JP2023163575A - 巻き取りユニット - Google Patents

Abstract

【課題】巻き取り部から筒フィルムを確実に抜き取って廃棄することができる巻き取りユニットの提供。
【解決手段】巻き取り機構２０，２０’と、回転機構３０，３０’と、進退機構４０，４０’とを備え、一方の巻き取り機構２０には、筒フィルム１２０を巻き取り部２０から抜き取る抜き取り機構を備え、該抜き取り機構は、プレート（押し部）５１と、移動機構（進退機構４０）とを備え、他方の巻き取り機構２０’の把持部がフィルム１２を離し、進退機構４０，４０’で巻き取り機構２０，２０’を相対的に離間する方向に移動させて他方の巻き取り機構２０’から筒フィルム１２０を抜き取った後、移動機構（進退機構４０）によってプレート５１が筒フィルム１２０の側端を押して該筒フィルム１２０を抜き取る。
【選択図】図３

Description

本発明は、テープ貼着装置において粘着テープが剥がされた帯状のフィルムを巻き取るための巻き取りユニットに関する。

半導体ウェーハなどの板状の被加工物を加工する際には、テープ貼着装置を用いて被加工物とその周囲を囲むリングフレームとを粘着テープで一体化してワークセットとし、このワークセットを加工装置のチャックテーブル上にセットすることが行われている（例えば、特許文献１参照）。

テープ貼着装置において用いられる粘着テープは、リングフレームの開口部を塞ぐ大きさの円形の基材に粘着層を形成することによって構成されている。そして、この粘着テープは、粘着層が帯状のフィルム上に粘着されることによって該フィルムの延在方向に沿って等間隔で複数配設されており、このように複数の粘着テープが粘着されたフィルムは、ロール状に巻かれた状態でテープ粘着装置にセットされている。

テープ貼着装置においては、粘着テープは、フィルムから剥がされてリングフレームと被加工物とに貼着されて両者をワークセットとして一体化するが、粘着テープが剥がされたフィルムは、テープ貼着装置に備えられた巻き取りユニットによって巻き取られる。そして、巻き取りユニットがフィルムを一定量だけ巻き取ると、被加工物とリングフレームに対する粘着テープの貼着が一時的に停止され、ロール状に巻かれたフィルム（以下、「筒フィルム」と称する）が作業者によって巻き取りユニットから取り外されて廃棄される。その後、粘着テープ及びフィルムがロール状に巻かれたテープロールが作業者によってテープ貼着装置に装着され、被加工物とリングフレームへの粘着テープの貼着作業が再開される。

上述のように巻き取りユニットによってロール状に巻かれた筒フィルムを廃棄する際には、テープ貼着装置を一時的に停止させた上で、作業者が筒フィルムを巻き取りユニットから取り外す作業が必要であるため、粘着テープの貼着作業の効率が悪化する他、多大な手間と時間を要するという問題があった。

そこで、特許文献２には、ロール状に巻かれた筒フィルムを作業者の手作業を要することなく抜き取って廃棄することができる巻き取りユニットが提案されている。

上記巻き取りユニットは、帯状のフィルムを把持する把持部を備えて向かい合うように配設された一対の巻き取り部と、これらの巻き取り部を回転させる回転機構と、一方の巻き取り部を他方の巻き取り部に対して接近または離間させる進退手段と、を備えて構成されている。この巻き取りユニットによれば、フィルムを巻き取るときには、把持部でフィルムを把持し、回転機構によって巻き取り部を回転させて巻き取り部にフィルムを巻き取り、巻き取られたロール状の筒フィルムを廃棄するときには、各把持部がフィルムを離し、巻き取り部を、その間の距離がフィルムの幅よりも大きくなるように進退手段で離間させることによって、ロール状に巻かれた筒フィルムを抜き取って廃棄することができる。

特開２０１５－２２０３６５号公報 特開２０１９－１０４５６３号公報

しかしながら、特許文献２において提案された巻き取りユニットにおいては、筒フィルムを廃棄する際には、一対の巻き取り部を進退手段によって互いに離間させるようにしているため、一対の巻き取り部が筒フィルムから必ずしも同時に抜けるとは限らず、場合によっては、一方の巻き取り部が他方の巻き取り部よりも先に筒フィルムから抜けることが起こり得る。このような場合には、筒フィルムが他方の巻き取り部に支持されたまま該巻き取り部と共に移動するため、この筒フィルムを一対の巻き取り部から確実に抜き取って廃棄することができないという問題が発生する。
したがって、巻き取りユニットの巻き取り部から筒フィルムを確実に抜き取ってこれを廃棄したいという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、帯状のフィルムの幅方向に平行に延在する軸で該フィルムを巻き取る巻き取りユニットであって、該フィルムの側端部分を把持する把持部を向かい合うように配置した２つの巻き取り機構と、該巻き取り機構をそれぞれ回転させる２つの回転機構と、２つの該巻き取り機構を相対的に該軸方向に接近及び離間させる進退機構と、を備え、該巻き取り機構は、該把持部を収容し外周面で該フィルムを巻き取る筒状の巻き取り部と、該巻き取り部に形成され該把持部に該フィルムを把持させるために該フィルムを進入させる進入部と、を備え、該一方の該巻き取り機構には、該巻き取り部が該フィルムを巻き取って筒状に形成された筒フィルムを該巻き取り部から抜き取る抜き取り機構を備え、該抜き取り機構は、該筒フィルムの側端を該軸方向に押し該把持部から該筒フィルムを離脱させる押し部と、該フィルムを離した該把持部と該押し部とを相対的に該軸方向に移動させる移動機構と、を備え、該抜き取り機構は、該他方の該巻き取り機構の該把持部が該フィルムを離し、該進退機構で該一方の巻き取り機構と該他方の巻き取り機構とを相対的に離間する方向に移動させて該他方の巻き取り機構から該筒フィルムを抜き取った後、該移動機構によって該押し部が該筒フィルムの側端を押して該筒フィルムを抜き取る、巻き取りユニットである。
該押し部は、該巻き取り部が通過可能な開口を有するプレートであって、該進退機構が配置される基台には、該プレートを保持するプレート保持部を備え、該巻き取り機構は、該プレートを該軸方向に移動可能とするガイド部を備え、該巻き取り機構を該軸方向に移動させることによって、該プレート保持部に該プレートを保持させ、該プレート保持部に保持された該プレートの該開口から該巻き取り部を抜き、該巻き取り部に巻き取られている該筒フィルムの側端を該プレートが押して、該巻き取り部から該筒フィルムを抜き取るように、巻き取りユニットを構成してもよい。
また、該押し部は、該巻き取り部が通過可能な開口を有するプレートであって、該巻き取り部に配置され該プレートを該軸方向に移動させる移動機構を備え、該移動機構によって該プレートを該軸方向に移動させ、該プレートの該開口から該巻き取り部を抜き、該巻き取り部に巻き取られている該筒フィルムの側端を該プレートが押して、該巻き取り部から該筒フィルムを抜き取るように、巻き取りユニットを構成してもよい。

本発明によれば、筒フィルムを一対の巻き取り機構から抜き取って廃棄する際には、他方の巻き取り機構の把持部がフィルムを離した後、進退機構によって両巻き取り機構を互いに離間する方向に移動させ、他方の巻き取り機構から筒フィルムを抜き取り、その後、抜き取り機構に設けられた移動機構によって一方の巻き取り機構とこれに保持された筒フィルムを両巻き取り機構が離間する方向に移動させるようにしたため、一方の巻き取り機構に保持された筒フィルムの側端が押し部によって抜け方向に押される。このため、他方の巻き取り機構に保持された筒フィルムが一方の巻き取り機構からも強制的に確実に抜き取られ、両巻き取り機構から抜き取られた筒フィルムが自重によって落下して廃棄される。

本発明に係る巻き取りユニットを備えるテープ貼着装置の基本構成を示す破断側面図である。 本発明の第１実施形態に係る巻き取りユニットのフィルム巻き取り時の状態を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る巻き取りユニットの筒フィルム抜き取り時の状態を示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る巻き取りユニットのフィルム巻き取り時の状態を示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る巻き取りユニットの筒フィルム抜き取り時の状態を示す斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る巻き取りユニットのフィルム巻き取り時の状態を示す斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る巻き取りユニットの筒フィルム抜き取り時の状態を示す斜視図である。

［テープ貼着装置］
図１に示すテープ貼着装置１００は、被加工物であるウェーハ２０１とその周囲に配置されたリングフレーム２０２とを粘着テープ１１によって一体化してワークユニット２００を連続して次々に形成するためのものであって、例えば、箱状の筐体３００を備えている。そして、この筐体３００の内部には、ウェーハ２０１とリングフレーム２０２を支持するチャックテーブル４００と、円筒状の巻筒１３に巻回されたテープロール１０を支持する支持ローラ４１０と、剥離板４２０と、押圧ローラ４３０と、本発明に係る巻き取りユニット１が配設されている。なお、巻き取りユニット１の詳細については後述する。

チャックテーブル４００の上面に載置された被加工物であるウェーハ２０１は、例えば、円板状の半導体ウェーハであり、ＳＵＳなどの金属によってリング状に成形されたリングフレーム２０２の中央に開口する円形の開口部内に配置されている。ここで、チャックテーブル４００の上面中央部には、ウェーハ２０１を支持する第１支持面４０１が形成されており、この第１支持面４０１の周囲には、ウェーハ２０１を囲むリングフレーム２０２を支持する第２支持面４０２が形成されているが、ウェーハ２０１の厚さは、リングフレーム２０２に厚さよりも薄いため、両者の厚さの差分だけ第１支持面４０１の高さが第２支持面４０２の高さよりも僅かに高く設定されている。このため、チャックテーブル４００上に載置されたウェーハ２０１の上面とリングフレーム２０２の上面とが面一（同一高さ位置）となる。なお、チャックテーブル４００の下方には、不図示の移動機構が設けられており、該チャックテーブル４００は、移動機構によって水平方向（Ｘ軸方向）に移動することができる。

巻筒１３に巻回された前記テープロール１０は、ポリエステルなどの樹脂から成る帯状のフィルム１２の外面に、円形の複数の粘着テープ１１を該フィルム１２の延在方向（長手方向）に所定の等間隔で貼着して構成されている。ここで、粘着テープ１１は、樹脂製の基材層と、この基材層の片面に設けられた粘着層（何れも不図示）とで構成されており、粘着層がフィルム１２の片面（外面）に貼着されることによって、前述のように複数の粘着テープ１１がフィルム１２の外面にフィルム１２の延在方向に沿って等間隔で貼着されている。したがって、ウェーハ２０１及びリングフレーム２０２に貼着される前の粘着テープ１１の粘着層がフィルム１２によって保護されている。なお、リングフレーム２０２の開口部の内径は、ウェーハ２０１の外径よりも大きく設定されており、粘着テープ１１の外径は、リングフレーム２０２の開口部の内径よりも大きく且つフィルム１２の幅よりも小さく設定されている。

テープロール２０の巻筒１３には、筐体３００の天井に支持部材４４０を介して取り付けられた支持ローラ４１０が挿通しており、テープロール１０は、図１の紙面垂直方向（Ｙ軸方向）に配された支持ローラ４１０によって回転可能に支持されている。なお、支持ローラ４１０の軸方向（Ｙ軸方向）一端側には、モータなどの不図示の回転駆動源が連結されており、支持ローラ４１０及びテープロール１０は、支持ローラ４１０のＹ軸方向の軸心を中心として回転する。

支持ローラ４１０の斜め下方のチャックテーブル４００の近傍には、図１の紙面垂直方向（Ｙ軸方向）に延在する剥離板４２０が配置されており、この剥離板４２０の近傍には押圧ローラ４３０が回転可能に配置されている。

上記剥離板４２０は、粘着テープ１１からフィルム１２を剥がすためのものであって、その＋Ｘ軸方向端部（図１の右端部）が下方に位置するようにＸＹ平面（水平面）に対して傾斜して配置されている。また、この剥離板４２０の＋Ｘ軸方向端部（図１の右端部）は、先端に向かって先細となるように成形されている。なお、剥離板４２０のＹ軸方向の幅は、粘着テープ１１の外径よりも大きく設定されている。そして、この剥離板４２０の先端部近傍に押圧ローラ４３０が回転可能に配置されている。

また、筐体３００内のテープロール１０の下方であって、剥離板４２０から－Ｘ軸方向（図１の左方）に所定距離だけ離れた位置には、本発明に係る巻き取りユニット１が配設されている。

以上のように構成されたテープ貼着装置１００においては、不図示のフィルム引き出し機構によってフィルム１２の先端がテープロール１０から斜め下方に向かって引き出される。そして、引き出されたフィルム１２は、剥離板４２０の先端に掛けられて－Ｘ軸方向に向かって折り返されて巻き取りユニット１へと導かれる。そして、図１の矢印１０ａ方向（時計方向）に回転するテープロール１０からフィルム１２とその外面に貼着された複数の粘着テープ１１とが剥離板４２０と押圧ローラ４３０に向かって繰り出されると、フィルム１２が剥離板４２０によって粘着テープ１１から剥がされる。すなわち、フィルム１２が剥離板４２０の先端部で折り返されて巻き取りユニット１に矢印１ａ方向に巻き取られることによって、該フィルム１２が粘着テープ１１から剥がされ、フィルム１２が剥がされた粘着テープ１１は、矢印４３０ａ方向（反時計方向）に回転する押圧ローラ４３０によってリングフレーム２０２とウェーハ２０１の上面に端部から順次貼着されてゆく。そして、チャックテーブル４００を図１に鎖線にて示すように＋Ｘ方向（図１の右方）へと水平移動させると、フィルム１２が剥がされた貼着テープ１１がリングフレーム２０２とウェーハ２０１の全面に亘って貼着されるため、ウェーハ２０１とリングフレーム２０２とが粘着テープ１１によって結合一体化されてワークユニット２００が形成される。

なお、図示しないが、剥離板４２０から－Ｘ軸方向に少なくともリングフレーム２０２の外径以上離れた位置には、Ｙ軸方向に延在する一対の弛み防止ローラが配設されており、粘着テープ１１が剥がされたフィルム１２は、一対の弛み防止ローラによって上下から挟持されることによって、弛むことなく巻き取りユニット１に巻き取られてゆく。

以上のように、テープ貼着装置１００によってウェーハ２０１とリングフレーム２０２とが一体化されたワークユニット２００は、例えば、研削装置などの不図示の加工装置へと搬送され、被加工物であるウェーハ２０１が研削加工などの加工に供される。

［巻き取りユニット］
次に、本発明に係る巻き取りユニット１の実施形態について説明する。

＜第１実施形態＞
本実施形態に係る巻き取りユニット１は、図２に示すように、帯状のフィルム１２の幅方向（Ｙ軸方向）に配置された一対の巻き取り機構２０，２０’と、各巻き取り機構２０，２０’をそれぞれ回転させる一対の回転機構３０，３０’と、一対の巻き取り機構２０，２０’をＹ軸方向に沿って相対的に接近及び離間させる進退機構４０，４０’とを備えている。

例えば、一方の巻き取り機構２０には、フィルム１２の一方の側端部分を把持する把持部２１が設けられており、他方の巻き取り機構２０’にも他方の側端部分を把持する不図示の把持部が設けられており、両巻き取り機構２０，２０’は、これらに設けられた把持部２１（他方は不図示）が向かい合うように配置されている。なお、両巻き取り機構２０，２０’の構成は同じであるため、以下、一方の巻き取り機構２０の構成についてのみ図示及び説明する。

巻き取り機構２０には、把持部２１を収容し且つ外周面でフィルム１２を巻き取る略円筒状の巻き取り部２２が設けられている。そして、巻き取り部２２は、把持部２１と、回転軸２３と、内部に把持部２１を収容するケーシング２４と、回転軸２３の先端部に固定された支持台２５とを備えている。なお、支持台２５は、側面視Ｌ字状に屈曲する部材であって、不図示の固定ボルトによってケーシング２４に固定されており、把持部２１をケーシング２４の内部で支持している。

ケーシング２４は、略円筒状に成形されており、その外周面にフィルム１２の側端部が巻き付けられるが、その先端部分は、長手方向（Ｙ軸方向）中間部から先端側（－Ｙ軸側）に向かって外径が縮径するテーパ円筒状に成形されている。そして、ケーシング２４の先端部には、フィルム１２が把持部２１によって把持される際に通される一対の進入部２６が形成されている。ここで、進入部２６は、ケーシング２４の先端から長手方向中間位置まで切り欠かれたスリットとして形成されている。

また、把持部２１は、支持台２５に固定されたクランプ板２７と、支持台２５に上下動可能に支持されたクランプ板２８と、クランプ板２８を上下動させる不図示のシリンダ機構とを備えており、両クランプ板２７，２８の間に進入したフィルム１２の側端部を両クランプ板２７，２８によって把持する。

一方の巻き取り部２２を回転させる一方の回転機構３０は、駆動源であるモータ３１を備えており、このモータ３１は、支持板３２の端部内面に取り付けられている。このモータ３１の出力軸（モータ軸）３１１は、支持板３２に形成された不図示の円孔を貫通して支持板３２の外面側に突出しており、その突出端には駆動プーリ３３が取り付けられている。

また、支持板３２の内面側には、前記巻き取り部２２が配置されており、この巻き取り部２２の回転軸２３は、支持板３２に形成された不図示の円孔を貫通して支持板３２の外面側に突出しており、その突出端には従動プーリ３４が取り付けられている。そして、この従動プーリ３４と前記駆動プーリ３３との間には無端状の伝動ベルト３５が巻き掛けられている。したがって、モータ３１が駆動されると、該モータ３１の出力軸３１１の回転は、駆動プーリ３３から伝動ベルト３５を経て従動プーリ３４へと伝達され、従動プーリ３４と回転軸２３及び巻き取り部２２が所定の速度で回転駆動される。

なお、他方の巻き取り部２２’を回転させる他方の回転機構３０’は、その構成が一方の回転機構３０の構成と同じである。すなわち、図２に示すように、回転機構３０’は、支持板３２’に取り付けられたモータ３１’、駆動プーリ３３’、従動プーリ３４’及び伝動ベルト３５’によって構成されている。

次に、前記進退機構４０，４０’について説明する。

一方（図２の右側（＋Ｙ軸側））の進退機構４０は、同側の巻き取り部２０を他方（図２の左側（－Ｙ側））の巻き取り部２０’に対して相対的にＹ軸方向に接近または離間させるものであって、Ｙ軸方向に延在する板状の支持基台４１の前面側に配設されている。具体的には、この進退機構４０は、支持基台４１の前面側にＹ軸方向に沿って水平に延びる回転可能なボールねじ軸４２と、支持基台４１の前面のボールねじ軸４２を挟んでこれの上下にＹ軸方向に沿って互いに平行に配置された上下一対のガイドレール４３と、駆動源であるモータ４４と、ガイドレール４３に沿ってＹ軸方向に摺動可能な摺動ブロック部３２１とを含んで構成されている。なお、摺動ブロック部３２１は、支持板３２の基端部に一体に形成されており、この摺動ブロック部３２１には、ボールねじ軸４２が螺合挿通している。

上記ボールねじ軸４２の軸方向一端（図２の左端）は、軸受４６によって回転可能に支持されており、同ボールねじ軸４２の他端（図２の右端）部には、モータ４４が連結されている。

なお、他方（図２の左側）の進退機構４０’は、同側の巻き取り部２２’を一方（図２の右側）の巻き取り部２２に対して相対的にＹ軸方向に接近または離間させるものであって、その基本構成は、一方の進退機構４０の構成と同じである。すなわち、進退機構４０’は、ボールねじ軸４２’、ガイドレール４３’、モータ４４’、摺動ブロック部３２１’、軸受４６’などを含んで構成されている。

ところで、本実施の形態に係る巻き取りユニット１においては、一方の巻き取り機構２０には、一対の巻き取り部２２，２２’がフィルム１２を巻き取って筒状に形成された筒フィルム１２０（図３に鎖線にて図示）を当該巻き取り機構２０の巻き取り部２２から強制的に抜き取るための抜き取り機構が設けられている。この抜き取り機構は、筒フィルム１２０の側端を－Ｙ方向に押して巻き取り部２２から筒フィルム１２０を離脱させる押し部である円板状のプレート５１と、フィルム１２を離した把持部２１とプレート５１とを相対的にＹ軸方向に移動させる移動機構とによって構成されているが、本実施形態では、移動機構は、一方の進退機構４０によって構成されている。

図２に示すように、プレート５１の中心部には、一方の巻き取り部２２が通過可能な円孔状の開口５１１が形成されており、プレート５１のＹ軸方向の位置は固定されている。すなわち、プレート５１は、支持基台４１に取り付けられた上下一対のプレート保持部５２，５３に磁石５４を介して保持されている。より詳細には、上下一対のプレート保持部５２，５３は、Ｌ字状に屈曲する部材であって、これらの各先端部に磁石５４がそれぞれ取り付けられている。そして、プレート５１は、上下一対の磁石５４の磁力によってプレート保持部５２，５３に吸着保持されており、プレート保持部５２，５３に対して自由に回転することができる。

なお、図２に示すように、他方の巻き取り機構２０’の巻き取り部２２’には、プレート５１と同径のプレート５１’が設けられているが、このプレート５１’は、巻き取り部２２’と共にＹ軸方向に移動可能である。

次に、以上のように構成された巻き取りユニット１の作用について説明する。

図２に示すように、フィルム１２の先端部が巻き取りユニット１へと導かれると、一方の巻き取り部２２が進退機構４０によってフィルム１２の側端部分に近づくように－Ｙ方向に移動し、進入部２６内にフィルム１２の側端部分が進入してゆく。また、他方の巻き取り部２２’が進退機構４０’によってフィルム１２の側端部分に近づくように＋Ｙ方向に移動し、不図示の進入部内にフィルム１２の側端部分が進入してゆく。その後、例えば一方の巻き取り機構２０において、不図示のシリンダ機構がクランプ板２８を下降させ、フィルム１２の両側端部がクランプ板２７，２８によって挟み込まれることによって、巻き取り部２２の把持部２１がフィルム１２の一方の側端部分を挟持する。同様に、他方の巻き取り機構２０’においても、巻き取り部２２’の不図示の把持部がフィルム１２の他方の側端部分を挟持する。

次に、一方の進退機構４０が巻き取り部２２を＋Ｙ方向に移動させ、また、他方の進退機構４０’が巻き取り部２２’を－Ｙ方向に移動させることによって、２つの巻き取り部２２，２２’を互いに遠ざかる方向に移動させる。これは、フィルム引き出し機構がフィルム１２の先端側を巻き取りユニット１へと導いた際に、フィルム１２が巻き取り部２２，２２’に対して適切に位置決めされていないために巻き取り部２２，２２’の各把持部２１，２２’がフィルム１２の側端部分を把持していない事態の発生を防ぐためであり、巻き取り部２２，２２’の各把持部２１（他方は不図示）がフィルム１２の側端部分を把持していない状態で、これらの巻き取り部２２，２２’の回転が開始されてしまう不具合の発生が防がれる。

２つの巻き取り部２２，２２’の把持部２１（他方は不図示）がフィルム１２の側端部分を把持している状態において、回転機構３０，３０’の各モータ３１，３１’がそれぞれ起動されると、各モータ３１，３１’の回転は、駆動プーリ３３，３３’、伝動ベルト３５，３５’及び従動プーリ３４，３４’を経て各巻き取り部２２，２２’にそれぞれ伝達され、これらの巻き取り部２２，２２’が図３に矢印にて示すように同一方向（フィルム１２の巻き取り方向）に同一速度で回転駆動される。すると、巻き取り部２２，２２’の各把持部２１（他方は不図示）に側端部が把持されたフィルム１２が各巻き取り部２２，２２’に巻き付けられてゆき、このようにフィルム１２が巻き付けられることによってロール状の筒フィルム１２０が形成されてゆく。なお、このとき、筒フィルム１２０の軸方向両側にはプレート５１，５１’が配置されているため、これらのプレート５１，５１’がフィルム１２の巻き付けのガイドとなり、巻き付け時のフィルム１２のＹ軸方向の蛇行が防がれる。

そして、巻き取りユニット１によるフィルム１２の巻き取りが開始されると、これに連動して図１に示す支持ローラ４１０が回転し、この支持ローラ４１０に支持されたテープロール１０からフィルム１２とその外面に貼着された複数の粘着テープ１１が剥離板４２０と押圧ローラ４３０に向かって繰り出され、前述のように、フィルム１２が粘着テープ１１から剥がされて巻き取りユニット１に巻き取られるとともに、フィルム１２から剥がされた粘着テープ１１がウェーハ２０１とリングフレーム２０２に貼着されてワークユニット２００が形成される。

例えば、図１に示す支持ローラ４１０に支持されたテープロール１０から全てのフィルム１２が繰り出されると、巻き取りユニット１の巻き取り部２２，２２’に所定の長さ分のフィルム１２が巻き取られて所定の外径の筒フィルム１２０が図３に示すように形成されが、この筒フィルム１２０は、以下の手順によって巻き取り部２２，２２’から取り外されて廃棄される。

すなわち、先ず他方（図２の左側）の巻き取り部２２’の不図示の把持部によるフィルム１２の側端部の把持が解除された後、進退機構４０，４０’が駆動され、一方の巻き取り機構２０と他方の巻き取り機構２０’が相対的に離間する方向（巻き取り部２２，２２’が筒フィルム１２０から抜ける方向）に移動する。すなわち、一方の巻き取り機構２０は、＋Ｙ方向に移動し、他方の巻き取り機構２０’は、－Ｙ方向に移動する。このとき、前述のように、他方の不図示の把持部によるフィルム１２の側端部の把持が解除されているため、他方の巻き取り機構２０’が－Ｙ方向に移動すると、他方の巻き取り部２２’の方が先に筒フィルム１２０から抜ける。

上記状態においては、筒フィルム１２０は、一方の巻き取り部２２に保持されたままの状態で巻き取り部２２と共に＋Ｙ方向に移動するが、プレート５１は、移動しないため、巻き取り部２２と共に移動する筒フィルム１２０は、その側端面がプレート５１に突き当たり、プレート５１によって－Ｙ方向へと押される。このため、筒フィルム１２０は、一方の巻き取り部２２から強制的に抜き取られ、自重によって落下した廃棄される。

以上のように、本実施の形態に係る巻き取りユニット１によれば、巻フィルム１２０を一対の巻き取り機構２０，２０’から抜き取って廃棄する際には、他方の巻き取り機構２２’の不図示の把持部がフィルム１２を離した後、進退機構４０，４０’によって両巻き取り機構２０，２０’を互いに離間する方向に移動させ、他方の巻き取り機構２０’から筒フィルム１２０を先に抜き取り、その後、抜き取り機構に設けられた移動機構（本実施の形態では、進退機構４０）によって一方の巻き取り部２２とこれに保持された筒フィルム１２０とを両巻き取り機構２０，２０’が離間する方向に移動させるようにしたため、一方の巻き取り機構２０に保持された筒フィルム１２０側端がプレート５１によって抜け方向に押される。このため、一方の巻き取り機構２０に保持された筒フィルム１２０が該一方の巻き取り機構２０からも抜き取られ、両巻き取り機構２０，２０’から抜き取られた筒フィルム１２０が図３に示すように自重によって落下して廃棄される。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態に係る巻き取りユニット１’を図４及び図５に基づいて説明する。なお、図４及び図５においては、図２及び図３に示したものと同一要素には同一符号を付しており、以下、それらについての再度の説明は省略する。

本実施の形態に係る巻き取りユニット１’においては、図４に示すように、一方（図４の右側）の巻き取り機構２０の外周であって、Ｙ軸方向においてプレート５１と支持板３２との間には、ガイド板６０が取り付けられている。そして、プレート５１のガイド板６０と対向する面には、４本（図４には３本のみ図示）のガイドピン６１がガイド板６０に向かって水平に突設されており、これらのガイドピン６１は、ガイド板６０に形成された不図示の円孔にそれぞれ摺動可能に挿通している。ここで、ガイド板６０とガイドピン６１は、巻き取り機構２０のＹ軸方向に沿う移動をガイドするガイド部を構成している。

本実施の形態に係る巻き取りユニット１’においても、筒フィルム１２０を一対の巻き取り機構２０，２０’から抜き取って廃棄する際には、他方の巻き取り部２２’の不図示の把持部がフィルム１２を離した後、図５に矢印にて示すように、進退機構４０，４０’によって両巻き取り機構２０，２０’を互いに離間する方向に移動させ、他方の巻き取り部２２’から筒フィルム１２０を先に抜き取り、その後、移動機構（本実施の形態では、進退機構４０）によって一方の巻き取り部２２とこれに保持された筒フィルム１２０を両巻き取り機構２０，２０’が離間する方向に移動させるようにしている。したがって、本実施形態に係る巻き取りユニット１’においても、巻き取り部２２，２２’に巻き取られた筒フィルム１２０（図５参照）を抜き取る際、一方の巻き取り機構２０の＋Ｙ軸方向の移動がガイド部を構成するガイド板６０とガイドピン６１に案内されてスムーズになされる。

そして、他方の巻き取り部２２’から先に抜き取られた筒フィルム２０は、その側端がプレート５１によって抜け方向（－Ｙ軸方向）に押され、一方の巻き取り部２２に保持された筒フィルム１２０が該一方の巻き取り部２２からも抜き取られ、両巻き取り部２２，２２’から抜き取られた筒フィルム１２０が図５に示すように自重によって落下して廃棄される。なお、本実施の形態では、ガイド部を構成するガイドピン６１の数を４本としたが、このガイドピン６１の数は、複数であれば任意である。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の第３実施形態に係る巻き取りユニット１”を図６及び図７に基づいて説明する。なお、図６及び図７においても、図２及び図３に示したものと同一要素には同一符号を付しており、以下、それらについての再度の説明は省略する。

前記実施の形態１，２においては、筒フィルム１２０を保持する一方の巻き取り機構２０をプレート５１に対して＋Ｙ軸方向に移動させる移動機構として進退機構４０を併用したが、本実施形態に係る巻き取りユニット１”においては、移動機構は、エアシリンダ７０で構成されており、押し部を構成するプレート５１は、巻き取り部２２に対してＹ軸方向に移動可能に保持されている。ここで、一方の巻き取り部２２の外周には、３つのエアシリンダ７０が周方向に等角度ピッチ（１２０°ピッチ）で配設されおり、各エアシリンダ７０から－Ｙ軸方向に延びるロッド７１の各先端は、プレート５１にそれぞれ連結されている。

本実施の形態に係る巻き取りユニット１”においては、筒フィルム１２０を一対の巻き取り部２２，２２’から抜き取って廃棄する際には、他方の巻き取り部２２’の不図示の把持部がフィルム１２を離した後、図７に矢印にて示すように、進退機構４０，４０’によって両巻き取り機構２０，２０’を互いに離間する方向に移動させ、他方の巻き取り部２２’から筒フィルム１２０を先に抜き取り、その後、移動機構である３つのエアシリンダ７０の各ロッド７１を図７の矢印方向（－Ｙ軸方向）にそれぞれ伸長させる。すると、プレート５１が矢印方向（－Ｙ軸方向）に移動し、このプレート５１に側端面が当接している筒フィルム１２０が一方の巻き取り部２２から強制的に抜き取られ、両巻き取り部２２，２２’から抜き取られた筒フィルム１２０が図７に示すように自重によって落下して廃棄される。なお、本実施の形態では、移動機構を構成するエアシリンダ７０の数を３つとしたが、このエアシリンダ７０の数は、複数であれば任意である。また、本実施形態では、移動機構をエアシリンダ７０で構成したが、エアシリンダ７０に代えて油圧シリンダなどの他の任意のものを使用しても良い。

なお、以上は、テープ貼着装置において被加工物であるウェーハとリングフレームとをワークユニットとして一体化する粘着テープから剥がされたフィルムを巻き取る巻き取りユニットに対して本発明を適用した形態について説明したが、本発明は、テープ貼着装置以外の他の任意の装置においてフィルムを巻き取るための巻き取りユニットに対しても同様に適用可能である。

その他、本発明は、以上説明した実施の形態に適用が限定されるものではなく、特許請求の範囲及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内で種々の変形が可能であることは勿論である。

１，１’，１”：巻き取りユニット、１０：テープロール、１１：粘着テープ、
１２：フィルム、１３：巻筒、
２０，２０’：巻き取り機構、２１：把持部、２２，２２’：巻き取り部、
２３：回転軸、２４：ケーシング、２５：支持台、２６：進入部、
２７，２８：クランプ板、３０，３０’：回転機構、３１，３１’：モータ、
３１１：出力軸（モータ軸）、３２，３２’：支持板、
３２１，３２１’：摺動ブロック部、３３，３３’：駆動プーリ、
３４，３４’：従動プーリ、３５，３５’：伝動ベルト、
４０，４０’：進退機構、４１：支持基台、４２，４２’：ボールねじ軸、
４３，４３’：ガイドレール、４４，４４’：モータ、４５，４５’：軸受、
５１：プレート（押し部）、５１１：開口、５２，５３：プレート保持部、
５４：磁石、６０：ガイド板、６１：ガイドピン、７０：エアシリンダ（移動機構）、
７１：ロッド、１００：テープ貼着装置、２００：ワークユニット、
２０１：ウェーハ、 ２０２：リングフレーム、３００：筐体、
４００：チャックテーブル、４０１：第１支持面、４０２：第２支持面、
４１０：支持ローラ、４２０：剥離板、 ４３０：押圧ローラ、
４４０：支持部材

Claims (3)

1. 帯状のフィルムの幅方向に平行に延在する軸で該フィルムを巻き取る巻き取りユニットであって、
   該フィルムの側端部分を把持する把持部を向かい合うように配置した２つの巻き取り機構と、該巻き取り機構をそれぞれ回転させる２つの回転機構と、２つの該巻き取り機構を相対的に該軸方向に接近及び離間させる進退機構と、を備え、
   該巻き取り機構は、該把持部を収容し外周面で該フィルムを巻き取る筒状の巻き取り部と、該巻き取り部に形成され該把持部に該フィルムを把持させるために該フィルムを進入させる進入部と、を備え、
   該一方の該巻き取り機構には、該巻き取り部が該フィルムを巻き取って筒状に形成された筒フィルムを該巻き取り部から抜き取る抜き取り機構を備え、
   該抜き取り機構は、該筒フィルムの側端を該軸方向に押し該把持部から該筒フィルムを離脱させる押し部と、該フィルムを離した該把持部と該押し部とを相対的に該軸方向に移動させる移動機構と、を備え、
   該抜き取り機構は、該他方の該巻き取り機構の該把持部が該フィルムを離し、該進退機構で該一方の巻き取り機構と該他方の巻き取り機構とを相対的に離間する方向に移動させて該他方の巻き取り機構から該筒フィルムを抜き取った後、該移動機構によって該押し部が該筒フィルムの側端を押して該筒フィルムを抜き取る、巻き取りユニット。
2. 該押し部は、該巻き取り部が通過可能な開口を有するプレートであって、
   該進退機構が配置される基台には、該プレートを保持するプレート保持部を備え、
   該巻き取り機構は、該プレートを該軸方向に移動可能とするガイド部を備え、
   該巻き取り機構を該軸方向に移動させることによって、該プレート保持部に該プレートを保持させ、
   該プレート保持部に保持された該プレートの該開口から該巻き取り部を抜き、該巻き取り部に巻き取られている該筒フィルムの側端を該プレートが押して、該巻き取り部から該筒フィルムを抜き取る、請求項１記載の巻き取りユニット。
3. 該押し部は、該巻き取り部が通過可能な開口を有するプレートであって、
   該巻き取り部に配置され該プレートを該軸方向に移動させる移動機構を備え、
   該移動機構によって該プレートを該軸方向に移動させ、該プレートの該開口から該巻き取り部を抜き、該巻き取り部に巻き取られている該筒フィルムの側端を該プレートが押して、該巻き取り部から該筒フィルムを抜き取る、請求項１記載の巻き取りユニット。

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