JP5918927B2 - シート剥離装置および剥離方法 - Google Patents
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Description
また、従来の剥離装置は、ウェハを保持するテーブルを有し、このテーブルに設けた吸引口等の吸引手段によって吸引することでウェハを保持するようになっている。
このようなウェハWの起き上がりや割れを防止するためには、接着領域90のウェハWの中心に向かう径方向の長さ(距離d0)を短くすれば、解消されるが、ウェハWの全面から接着シート91を剥離する張力にその接着力が耐えられず、剥離途中で剥離用テープTが接着シート91から分離してしまい、剥離不良を生じてしまうという不都合を生じる。特に、近年ウェハ外径が大型化するに伴い、接着シートの剥離に要する張力は大きくなる傾向にある。
また、本発明のシート剥離装置では、前記接着シートは、所定径の円形形状とされ、前記剥離用テープは、前記接着シートの径よりも小さな所定幅の帯状体とされており、前記剥離開始位置決定手段は、前記接着シートの径と前記剥離用テープの幅とに基づいて前記貼付領域の角部の位置を算出可能に構成されていることが好ましい。
さらに、本発明のシート剥離装置では、前記接着シートは、所定径の円形形状とされ、前記貼付手段は、所定幅の貼付部材を備えており、前記剥離開始位置決定手段は、前記接着シートの径と前記貼付部材の幅とに基づいて前記貼付領域の角部の位置を算出可能に構成されていることが好ましい。
また、本発明のシート剥離装置では、前記剥離開始位置決定手段は、前記被着体の一方の面内で前記保持手段と移動手段とを相対回転させる回転手段を備えることが好ましい。
また、回転手段を有することで、繰出手段や貼付手段などの各部に複雑な機構を設けなくても、貼付領域の角部の先端のみを剥離の始点に確実に位置させることができ、装置の複雑化や大型化を防止しつつ迅速かつ確実に接着シートを剥離することができる。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を基準としている。
図1において、シート剥離装置1は、被着体としてのウェハWの表面に貼付された接着シートSを剥離用テープTを用いて剥離する装置であって、ウェハWを保持する保持手段であるテーブル2と、剥離用テープTを繰出す繰出手段3と、繰出された剥離用テープTを接着シートSに貼付する貼付手段4と、ウェハWと剥離用テープTとを相対移動させる移動手段5とを備えて構成されている。ここで、ウェハWは、例えば、内周部が薄く研削されるとともに、その一方の面(上面)に回路が形成された半導体ウェハであり、ウェハWの外周部にリング状の凸部WAが形成されている。
テーブル2は、図示しない吸引口を介してウェハWの凸部WAを他方の面(下面)から吸着保持する平板状のテーブル本体21と、このテーブル本体21の下側に設けられる支持部22とを備えて構成されている。
また、貼付手段4の近傍には、図示しないフレームに支持されたカメラや光学センサ等の検出手段としての位置センサ7が設けられている。この位置センサ7は、図2(A)に示すように、ウェハWの中心Cを通る剥離方向Aに平行な直線CL上に設けられ、貼付領域Rの長さ方向一端部である接着シートSの外縁に沿った角部Pの位置が直線CL上に位置したことを検出可能に設けられている。
制御手段8は、パーソナルコンピュータやシーケンサ等で構成され、シート剥離装置1の全体的な動作を制御可能に設けられており、この制御手段8によって、剥離開始位置決定手段が構成されている。
ウェハWから接着シートSを剥離する手順としては、先ず、図1に示すように、ウェハWをテーブル2の所定位置に保持するとともに、シート剥離装置1の各部を初期位置設定した状態において、テープ切断部38および貼付手段4が上方に移動して退避してから、単軸ロボット51を介してチャック部材37が繰出手段3に向かって移動する。そして、下方に位置する把持爪36がテープ受け板354に当接すると、テープ受け板354をブッシュ351方向に押し込み、剥離用テープTの先端を上下の把持爪36間に受け入れる。そして、チャック部材37は、把持爪36を閉じて剥離用テープTの先端を把持するとともに、剥離用テープTを把持したまま繰出手段3から離れる方向に移動し、剥離用テープTを所定長さ引き出して停止することで、繰出手段3から剥離用テープTを繰出す。
すなわち、角部Pを始点として貼付領域Rを引っ張って接着シートSの端部をウェハWから剥離することで、剥離用テープTとともにウェハWが起き上がることを抑制することができ、接着シートSの端部をウェハWから確実に剥離することができる。
θ=sin-1(La/2r) …(1)
θi=sin-1(Li/2r) …(2)
また、前記実施形態では、剥離用テープとして感熱接着性の剥離用テープTを用いたが、これに限らず、剥離用テープが感圧接着性の接着テープ等で構成されてもよいし、また、剥離対象の接着シートとして接着シートSを示したが、これに限らず、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。さらに、繰出手段として、帯状の剥離用テープTを供給するように図示、説明したが、剥離用テープTは帯状のものに限らず、例えば、剥離用テープTを適宜な長さにカットした枚葉のテープを採用してもよい。
また、前記実施形態では、ウェハWと剥離用テープTとの両方を移動させて相対移動させる移動手段5を構成したが、これに限らず、ウェハWと剥離用テープTとのいずれか一方のみを移動させるように構成してもよい。
さらに、テーブル本体21を固定しておいて移動手段5をウェハWの表面と同一面内で回転移動させてもよいし、それら両方を回転移動させてもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
2 テーブル(保持手段)
3 繰出手段
4 貼付手段
5 移動手段
6 回転手段
7 位置センサ(検出手段)
8 制御手段(剥離開始位置決定手段)
42 押圧ヘッド(貼付部材)
P 角部(一端部)
P1,P2,P3 一端部
R 貼付領域
R1,R2,R3 貼付領域
S 接着シート
T 剥離用テープ
T1,T2,T3 剥離用テープ
W ウェハ(被着体)
Claims (6)
- 一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を他方の面から保持する保持手段と、
前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、
前記接着シートの外縁に沿った所定長さを有する貼付領域を当該接着シートと前記剥離用テープとの間に形成して当該剥離用テープを前記接着シートに貼付する貼付手段と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させることで、前記接着シートを所定の剥離の始点から剥離する移動手段と、
前記貼付領域の所定長さ方向一端部から前記接着シートの剥離を開始させる剥離開始位置決定手段とを備え、
前記貼付領域の一端部は、前記接着シートの外縁側に位置する辺を含む2つの辺によって形成された角部を備え、
前記剥離開始位置決定手段は、前記角部を形成する2つの辺を含まない当該角部の先端のみを前記剥離の始点に位置させることを特徴とするシート剥離装置。 - 前記貼付領域の角部を検出する検出手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のシート剥離装置。
- 前記接着シートは、所定径の円形形状とされ、前記剥離用テープは、前記接着シートの径よりも小さな所定幅の帯状体とされており、
前記剥離開始位置決定手段は、前記接着シートの径と前記剥離用テープの幅とに基づいて前記貼付領域の角部の位置を算出可能に構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。 - 前記接着シートは、所定径の円形形状とされ、前記貼付手段は、所定幅の貼付部材を備えており、
前記剥離開始位置決定手段は、前記接着シートの径と前記貼付部材の幅とに基づいて前記貼付領域の角部の位置を算出可能に構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。 - 前記剥離開始位置決定手段は、前記被着体の一方の面内で前記保持手段と移動手段とを相対回転させる回転手段を備えることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のシート剥離装置。
- 一方の面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離する際に、前記接着シートを所定の剥離の始点から剥離するシート剥離方法であって、
他方の面から前記被着体を保持して前記剥離用テープを繰出し、
前記接着シートの外縁に沿った所定長さを有し、当該所定長さ方向一端部に前記接着シートの外縁側に位置する辺を含む2つの辺によって形成された角部を備える貼付領域を、当該接着シートと前記剥離用テープとの間に形成して当該剥離用テープを当該接着シートに貼付し、
前記貼付領域の角部を形成する2つの辺を含まない当該角部の先端のみを前記剥離の始点に位置させてから、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて当該貼付領域の角部の先端のみから前記接着シートの剥離を開始することを特徴とするシート剥離方法。
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