JP2014049619A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1接着シートAS1と第2接着シートAS2とが相互に積層された原反RSを繰出可能に支持する支持手段11と、第1接着シートAS1を第2接着シートAS2から剥離してリングフレームRF及び半導体ウエハWFを含む第1被着体に貼付する第1貼付手段12と、第1接着シートAS1が剥離された第2接着シートAS2を第2被着体である半導体ウエハWFに貼付する第2貼付手段13とを備えている。
【選択図】図1
Description
特許文献1には保護シートを貼付することのできる貼付装置が開示され、特許文献2にはダイシングシートを貼付することのできる貼付装置が開示されている。
本発明の目的は、複数の接着シートを相互に積層して構成した積層シートを用いて各接着シートを被着体に貼付することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
また、特許文献1、2のように、各貼付装置それぞれが原反を支持する支持手段を持つ必要がなく、貼付装置を構成する装置の一部を共用してスペースの有効利用を図ることが可能となる。
更に、切断手段を備えた構成によれば、必要に応じて接着シートを所定の形状に切断することができる。
また、貼付間隔調整手段を配置した構成によれば、第1接着シート及び第2接着シートの一方の接着シートを貼付するときに、他方の接着シートの貼付動作を妨げることを防止することができる。
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸及びY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態で方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
なお、原反RSは、図5(C)に示されるように、保護シートAS2の上面側において、スペーサシートSSを備えたものでもよい。
まず、支持ローラ11に原反RSを支持させ、図2に示されるように、第1貼付手段12に原反RSを通紙し、剥離板24で折り返された剥離シートRL付き保護シートAS2を傾斜ローラ36で折り返す。また、図4に示されるように、傾斜ローラ36で折り返した剥離シートRL付き保護シートAS2を貼付間隔調整手段15に通紙し、更に、図3に示されるように、第2貼付手段13に通紙しておく。
そして、グラインダ16で所定の厚みにまで研削されたウエハWFは、リングフレームRFが載置され、図1中二点鎖線で示すウエハ搭載位置TP4で待機している第1テーブル40上に、図示しない移載手段によって所定形状の保護シートAS2Aが下方に位置するようにして載置される。その後、図示しない吸着手段が当該ウエハWFを吸着保持し、リニアモータLM1が第1テーブル40を図2中二点鎖線で示すマウントシート貼付位置TP5に移動させる。第1テーブル40がマウントシート貼付位置TP5に到達すると、第1貼付手段12が回動モータDM1を駆動し、第1テーブル40の移動速度に合わせて原反RSを繰り出してマウント用シートAS1を剥離し、当該マウント用シートAS1をリングフレームRF及びウエハWFに貼付し、当該ウエハWFがマウント用シートAS1を介してリングフレームRFと一体化された一体物WK1を形成する。その後、第1テーブル40が図1、2中実線で示す一体物移載位置TP6に到達すると、リニアモータLM1が第1テーブル40の移動を停止する。ここで、第1貼付手段12と第2貼付手段13との間には、貼付間隔調整手段15が配置されているので、一方の貼付手段の貼付動作によって他方の貼付手段の貼付動作が阻害することがないように、当該貼付間隔調整手段15がリニアモータLM5、LM6を駆動し、ダンサローラ77、78を昇降させるようになっている。そして、第1テーブル40が一体物移載位置TP6で停止すると、図示しない移載手段が一体物WK1を保持し、当該一体物WK1を剥離手段17内に移載し、当該剥離装置17でウエハWFの表面に貼付された所定形状の保護シートAS2Aが剥離される。なお、ウエハWFが剥離手段17内に移載されると、リニアモータLM1が第1テーブル40をウエハ搭載位置TP4に復帰させ、以降上記同様のマウント用シートAS1の貼付動作が繰り返される。そして、所定形状の保護シートAS2Aが剥離された一体物WK1は、図示しない移載手段によって、ダイシング手段18に移載され、当該ダイシング手段18て所定のチップサイズに個片化される。その後、一体物WK1は、図1中二点鎖線で示す一体物搬出位置TP7に搬送された後、図示しない搬送手段によってボンディング工程等の別の工程に搬送されることとなる。そして、以後、同様に上記動作が繰り返される。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加え、以下に示す種々の構成を採用することができる。
また、原反RSに保護シートAS2が枚葉にされたものが採用された場合、第2貼付手段13を第1貼付手段のように、剥離シートRLから枚葉の保護シートAS2を剥離して貼付する構成とすればよく、この場合、第2切断手段14を省略することができる。
更に、原反RSに帯状のマウント用シートAS1が積層されたものや、リングフレームRFのサイズよりも大きなマウント用シートAS1が採用された場合、図2中二点鎖線で示すように、リングフレームRF及びウエハWFにマウント用シートAS1を貼付した後、リングフレームRFの大きさに応じて帯状シートを閉ループ状に切断する第1切断手段43を採用してもよい。なお、このような第1切断手段43の構成は、第2切断手段14と同等のものを採用することができるのでその説明は省略する。また、この場合、図示しない巻取装置を併設し、切断によって生ずる外側の不要シート部分が巻き取られることとなる。
また、支持手段は、ロール状の原反を外縁下方から支持できる湾曲部材や複数のローラ等としてもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエタ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
また、剥離手段はローラ等で構成してもよいし、押圧手段は気体を吹き付けて貼付するもの等で構成してもよく、実質的に同様の作用を奏する代替部材を適用することができる。
更に、本発明における被着体はリングフレームRFやウエハWFに限らず、光ディスクの基板や、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、その他の板状部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。また、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。
また、原反RSは、マウント用シートや保護シート以外の公知の接着シートが積層されたものであってもよいし、第1、第2接着シートが特性が異なるものでなく、同種の接着シートであってもよい。
11 支持ローラ(支持手段)
12 第1貼付手段
13 第2貼付手段
14 第2切断手段
15 貼付間隔調整手段
43 第1切断手段
AS1 マウント用シート(第1接着シート)
AS2 保護シート(第2接着シート)
RF リングフレーム(第1被着体)
RS 原反
WF 半導体ウエハ(第1被着体、第2被着体)
Claims (5)
- 第1接着シートと第2接着シートとが相互に積層された原反を繰出可能に支持する支持手段と、
前記第1接着シートを第2接着シートから剥離して第1被着体に貼付する第1貼付手段と、
前記第1接着シートが剥離された第2接着シートを第2被着体に貼付する第2貼付手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記第2接着シートは帯状とされ、当該第2接着シートを所定形状に切断可能な第2切断手段を備えていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記第1接着シート及び第2接着シートは、それぞれ帯状とされ、これら第1及び第2接着シートをそれぞれ所定形状に切断可能な第1及び第2切断手段を備えていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記第1貼付手段と第2貼付手段との間に、貼付間隔調整手段が配置されていることを特徴とする請求項1、2又は3記載のシート貼付装置。
- 第1接着シートと第2接着シートとが相互に積層された原反を繰り出す工程と、
前記第1接着シートを第2接着シートから剥離して第1被着体に貼付する第1貼付工程と、
前記第1接着シートが剥離された第2接着シートを第2被着体に貼付する第2貼付工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
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