JP2009274811A - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート剥離装置10は、剥離用テープPTを接着シートSに押圧して貼付する貼付手段14と、ウエハWを保持する保持手段11を移動させる移動手段15と、被着体Wの被着面における平滑な面を検知した場合にだけON信号を出力する検知手段17と、保持手段11の移動中に検知手段17の出力信号が変わるタイミングに基づいて接着シートSへの剥離用テープPTの貼付位置を決定し、当該貼付位置で接着シートSを貼付するように移動手段15を制御する制御手段19とを備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、このような要請に応じて案出されたものであり、その目的は、剥離用テープの貼付により、被着体の外縁からはみ出た接着テープが他の部位に接着することを防止して剥離を行うことができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、前記保持手段を移動可能に設けられ、当該移動によって接着シートに貼付された剥離用テープと前記保持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段と、前記被着体の被着面における平滑な面から外れた瞬間に信号が変わる検知手段と、前記移動手段による保持手段の移動中に検知手段の信号が変わったタイミングに基づいて接着シートへの剥離用テープの貼付位置を決定し、当該貼付位置で貼付を行うように移動手段を制御する制御手段とを備える、という構成を採っている。
前記被着体を保持手段で保持する工程と、
前記被着体の面に直交する方向に移動し、被着体の被着面における平滑な面に反応して信号が変わった位置で検知手段を位置決めする工程と、
前記保持手段を被着面に沿う方向に移動させ、検知手段の出力信号が更に変わったタイミングに基づいて接着シートへの剥離用テープの貼付位置を決定する工程と、
前記剥離用テープを繰り出す工程と、
前記決定された貼付位置に剥離用テープを貼付する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記保持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する工程とを備える、という方法を採っている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、剥離用テープPTは、感熱接着性の接着テープ以外に感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
また、剥離用テープPTと保持手段11との相対移動は、保持手段11が停止した状態で、剥離用テープPTを図5中左側へ移動するようにしたり、両者が離れる方向に移動するように構成してもよい。
11 保持手段
12 繰出手段
14 貼付手段
15 移動手段
17 検知手段
18 変位手段
19 制御手段
34A ヒータ(加熱手段)
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (4)
- 平滑な面を有する被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、剥離用テープを接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、前記保持手段を移動可能に設けられ、当該移動によって接着シートに貼付された剥離用テープと前記保持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する移動手段と、前記被着体の被着面における平滑な面から外れた瞬間に信号が変わる検知手段と、前記移動手段による保持手段の移動中に検知手段の信号が変わったタイミングに基づいて接着シートへの剥離用テープの貼付位置を決定し、当該貼付位置で貼付を行うように移動手段を制御する制御手段とを備えていることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記検知手段を被着体の面に直交する方向に移動させる変位手段を備えていることを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 前記貼付手段は、剥離用テープを加熱可能な加熱手段を有することを特徴とする請求項1又は2記載のシート剥離装置。
- 平滑な面を有する被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記被着体を保持手段で保持する工程と、
前記被着体の面に直交する方向に移動し、被着体の被着面における平滑な面に反応して信号が変わった位置で検知手段を位置決めする工程と、
前記保持手段を被着面に沿う方向に移動させ、検知手段の出力信号が更に変わったタイミングに基づいて接着シートへの剥離用テープの貼付位置を決定する工程と、
前記剥離用テープを繰り出す工程と、
前記決定された貼付位置に剥離用テープを貼付する工程と、
前記接着シートに貼付された剥離用テープと前記保持手段とを相対移動させて接着シートを剥離する工程とを備えていることを特徴とするシート剥離方法。
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---|---|---|---|---|
JP2011023606A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | 保護テープ剥離装置 |
JP2017050363A (ja) * | 2015-08-31 | 2017-03-09 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法 |
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2008
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