KR20230153256A - 권취 유닛 - Google Patents

Abstract

(과제) 권취부로부터 통 필름을 확실하게 발취하여 폐기할 수 있는 권취 유닛의 제공.
(해결 수단) 권취 기구 (20, 20') 과, 회전 기구 (30, 30') 와, 진퇴 기구 (40, 40') 를 구비하고, 일방의 권취 기구 (20) 에는, 통 필름 (120) 을 권취부 (20) 로부터 발취하는 발취 기구를 구비하고, 그 발취 기구는, 플레이트 (누름부) (51) 와, 이동 기구 (진퇴 기구 (40)) 를 구비하여, 타방의 권취 기구 (20') 의 파지부가 필름 (12) 을 놓고, 진퇴 기구 (40, 40') 로 권취 기구 (20, 20') 를 상대적으로 이간하는 방향으로 이동시켜 타방의 권취 기구 (20') 로부터 통 필름 (120) 을 발취한 후, 이동 기구 (진퇴 기구 (40)) 에 의해 플레이트 (40) 가 통 필름 (120) 의 측단을 눌러 그 통 필름 (120) 을 발취한다.

Description

권취 유닛{WINDING UNIT}

본 발명은, 테이프 첩착 장치에 있어서 점착 테이프가 박리된 띠 형상의 필름을 권취하기 위한 권취 유닛에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼 등의 판상의 피가공물을 가공할 때에는, 테이프 첩착 장치를 사용하여 피가공물과 그 주위를 둘러싸는 링 프레임을 점착 테이프로 일체화하여 워크 세트로 하고, 이 워크 세트를 가공 장치의 척 테이블 상에 세팅하는 것이 행해지고 있다 (예를 들면, 특허문헌 1 참조).

테이프 첩착 장치에 있어서 사용되는 점착 테이프는, 링 프레임의 개구부를 막는 크기의 원형의 기재에 점착층을 형성함으로써 구성되어 있다. 그리고, 이 점착 테이프는, 점착층이 띠 형상의 필름 상에 점착됨으로써 그 필름의 연장 방향을 따라 등간격으로 복수 배치 형성되어 있고, 이와 같이 복수의 점착 테이프가 점착된 필름은, 롤상으로 감긴 상태로 테이프 점착 장치에 세팅되어 있다.

테이프 첩착 장치에 있어서는, 점착 테이프는, 필름으로부터 박리되고 링 프레임과 피가공물에 첩착되어 양자를 워크 세트로서 일체화하는데, 점착 테이프가 박리된 필름은, 테이프 첩착 장치에 구비된 권취 유닛에 의해 권취된다. 그리고, 권취 유닛이 필름을 일정량만큼 권취하면, 피가공물과 링 프레임에 대한 점착 테이프의 첩착이 일시적으로 정지되고, 롤상으로 감긴 필름 (이하, 「통 필름」이라고 부른다) 이 작업자에 의해 권취 유닛으로부터 분리되어 폐기된다. 그 후, 점착 테이프 및 필름이 롤상으로 감겨진 테이프 롤이 작업자에 의해 테이프 첩착 장치에 장착되고, 피가공물과 링 프레임에 대한 점착 테이프의 첩착 작업이 재개된다.

상기 서술한 바와 같이 권취 유닛에 의해 롤상으로 감긴 통 필름을 폐기할 때에는, 테이프 첩착 장치를 일시적으로 정지시킨 다음, 작업자가 통 필름을 권취 유닛으로부터 분리시키는 작업이 필요하기 때문에, 점착 테이프의 첩착 작업의 효율이 악화되는 것 외에, 다대한 수고와 시간을 필요로 한다는 문제가 있었다.

그래서, 특허문헌 2 에는, 롤상으로 감긴 통 필름을 작업자의 수작업을 필요로 하지 않고 발취 (拔取) 하여 폐기할 수 있는 권취 유닛이 제안되어 있다.

상기 권취 유닛은, 띠 형상의 필름을 파지하는 파지부를 구비하고 마주보도록 배치 형성된 1 쌍의 권취부와, 이들 권취부를 회전시키는 회전 기구와, 일방의 권취부를 타방의 권취부에 대해 접근 또는 이간시키는 진퇴 수단을 구비하여 구성되어 있다. 이 권취 유닛에 의하면, 필름을 권취할 때에는, 파지부에서 필름을 파지하고, 회전 기구에 의해 권취부를 회전시켜 권취부에 필름을 권취하고, 권취된 롤상의 통 필름을 폐기할 때에는, 각 파지부가 필름을 놓고, 권취부를, 그 사이의 거리가 필름의 폭보다 커지도록 진퇴 수단으로 이간시킴으로써, 롤상으로 감긴 통 필름을 발취하여 폐기할 수 있다.

일본 공개특허공보 2015-220365호 일본 공개특허공보 2019-104563호

그러나, 특허문헌 2 에 있어서 제안된 권취 유닛에 있어서는, 통 필름을 폐기할 때에는, 1 쌍의 권취부를 진퇴 수단에 의해 서로 이간시키도록 하고 있기 때문에, 1 쌍의 권취부가 통 필름으로부터 반드시 동시에 빠진다고는 할 수 없고, 경우에 따라서는, 일방의 권취부가 타방의 권취부보다 먼저 통 필름으로부터 빠지는 경우가 일어날 수 있다. 이와 같은 경우에는, 통 필름이 타방의 권취부에 지지된 채로 그 권취부와 함께 이동하기 때문에, 이 통 필름을 1 쌍의 권취부로부터 확실하게 발취하여 폐기할 수 없다고 하는 문제가 발생한다.

따라서, 권취 유닛의 권취부로부터 통 필름을 확실하게 발취하여 이것을 폐기하고자 하는 과제가 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 띠 형상의 필름의 폭 방향으로 평행하게 연장되는 축으로 그 필름을 권취하는 권취 유닛으로서, 그 필름의 측단 부분을 파지하는 파지부를 마주보도록 배치한 2 개의 권취 기구와, 그 권취 기구를 각각 회전시키는 2 개의 회전 기구와, 2 개의 그 권취 기구를 상대적으로 그 축 방향으로 접근 및 이간시키는 진퇴 기구를 구비하고, 그 권취 기구는, 그 파지부를 수용하고 외주면에서 그 필름을 권취하는 통 형상의 권취부와, 그 권취부에 형성되고 그 파지부에 그 필름을 파지시키기 위해서 그 필름을 진입시키는 진입부를 구비하고, 그 일방의 그 권취 기구에는, 그 권취부가 그 필름을 권취하여 통 형상으로 형성된 통 필름을 그 권취부로부터 발취하는 발취 기구를 구비하고, 그 발취 기구는, 그 통 필름의 측단을 그 축 방향으로 눌러 그 파지부로부터 그 통 필름을 이탈시키는 누름부와, 그 필름을 놓은 그 파지부와 그 누름부를 상대적으로 그 축 방향으로 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 그 발취 기구는, 그 타방의 그 권취 기구의 그 파지부가 그 필름을 놓고, 그 진퇴 기구로 그 일방의 권취 기구와 그 타방의 권취 기구를 상대적으로 이간하는 방향으로 이동시켜 그 타방의 권취 기구 기구로부터 그 통 필름을 발취한 후, 그 이동 기구에 의해 그 누름부가 그 통 필름의 측단을 눌러 그 통 필름을 발취하는, 권취 유닛이다.

그 누름부는, 그 권취부가 통과 가능한 개구를 갖는 플레이트로서, 그 진퇴 기구가 배치되는 기대 (基臺) 에는, 그 플레이트를 유지하는 플레이트 유지부를 구비하고, 그 권취 기구는, 그 플레이트를 그 축 방향으로 이동 가능하게 하는 가이드부를 구비하고, 그 권취 기구를 그 축 방향으로 이동시킴으로써, 그 플레이트 유지부에 그 플레이트를 유지시키고, 그 플레이트 유지부에 유지된 그 플레이트의 그 개구로부터 그 권취부를 빼내고, 그 권취부에 권취되어 있는 그 통 필름의 측단을 그 플레이트가 눌러, 그 권취부로부터 그 통 필름을 발취하도록, 권취 유닛을 구성해도 된다.

또한, 그 누름부는, 그 권취부가 통과 가능한 개구를 갖는 플레이트로서, 그 권취부에 배치되어 그 플레이트를 그 축 방향으로 이동시키는 이동 기구를 구비하고, 그 이동 기구에 의해 그 플레이트를 그 축 방향으로 이동시켜, 그 플레이트의 그 개구로부터 그 권취부를 빼내고, 그 권취부에 권취되어 있는 그 통 필름의 측단을 그 플레이트가 눌러, 그 권취부로부터 그 통 필름을 발취하도록, 권취 유닛을 구성해도 된다.

본 발명에 의하면, 통 필름을 1 쌍의 권취 기구로부터 발취하여 폐기할 때에는, 타방의 권취 기구의 파지부가 필름을 놓은 후, 진퇴 기구에 의해 양 권취 기구를 서로 이간하는 방향으로 이동시켜, 타방의 권취 기구로부터 통 필름을 발취하고, 그 후, 발취 기구에 형성된 이동 기구에 의해 일방의 권취 기구와 이것에 유지된 통 필름을 양 권취 기구가 이간하는 방향으로 이동시키도록 했기 때문에, 일방의 권취 기구에 유지된 통 필름의 측단이 누름부에 의해 발취 방향으로 눌린다. 이 때문에, 타방의 권취 기구에 유지된 통 필름이 일방의 권취 기구로부터도 강제적으로 확실하게 발취되고, 양 권취 기구로부터 발취된 통 필름이 자중에 의해 낙하하여 폐기된다.

도 1 은, 본 발명에 관련된 권취 유닛을 구비하는 테이프 첩착 장치의 기본 구성을 나타내는 파단 측면도이다.
도 2 는, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 권취 유닛의 필름 권취시의 상태를 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 권취 유닛의 통 필름 발취시의 상태를 나타내는 사시도이다.
도 4 는, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 권취 유닛의 필름 권취시의 상태를 나타내는 사시도이다.
도 5 는, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 권취 유닛의 통 필름 발취시의 상태를 나타내는 사시도이다.
도 6 은, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 권취 유닛의 필름 권취시의 상태를 나타내는 사시도이다.
도 7 은, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 권취 유닛의 통 필름 발취시의 상태를 나타내는 사시도이다.

[테이프 첩착 장치]

도 1 에 나타내는 테이프 첩착 장치 (100) 는, 피가공물인 웨이퍼 (201) 와 그 주위에 배치된 링 프레임 (202) 을 점착 테이프 (11) 에 의해 일체화하여 워크 유닛 (200) 을 연속해서 차례로 형성하기 위한 것으로서, 예를 들면, 상자형의 하우징 (300) 을 구비하고 있다. 그리고, 이 하우징 (300) 의 내부에는, 웨이퍼 (201) 와 링 프레임 (202) 을 지지하는 척 테이블 (400) 과, 원통상의 권통 (卷筒) (13) 에 권취된 테이프 롤 (10) 을 지지하는 지지 롤러 (410) 와, 박리판 (420) 과, 가압 롤러 (430) 와, 본 발명에 관련된 권취 유닛 (1) 이 배치 형성되어 있다. 또한, 권취 유닛 (1) 의 상세에 대해서는 후술한다.

척 테이블 (400) 의 상면에 재치 (載置) 된 피가공물인 웨이퍼 (201) 는, 예를 들면, 원판상의 반도체 웨이퍼로서, SUS 등의 금속에 의해 링 형상으로 성형된 링 프레임 (202) 의 중앙에 개구되는 원형의 개구부 내에 배치되어 있다. 여기서, 척 테이블 (400) 의 상면 중앙부에는, 웨이퍼 (201) 를 지지하는 제 1 지지면 (401) 이 형성되어 있고, 이 제 1 지지면 (401) 의 주위에는, 웨이퍼 (201) 를 둘러싸는 링 프레임 (202) 을 지지하는 제 2 지지면 (402) 이 형성되어 있는데, 웨이퍼 (201) 의 두께는, 링 프레임 (202) 의 두께보다 얇기 때문에, 양자의 두께의 차분만큼 제 1 지지면 (401) 의 높이가 제 2 지지면 (402) 의 높이보다 아주 약간 높게 설정되어 있다. 이 때문에, 척 테이블 (400) 상에 재치된 웨이퍼 (201) 의 상면과 링 프레임 (202) 의 상면이 동일면 (동일 높이 위치) 이 된다. 또한, 척 테이블 (400) 의 하방에는, 도시하지 않은 이동 기구가 형성되어 있어, 그 척 테이블 (400) 은, 이동 기구에 의해 수평 방향 (X 축 방향) 으로 이동할 수 있다.

권통 (13) 에 감겨진 상기 테이프 롤 (10) 은, 폴리에스테르 등의 수지로 이루어진 띠 형상의 필름 (12) 의 외면에, 원형의 복수의 점착 테이프 (11) 를 그 필름 (12) 의 연장 방향 (길이 방향) 으로 소정의 등간격으로 첩착하여 구성되어 있다. 여기서, 점착 테이프 (11) 는, 수지제의 기재층과, 이 기재층의 편면에 형성된 점착층 (모두 도시 생략) 으로 구성되어 있고, 점착층이 필름 (12) 의 편면 (외면) 에 첩착됨으로써, 전술한 바와 같이 복수의 점착 테이프 (11) 가 필름 (12) 의 외면에 필름 (12) 의 연장 방향을 따라 등간격으로 첩착되어 있다. 따라서, 웨이퍼 (201) 및 링 프레임 (202) 에 첩착되기 전의 점착 테이프 (11) 의 점착층이 필름 (12) 에 의해 보호되어 있다. 또한, 링 프레임 (202) 의 개구부의 내경은, 웨이퍼 (201) 의 외경보다 크게 설정되어 있고, 점착 테이프 (11) 의 외경은, 링 프레임 (202) 의 개구부의 내경보다 크며 또한 필름 (12) 의 폭보다 작게 설정되어 있다.

테이프 롤 (20) 의 권통 (13) 에는, 하우징 (300) 의 천장에 지지 부재 (440) 를 개재하여 장착된 지지 롤러 (410) 가 삽입 관통하고 있고, 테이프 롤 (10) 은, 도 1 의 지면 수직 방향 (Y 축 방향) 에 배치된 지지 롤러 (410) 에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다. 또한, 지지 롤러 (410) 의 축방향 (Y 축 방향) 일단측에는, 모터 등의 도시하지 않는 회전 구동원이 연결되어 있어, 지지 롤러 (410) 및 테이프 롤 (10) 은, 지지 롤러 (410) 의 Y 축 방향의 축심을 중심으로 하여 회전한다.

지지 롤러 (410) 의 비스듬한 하방의 척 테이블 (400) 의 근방에는, 도 1 의 지면 수직 방향 (Y 축 방향) 으로 연장되는 박리판 (420) 이 배치되어 있고, 이 박리판 (420) 의 근방에는 가압 롤러 (430) 가 회전 가능하게 배치되어 있다.

상기 박리판 (420) 은, 점착 테이프 (11) 로부터 필름 (12) 을 박리하기 위한 것으로, 그 +X 축 방향 단부 (도 1 의 우측 단부) 가 하방에 위치하도록 XY 평면 (수평면) 에 대하여 기울어져 배치되어 있다. 또한, 이 박리판 (420) 의 +X 축 방향 단부 (도 1 의 우측 단부) 는, 선단을 향하여 끝이 가늘어지도록 성형되어 있다. 또한, 박리판 (420) 의 Y 축 방향의 폭은, 점착 테이프 (11) 의 외경보다 크게 설정되어 있다. 그리고, 이 박리판 (420) 의 선단부 근방에 가압 롤러 (430) 가 회전 가능하게 배치되어 있다.

또한, 하우징 (300) 내의 테이프 롤 (10) 의 하방이면서, 박리판 (420) 으로부터 -X 축 방향 (도 1 의 좌측) 으로 소정 거리만큼 떨어진 위치에는, 본 발명에 관련된 권취 유닛 (1) 이 배치 형성되어 있다.

이상과 같이 구성된 테이프 첩착 장치 (100) 에 있어서는, 도시하지 않은 필름 인출 기구에 의해 필름 (12) 의 선단이 테이프 롤 (10) 로부터 비스듬한 하방을 향해 인출된다. 그리고, 인출된 필름 (12) 은, 박리판 (420) 의 선단에 걸려 -X 축 방향을 향해 되돌려지고 권취 유닛 (1) 으로 유도된다. 그리고, 도 1 의 화살표 (10a) 방향 (시계 방향) 으로 회전하는 테이프 롤 (10) 로부터 필름 (12) 과 그 외면에 첩착된 복수의 점착 테이프 (11) 가 박리판 (420) 과 가압 롤러 (430) 를 향해 풀려나오면, 필름 (12) 이 박리판 (420) 에 의해 점착 테이프 (11) 로부터 박리된다. 즉, 필름 (12) 이 박리판 (420) 의 선단부에서 되돌려져 권취 유닛 (1) 에 화살표 (1a) 방향으로 권취됨으로써, 그 필름 (12) 이 점착 테이프 (11) 로부터 박리되고, 필름 (12) 이 박리된 점착 테이프 (11) 는, 화살표 (430a) 방향 (반시계 방향) 으로 회전하는 가압 롤러 (430) 에 의해 링 프레임 (202) 과 웨이퍼 (201) 의 상면에 단부로부터 순차 첩착되어 간다. 그리고, 척 테이블 (400) 을 도 1 에 쇄선으로 나타내는 바와 같이 +X 방향 (도 1 의 우측) 으로 수평 이동시키면, 필름 (12) 이 박리된 점착 테이프 (11) 가 링 프레임 (202) 과 웨이퍼 (201) 의 전체면에 걸쳐 첩착되기 때문에, 웨이퍼 (201) 와 링 프레임 (202) 이 점착 테이프 (11) 에 의해 결합 일체화되어 워크 유닛 (200) 이 형성된다.

또한, 도시하지 않지만, 박리판 (420) 으로부터 -X 축 방향으로 적어도 링 프레임 (202) 의 외경 이상 떨어진 위치에는, Y 축 방향으로 연장되는 1 쌍의 느슨함 방지 롤러가 배치 형성되어 있어, 점착 테이프 (11) 가 박리된 필름 (12) 은, 1 쌍의 느슨함 방지 롤러에 의해 상하로부터 사이에 끼여 지지됨으로써, 느슨함없이 권취 유닛 (1) 에 권취되어 간다.

이상과 같이, 테이프 첩착 장치 (100) 에 의해 웨이퍼 (201) 와 링 프레임 (202) 이 일체화된 워크 유닛 (200) 은, 예를 들면, 연삭 장치 등의 도시하지 않은 가공 장치로 반송되어, 피가공물인 웨이퍼 (201) 가 연삭 가공 등의 가공에 제공된다.

[권취 유닛]

다음으로, 본 발명에 관련된 권취 유닛 (1) 의 실시형태에 대해 설명한다.

<제 1 실시형태>

본 실시형태에 관련된 권취 유닛 (1) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 띠 형상의 필름 (12) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 으로 배치된 1 쌍의 권취 기구 (20, 20') 와, 각 권취 기구 (20, 20') 를 각각 회전시키는 1 쌍의 회전 기구 (30, 30') 와, 1 쌍의 권취 기구 (20, 20') 를 Y 축 방향을 따라서 상대적으로 접근 및 이간시키는 진퇴 기구 (40, 40') 를 구비하고 있다.

예를 들어, 일방의 권취 기구 (20) 에는, 필름 (12) 의 일방의 측단 부분을 파지하는 파지부 (21) 가 형성되어 있고, 타방의 권취 기구 (20') 에도 타방의 측단 부분을 파지하는 도시하지 않은 파지부가 형성되어 있고, 양 권취 기구 (20, 20') 는, 이들에 형성된 파지부 (21) (타방은 도시 생략) 가 마주보도록 배치되어 있다. 또한, 양 권취 기구 (20, 20') 의 구성은 동일하기 때문에, 이하, 일방의 권취 기구 (20) 의 구성에 대해서만 도시 및 설명한다.

권취 기구 (20) 에는, 파지부 (21) 를 수용하고 또한 외주면에서 필름 (12) 을 권취하는 대략 원통상의 권취부 (22) 가 형성되어 있다. 그리고, 권취부 (22) 는, 파지부 (21) 와, 회전축 (23) 과, 내부에 파지부 (21) 를 수용하는 케이싱 (24) 과, 회전축 (23) 의 선단부에 고정된 지지대 (25) 를 구비하고 있다. 또한, 지지대 (25) 는, 측면에서 보아 L 자 형상으로 굴곡되는 부재로서, 도시하지 않은 고정 볼트에 의해 케이싱 (24) 에 고정되어 있고, 파지부 (21) 를 케이싱 (24) 의 내부에서 지지하고 있다.

케이싱 (24) 은, 대략 원통상으로 성형되어 있고, 그 외주면에 필름 (12) 의 측단부가 감겨지는데, 그 선단 부분은, 길이 방향 (Y 축 방향) 중간부로부터 선단측 (-Y 축측) 을 향해 외경이 축경되는 테이퍼 원통상으로 성형되어 있다. 그리고, 케이싱 (24) 의 선단부에는, 필름 (12) 이 파지부 (21) 에 의해 파지될 때에 통과되는 1 쌍의 진입부 (26) 가 형성되어 있다. 여기서, 진입부 (26) 는, 케이싱 (24) 의 선단에서부터 길이 방향 중간 위치까지 커팅된 슬릿으로서 형성되어 있다.

또한, 파지부 (21) 는, 지지대 (25) 에 고정된 클램프판 (27) 과, 지지대 (25) 에 상하동 가능하게 지지된 클램프판 (28) 과, 클램프판 (28) 을 상하동시키는 도시하지 않은 실린더 기구를 구비하고 있고, 양 클램프판 (27, 28) 의 사이로 진입한 필름 (12) 의 측단부를 양 클램프판 (27, 28) 에 의해 파지한다.

일방의 권취부 (22) 를 회전시키는 일방의 회전 기구 (30) 는, 구동원인 모터 (31) 를 구비하고 있고, 이 모터 (31) 는, 지지판 (32) 의 단부 내면에 장착되어 있다. 이 모터 (31) 의 출력축 (모터축) (311) 은, 지지판 (32) 에 형성된 도시하지 않은 원구멍을 관통하여 지지판 (32) 의 외면측으로 돌출되어 있고, 그 돌출단에는 구동 풀리 (33) 가 장착되어 있다.

또한, 지지판 (32) 의 내면측에는, 상기 권취부 (22) 가 배치되어 있고, 이 권취부 (22) 의 회전축 (23) 은, 지지판 (32) 에 형성된 도시하지 않은 원구멍을 관통하여 지지판 (32) 의 외면측으로 돌출되어 있고, 그 돌출단에는 종동 풀리 (34) 가 장착되어 있다. 그리고, 이 종동 풀리 (34) 와 상기 구동 풀리 (33) 의 사이에는 무단 형상의 전동 벨트 (35) 가 감겨져 있다. 따라서, 모터 (31) 가 구동되면, 그 모터 (31) 의 출력축 (311) 의 회전은, 구동 풀리 (33) 로부터 전동 벨트 (35) 를 거쳐 종동 풀리 (34) 로 전달되어, 종동 풀리 (34) 와 회전축 (23) 및 권취부 (22) 가 소정의 속도로 회전 구동된다.

또한, 타방의 권취부 (22') 를 회전시키는 타방의 회전 기구 (30') 는, 그 구성이 일방의 회전 기구 (30) 의 구성과 동일하다. 즉, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 회전 기구 (30') 는, 지지판 (32') 에 장착된 모터 (31'), 구동 풀리 (33'), 종동 풀리 (34') 및 전동 벨트 (35') 에 의해 구성되어 있다.

다음에, 상기 진퇴 기구 (40, 40') 에 대해서 설명한다.

일방 (도 2 의 우측 (+Y 축 측)) 의 진퇴 기구 (40) 는, 동측의 권취부 (20) 를 타방 (도 2 의 좌측 (-Y 축 측)) 의 권취부 (20') 에 대하여 상대적으로 Y 축 방향으로 접근 또는 이간시키는 것으로서, Y 축 방향으로 연장되는 판상의 지지 기대 (41) 의 전면측에 배치 형성되어 있다. 구체적으로는, 이 진퇴 기구 (40) 는, 지지 기대 (41) 의 전면측에 Y 축 방향을 따라 수평으로 연장되는 회전 가능한 볼 나사축 (42) 과, 지지 기대 (41) 의 전면의 볼 나사축 (42) 을 사이에 두고 이들의 상하에 Y 축 방향을 따라 서로 평행하게 배치된 상하 1 쌍의 가이드 레일 (43) 과, 구동원인 모터 (44) 와, 가이드 레일 (43) 을 따라 Y 축 방향으로 슬라이딩 가능한 슬라이딩 블록부 (321) 를 포함하여 구성되어 있다. 또한, 슬라이딩 블록부 (321) 는, 지지판 (32) 의 기단부에 일체로 형성되어 있고, 이 슬라이딩 블록부 (321) 에는, 볼 나사축 (42) 이 결합 삽입 통과되어 있다.

상기 볼 나사축 (42) 의 축 방향 일단 (도 2 의 좌단) 은, 베어링 (46) 에 의해 회전 가능하게 지지되어 있고, 동 볼 나사축 (42) 의 타단 (도 2 의 우단) 부에는, 모터 (44) 가 연결되어 있다.

또한, 타방 (도 2 의 좌측) 의 진퇴 기구 (40') 는, 동일측의 권취부 (22') 를 일방 (도 2 의 우측) 의 권취부 (22) 에 대하여 상대적으로 Y 축 방향으로 접근 또는 이간시키는 것으로서, 그 기본 구성은, 일방의 진퇴 기구 (40) 의 구성과 동일하다. 즉, 진퇴 기구 (40') 는, 볼 나사축 (42'), 가이드 레일 (43'), 모터 (44'), 슬라이딩 블록부 (321'), 베어링 (46') 등을 포함하여 구성되어 있다.

그런데, 본 실시형태에 관련된 권취 유닛 (1) 에 있어서는, 일방의 권취 기구 (20) 에는, 1 쌍의 권취부 (22, 22') 가 필름 (12) 을 권취하여 통 형상으로 형성된 통 필름 (120) (도 3 에 쇄선으로 도시) 을 당해 권취 기구 (20) 의 권취부 (22) 로부터 강제적으로 발취하기 위한 발취 기구가 형성되어 있다. 이 발취 기구는, 통 필름 (120) 의 측단을 -Y 방향으로 눌러 권취부 (22) 로부터 통 필름 (120) 을 이탈시키는 누름부인 원판상의 플레이트 (51) 와, 필름 (12) 을 놓은 파지부 (21) 와 플레이트 (51) 를 상대적으로 Y 축 방향으로 이동시키는 이동 기구에 의해서 구성되어 있는데, 본 실시형태에서는, 이동 기구는, 일방의 진퇴 기구 (40) 에 의해 구성되어 있다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 플레이트 (51) 의 중심부에는, 일방의 권취부 (22) 가 통과 가능한 원구멍 형상의 개구 (511) 가 형성되어 있고, 플레이트 (51) 의 Y 축 방향의 위치는 고정되어 있다. 즉, 플레이트 (51) 는, 지지 기대 (41) 에 장착된 상하 1 쌍의 플레이트 유지부 (52, 53) 에 자석 (54) 을 통해서 유지되고 있다. 보다 상세하게는, 상하 1 쌍의 플레이트 유지부 (52, 53) 는, L 자 형상으로 굴곡되는 부재로서, 이들의 각 선단부에 자석 (54) 이 각각 장착되어 있다. 그리고, 플레이트 (51) 는, 상하 1 쌍의 자석 (54) 의 자력에 의해 플레이트 유지부 (52, 53) 에 흡착 유지되어 있고, 플레이트 유지부 (52, 53) 에 대해 자유롭게 회전할 수 있다.

또한, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 타방의 권취 기구 (20') 의 권취부 (22') 에는, 플레이트 (51) 와 동일한 직경의 플레이트 (51') 가 형성되어 있는데, 이 플레이트 (51') 는, 권취부 (22') 와 함께 Y 축 방향으로 이동 가능하다.

다음에, 이상과 같이 구성된 권취 유닛 (1) 의 작용에 대해 설명한다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 필름 (12) 의 선단부가 권취 유닛 (1) 으로 유도되면, 일방의 권취부 (22) 가 진퇴 기구 (40) 에 의해 필름 (12) 의 측단 부분에 근접하도록 -Y 방향으로 이동하여, 진입부 (26) 내에 필름 (12) 의 측단 부분이 진입해 간다. 또한, 타방의 권취부 (22') 가 진퇴 기구 (40') 에 의해 필름 (12) 의 측단 부분에 근접하도록 +Y 방향으로 이동하여, 도시하지 않은 진입부 내에 필름 (12) 의 측단 부분이 진입해 간다. 그 후, 예를 들면 일방의 권취 기구 (20) 에 있어서, 도시하지 않은 실린더 기구가 클램프판 (28) 을 하강시켜, 필름 (12) 의 양측 단부가 클램프판 (27, 28) 에 의해 사이에 끼임으로써, 권취부 (22) 의 파지부 (21) 가 필름 (12) 의 일방의 측단 부분을 사이에 끼워 지지한다. 마찬가지로, 타방의 권취 기구 (20') 에 있어서도, 권취부 (22') 의 도시하지 않은 파지부가 필름 (12) 의 타방의 측단 부분을 사이에 끼워 지지한다.

다음으로, 일방의 진퇴 기구 (40) 가 권취부 (22) 를 +Y 방향으로 이동시키고, 또한 타방의 진퇴 기구 (40') 가 권취부 (22') 를 -Y 방향으로 이동시킴으로써, 2 개의 권취부 (22, 22') 를 서로 멀어지는 방향으로 이동시킨다. 이것은, 필름 인출 기구가 필름 (12) 의 선단측을 권취 유닛 (1) 으로 유도했을 때에, 필름 (12) 이 권취부 (22, 22') 에 대하여 적절하게 위치 결정되어 있지 않기 때문에 권취부 (22, 22') 의 각 파지부 (21, 22') 가 필름 (12) 의 측단 부분을 파지하고 있지 않은 사태의 발생을 방지하기 위함으로, 권취부 (22, 22') 의 각 파지부 (21) (타방은 도시 생략) 가 필름 (12) 의 측단 부분을 파지하고 있지 않은 상태에서, 이들 권취부 (22, 22') 의 회전이 개시되어 버리는 문제의 발생이 방지된다.

2 개의 권취부 (22, 22') 의 파지부 (21) (타방은 도시 생략) 가 필름 (12) 의 측단 부분을 파지하고 있는 상태에 있어서, 회전 기구 (30, 30') 의 각 모터 (31, 31') 가 각각 기동되면, 각 모터 (31, 31') 의 회전은, 구동 풀리 (33, 33'), 전동 벨트 (35, 35') 및 종동 풀리 (34, 34') 를 거쳐 각 권취부 (22, 22') 에 각각 전달되고, 이들 권취부 (22, 22') 가 도 3 에 화살표로 나타내는 바와 같이 동일 방향 (필름 (12) 의 권취 방향) 으로 동일 속도로 회전 구동된다. 그러면, 권취부 (22, 22') 의 각 파지부 (21) (타방은 도시 생략) 에 측단부가 파지된 필름 (12) 이 각 권취부 (22, 22') 에 감겨지고, 이와 같이 필름 (12) 이 감겨짐으로써 롤 형상의 통 필름 (120) 이 형성되어 간다. 또한, 이 때, 통 필름 (120) 의 축방향 양측에는 플레이트 (51, 51') 가 배치되어 있기 때문에, 이들 플레이트 (51, 51') 가 필름 (12) 의 감김의 가이드가 되어, 감길 때의 필름 (12) 의 Y 축 방향의 사행이 방지된다.

그리고, 권취 유닛 (1) 에 의한 필름 (12) 의 권취가 개시되면, 이것에 연동하여 도 1 에 나타내는 지지 롤러 (410) 가 회전하고, 이 지지 롤러 (410) 에 지지된 테이프 롤 (10) 로부터 필름 (12) 과 그 외면에 첩착된 복수의 점착 테이프 (11) 가 박리판 (420) 과 가압 롤러 (430) 를 향해 풀려나가고, 전술한 바와 같이, 필름 (12) 이 점착 테이프 (11) 로부터 박리되어 권취 유닛 (1) 에 권취됨과 함께, 필름 (12) 으로부터 박리된 점착 테이프 (11) 가 웨이퍼 (201) 와 링 프레임 (202) 에 첩착되어 워크 유닛 (200) 이 형성된다.

예를 들어, 도 1 에 나타내는 지지 롤러 (410) 에 지지된 테이프 롤 (10) 로부터 모든 필름 (12) 이 풀려 나가면, 권취 유닛 (1) 의 권취부 (22, 22') 에 소정의 길이분의 필름 (12) 이 권취되어 소정의 외경의 통 필름 (120) 이 도 3 에 나타내는 바와 같이 형성되는데, 이 통 필름 (120) 은, 이하의 순서에 의해 권취부 (22, 22') 로부터 분리되어 폐기된다.

즉, 먼저 타방 (도 2 의 좌측) 의 권취부 (22') 의 도시하지 않은 파지부에 의한 필름 (12) 의 측단부의 파지가 해제된 후, 진퇴 기구 (40, 40') 가 구동되어, 일방의 권취 기구 (20) 와 타방의 권취 기구 (20') 가 상대적으로 이간하는 방향 (권취부 (22, 22') 가 통 필름 (120) 으로부터 빠지는 방향) 으로 이동한다. 즉, 일방의 권취 기구 (20) 는, +Y 방향으로 이동하고, 타방의 권취 기구 (20') 는, -Y 방향으로 이동한다. 이 때, 전술한 바와 같이, 타방의 도시하지 않은 파지부에 의한 필름 (12) 의 측단부의 파지가 해제되어 있기 때문에, 타방의 권취 기구 (20') 가 -Y 방향으로 이동하면, 타방의 권취부 (22') 쪽이 먼저 통 필름 (120) 으로부터 빠진다.

상기 상태에 있어서는, 통 필름 (120) 은, 일방의 권취부 (22) 에 유지된 채인 상태로 권취부 (22) 와 함께 +Y 방향으로 이동하지만, 플레이트 (51) 는 이동하지 않기 때문에, 권취부 (22) 와 함께 이동하는 통 필름 (120) 은, 그 측단면이 플레이트 (51) 에 충돌하고, 플레이트 (51) 에 의해 -Y 방향으로 눌린다. 이 때문에, 통 필름 (120) 은, 일방의 권취부 (22) 로부터 강제적으로 발취되어, 자중에 의해서 낙하하여 폐기된다.

이상과 같이, 본 실시형태에 관련된 권취 유닛 (1) 에 의하면, 권취 필름 (120) 을 1 쌍의 권취 기구 (20, 20') 로부터 발취하여 폐기할 때에는, 타방의 권취 기구 (22') 의 도시하지 않은 파지부가 필름 (12) 을 놓은 후, 진퇴 기구 (40, 40') 에 의해 양 권취 기구 (20, 20') 를 서로 이간하는 방향으로 이동시켜, 타방의 권취 기구 (20') 로부터 통 필름 (120) 을 먼저 발취하고, 그 후, 발취 기구에 형성된 이동 기구 (본 실시형태에서는, 진퇴 기구 (40)) 에 의해 일방의 권취부 (22) 와 이것에 유지된 통 필름 (120) 을 양 권취 기구 (20) 가 이간하는 방향으로 이동시키도록 했기 때문에, 일방의 권취 기구 (20) 에 유지된 통 필름 (120) 측단이 플레이트 (51) 에 의해 발취 방향으로 눌린다. 이 때문에, 일방의 권취 기구 (20) 에 유지된 통 필름 (120) 이 그 일방의 권취 기구 (20) 로부터도 발취되고, 양 권취 기구 (20, 20') 로부터 발취된 통 필름 (120) 이 도 3 에 나타내는 바와 같이 자중에 의해서 낙하하여 폐기된다.

<제 2 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 권취 유닛 (1') 을 도 4 및 도 5 에 기초하여 설명한다. 또한, 도 4 및 도 5 에 있어서는, 도 2 및 도 3 에 나타낸 것과 동일 요소에는 동일 부호를 부여하고 있고, 이하, 그들에 대한 재차의 설명은 생략한다.

본 실시형태에 관련된 권취 유닛 (1') 에 있어서는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 일방 (도 4 의 우측) 의 권취 기구 (20) 의 외주이면서, Y 축 방향에 있어서 플레이트 (51) 와 지지판 (32) 의 사이에는, 가이드판 (60) 이 장착되어 있다. 그리고, 플레이트 (51) 의 가이드판 (60) 과 대향하는 면에는, 4 개 (도 4 에는 3 개만 도시) 의 가이드 핀 (61) 이 가이드판 (60) 을 향하여 수평으로 돌출 형성되어 있으며, 이들 가이드 핀 (61) 은, 가이드판 (60) 에 형성된 도시하지 않은 원구멍에 각각 슬라이딩 가능하게 삽입 통과되어 있다. 여기서, 가이드판 (60) 과 가이드 핀 (61) 은, 권취 기구 (20) 의 Y 축 방향을 따르는 이동을 가이드하는 가이드부를 구성하고 있다.

본 실시형태에 관련된 권취 유닛 (1') 에 있어서도, 통 필름 (120) 을 1 쌍의 권취 기구 (20, 20') 로부터 발취하여 폐기할 때에는, 타방의 권취부 (22') 의 도시하지 않은 파지부가 필름 (12) 을 놓은 후, 도 5 에 화살표로 나타내는 바와 같이, 진퇴 기구 (40, 40') 에 의해 양 권취 기구 (20, 20') 를 서로 이간하는 방향으로 이동시켜, 타방의 권취부 (22') 로부터 통 필름 (120) 을 먼저 발취하고, 그 후, 이동 기구 (본 실시형태에서는, 진퇴 기구 (40)) 에 의해 일방의 권취부 (22) 와 이것에 유지된 통 필름 (120) 을 양 권취 기구 (20, 20') 가 이간하는 방향으로 이동시키도록 하고 있다. 따라서, 본 실시형태에 관련된 권취 유닛 (1') 에 있어서도, 권취부 (22, 22') 에 권취된 통 필름 (120) (도 5 참조) 을 발취할 때, 일방의 권취 기구 (20) 의 +Y 축 방향의 이동이 가이드부를 구성하는 가이드판 (60) 과 가이드 핀 (61) 에 안내되어 원활하게 이루어진다.

그리고, 타방의 권취부 (22') 로부터 먼저 발취된 통 필름 (20) 은, 그 측단이 플레이트 (51) 에 의해 빠지는 방향 (-Y 축 방향) 으로 눌리고, 일방의 권취부 (22) 에 유지된 통 필름 (120) 이 그 일방의 권취부 (22) 로부터도 발취되어, 양 권취부 (22, 22') 로부터 발취된 통 필름 (120) 이 도 5 에 나타내는 바와 같이 자중에 의해 낙하하여 폐기된다. 또한, 본 실시형태에서는, 가이드부를 구성하는 가이드 핀 (61) 의 수를 4 개로 했지만, 이 가이드 핀 (61) 의 수는, 복수이면 임의이다.

<제 3 실시형태>

다음으로, 본 발명의 제 3 실시형태에 관련된 권취 유닛 (1") 을 도 6 및 도 7 에 기초하여 설명한다. 또한, 도 6 및 도 7 에 있어서도, 도 2 및 도 3 에 나타낸 것과 동일 요소에는 동일 부호를 부여하고 있고, 이하, 그들에 대한 재차의 설명은 생략한다.

상기 실시형태 1, 2 에 있어서는, 통 필름 (120) 을 유지하는 일방의 권취 기구 (20) 를 플레이트 (51) 에 대하여 +Y 축 방향으로 이동시키는 이동 기구로서 진퇴 기구 (40) 를 병용했지만, 본 실시형태에 관련된 권취 유닛 (1") 에 있어서는, 이동 기구는 에어 실린더 (70) 로 구성되어 있고, 누름부를 구성하는 플레이트 (51) 는, 권취부 (22) 에 대하여 Y 축 방향으로 이동 가능하게 유지되어 있다. 여기서, 일방의 권취부 (22) 의 외주에는, 3 개의 에어 실린더 (70) 가 둘레 방향으로 등각도 피치 (120°피치) 로 배치 형성되어 있고, 각 에어 실린더 (70) 로부터 -Y 축 방향으로 연장되는 로드 (71) 의 각 선단은, 플레이트 (51) 에 각각 연결되어 있다.

본 실시형태에 관련된 권취 유닛 (1") 에 있어서는, 통 필름 (120) 을 1 쌍의 권취부 (22, 22') 로부터 발취하여 폐기할 때에는, 타방의 권취부 (22') 의 도시하지 않은 파지부가 필름 (12) 을 놓은 후, 도 7 에 화살표로 나타내는 바와 같이, 진퇴 기구 (40, 40') 에 의해 양 권취 기구 (20, 20') 를 서로 이간하는 방향으로 이동시켜, 타방의 권취부 (22') 로부터 통 필름 (120) 을 먼저 발취하고, 그 후, 이동 기구인 3 개의 에어 실린더 (70) 의 각 로드 (71) 를 도 7 의 화살표 방향 (-Y 축 방향) 으로 각각 신장시킨다. 그러면, 플레이트 (51) 가 화살표 방향 (-Y 축 방향) 으로 이동하여, 이 플레이트 (51) 에 측단면이 맞닿아 있는 통 필름 (120) 이 일방의 권취부 (22) 로부터 강제적으로 발취되고, 양 권취부 (22, 22') 로부터 발취된 통 필름 (120) 이 도 7 에 나타내는 바와 같이 자중에 의해 낙하하여 폐기된다. 또 본 실시형태에서는, 이동 기구를 구성하는 에어 실린더 (70) 의 수를 3 개로 했지만, 이 에어 실린더 (70) 의 수는, 복수이면 임의이다. 또한, 본 실시형태에서는, 이동 기구를 에어 실린더 (70) 로 구성하였지만, 에어 실린더 (70) 대신에 유압 실린더 등의 다른 임의의 것을 사용해도 된다.

또한, 이상은, 테이프 첩착 장치에 있어서 피가공물인 웨이퍼와 링 프레임을 워크 유닛으로서 일체화하는 점착 테이프로부터 박리된 필름을 권취하는 권취 유닛에 대해 본 발명을 적용한 형태에 대하여 설명하였지만, 본 발명은, 테이프 첩착 장치 이외의 다른 임의의 장치에 있어서 필름을 권취하기 위한 권취 유닛에 대해서도 동일하게 적용 가능하다.

그 밖에, 본 발명은, 이상 설명한 실시형태로 적용이 한정되는 것은 아니고, 특허청구범위 및 명세서와 도면에 기재된 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 변형이 가능한 것은 물론이다.

1, 1', 1" : 권취 유닛, 10 : 테이프 롤, 11 : 점착 테이프
12 : 필름, 13 : 권통
20, 20': 권취 기구, 21 : 파지부, 22, 22' : 권취부
23 : 회전축, 24 : 케이싱, 25 : 지지대, 26 : 진입부
27, 28 : 클램프판, 30, 30' : 회전 기구, 31, 31' : 모터
311 : 출력축 (모터축), 32, 32': 지지판
321, 321' : 슬라이딩 블록부, 33, 33' : 구동 풀리
34, 34' : 종동 풀리, 35, 35' : 전동 벨트
40, 40' : 진퇴 기구, 41 : 지지 기대, 42, 42' : 볼 나사축
43, 43' : 가이드 레일, 44, 44' : 모터, 45, 45' : 베어링
51 : 플레이트 (누름부), 511 : 개구, 52, 53 : 플레이트 유지부
54 : 자석, 60 : 가이드판, 61 : 가이드 핀, 70 : 에어 실린더 (이동 기구)
71 : 로드, 100 : 테이프 첩착 장치, 200 : 워크 유닛
201 : 웨이퍼, 202 : 링 프레임, 300 : 하우징
400 : 척 테이블, 401 : 제 1 지지면, 402 : 제 2 지지면
410 : 지지 롤러, 420 : 박리판, 430 : 가압 롤러
440 : 지지 부재

Claims (3)

1. 띠 형상의 필름의 폭 방향으로 평행하게 연장되는 축으로 그 필름을 권취하는 권취 유닛으로서,
   그 필름의 측단 부분을 파지하는 파지부를 마주보도록 배치한 2 개의 권취 기구와, 그 권취 기구를 각각 회전시키는 2 개의 회전 기구와, 2 개의 그 권취 기구를 상대적으로 그 축 방향으로 접근 및 이간시키는 진퇴 기구를 구비하고,
   그 권취 기구는, 그 파지부를 수용하고 외주면에서 그 필름을 권취하는 통 형상의 권취부와, 그 권취부에 형성되고 그 파지부에 그 필름을 파지시키기 위해 그 필름을 진입시키는 진입부를 구비하고,
   그 일방의 그 권취 기구에는, 그 권취부가 그 필름을 권취하여 통 형상으로 형성된 통 필름을 그 권취부로부터 발취하는 발취 기구를 구비하고,
   그 발취 기구는, 그 통 필름의 측단을 그 축 방향으로 눌러 그 파지부로부터 그 통 필름을 이탈시키는 누름부와, 그 필름을 놓은 그 파지부와 그 누름부를 상대적으로 그 축 방향으로 이동시키는 이동 기구를 구비하고,
   그 발취 기구는, 그 타방의 그 권취 기구의 그 파지부가 그 필름을 놓고, 그 진퇴 기구로 그 일방의 권취 기구와 그 타방의 권취 기구를 상대적으로 이간하는 방향으로 이동시켜 그 타방의 권취 기구로부터 그 통 필름을 발취한 후, 그 이동 기구에 의해 그 누름부가 그 통 필름의 측단을 눌러 그 통 필름을 발취하는, 권취 유닛.
2. 제 1 항에 있어서,
   그 누름부는, 그 권취부가 통과 가능한 개구를 갖는 플레이트로서,
   그 진퇴 기구가 배치되는 기대에는, 그 플레이트를 유지하는 플레이트 유지부를 구비하고,
   그 권취 기구는, 그 플레이트를 그 축 방향으로 이동 가능하게 하는 가이드부를 구비하고,
   그 권취 기구를 그 축 방향으로 이동시킴으로써, 그 플레이트 유지부에 그 플레이트를 유지시키고,
   그 플레이트 유지부에 유지된 그 플레이트의 그 개구로부터 그 권취부를 빼내고, 그 권취부에 권취되어 있는 그 통 필름의 측단을 그 플레이트가 눌러, 그 권취부로부터 그 통 필름을 발취하는, 권취 유닛.
3. 제 1 항에 있어서,
   그 누름부는, 그 권취부가 통과 가능한 개구를 갖는 플레이트로서,
   그 권취부에 배치되고 그 플레이트를 그 축 방향으로 이동시키는 이동 기구를 구비하고,
   그 이동 기구에 의해 그 플레이트를 그 축 방향으로 이동시켜, 그 플레이트의 그 개구로부터 그 권취부를 빼내고, 그 권취부에 권취되어 있는 그 통 필름의 측단을 그 플레이트가 눌러, 그 권취부로부터 그 통 필름을 발취하는, 권취 유닛.

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