JP2016178244A - シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 - Google Patents
シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016178244A JP2016178244A JP2015058342A JP2015058342A JP2016178244A JP 2016178244 A JP2016178244 A JP 2016178244A JP 2015058342 A JP2015058342 A JP 2015058342A JP 2015058342 A JP2015058342 A JP 2015058342A JP 2016178244 A JP2016178244 A JP 2016178244A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- adherend
- adhesive sheet
- peeling
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 77
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 76
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 42
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims abstract description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 44
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 16
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- -1 optical disks Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
Description
特許文献1に記載の装置で第2接着シートに転写されたチップは、別の工程に搬送された後、当該チップ上に残された第1接着シート部分(内側シート)が剥離されて所定の処理が施されることとなる。
ここで、内側シートの外縁部を保持し易くするために、被着体の外縁から大きく離れた位置で当該被着体の外縁に沿って第1接着シートを切断することもできるが、この場合、内側シートの外縁部の大部分が第2接着シートに接着し、当該内側シートの剥離が困難になるという不都合を生じる。
本発明のシート転写装置において、前記切断手段は、前記第1接着シートを切断する切断部材と、当該切断部材を移動させる駆動手段とを備え、前記駆動手段は、前記剥離手段を移動させる駆動手段としても機能することが好ましい。
突出領域を第2接着シートから離間可能なことにより、内側シートが第2接着シートに接着することを防止することができる。
切断手段の駆動手段が突出領域保持手段を移動させる駆動手段としても機能すれば、転写装置の構成を簡略化することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向であって図1中手前に向かう方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、各部材が初期位置で待機する図1中実線で示すシート転写装置10に対し、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が一体物WKを図2(A)に示すように支持テーブル22上に載置する。すると、保持手段20が図示しない減圧手段を駆動し、第1リングフレームRF1およびウエハWFを吸着保持する。その後、切断手段30が直動モータ31Bを駆動し、カッター刃31Dを吸着孔51Aから突出させた後、多関節ロボット32を駆動し、図2(B)に示すように、カッター刃31DでウエハWFと第1リングフレームRF1との間で第1接着シートAS1を切断する。これにより、第1接着シートAS1が外側シートAS11と内側シートAS12とに分割される。第1接着シートAS1の切断が完了すると、切断手段30が直動モータ31Bを駆動し、カッター刃31Dを初期位置に復帰させる。
保持手段20は、メカチャック、接着剤、粘着剤、磁力等でウエハWFや第1、第2リングフレームRF1、RF2を保持する構成でもよい。
保持手段20は、突出領域PAを下方から支える直動モータ22Dを備えていなくてもよい。
保持手段20は、切断手段30で第1接着シートAS1を切断するときに、出力軸22Eで突出領域PAを下方から支えるようにしてもよい。
切断手段30は、図6に示すように、剥離手段50の外部に設けてもよく、この場合、剥離手段50は、同図に示すように、出力軸55Aに支持された下チャック部材55Bと、上チャック部材55Cとで突出領域PAを把持する駆動機器としてのチャックシリンダ55としてもよい。
切断部材31を移動させる駆動手段と、剥離手段50を移動させる駆動手段とを別々のもので構成してもよい。
貼付手段40は、押圧ローラ44の代わりに、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、供給された第2接着シートAS2を減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって保持し、第2リングフレームRF2およびウエハWFに押圧して貼付する構成でもよい。
貼付手段40は、ローラで構成された貼付用剥離手段を採用してもよい。
その他、突出領域保持手段としては、メカチャック、接着剤、粘着剤、磁力等で突出領域PAを保持する構成でもよい。
剥離手段50による内側シートAS12とウエハWFとの相対移動方向は、当該ウエハWFにおける内側シートAS12の貼付面の面に平行な方向でもよいし、平行でない方向でもよく、ウエハWFから内側シートAS12が剥離できる方向であればよい。
第1、第2リングフレームRF1、RF2は、環状でない(外周がつながっていない)フレームや、円形以外に三角形や四角形等の多角形や楕円形、その他の形状であってよい。
突出領域PAは、図7に示すように、ウエハWFの外縁の形状に対して矩形形状に突出していたり、その他、例えば、三角形状、半円形状、半長円形状、台形状等、内側シートAS12の剥離し易さや、突出領域保持手段での保持し易さを勘案して任意の形状としたりすることができる。
内側シートAS12における突出領域PA以外の形状は、ウエハWFの外縁と全く同じ形状でもよいし、ウエハWFの外縁に沿って当該外縁よりも0〜10mm程度小さな形状でもよいし、ウエハWFの外縁に沿って当該外縁よりも0〜10mm程度大きな形状でもよい。
突出領域の数も任意であり、複数設けていてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的または間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20…保持手段
30…切断手段
31…切断部材
32…多関節ロボット(駆動手段)
40…貼付手段
50…剥離手段
51…吸着ケース(突出領域保持手段)
AS1…第1接着シート
AS11…外側シート
AS12…内側シート
AS2…第2接着シート
PA…突出領域
RF1…第1リングフレーム(フレーム)
WF…ウエハ(被着体)
WK…一体物
Claims (5)
- 第1接着シートを介して被着体がフレームと一体化された一体物を保持する保持手段と、
前記被着体とフレームとの間で前記第1接着シートを切断する切断手段と、
前記被着体に対して相対移動可能に設けられた剥離手段とを備え、
前記切断手段は、前記第1接着シートを前記フレームに貼付された外側シートと、前記被着体に貼付され当該被着体の外縁から当該外縁の形状に対して異形に突出した突出領域を有する内側シートとに分割可能に設けられ、
前記剥離手段は、前記突出領域を保持する突出領域保持手段を有し、前記被着体から前記内側シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。 - 第1接着シートを介して被着体がフレームと一体化された一体物を保持する保持手段と、
前記被着体とフレームとの間で前記第1接着シートを切断する切断手段と、
前記被着体に第2接着シートを貼付する貼付手段と、
前記被着体に対して相対移動可能に設けられた剥離手段とを備え、
前記切断手段は、前記第1接着シートを前記フレームに貼付された外側シートと、前記被着体に貼付され当該被着体の外縁から当該外縁の形状に対して異形に突出した突出領域を有する内側シートとに分割可能に設けられ、
前記剥離手段は、前記突出領域を保持する突出領域保持手段を有し、前記被着体から前記内側シートを剥離することを特徴とするシート転写装置。 - 前記突出領域保持手段は、前記内側シートと第2接着シートとが前記被着体に貼付されているときに、前記突出領域を前記第2接着シートから離間可能に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のシート転写装置。
- 前記切断手段は、前記第1接着シートを切断する切断部材と、当該切断部材を移動させる駆動手段とを備え、
前記駆動手段は、前記剥離手段を移動させる駆動手段としても機能することを特徴とする請求項2または請求項3に記載のシート転写装置。 - 第1接着シートを介して被着体がフレームと一体化された一体物を保持する工程と、
前記被着体とフレームとの間で前記第1接着シートを切断することで、当該第1接着シートを前記フレームに貼付された外側シートと、前記被着体に貼付され当該被着体の外縁から当該外縁の形状に対して異形に突出した突出領域を有する内側シートとに分割する工程と、
前記突出領域を保持して前記被着体から当該内側シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015058342A JP6473359B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | シート剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015058342A JP6473359B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | シート剥離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016178244A true JP2016178244A (ja) | 2016-10-06 |
JP6473359B2 JP6473359B2 (ja) | 2019-02-20 |
Family
ID=57069337
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015058342A Active JP6473359B2 (ja) | 2015-03-20 | 2015-03-20 | シート剥離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6473359B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017162870A (ja) * | 2016-03-07 | 2017-09-14 | 日東電工株式会社 | 基板転写方法および基板転写装置 |
JP2017183413A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 日東電工株式会社 | 基板転写方法および基板転写装置 |
KR20180123958A (ko) * | 2017-05-10 | 2018-11-20 | 린텍 가부시키가이샤 | 이간 장치 및 이간 방법 |
KR20180130430A (ko) * | 2017-05-29 | 2018-12-07 | 린텍 가부시키가이샤 | 이간 장치 및 이간 방법 |
JP2019054108A (ja) * | 2017-09-14 | 2019-04-04 | リンテック株式会社 | 分離装置および分離方法 |
JP7441734B2 (ja) | 2020-06-05 | 2024-03-01 | リンテック株式会社 | 転写装置および転写方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000315697A (ja) * | 1999-03-03 | 2000-11-14 | Hitachi Ltd | 半導体素子の分離方法およびその装置並びに半導体素子の搭載方法 |
JP2005332931A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハマウンタ |
JP2007208172A (ja) * | 2006-02-06 | 2007-08-16 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP2013145784A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 樹脂貼付け方法 |
-
2015
- 2015-03-20 JP JP2015058342A patent/JP6473359B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000315697A (ja) * | 1999-03-03 | 2000-11-14 | Hitachi Ltd | 半導体素子の分離方法およびその装置並びに半導体素子の搭載方法 |
JP2005332931A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハマウンタ |
JP2007208172A (ja) * | 2006-02-06 | 2007-08-16 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP2013145784A (ja) * | 2012-01-13 | 2013-07-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 樹脂貼付け方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017162870A (ja) * | 2016-03-07 | 2017-09-14 | 日東電工株式会社 | 基板転写方法および基板転写装置 |
WO2017154304A1 (ja) * | 2016-03-07 | 2017-09-14 | 日東電工株式会社 | 基板転写方法および基板転写装置 |
JP2017183413A (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 日東電工株式会社 | 基板転写方法および基板転写装置 |
KR20180123958A (ko) * | 2017-05-10 | 2018-11-20 | 린텍 가부시키가이샤 | 이간 장치 및 이간 방법 |
KR102398710B1 (ko) | 2017-05-10 | 2022-05-16 | 린텍 가부시키가이샤 | 이간 장치 및 이간 방법 |
KR20180130430A (ko) * | 2017-05-29 | 2018-12-07 | 린텍 가부시키가이샤 | 이간 장치 및 이간 방법 |
KR102396892B1 (ko) | 2017-05-29 | 2022-05-11 | 린텍 가부시키가이샤 | 이간 장치 및 이간 방법 |
JP2019054108A (ja) * | 2017-09-14 | 2019-04-04 | リンテック株式会社 | 分離装置および分離方法 |
JP7002260B2 (ja) | 2017-09-14 | 2022-01-20 | リンテック株式会社 | 分離装置および分離方法 |
JP7441734B2 (ja) | 2020-06-05 | 2024-03-01 | リンテック株式会社 | 転写装置および転写方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6473359B2 (ja) | 2019-02-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6473359B2 (ja) | シート剥離装置 | |
JP2014229636A (ja) | シート貼付装置及びシート貼付方法 | |
JP6476027B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法、並びに、シート転写装置 | |
JP6445882B2 (ja) | シート転写装置および転写方法 | |
JP6438796B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP2010192510A (ja) | ワークの移載方法および移載装置 | |
JP3220900U (ja) | シート剥離装置 | |
JP6204765B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP6438795B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP6818576B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2015082619A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6437343B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP2016139755A (ja) | シート転写装置、並びに、シート切断装置および切断方法 | |
JP2015082618A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6431794B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP7346177B2 (ja) | シート切断装置およびシート切断方法 | |
JP6145326B2 (ja) | 支持装置および支持方法 | |
JP7133430B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP7133432B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP7009177B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP3210844U (ja) | シート繰出装置 | |
JP7016679B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP2017157777A (ja) | 処理方法および処理装置 | |
JP2017073427A (ja) | 処理装置 | |
JP6216582B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181030 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181226 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6473359 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |