JP5469217B2 - 剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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このとき、前記保持ローラの方向に前記板状部材を搬送する搬送手段と、前記搬送手段の位置を検知可能なセンサとを備え、前記搬送手段が所定位置に達したことを前記センサが検知したときに、当該接着シートの接着剤面を前記板状部材に当接させるようにしてもよい。
また、本発明の剥離方法は、支持部材に貼り付けられた板状部材を剥離する剥離方法であって、円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラを用い、前記保持ローラにおける所定の回転軸心を中心として回転する当該保持ローラの回転に同期させ、一方の面が接着剤面とされ他方の面が非接着剤面とされた接着シートを供給し、当該保持ローラの外周面の所定の位置に設けられた面積エリアで前記接着シートの非接着剤面を吸着保持させ、搬送される前記板状部材に前記接着シートの接着剤面を当接させ、当該板状部材の搬送に同期させて前記回転軸心を中心として回転させることで、前記板状部材を前記支持部材から剥離することを特徴とする。
(2)ウエハ吸着用アーム901により、アライメント完了後のガラス板G付きウエハWをアライメント装置12から取り出して紫外線照射装置13の搬送テーブル130上にセットする。
(3)ウエハ吸着用アーム901により、紫外線照射後のガラス板G付きウエハWを紫外線照射装置13から取り出して搬送テーブル8上にセットする。
(4)リングフレーム吸着用アーム902により、リングフレームFにマウント済みウエハWを昇降テーブル14上のウエハカセット15内に移送し装填する。
(2) ガラス板吸着パッド181により、搬送テーブル8上にあるウエハ剥離済みのガラス板Gをガラスストッカテーブル20へ移動する。
B=(r2−(b/2)2)1/2 …(2)
C=(A−B)/2 …(3)
また、ウエハWのX軸方向ずれ量Cは、ON/OFFセンサ21、22の配置間隔Dを用いて下記の式(4)でも算出することもできる。
C=D−A 又は C=D−B …(4)
図1の転写装置1においては、最初に、図1に示すウエハカセット11からガラス板G付きウエハWが取り出されアライメント装置12内に移送され、同装置12で当該ウエハWのアライメントが行なわれる。
前記アライメントが終了すると、ガラス板G付きウエハWが紫外線照射装置13内に移送され、同装置13内でガラス板GとウエハWとの間の紫外線硬化型の両面粘着テープに紫外線が照射される。これにより当該両面粘着テープの粘着力が低下し、ウエハWが簡単に剥離可能な状態になる。
また、ウエハWの剥離準備の一環として、剥離の切っ掛けを形成する動作も行なわれる。すなわち、紫外線照射が完了すると、ガラス板G付きウエハWはスタンバイ位置S1にある搬送テーブル8上に吸着セットされる。この状態でカッタ刃16が図示しない移動機構によってガラス板G付きウエハWの外周面側から、ウエハWと紫外線硬化型の両面粘着テープとの間に刃先が入り込み、剥離の切っ掛けとなる切り込みが形成される(詳しくは特願2004−237332号参照)。
さらに、ウエハWの剥離準備の一環として、サクションローラ2にダイシングテープT2をセットする動作も行なわれる。すなわち、サクションローラ2が図2のようにダイシングテープT2を吸引保持する位置で同図矢印イの方向に所定の回転角回転し、この回転動作に同期してダイシングテープ繰出し装置17からサクションローラ2の外周面にダイシングテープT2が一枚繰出される。このとき、サクションローラの吸引力でダイシングテープT2がその外周面に吸引されて保持される。尚、サクションローラ2外周面に当接するのはダイシングテープT2の非接着面であり、ダイシングテープT2の接着剤面T2−1は表に露出することとなる。
上記の剥離準備が完了すると、ガラス板G付きウエハWからウエハWを剥離する動作が行なわれる。すなわち、図5のようにスタンバイ位置S1にある搬送テーブル8がガラス板G付きウエハWをサクションローラ2の方向に搬送する。搬送テーブル8が所定位置に達したことを図示しないセンサが検知して、昇降手段X1によってサクションローラ2が下降し、搬送テーブル8の搬送と同期してサクションローラ2が図5中矢印イで示す方向に回転し、ダイシングテープT2の接着剤面T2−1でウエハWを徐々に剥離し保持する。つまり、ここではダイシングテープT2の接着剤面T2−1がウエハWに当接することによってその接着力により当該ウエハWを保持する。剥離が完了し、所定角度回転した位置でサクションローラ2の回転は停止し、昇降手段X1によってサクションローラ2は上昇して待機する。このときの状態を示したものが図6である。
以上のようにしてウエハWの剥離が完了すると、ウエハWをリングフレームFに貼り付ける準備に入る。すなわち、図7に示したように、搬送テーブル8が作業エリアS2まで更に前進し、搬送ロボット18が搬送テーブル8上からのガラス板Gの除去と、リングフレームFのセットとを同時に行なう。
また、ウエハWの貼付準備の一環として、サクションローラ2に保持されているウエハWについてアライメントが行なわれる。このアライメントは前述の通り、ウエハWのX軸方向ずれ量と、ウエハWの中心ずれ角θを特定するものである。
上記のアライメントが完了すると、その後、ダイシングテープT2を介してウエハWをリングフレームFに貼り付ける動作が行なわれる。すなわち、図8に示したように作業エリアS2にある搬送テーブル8がリングフレームFを前記剥離時とは逆の方向に搬送する。この搬送の動作に同期してサクションローラ2が前記剥離時とは逆の方向(図中矢印ハで示す方向)に回転する。これらの動作により、サクションローラ2に保持されているウエハWがダイシングテープT2を介してリングフレームFに貼り付けられていく。尚、この貼り付けに際して、前記ウエハのアライメントで特定されたウエハWのX軸方向のずれ量と、ウエハWの中心ずれ角θの補正が行われる。すなわち、X軸方向単軸ロボット807によってX軸方向のズレ量が補正され、昇降手段X1の下降による貼付け開始位置を前後させることによってY軸方向のズレ量が補正される。これにより、リングフレームF内に正確にウエハWが貼り付けられることとなる。この貼付の動作はサクションローラ2の回転角度に応じて進行し、リングフレームFにウエハWが貼り付けマウントされ、所定角進んだ位置で、サクションローラ2の回転は停止し、昇降手段X1が上昇し、初期位置に復帰する。その後、次の転写のため前述したダイシングテープのセット動作が行なわれる。
2 サクションローラ(保持ローラ)
8 搬送テーブル(搬送手段)
16 カッタ刃
F リングフレーム(第2の支持部材)
G ガラス板(第1の支持部材)
K 剥離シート(第1の支持部材)
L 粘着ラベル(板状部材)
M ラベル貼付対象物(第2の支持部材)
T2 ダイシングテープ(接着シート)
T2−1 ダイシングテープの接着剤面
W ウエハ(板状部材)
Claims (3)
- 支持部材に貼り付けられた板状部材を剥離する剥離装置であって、
円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラと、
一方の面が接着剤面とされ他方の面が非接着剤面とされた枚葉の接着シートを前記保持ローラの回転に同期させて当該保持ローラに供給可能な接着シート繰出し装置とを有し、
前記保持ローラは、当該保持ローラにおける所定の回転軸心を中心として回転することで、前記接着シート繰出し装置から供給された接着シートの非接着剤面を外周面の所定の位置に設けられた面積エリアで吸着保持するとともに、搬送される前記板状部材に当該接着シートの接着剤面を当接させ、当該板状部材の搬送に同期させて前記回転軸心を中心として回転することで、前記板状部材を前記支持部材から剥離すること
を特徴とする剥離装置。 - 前記保持ローラの方向に前記板状部材を搬送する搬送手段と、
前記搬送手段の位置を検知可能なセンサとを備え、
前記搬送手段が所定位置に達したことを前記センサが検知したときに、当該接着シートの接着剤面を前記板状部材に当接させる
ことを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。 - 支持部材に貼り付けられた板状部材を剥離する剥離方法であって、
円弧状の外周面を有する回転可能な保持ローラを用い、
前記保持ローラにおける所定の回転軸心を中心として回転する当該保持ローラの回転に同期させ、一方の面が接着剤面とされ他方の面が非接着剤面とされた接着シートを供給し、当該保持ローラの外周面の所定の位置に設けられた面積エリアで前記接着シートの非接着剤面を吸着保持させ、
搬送される前記板状部材に前記接着シートの接着剤面を当接させ、当該板状部材の搬送に同期させて前記回転軸心を中心として回転させることで、前記板状部材を前記支持部材から剥離すること
を特徴とする剥離方法。
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