JP2012028591A - 基板へのシート貼付装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接着シートSの一方の面に基材シートCが設けられると共に他方の面にセパレータBが設けられた原シートAをウエハ3上に繰り出す原シート供給手段10と、前記ウエハ3を保持する貼付テーブル57と、前記原シートAをウエハ3に押圧して前記接着シートSを該ウエハ3に貼り付ける貼付手段56と、前記原シートAをウエハ3の外形に沿って切断する切断手段65とを備えるシート貼付装置であり、前記原シート供給手段は、原シートAの前記セパレータBにウエハ形状の切り込み47を形成する刃物16と、該刃物16で切り込まれたセパレータDを原シートAから剥離する剥離手段40とを備えて構成され、前記剥離手段40で前記セパレータDを剥離した後に原シートAの接着シートS部分をウエハ3に貼り付ける。
【選択図】図2
Description
B セパレータ
C 基材シート
D セパレータ
R 剥離テープ
S 接着シート
1 シート貼付装置
2 機台
3 ウエハ
4 ウエハ供給部
5 搬送ロボット
6 吸着ハンド
7 アライメント部
8 アライメントテーブル
9 機枠
10 供給リール
11 ガイドローラ
12 ダンサローラ
13 ニップローラ
15 切り込み形成手段
16 刃物
17 ダイカットローラ
18 支持ローラ
20 シート片形成手段
21 シリンダ
22 上チャック
23 カッタ刃
24 下チャック
25A レール
25B レール
26 スライダ
30 シート搬送手段
31 吸着テーブル
32 シリンダ
33 モータ
35 テーブル支持板
36 支持板
37 回転軸
40 剥離手段
41 供給リール
42 ガイドローラ
43 ガイドローラ
44 貼付ローラ
45 回収リール
46 シート押え
47 切り込み
48 スライダ
49 レール
50 シート貼付部
51 上チャンバ
52 下チャンバ
53 昇降シリンダ
54 スライダ
55 真空アダプタ
56 貼付ローラ
57 内周テーブル
58 外周テーブル
60 ヒータ
61 シート保持機構
62 シート保持機構
63 シリンダ
64 シリンダ
65 カッタ機構
66 モータ
67 カッタ刃
69 シート貼付装置
70 シート廃棄機構
71 吸着体
72 廃棄ボックス
73 余剰シート
74 3次元構造体
75 チャック兼剥しローラ
76 貼付テーブル
77 回収リール
78 支持台
80 ウエハ
81 3次元構造体
82 内周テーブル
83 ヒータ
84 外周テーブル
85 貼付ローラ
86 セパレータ
87 DFR(ドライフィルムレジスト)
88 セパレータ
89 剥離ローラ
90 ガイドローラ
91 原シート
Claims (3)
- 接着シートの一方の面に基材シートが設けられると共に該接着シートの他方の面にセパレータが設けられた原シートを基板上に繰り出す原シート供給手段と、前記基板をその上面に保持する貼付テーブルと、前記原シートを基板に押圧して前記接着シートを該基板に貼り付ける貼付手段と、前記基板に貼り付けられた原シートを基板の外形に沿って切断する切断手段とを備えるシート貼付装置において、
前記原シート供給手段は、基板上への原シートの繰り出し途上に配置され前記セパレータに基板形状の切り込みを形成する刃物と、該刃物で切り込まれたセパレータ部分を原シートから剥離する剥離手段とを備えて構成され、
前記剥離手段で前記セパレータ部分を剥離した後に原シートの接着シート部分を基板に貼り付けるようにしたことを特徴とするシート貼付装置。 - 前記原シート供給手段は、前記刃物でセパレータに切り込みを形成後、その切り込みの外側部分で前記原シートを短冊状に切断するシート片形成手段を更に備え、
基板上に前記原シートをシート片として供給するようにしたことを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。 - 前記剥離手段は、前記セパレータ面が下となるように原シートを保持する保持手段と、剥離テープの供給手段と、前記切り込まれたセパレータの剥離始端部に下方から前記剥離テープを貼り付ける貼付手段と、剥離された前記セパレータを剥離テープと共に巻き取る巻取手段とから構成され、
前記貼付手段で剥離テープと前記切り込まれたセパレータとを貼り付け後、前記セパレータを引っ張って剥離させるようにしたことを特徴とする請求項1または2記載のシート貼付装置。
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