ１をピックア
ップステージ１０へ送り出すときは、チャック部１５で
マガジン２から一定の位置にあるウェハホルダ１の端部
（所定長さｔの部分）をチャックし（図４（ｃ）におい
て、鎖線で示すチャック部１５を参照）、ロッド１４を
図１において右方へ移動させることにより、ウェハホル
ダ１をピックアップステージ１０へ引き出す。そこでチ
ャック部１５は開いてチャック状態を解除し、ウェハホ
ルダ１の右方へ退避して次回の動作のために待機する。
ップステージ１０へ送り出すときは、チャック部１５で
マガジン２から一定の位置にあるウェハホルダ１の端部
（所定長さｔの部分）をチャックし（図４（ｃ）におい
て、鎖線で示すチャック部１５を参照）、ロッド１４を
図１において右方へ移動させることにより、ウェハホル
ダ１をピックアップステージ１０へ引き出す。そこでチ
ャック部１５は開いてチャック状態を解除し、ウェハホ
ルダ１の右方へ退避して次回の動作のために待機する。
【００２９】マガジン２の交換を行うときは、図１に示
すように新規のマガジン２を載せた台車７をエレベータ
４の背後に接近させ、そこでエレベータ４上の使用済の
マガジン２を台車７上に回収するとともに、新規のマガ
ジン２をエレベータ４にセットする。この場合、従来例
のようなシリンダ５は存在しないので、台車７をエレベ
ータ４若しくはマガジン２の至近距離まで接近させて、
容易にマガジン２の交換を行うことができる。勿論、エ
レベータをマガジン２の側部に配置する方式のものの場
合も、マガジン２の交換を容易に行うことができる。
すように新規のマガジン２を載せた台車７をエレベータ
４の背後に接近させ、そこでエレベータ４上の使用済の
マガジン２を台車７上に回収するとともに、新規のマガ
ジン２をエレベータ４にセットする。この場合、従来例
のようなシリンダ５は存在しないので、台車７をエレベ
ータ４若しくはマガジン２の至近距離まで接近させて、
容易にマガジン２の交換を行うことができる。勿論、エ
レベータをマガジン２の側部に配置する方式のものの場
合も、マガジン２の交換を容易に行うことができる。
【００３０】なお、マガジンをエレベータに載置した
り、エレベータで昇降させる場合、棒５３をマガジン２
の中央側へ移動させて図３で示すウェハホルダ１のマガ
ジン２からの飛び出しを阻止する位置に位置させておけ
ば、ウェハホルダ１がマガジン２から不要に飛び出すの
を確実に防止できる。また１つの台部に複数のマガジン
を載せてもよく、この場合、シリンダ５０や棒５３を複
数のマガジンで共用するようにしてもよい。
り、エレベータで昇降させる場合、棒５３をマガジン２
の中央側へ移動させて図３で示すウェハホルダ１のマガ
ジン２からの飛び出しを阻止する位置に位置させておけ
ば、ウェハホルダ１がマガジン２から不要に飛び出すの
を確実に防止できる。また１つの台部に複数のマガジン
を載せてもよく、この場合、シリンダ５０や棒５３を複
数のマガジンで共用するようにしてもよい。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ウ
ェハホルダのマガジンに対する出し入れを簡単に行うこ
とができる。また従来必要であったシリンダのようなプ
ッシャを不要にできるので、設置スペースを小さくで
き、またマガジンを載せた台車をマガジンの至近距離に
接近させるなどしてマガジンの交換も容易に行うことが
できる。また棒などの起立体をウェハマガジンが飛び出
すのを阻止する位置に位置させておけば、マガジンのエ
レベータへの載置時や昇降時などにマガジンががたつく
などしても、ウェハホルダがマガジンから不要に飛び出
すのを防止することができる。
ェハホルダのマガジンに対する出し入れを簡単に行うこ
とができる。また従来必要であったシリンダのようなプ
ッシャを不要にできるので、設置スペースを小さくで
き、またマガジンを載せた台車をマガジンの至近距離に
接近させるなどしてマガジンの交換も容易に行うことが
できる。また棒などの起立体をウェハマガジンが飛び出
すのを阻止する位置に位置させておけば、マガジンのエ
レベータへの載置時や昇降時などにマガジンががたつく
などしても、ウェハホルダがマガジンから不要に飛び出
すのを防止することができる。
【図１】本発明の一実施の形態におけるウェハの供給装
置の平面図
置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるマガジンとエレ
ベータの斜視図
ベータの斜視図
【図３】本発明の一実施の形態におけるマガジンとエレ
ベータの斜視図
ベータの斜視図
【図４】本発明の一実施の形態におけるウェハホルダの
収納状態を示すマガジンの平面図
収納状態を示すマガジンの平面図
【図５】本発明の一実施の形態におけるマガジンの部分
平面図
平面図
【図６】従来のウェハの供給装置の平面図
【図７】従来のウェハの供給装置の側面図
１ ウェハホルダ
２ マガジン
４ エレベータ
１０ ピックアップステージ
１４ ロッド
１５ チャック部
１６ 移動テーブル
５０ シリンダ
５３ 棒
ｔ 所定長さ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 5F031 CA02 DA01 DA13 DA15 FA01
FA03 FA07 FA11 FA12 GA10
GA16 GA23 GA48 HA57 HA78
JA06 LA12 LA15 MA40
5F047 FA01
Claims (2)
- 【請求項１】ウェハを保持するウェハホルダを段積して
収納するマガジンを支持する台部を上下動させるエレベ
ータと、ウェハのチップをピックアップヘッドに供給す
るピックアップステージと、ウェハホルダをチャックし
てマガジンとピックアップステージの間を往来させるウ
ェハホルダの移送手段とを備え、前記台部の前部に、前
記マガジンの前面に沿って移動することにより前記マガ
ジンから突出するウェハホルダを所定長さを確保して前
記マガジン内に押し込む押し込み手段を設けたことを特
徴とするウェハの供給装置。 - 【請求項２】前記押し込み手段が、起立体と、この起立
体を前記所定長さを確保して前記マガジンの前面に沿っ
て移動させる移動手段とから成ることを特徴とする請求
項１記載のウェハの供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002115823A JP4039104B2 (ja) | 2002-04-18 | 2002-04-18 | ウェハの供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002115823A JP4039104B2 (ja) | 2002-04-18 | 2002-04-18 | ウェハの供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003309165A true JP2003309165A (ja) | 2003-10-31 |
| JP4039104B2 JP4039104B2 (ja) | 2008-01-30 |
Family
ID=29396945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002115823A Expired - Fee Related JP4039104B2 (ja) | 2002-04-18 | 2002-04-18 | ウェハの供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4039104B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006001246A1 (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-05 | Tokyo Electron Limited | キャリア支持装置 |
| JP2009188306A (ja) * | 2008-02-08 | 2009-08-20 | Panasonic Corp | チップ供給装置 |
| JP2010177486A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Panasonic Corp | パレット自動交換装置 |
| JP2010177487A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Panasonic Corp | パレット自動交換方法 |
| KR100986274B1 (ko) | 2010-01-28 | 2010-10-07 | 주식회사 이노비즈 | 일체형 엘이디 칩 검사 및 분류 장비 |
-
2002
- 2002-04-18 JP JP2002115823A patent/JP4039104B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006001246A1 (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-05 | Tokyo Electron Limited | キャリア支持装置 |
| JP2006013320A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Tokyo Electron Ltd | 載置機構 |
| CN100452343C (zh) * | 2004-06-29 | 2009-01-14 | 东京毅力科创株式会社 | 托架支承装置 |
| JP4509669B2 (ja) * | 2004-06-29 | 2010-07-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置機構及び被処理体の搬出方法 |
| US8678739B2 (en) | 2004-06-29 | 2014-03-25 | Tokyo Electron Limited | Carrier supporting apparatus |
| JP2009188306A (ja) * | 2008-02-08 | 2009-08-20 | Panasonic Corp | チップ供給装置 |
| JP2010177486A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Panasonic Corp | パレット自動交換装置 |
| JP2010177487A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Panasonic Corp | パレット自動交換方法 |
| KR100986274B1 (ko) | 2010-01-28 | 2010-10-07 | 주식회사 이노비즈 | 일체형 엘이디 칩 검사 및 분류 장비 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4039104B2 (ja) | 2008-01-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI390671B (zh) | 矩形基板的分割設備 | |
| US6183190B1 (en) | Method of stacking packs of printed circuit boards and relative pack loading and unloading device for a machine tool | |
| JPWO2005081611A1 (ja) | 支持ピン把持装置および基板支持装置 | |
| JP3182985B2 (ja) | チップ供給装置およびチップ供給装置におけるマガジンの交換方法 | |
| JP2003309165A (ja) | ウェハの供給装置 | |
| JP2003341845A (ja) | 部品供給装置 | |
| JP6484820B2 (ja) | 部品供給装置および部品供給方法 | |
| JPH0795551B2 (ja) | チップ供給装置 | |
| JP6528134B2 (ja) | 部品供給装置および部品供給方法 | |
| JP3114427B2 (ja) | 電子部品供給装置および電子部品供給方法 | |
| JPS61168452A (ja) | 大型ワ−クの自動供給取出装置 | |
| JPH10284888A (ja) | 電子部品実装装置および電子部品実装方法 | |
| JP2006341969A (ja) | 板材収納システム | |
| JPH0738288A (ja) | 電子部品供給装置 | |
| JPH0134884B2 (ja) | ||
| JP3035737B1 (ja) | プリント配線板等の投入方法と投入装置、及び受取方法と受取装置 | |
| JP3566865B2 (ja) | 部品供給方法と装置、これを用いた部品装着装置 | |
| JPH06135504A (ja) | チップ供給装置 | |
| KR100325528B1 (ko) | 트레이공급장치 | |
| JP6713567B2 (ja) | 対基板作業システム | |
| CN217229362U (zh) | 一种锁扣底板用供料装置 | |
| JPH06336309A (ja) | 電子部品供給装置 | |
| JPH11289191A (ja) | 電子部品供給装置および電子部品供給方法 | |
| JPH09199575A (ja) | 半導体ペレットボンディング装置 | |
| JPH10107481A (ja) | 部品打抜装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050325 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050706 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070706 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070731 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070920 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071016 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071029 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101116 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101116 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111116 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121116 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121116 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131116 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |