CN116969241A - 卷绕单元 - Google Patents

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Abstract

本发明提供卷绕单元，其能够从卷绕部可靠地拔出筒膜而废弃。该卷绕单元具有卷绕机构(20、20’)、旋转机构(30、30’)以及进退机构(40、40’)，在一方的卷绕机构(20)中具有将筒膜(120)从卷绕部(22)拔出的拔出机构，该拔出机构具有板(推顶部)(51)和移动机构(进退机构(40))，在另一方的卷绕机构(20’)的把持部放开膜(12)并利用进退机构(40、40’)使卷绕机构(20、20’)在相对地远离的方向上移动而从另一方的卷绕机构(20’)拔出筒膜(120)之后，通过移动机构(进退机构(40))使板(51)推顶筒膜(120)的侧端而将该筒膜(120)拔出。

Description

卷绕单元
技术领域
本发明涉及卷绕单元，其用于卷绕通过带粘贴装置剥离了粘接带的带状的膜。
背景技术
在对半导体晶片等板状的被加工物进行加工时，进行如下的过程：使用带粘贴装置将被加工物和围绕被加工物的周围的环状框架利用粘接带进行一体化而形成工件组，将该工件组设置于加工装置的卡盘工作台上(例如参照专利文献1)。
关于在带粘贴装置中使用的粘接带，通过在封住环状框架的开口部的大小的圆形的基材上形成粘接层而构成。并且，将该粘接带的粘接层粘接于带状的膜上，从而沿着该膜的延伸方向以等间隔配设有多个该粘接带，这样粘接有多个粘接带的膜以卷绕成卷状的状态设置于带粘贴装置。
在带粘贴装置中，将粘接带从膜剥离而粘贴于环状框架和被加工物从而将环状框架和被加工物作为工件组而一体化，将剥离了粘接带的膜通过带粘贴装置所具有的卷绕单元进行卷绕。并且，当卷绕单元卷绕一定量的膜时，暂时停止粘接带对被加工物和环状框架的粘贴，由作业者将卷绕成卷状的膜(以下称为“筒膜”)从卷绕单元取下而废弃。然后，由作业者将呈卷状卷绕有粘接带和膜的带卷安装于带粘贴装置，重新开始粘接带对被加工物和环状框架的粘贴作业。
在将如上述那样通过卷绕单元呈卷状卷绕的筒膜废弃时，需要在暂时停止带粘贴装置之后由作业者进行将筒膜从卷绕单元取下的作业，因此除了降低粘接带的粘贴作业的效率以外，还存在需要大量工夫和时间的问题。
因此，在专利文献2中提出了如下的卷绕单元：其能够在不需要作业者的手动作业的情况下将卷绕成卷状的筒膜拔出而废弃。
上述卷绕单元构成为具有：一对卷绕部，它们具有对带状的膜进行把持的把持部而按照面对面的方式配设；旋转机构，其使这些卷绕部旋转；以及进退单元，其使一方的卷绕部相对于另一方的卷绕部接近或远离。根据该卷绕单元，在卷绕膜时，利用把持部对膜进行把持，通过旋转机构使卷绕部旋转而在卷绕部上卷绕膜，在将卷绕而得的卷状的筒膜废弃时，各把持部将膜放开，利用进退单元使卷绕部分离以便使一对卷绕部之间的距离大于膜的宽度，由此能够将卷绕成卷状的筒膜拔出而废弃。
专利文献1：日本特开2015-220365号公报
专利文献2：日本特开2019-104563号公报
但是，在专利文献2中提出的卷绕单元中，在将筒膜废弃时，通过进退单元使一对卷绕部相互分离，因此一对卷绕部未必同时从筒膜拔出，根据情况，会发生一方的卷绕部比另一方的卷绕部先从筒膜拔出的情况。在这样的情况下，筒膜在支承于另一方的卷绕部的状态下与该卷绕部一起移动，因此产生无法将该筒膜从一对卷绕部可靠地拔出而废弃的问题。
因此，存在希望将筒膜从卷绕单元的卷绕部可靠地拔出而废弃的课题。
发明内容
用于解决上述课题的本发明是卷绕单元，其利用与带状的膜的宽度方向平行地延伸的轴卷绕该膜，其中，该卷绕单元具有：两个卷绕机构，两个该卷绕机构按照使对该膜的侧端部分进行把持的把持部面对面的方式配置；两个旋转机构，两个该旋转机构分别使该卷绕机构旋转；以及进退机构，其使两个该卷绕机构在该轴向上相对地接近和远离，该卷绕机构具有：筒状的卷绕部，其对该把持部进行收纳，该卷绕部利用外周面卷绕该膜；以及进入部，其形成于该卷绕部，使该膜进入以使该把持部把持该膜，在一方的该卷绕机构中具有拔出机构，该拔出机构将该卷绕部卷绕该膜而形成为筒状的筒膜从该卷绕部拔出，该拔出机构具有：推顶部，其在该轴向上推顶该筒膜的侧端而使该筒膜从该把持部脱离；以及移动机构，其使放开了该膜的该把持部和该推顶部在该轴向上相对地移动，关于该拔出机构，在另一方的该卷绕机构的该把持部放开该膜并利用该进退机构使该一方的卷绕机构与该另一方的卷绕机构在相对地远离的方向上移动而将该筒膜从该另一方的卷绕机构拔出之后，通过该移动机构使该推顶部推顶该筒膜的侧端而将该筒膜拔出。
也可以如下构成卷绕单元，其中，该推顶部是具有该卷绕部能够通过的开口的板，在配置该进退机构的基台上具有对该板进行保持的板保持部，该卷绕机构具有能够使该板在该轴向上移动的引导部，通过使该卷绕机构在该轴向上移动而使该板保持于该板保持部，使该卷绕部从该板保持部所保持的该板的该开口拔出，由该板对卷绕于该卷绕部的该筒膜的侧端进行推顶，从而从该卷绕部拔出该筒膜。
另外，也可以如下构成卷绕单元，其中，该推顶部是具有该卷绕部能够通过的开口的板，该移动机构配置于该卷绕部，使该板在该轴向上移动，利用该移动机构使该板在该轴向上移动，使该卷绕部从该板的该开口拔出，由该板对卷绕于该卷绕部的该筒膜的侧端进行推顶，从而从该卷绕部拔出该筒膜。
根据本发明，在将筒膜从一对卷绕机构拔出而废弃时，在另一方的卷绕机构的把持部放开膜之后，通过进退机构使两个卷绕机构向相互远离的方向移动，将筒膜从另一方的卷绕机构拔出，然后通过设置于拔出机构的移动机构使一方的卷绕机构和该卷绕机构所保持的筒膜向两个卷绕机构远离的方向移动，因此一方的卷绕机构所保持的筒膜的侧端被推顶部向拔出方向推顶。因此，能够将一方的卷绕机构所保持的筒膜也从一方的卷绕机构强制性地可靠地拔出，从两个卷绕机构拔出的筒膜通过自重落下而废弃。
附图说明
图1是示出具有本发明的卷绕单元的带粘贴装置的基本结构的剖视侧视图。
图2是示出本发明的第1实施方式的卷绕单元的膜卷绕时的状态的立体图。
图3是示出本发明的第1实施方式的卷绕单元的筒膜拔出时的状态的立体图。
图4是示出本发明的第2实施方式的卷绕单元的膜卷绕时的状态的立体图。
图5是示出本发明的第2实施方式的卷绕单元的筒膜拔出时的状态的立体图。
图6是示出本发明的第3实施方式的卷绕单元的膜卷绕时的状态的立体图。
图7是示出本发明的第3实施方式的卷绕单元的筒膜拔出时的状态的立体图。
标号说明
1、1’、1”：卷绕单元；10：带卷；11：粘接带；12：膜；13：卷筒；20、20’：卷绕机构；21：把持部；22、22’：卷绕部；23：旋转轴；24：壳体；25：支承台；26：进入部；27、28：夹持板；30、30’：旋转机构；31、31’：电动机；311：输出轴(电动机轴)；32、32’：支承板；321、321’：滑动块部；33、33’：驱动带轮；34、34’：从动带轮；35、35’：传动带；40、40’：进退机构；41：支承基台；42、42’：滚珠丝杠轴；43、43’：导轨；44、44’：电动机；45、45’：轴承；51：板(推顶部)；511：开口；52、53：板保持部；54：磁铁；60：引导板；61：引导销；70：空气气缸(移动机构)；71：杆；100：带粘贴装置；200：工件单元；201：晶片；202：环状框架；300：壳体；400：卡盘工作台；401：第1支承面；402：第2支承面；410：支承辊；420：剥离板；430：按压辊；440：支承部件。
具体实施方式
[带粘贴装置]
图1所示的带粘贴装置100是用于将作为被加工物的晶片201和配置于晶片201的周围的环状框架202通过粘接带11进行一体化而连续地一个一个地形成工件单元200的装置，例如该带粘贴装置100具有箱状的壳体300。并且，在该壳体300的内部配设有：对晶片201和环状框架202进行支承的卡盘工作台400；对卷绕于圆筒状的卷筒13的带卷10进行支承的支承辊410；剥离板420；按压辊430；以及本发明的卷绕单元1。另外，后文对卷绕单元1进行详细叙述。
作为载置于卡盘工作台400的上表面的被加工物的晶片201，例如是圆板状的半导体晶片，配置于在由SUS等金属成型为环状的环状框架202的中央开口的圆形的开口部内。这里，在卡盘工作台400的上表面中央部形成有对晶片201进行支承的第1支承面401，在该第1支承面401的周围形成有对围绕晶片201的环状框架202进行支承的第2支承面402，但晶片201的厚度比环状框架202的厚度薄，因此按照两者的厚度的差将第1支承面401的高度设定得比第2支承面402的高度略高。因此，载置于卡盘工作台400上的晶片201的上表面与环状框架202的上表面成为同一平面(同一高度位置)。另外，在卡盘工作台400的下方设置有未图示的移动机构，该卡盘工作台400能够通过移动机构在水平方向(X轴方向)上移动。
卷绕在卷筒13的上述带卷10是在由聚酯等树脂构成的带状的膜12的外表面上在该膜12的延伸方向(长度方向)上以规定的等间隔粘贴圆形的多个粘接带11而构成的。这里，粘接带11由树脂制的基材层和设置于该基材层的一个面的粘接层(均未图示)构成，通过将粘接层粘贴于膜12的一个面(外表面)，如上所述将多个粘接带11沿着膜12的延伸方向以等间隔粘贴于膜12的外表面。因此，通过膜12来保护向晶片201和环状框架202粘贴前的粘接带11的粘接层。另外，环状框架202的开口部的内径设定得比晶片201的外径大，粘接带11的外径设定得比环状框架202的开口部的内径大且比膜12的宽度小。
在带卷10的卷筒13中贯穿插入有借助支承部件440而安装于壳体300的顶棚的支承辊410，带卷10被沿图1的纸面垂直方向(Y轴方向)配设的支承辊410支承为能够旋转。另外，在支承辊410的轴向(Y轴方向)一端侧连结有电动机等未图示的旋转驱动源，支承辊410和带卷10以支承辊410的Y轴方向的轴心为中心而旋转。
在支承辊410的斜下方的卡盘工作台400的附近配置有沿图1的纸面垂直方向(Y轴方向)延伸的剥离板420，在该剥离板420的附近以能够旋转的方式配置有按压辊430。
上述剥离板420用于从粘接带11剥离膜12，按照其+X轴方向端部(图1的右端部)位于下方的方式相对于XY平面(水平面)倾斜地配置。另外，该剥离板420的+X轴方向端部(图1的右端部)按照朝向前端变细的方式成型。另外，剥离板420的Y轴方向的宽度设定得大于粘接带11的外径。并且，在该剥离板420的前端部附近以能够旋转的方式配置有按压辊430。
另外，在壳体300内的带卷10的下方在从剥离板420向-X轴方向(图1的左方)远离规定距离的位置上配设有本发明的卷绕单元1。
在如上述那样构成的带粘贴装置100中，通过未图示的膜拉出机构将膜12的前端从带卷10朝向斜下方拉出。并且，拉出的膜12搭挂于剥离板420的前端而朝向-X轴方向折返，从而被引导至卷绕单元1。并且，当从在图1的箭头10a方向(顺时针方向)上旋转的带卷10将膜12和粘贴于膜12的外表面的多个粘接带11朝向剥离板420和按压辊430送出时，通过剥离板420将膜12从粘接带11剥离。即，膜12在剥离板420的前端部折返而沿箭头1a方向卷绕于卷绕单元1，由此将该膜12从粘接带11剥离，剥离了膜12的粘接带11通过在箭头430a方向(逆时针方向)上旋转的按压辊430从端部依次粘贴于环状框架202和晶片201的上表面。并且，当使卡盘工作台400如图1中双点划线所示那样向+X方向(图1的右方)水平移动时，剥离了膜12的粘贴带11粘贴于环状框架202和晶片201的整个面，因此晶片201和环状框架202通过粘接带11一体化结合而形成工件单元200。
另外，虽未图示，但在从剥离板420向-X轴方向至少远离环状框架202的外径以上的位置配设有沿Y轴方向延伸的一对防松弛辊，剥离了粘接带11的膜12通过一对防松弛辊从上下夹持，由此没有松弛地卷绕于卷绕单元1。
如上所述通过带粘贴装置100将晶片201和环状框架202一体化而得的工件单元200例如被搬送至磨削装置等未图示的加工装置，将作为被加工物的晶片201供于磨削加工等加工。
[卷绕单元]
接着，对本发明的卷绕单元1的实施方式进行说明。
＜第1实施方式＞
如图2所示，本实施方式的卷绕单元1具有：一对卷绕机构20、20’，它们沿带状的膜12的宽度方向(Y轴方向)配置；一对旋转机构30、30’，它们使各卷绕机构20、20’分别旋转；以及进退机构40、40’，它们使一对卷绕机构20、20’沿着Y轴方向相对地接近和远离。
例如在一方的卷绕机构20中设置有对膜12的一方的侧端部分进行把持的把持部21，在另一方的卷绕机构20’中也设置有对另一方的侧端部分进行把持的未图示的把持部，两个卷绕机构20、20’按照使设置于卷绕机构20、20’的把持部21(另一方未图示)面对面的方式配置。另外，两个卷绕机构20、20’的结构相同，因此以下仅对一方的卷绕机构20的结构进行图示和说明。
在卷绕机构20中设置有对把持部21进行收纳且利用外周面卷绕膜12的大致圆筒状的卷绕部22。并且，卷绕部22具有把持部21、旋转轴23、在内部收纳把持部21的壳体24、以及固定于旋转轴23的前端部的支承台25。另外，支承台25是按照侧视L字状弯曲的部件，通过未图示的固定螺栓固定于壳体24，在壳体24的内部支持把持部21。
壳体24成型为大致圆筒状，膜12的侧端部卷绕在壳体24的外周面上，壳体24的前端部分成型为外径从长度方向(Y轴方向)中间部朝向前端侧(-Y轴侧)缩径的锥形圆筒状。并且，在壳体24的前端部形成有膜12在被把持部21把持时通过的一对进入部26。这里，进入部26形成为从壳体24的前端至长度方向中间位置进行切口而得的缝。
另外，把持部21具有：固定于支承台25的夹持板27、以能够上下移动的方式支承于支承台25的夹持板28、以及使夹持板28上下移动的未图示的气缸机构，通过两个夹持板27、28对进入至两个夹持板27、28之间的膜12的侧端部进行把持。
使一方的卷绕部22旋转的一方的旋转机构30具有作为驱动源的电动机31，该电动机31安装于支承板32的端部内表面。该电动机31的输出轴(电动机轴)311贯通形成于支承板32的未图示的圆孔而突出至支承板32的外表面侧，在该突出端安装有驱动带轮33。
另外，在支承板32的内表面侧配置有上述卷绕部22，该卷绕部22的旋转轴23贯通形成于支承板32的未图示的圆孔而突出至支承板32的外表面侧，在该突出端安装有从动带轮34。并且，在该从动带轮34与上述驱动带轮33之间卷绕有环状的传动带35。因此，当电动机31驱动时，该电动机31的输出轴311的旋转从驱动带轮33经由传动带35而传递至从动带轮34，从动带轮34以及旋转轴23和卷绕部22以规定的速度进行旋转驱动。
另外，使另一方的卷绕部22’旋转的另一方的旋转机构30’的结构与一方的旋转机构30的结构相同。即，如图2所示，旋转机构30’由安装于支承板32’的电动机31’、驱动带轮33’、从动带轮34’和传动带35’构成。
接着，对上述进退机构40、40’进行说明。
一方(图2的右侧(+Y轴侧))的进退机构40配设于沿Y轴方向延伸的板状的支承基台41的前表面侧，使同侧的卷绕部22相对于另一方(图2的左侧(-Y侧))的卷绕部22’在Y轴方向上相对地接近或远离。具体而言，该进退机构40构成为包含：能够旋转的滚珠丝杠轴42，其在支承基台41的前表面侧沿着Y轴方向水平地延伸；上下一对导轨43，它们夹着支承基台41的前表面的滚珠丝杠轴42而在其上下沿着Y轴方向相互平行地配置；作为驱动源的电动机44；以及滑动块部321，其能够沿着导轨43在Y轴方向上滑动。另外，滑动块部321一体地形成于支承板32的基端部，在该滑动块部321中螺合插通有滚珠丝杠轴42。
上述滚珠丝杠轴42的轴向一端(图2的左端)通过轴承45支承为能够旋转，在该滚珠丝杠轴42的另一端(图2的右端)部连结有电动机44。
另外，另一方(图2的左侧)的进退机构40’使同侧的卷绕部22’相对于一方(图2的右侧)的卷绕部22在Y轴方向上相对地接近或远离，其基本结构与一方的进退机构40的结构相同。即，进退机构40’构成为包含滚珠丝杠轴42’、导轨43’、电动机44’、滑动块部321’、轴承45’等。
另外，在本实施方式的卷绕单元1中，在一方的卷绕机构20中设置有拔出机构，该拔出机构用于将一对卷绕部22、22’卷绕膜12而形成为筒状的筒膜120(图3中双点划线所示)从该卷绕机构20的卷绕部22强制地拔出。该拔出机构包含：圆板状的板51，其是将筒膜120的侧端向-Y方向推顶而使筒膜120从卷绕部22脱离的推顶部；以及移动机构，其使放开了膜12的把持部21和板51在Y轴方向上相对地移动，在本实施方式中，移动机构由一方的进退机构40构成。
如图2所示，在板51的中心部形成有一方的卷绕部22能够通过的圆孔状的开口511，板51的Y轴方向的位置固定。即，借助磁铁54而将板51保持于支承基台41上安装的上下一对的板保持部52、53。更详细而言，上下一对的板保持部52、53是弯曲成L字状的部件，在它们的各前端部分别安装有磁铁54。并且，板51通过上下一对的磁铁54的磁力而吸附保持于板保持部52、53，能够相对于板保持部52、53自由地旋转。
另外，如图2所示，在另一方的卷绕机构20’的卷绕部22’中设置有与板51直径相同的板51’，该板51’能够与卷绕部22’一起在Y轴方向上移动。
接着，对如上述那样构成的卷绕单元1的作用进行说明。
如图2所示，当膜12的前端部被引导至卷绕单元1时，一方的卷绕部22通过进退机构40按照靠近膜12的侧端部分的方式向-Y方向移动，膜12的侧端部分进入至进入部26内。另外，另一方的卷绕部22’通过进退机构40’按照靠近膜12的侧端部分的方式向+Y方向移动，膜12的侧端部分进入至未图示的进入部内。然后，例如在一方的卷绕机构20中，未图示的气缸机构使夹持板28下降，通过夹持板27、28夹持膜12的两侧端部，由此卷绕部22的把持部21对膜12的一方的侧端部分进行夹持。同样地，在另一方的卷绕机构20’中，卷绕部22’的未图示的把持部也对膜12的另一方的侧端部分进行夹持。
接着，一方的进退机构40使卷绕部22向+Y方向移动，另外，另一方的进退机构40’使卷绕部22’向-Y方向移动，由此使两个卷绕部22、22’向相互远离的方向移动。这是为了防止在膜拉出机构将膜12的前端侧引导至卷绕单元1时由于膜12未相对于卷绕部22、22’适当地定位而产生卷绕部22、22’的各把持部21、22’未把持膜12的侧端部分的情况，并防止产生在卷绕部22、22’的各把持部21(另一方未图示)未把持膜12的侧端部分的状态下开始这些卷绕部22、22’的旋转这样的不良情况。
在两个卷绕部22、22’的把持部21(另一方未图示)把持着膜12的侧端部分的状态下，当旋转机构30、30’的各电动机31、31’分别启动时，各电动机31、31’的旋转经由驱动带轮33、33’、传动带35、35’和从动带轮34、34’而分别传递至各卷绕部22、22’，这些卷绕部22、22’如图3中箭头所示那样在同一方向(膜12的卷绕方向)上以同一速度进行旋转驱动。于是，将侧端部被卷绕部22、22’的各把持部21(另一方未图示)把持的膜12卷绕于各卷绕部22、22’，通过这样卷绕膜12而形成卷状的筒膜120。另外，此时在筒膜120的轴向两侧配置有板51、51’，因此这些板51、51’成为膜12的卷绕的引导件，防止卷绕时的膜12的Y轴方向的弯曲行进。
并且，当开始卷绕单元1对膜12的卷绕时，与此联动，图1所示的支承辊410旋转，从该支承辊410所支承的带卷10朝向剥离板420和按压辊430将膜12和粘贴于膜12的外表面的多个粘接带11送出，如上所述将膜12从粘接带11剥离并卷绕于卷绕单元1，并且将从膜12剥离的粘接带11粘贴于晶片201和环状框架202而形成工件单元200。
例如当从图1所示的支承辊410所支承的带卷10送出全部的膜12时，在卷绕单元1的卷绕部22、22’上卷绕有规定长度的膜12而如图3所示形成规定外径的筒膜120，通过以下的过程将该筒膜120从卷绕部22、22’取下而废弃。
即，首先在解除另一方(图2的左侧)的卷绕部22’的未图示的把持部对膜12的侧端部的把持之后，进退机构40、40’进行驱动，一方的卷绕机构20与另一方的卷绕机构20’向相对远离的方向(卷绕部22、22’从筒膜120拔出的方向)移动。即，一方的卷绕机构20向+Y方向移动，另一方的卷绕机构20’向-Y方向移动。此时，如上所述解除另一方的未图示的把持部对膜12的侧端部的把持，因此当另一方的卷绕机构20’向-Y方向移动时，另一方的卷绕部22’先从筒膜120拔出。
在上述状态下，筒膜120在保持于一方的卷绕部22的状态下与卷绕部22一起向+Y方向移动，但板51未移动，因此与卷绕部22一起移动的筒膜120的侧端面与板51抵靠，被板51向-Y方向推顶。因此，筒膜120从一方的卷绕部22强制地拔出，通过自重落下而废弃。
如上所述，根据本实施方式的卷绕单元1，在将筒膜120从一对卷绕机构20、20’拔出而废弃时，在另一方的卷绕机构22’的未图示的把持部放开膜12之后，通过进退机构40、40’使两个卷绕机构20、20’向相互远离的方向移动，从另一方的卷绕机构20’先拔出筒膜120，然后通过设置于拔出机构的移动机构(在本实施方式中为进退机构40)使一方的卷绕部22和该卷绕部22所保持的筒膜120向两个卷绕机构20、20’远离的方向移动，因此一方的卷绕机构20所保持的筒膜120侧端通过板51向拔出方向推顶。因此，被一方的卷绕机构20保持的筒膜120也从该一方的卷绕机构20拔出，从两个卷绕机构20、20’拔出的筒膜120如图3所示通过自重落下而废弃。
＜第2实施方式＞
接着，根据图4和图5对本发明的第2实施方式的卷绕单元1’进行说明。另外，在图4和图5中，对与图2和图3所示的要素相同的要素标记相同的标号，以下省略了对于它们的再次说明。
在本实施方式的卷绕单元1’中，如图4所示，在一方(图4的右侧)的卷绕机构20的外周且沿Y轴方向在板51与支承板32之间安装有引导板60。并且，在板51的与引导板60对置的面上朝向引导板60水平地突设有4个(在图4中仅图示3个)引导销61，这些引导销61分别以能够滑动的方式贯穿插入至形成于引导板60的未图示的圆孔。这里，引导板60和引导销61构成对卷绕机构20沿着Y轴方向的移动进行引导的引导部。
在本实施方式的卷绕单元1’中，在将筒膜120从一对卷绕机构20、20’拔出而废弃时，在另一方的卷绕部22’的未图示的把持部放开膜12之后，如图5中箭头所示，通过进退机构40、40’使两个卷绕机构20、20’向相互远离的方向移动，从另一方的卷绕部22’先拔出筒膜120，然后通过移动机构(在本实施方式中为进退机构40)使一方的卷绕部22和该卷绕部22所保持的筒膜120向两个卷绕机构20、20’远离的方向移动。因此，在本实施方式的卷绕单元1’中，在将卷绕于卷绕部22、22’的筒膜120(参照图5)拔出时，一方的卷绕机构20的+Y轴方向的移动被构成引导部的引导板60和引导销61引导而顺利地进行。
并且，从另一方的卷绕部22’先拔出的筒膜120的侧端被板51向拔出方向(-Y轴方向)推顶，被一方的卷绕部22保持的筒膜120也从该一方的卷绕部22拔出，从两个卷绕部22、22’拔出的筒膜120如图5所示那样通过自重落下而废弃。另外，在本实施方式中，使构成引导部的引导销61的数量为4个，但该引导销61的数量只要为多个，则是任意的。
＜第3实施方式＞
接着，根据图6和图7对本发明的第3实施方式的卷绕单元1”进行说明。另外，在图6和图7中，也对与图2和图3所示的要素相同的要素标记相同的标号，以下省略了对于它们的再次说明。
在上述实施方式1、2中，将进退机构40作为使保持筒膜120的一方的卷绕机构20相对于板51向+Y轴方向移动的移动机构并用，但在本实施方式的卷绕单元1”中，移动机构由空气气缸70构成，构成推顶部的板51被保持为能够相对于卷绕部22在Y轴方向上移动。这里，在一方的卷绕部22的外周沿周向以等角度间距(120°间距)配设有3个空气气缸70，从各空气缸体70向-Y轴方向延伸的杆71的各前端分别与板51连结。
在本实施方式的卷绕单元1”中，在将筒膜120从一对卷绕部22、22’拔出而废弃时，在另一方的卷绕部22’的未图示的把持部放开膜12之后，如图7中箭头所示，通过进退机构40、40’使两个卷绕机构20、20’向相互远离的方向移动，从另一方的卷绕部22’先拔出筒膜120，然后使作为移动机构的3个空气气缸70的各杆71向图7的箭头方向(-Y轴方向)分别伸长。于是，板51向箭头方向(-Y轴方向)移动，将侧端面与该板51抵接的筒膜120从一方的卷绕部22强制地拔出，从两个卷绕部22、22’拔出的筒膜120如图7所示通过自重落下而废弃。另外，在本实施方式中，使构成移动机构的空气气缸70的数量为3个，但该空气气缸70的数量只要为多个，则是任意的。另外，在本实施方式中，由空气气缸70构成移动机构，但也可以代替空气气缸70而使用油压气缸等其他任意的机构。
另外，以上说明了将本发明应用于对通过带粘贴装置剥离了粘接带(该粘接带将被加工物即晶片与环状框架作为工件单元而一体化)的膜进行卷绕的卷绕单元的方式，但本发明也能够同样地应用于用于在带粘贴装置以外的其他任意的装置中卷绕膜的卷绕单元。
除此以外，本发明的应用并不限于以上说明的实施方式，当然能够在权利要求书、说明书和附图所记载的技术思想的范围内进行各种变形。

Claims (3)

1.一种卷绕单元，其利用与带状的膜的宽度方向平行地延伸的轴卷绕该膜，其中，
该卷绕单元具有：
两个卷绕机构，两个该卷绕机构按照使对该膜的侧端部分进行把持的把持部面对面的方式配置；
两个旋转机构，两个该旋转机构分别使该卷绕机构旋转；以及
进退机构，其使两个该卷绕机构在该轴向上相对地接近和远离，
该卷绕机构具有：
筒状的卷绕部，其对该把持部进行收纳，该卷绕部利用外周面卷绕该膜；以及
进入部，其形成于该卷绕部，使该膜进入以使该把持部把持该膜，
在一方的该卷绕机构中具有拔出机构，该拔出机构将该卷绕部卷绕该膜而形成为筒状的筒膜从该卷绕部拔出，
该拔出机构具有：
推顶部，其在该轴向上推顶该筒膜的侧端而使该筒膜从该把持部脱离；以及
移动机构，其使放开了该膜的该把持部和该推顶部在该轴向上相对地移动，
关于该拔出机构，在另一方的该卷绕机构的该把持部放开该膜并利用该进退机构使该一方的卷绕机构与该另一方的卷绕机构在相对地远离的方向上移动而将该筒膜从该另一方的卷绕机构拔出之后，通过该移动机构使该推顶部推顶该筒膜的侧端而将该筒膜拔出。
2.根据权利要求1所述的卷绕单元，其中，
该推顶部是具有该卷绕部能够通过的开口的板，
在配置该进退机构的基台上具有对该板进行保持的板保持部，
该卷绕机构具有能够使该板在该轴向上移动的引导部，
通过使该卷绕机构在该轴向上移动而使该板保持于该板保持部，
使该卷绕部从该板保持部所保持的该板的该开口拔出，由该板对卷绕于该卷绕部的该筒膜的侧端进行推顶，从而从该卷绕部拔出该筒膜。
3.根据权利要求1所述的卷绕单元，其中，
该推顶部是具有该卷绕部能够通过的开口的板，
该移动机构配置于该卷绕部，使该板在该轴向上移动，
利用该移动机构使该板在该轴向上移动，使该卷绕部从该板的该开口拔出，由该板对卷绕于该卷绕部的该筒膜的侧端进行推顶，从而从该卷绕部拔出该筒膜。
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