KR20110068981A

KR20110068981A - 시트 박리 장치 및 박리 방법

Info

Publication number: KR20110068981A
Application number: KR1020117004025A
Authority: KR
Inventors: 켄지 코바야시; 타카히사 요시오카; 타케시 타카노
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2008-08-28
Filing date: 2009-07-22
Publication date: 2011-06-22
Also published as: JP2010056342A; WO2010024066A1; CN102138208A; US20110155328A1; TWI539501B; TW201023252A; KR101522585B1; JP4740296B2; CN102138208B; US8038824B2

Abstract

접착시트(S)가 첩부된 반도체 웨이퍼(W)를 지지하는 지지 수단(11)과, 접착시트(S)에 박리용 테이프(T)를 첩부하는 테이프 첩부 수단(14)과, 박리용 테이프(T)를 잡아당기는 잡아당김 수단(13)과, 접착시트(S) 위에 위치하는 가이드 부재(41)에 감아 장착된 엔드리스 부재(45)를 포함하는 박리 보조 수단(15)과, 엔드리스 부재(45) 사이에 접착시트(S)를 끼워넣는 끼워넣기 수단(16)에 의해 시트 박리 장치(10)가 구성되어 있다. 이 시트 박리 장치(10)는, 박리 보조 수단(15)과 끼워넣기 수단(16) 사이에 접착시트(S)를 끼운 상태에서, 잡아당김 수단(13)과 지지 수단(11)의 상대이동에 의해 접착시트(S)가 박리된다.

Description

시트 박리 장치 및 박리 방법{SHEET PEELING APPARATUS AND SHEET PEELING METHOD}

본 발명은 시트 박리 장치 및 박리 방법에 관한 것으로, 특히, 반도체 웨이퍼 등의 피착체에 첩부된 접착시트를 박리할 때, 피착체의 손상을 방지하면서 박리력을 부여할 수 있는 시트 박리 장치 및 박리 방법에 관한 것이다.

종래로부터, 반도체 웨이퍼(이하, 단지, 「웨이퍼」라고 칭함)에는, 그 회로면을 보호하기 위한 접착시트가 첩부되고, 예를 들면, 웨이퍼의 백 그라인드 등이 행해진 후, 이 접착시트는 시트 박리 장치를 통하여 박리된다.

전술한 접착시트의 박리는, 예를 들면, 특허문헌 1에 개시된 시트 박리 장치를 사용하여 행할 수 있다. 동 장치는, 웨이퍼에 첩부된 접착시트에 박리용 테이프를 첩부하고, 당해 박리용 테이프를 잡아당길 때, 선단이 예각으로 형성된 에지 부재를 접착시트에 누르고, 상기 박리용 테이프를 잡아당기면서 에지 부재와 웨이퍼를 상대적으로 이동시키는 구성으로 되어 있다.

특허문헌 1: 일본 특개 2002-124494호 공보

(발명의 개시)

(발명이 해결하고자 하는 과제)

그렇지만, 특허문헌 1에 개시된 박리 장치에서는, 웨이퍼의 떠오름을 방지하기 위하여, 혹은, 박리각도를 일정하게 유지하기 위하여 에지 부재를 접착시트에 누르는 것이며, 이것에 의해, 접착시트가 웨이퍼와 에지 부재 사이에 강하게 끼워 넣어진 상태가 되어 박리저항이 증대하고, 그 결과, 접착시트의 박리 도중에, 박리용 테이프나 접착시트가 끊어져 버려 박리 불량이 발생한다고 하는 문제가 있다.

또한, 도 5에 도시되는 바와 같이, 에지 부재를 사용한 박리를 행했다고 해도, 박리용 테이프를 잡아당겨 접착시트의 박리를 행하면, 박리용 테이프의 박리방향을 따르는 연장선상은 장력이 전해져 에지 박리가 실현되지만, 에지 부재의 선단측에 위치하는 그 밖의 접착시트 부분은 당해 접착시트가 늘어나는 것에 기인한 박리 지연(E)을 발생한다. 이 박리 지연(E)이 발생하면, 접착시트의 절곡 가장자리를 에지 부재에 밀착시킬 수 없게 되어, 에지 부재에서의 박리효과가 충분히 얻어지지 않는다고 하는 문제를 초래한다.

[발명의 목적]

본 발명은, 이러한 문제에 주목하여 안출된 것으로, 그 목적은, 접착시트의 박리저항을 증대시키지 않고, 웨이퍼의 떠오름을 방지하여 접착시트의 원활한 박리를 행할 수 있는 시트 박리 장치 및 박리 방법을 제공하는 것에 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 접착시트를 박리할 때에 형성되는 절곡 가장자리를 소정 부재에 밀착시킨 상태를 유지하여 당해 접착시트를 박리할 수 있는 시트 박리 장치 및 박리 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 접착시트가 첩부된 피착체를 지지하는 지지 수단과, 상기 접착시트에 박리용 테이프를 첩부하는 테이프 첩부 수단과, 상기 박리용 테이프를 잡아당기는 잡아당김 수단과, 상기 접착시트 위에 위치하는 가이드 부재에 감아 장착됨과 아울러 접착시트의 박리동작에 추종하여 회행(回行) 가능한 엔드리스 부재를 포함하는 박리 보조 수단을 구비하고, 당해 박리 보조 수단이 접착시트에 절곡 가장자리를 형성하도록 잡아당김 수단으로 박리용 시트를 잡아당김으로써 접착시트가 박리 가능하게 설치된 시트 박리 장치에 있어서, 상기 엔드리스 부재에 대향하는 위치에 배치되고, 당해 엔드리스 부재와의 사이에 상기 접착시트를 끼워 넣고 상기 절곡 가장자리를 엔드리스 부재에 밀착시킨 상태로 유지함과 아울러, 접착시트의 박리동작에 따라 회행 혹은 회전 가능한 끼워넣기 수단을 구비한다고 하는 구성을 채용하고 있다.

본 발명에 있어서, 상기 가이드 부재는 선단 첨예부(先尖部)를 구비한 에지 부재를 포함하고, 당해 에지 부재의 선단 첨예부에 의해 상기 접착시트의 절곡 가장자리가 형성된다고 하는 구성을 채용할 수 있다.

또, 상기 끼워넣기 수단은 상기 엔드리스 부재에 대하여 이간/접근 가능하게 설치된 롤러에 의해 구성되어 있다.

또한, 상기 끼워넣기 수단은 상기 엔드리스 부재에 대하여 이간/접근 가능하게 설치된 복수의 롤러와, 이들 롤러에 둘러 걸쳐진 끼워넣기용 엔드리스 부재로 구성해도 된다.

또, 상기 끼워넣기 수단은 상기 엔드리스 부재의 외주측에 위치하는 롤러와, 엔드리스 부재의 내주측에 위치하는 플래튼을 포함하여 구성할 수도 있다.

더욱이, 본 발명은, 피착체에 첩부된 접착시트에 박리용 테이프를 첩부하고, 이 박리용 테이프를 소정의 박리방향으로 잡아당김으로써 상기 접착시트를 피착체로부터 박리하는 시트 박리 방법에 있어서, 상기 접착시트에, 당해 접착시트의 박리동작에 추종하여 회행 가능한 엔드리스 부재를 접촉시키고, 상기 박리용 테이프를 잡아당겨 접착시트를 엔드리스 부재의 외면에 접하도록 박리방향으로 반전하고, 이어서, 상기 엔드리스 부재에 이간/접근 가능하게 설치된 끼워넣기 수단을 엔드리스 부재에 접근시키고, 접착시트를 끼워넣고 절곡 가장자리를 엔드리스 부재에 밀착시킨 상태로 유지하여 접착시트의 박리를 행한다고 하는 수법을 채용하고 있다.

본 발명에 의하면, 박리 보조 수단을 구성하는 엔드리스 부재를 접착시트의 박리동작에 추종하여 회행시키고, 엔드리스 부재에 끼워넣기 수단을 접근시켜 접착시트를 끼우는 구성으로 했으므로, 접착시트가 박리 보조 수단과 피착체 사이에 강하게 끼워넣어지는 것과 같은 문제가 해소되어, 접착시트의 박리저항을 증대시키지 않고, 웨이퍼의 떠오름을 방지하여, 접착시트의 원활한 박리를 행할 수 있음과 아울러, 접착시트의 절곡 가장자리를 엔드리스 부재에 밀착시킨 상태를 유지할 수 있어, 박리각도를 일정하게 유지하는 에지 부재에서의 박리효과가 충분히 얻어진다. 이것에 의해, 접착시트의 박리 불량을 미연에 방지할 수 있고, 게다가, 웨이퍼와 같은 깨지기 쉬운 물성를 가진 피착체이어도, 당해 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있다.

또, 선단 첨예부를 구비한 에지 부재를 채용함으로써 박리각도(도 4(D)의 θ로 나타내는 각도)를 크게 할 수 있어, 피착체의 떠오름을 보다 효과적으로 방지하여 박리할 수 있다.

또한 끼워넣기 수단으로서 롤러나, 복수의 롤러에 감아 장착된 끼워넣기용 엔드리스 부재를 사용함으로써 당해 끼워넣기 수단과 박리 보조 수단 사이에서의 저항을 극소화하여 접착시트를 통과시킬 수 있다.

또, 엔드리스 부재의 내주측에 플래튼을 배치한 경우에는, 엔드리스 부재의 회행 궤적을 일정 위치에 유지할 수 있다.

도 1은 본 실시형태에 따른 시트 박리 장치의 개략 정면도.
도 2는 상기 시트 박리 장치의 동작시에 있어서의 개략 사시도.
도 3은 잡아당김 수단이 초기 위치로부터 박리 개시 위치로 이동한 상태를 나타내는 개략 정면도.
도 4(A)∼(D)는 끼워넣기 수단의 변형예를 나타내는 주요부 개략 정면도.
도 5는 문제예를 나타내는 개략 사시도.

(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1에는 본 실시형태에 따른 시트 박리 장치의 개략 정면도가 도시되며, 도 2에는 시트 박리 장치를 사용한 박리동작시의 개략 사시도가 도시되어 있다. 이들 도면에 있어서, 시트 박리 장치(10)는 상면측이 되는 표면(회로면)에 접착시트(S)가 첩부된 피착체로서의 웨이퍼(W)를 지지하는 지지 수단(11)과, 이 지지 수단(11)을 이동 가능하게 지지하는 이동 수단(12)과, 상기 접착시트(S)에 박리용 테이프(T)(도 2 참조)를 첩부하여 접착시트(S)를 웨이퍼(W)로부터 박리하는 방향으로 박리용 테이프(T)를 잡아당기는 잡아당김 수단으로서의 박리 헤드(13)와, 박리용 테이프(T)를 풀어내어 당해 박리용 테이프(T)를 접착시트(S)에 접착시키는 테이프 첩부 수단을 구성하는 테이프 공급 유닛(14)과, 상기 지지 수단(11)과 박리 헤드(13) 사이에 위치하여 접착시트(S)의 절곡 가장자리(B)(도 2 참조)를 형성하는 박리 보조 수단(15)과, 이 박리 보조 수단(15)과의 사이에 접착시트(S)를 끼우는 끼워넣기 수단(16)을 구비하여 구성되어 있다.

상기 지지 수단(11)은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 평면으로 보아 사각형을 이루는 하부 테이블(17A) 및 상부 테이블(17B)로 이루어지는 테이블(17)과, 하부 테이블(17A)과 상부 테이블(17B) 사이에 배치되어 상부 테이블(17B)을 회전 가능 또한 승강 가능하게 하는 구동 장치(19)와, 하부 테이블(17A)의 하면측에 설치된 슬라이더(20)를 포함한다. 여기에서, 상부 테이블(17B)은 그 상면측이 도시하지 않은 흡착면으로서 형성되고, 웨이퍼(W)를 흡착하여 지지할 수 있게 구성되어 있다.

상기 이동 수단(12)은 1쌍의 가이드 레일(22)과, 이들 가이드 레일(22) 사이에서, 당해 가이드 레일(22)과 평행하게 연장되는 이송나사축(23)과, 이 이송나사축(23)의 일단측에 위치하여 당해 이송나사축(23)을 회전시키는 구동 모터(25)와, 이송나사축(23)의 타단측을 지지하는 축받이(26)로 이루어진다. 가이드 레일(22)에는, 슬라이더(20)를 통하여 지지 수단(11)이 이동 가능하게 지지되고, 이송나사축(23)은 하부 테이블(17A)의 하면측에 설치된 너트 부재(28)를 관통한 상태에서 당해 너트 부재(28)에 걸어맞추어지고, 이송나사축(23)이 회전함으로써, 지지 수단(11)이 가이드 레일(22)을 따라 이동 가능하게 되어 있다.

상기 박리 헤드(13)는, 그 하부에, 상하방향으로 이간/접근 가능하게 설치된 상하 1쌍의 척 발톱(30)을 구비하여 구성되어 있고, 이들 척 발톱(30) 사이에 박리용 테이프(T)를 끼워넣고 당해 박리용 테이프(T)를 유지할 수 있도록 구성되어 있다. 이 박리 헤드(13)는 도시하지 않은 지지 부재 등을 통하여 테이프 공급 유닛(14)에 지지되는 구성으로 되어 있다. 또한, 박리 헤드(13)는 본 출원인에 의한 선원(일본 특개 2003-22986호 공보)에 기재된 박리 헤드와 동일한 구성을 채용할 수 있다.

상기 테이프 공급 유닛(14)은 상기 선원 공보에 개시된 유닛과 동일한 것이며, 박리 헤드(13)에 대하여 박리용 테이프(T)를 풀어내는 테이프 풀어내기부와, 박리용 테이프(T)를 상기 접착시트(S)에 열용착 하는 히터와, 박리용 테이프(T)를 소정 길이마다 절단하는 커터 등을 포함하여 구성되어 있다. 테이프 공급 유닛(14)은, 본원의 요지는 아니므로, 여기에서는 각부 상세 구조에 대한 설명은 생략한다.

상기 박리 보조 수단(15)은, 상기 상부 테이블(17B)의 측방에 위치함과 아울러, 도시하지 않은 이동 장치를 통하여 도 1 중 좌우방향으로 이동 가능하게 설치된 지지 블록(40)과, 이 지지 블록(40)에 지지된 가이드 부재(41)의 외주측에 설치됨과 아울러, 박리 시트(S)의 박리동작에 추종하여 회행 동작, 즉, 추종하여 회전하는 고무벨트 등으로 이루어지는 1장의 엔드리스 부재(45)를 구비하여 구성되어 있다. 가이드 부재(41)는 선단 첨예부(42A)를 구비한 에지 부재(42)와, 당해 에지 부재(42)에 병설된 제 1 및 제 2 롤러(43, 44)를 포함한다. 에지 부재(42)는 단면 형상이 예각 삼각형 형상으로 설치되어 있고, 도 1 중 좌측의 각과 엔드리스 부재(45)로 접착시트(S)의 절곡 가장자리(B)를 형성하게 되어 있다(도 2 참조). 이들 에지 부재(42) 및 제 1, 제 2 롤러(43, 44)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 접착시트(S)의 박리방향에 직교하는 폭보다도 길게 설정되어 있음과 아울러, 서로 그들 축선방향이 대략 평행하게 배치되어 있다.

상기 엔드리스 부재(45)는 에지 부재(42), 제 1 및 제 2 롤러(43, 44)의 외주측에 둘러 걸쳐진 상태에서, 에지 부재(42)의 하면과, 제 1 롤러(43) 사이의 영역이 접착시트(S)의 면에 대하여 평행하게 되고, 당해 평행한 영역이 접착시트(S)에 면접촉함으로써 회행하게 되어 있다.

상기 끼워넣기 수단(16)은, 도시하지 않은 이동 장치를 통하여 도 1 중 좌우방향으로 이동 가능하게 지지된 이동 블록(50)과, 이 이동 블록(50)에 회전 가능하게 지지된 롤러(52)로 구성되어 있다. 이동 블록(50)은, 박리용 테이프(T)가 접착시트(S)에 첩부된 후에, 박리 헤드(13)와 함께 박리 보조 수단(15)측으로 이동함으로써 롤러(52)와 엔드리스 부재(45) 사이에 접착시트(S)를 끼워넣을 수 있도록 되어 있다.

다음에 본 실시형태에 있어서의 시트 박리 방법에 대하여, 도 3도 참조하면서 설명한다.

우선, 도시하지 않은 반송 암 등을 통하여 웨이퍼(W)가 상부 테이블(17B) 위에 재치되고, 흡착 유지된다. 그리고, 테이프 공급 유닛(14)으로부터 척 발톱(30) 을 통하여 박리용 테이프(T)가 풀어 내지고, 당해 박리용 테이프(T)의 일부가 접착시트(S)에 용착되어 소정 위치에서 절단된다(도 3 중 2점 쇄선 참조). 또한, 박리용 테이프(T)의 접착은 전술한 선원 공보에 기재된 동작과 실질적으로 동일하다.

이어서, 상부 테이블(17B)이 구동 장치(19)를 통하여 상승됨과 아울러, 박리 보조 수단(15)이 도시하지 않은 이동장치를 통하여 도 3에 도시하는 위치로 이동하고, 에지 부재(42)의 선단측의 엔드리스 부재(45)를 접착시트(S) 위의 외주 가장자리측에 위치시킨다. 그리고, 박리 헤드(13)가 2점 쇄선으로 표시되는 위치로부터 실선으로 표시되는 위치로 이동함으로써 접착시트(S)를 박리할 때의 절곡 가장자리(B)가 형성된다. 이것과 동시에, 끼워넣기 수단(16)이 박리 보조 수단(15)측으로 이동하고, 롤러(52)와 엔드리스 부재(45) 사이에 박리용 테이프(T)가 끼워 넣어진다. 이 상태에서, 상기 지지 수단(11)이 이동 수단(12)을 통하여 도 3 중 화살표(a) 방향을 향하여 이동을 개시하는 한편, 박리 헤드(13)가 화살표(b) 방향을 향하여 이동 수단(12)과 동일한 속도로 상대적으로 이동한다.

이와 같이, 지지 수단(11)과 박리 헤드(13)의 상대이동에 의해, 에지 부재(42)의 선단 첨예부(42A)측으로 접착시트(S)의 절곡 가장자리(B)를 유지하면서 접착시트(S)의 박리가 진행된다. 이 박리동작시에는, 엔드리스 부재(45)가 접착시트(S)의 상면에 접촉하고 있음으로써 도 3 중 우회전하게 된다. 따라서, 종래와 같이 접착시트(S)가 웨이퍼(W)와 박리 보조 수단(15) 사이에 강하게 끼워 넣어져서 박리용 테이프(T)나 접착시트(S)가 절단되는 것과 같은 일이 없게 되어, 접착시트(S)의 원활한 박리동작에 의해, 박리 불량을 확실하게 방지할 수 있다. 또, 롤러(52)는 박리 보조 수단(15)측으로 누르도록 작용하므로, 접착시트(S)의 절곡 가장자리(B)는 항상 엔드리스 부재(45)에 밀착된 상태로 유지되고, 에지 부재(42)의 선단측에 위치하는 접착시트(S)가 늘어나서 도 5에 도시되는 박리 지연(E)을 발생하는 것과 같은 문제는 발생하지 않는다.

또한, 상부 테이블(17B)은, 상기 구동 장치(19)를 통하여, 필요에 따라 평면 내에서 상하좌우 동작시킬 수도 있다. 이것에 의해, 접착시트(S)가 지그재그로 벗겨지도록 하여 웨이퍼(W)로부터 서서히 박리된다. 그리고, 지지 수단(11)이 박리 보조 수단(15)의 하부 위치를 통과했을 때에, 접착시트(S)의 박리를 완료하게 된다.

이렇게 하여 접착시트(S)가 웨이퍼(W)로부터 완전히 박리된 후에, 웨이퍼(W)는 도시하지 않은 반송 암을 통하여 반송된다. 이 한편, 박리된 접착시트(S)는 박리용 테이프(T)와 함께 도시하지 않은 폐기 박스 등에 폐기된다. 그리고, 지지 수단(11), 박리 헤드(13), 박리 보조 수단(15) 및 끼워넣기 수단(16)이 초기 위치로 복귀했을 때에, 새로운 박리대상물이 되는 웨이퍼(W)가 상부 테이블(17B) 위에 옮겨 실리고, 이후 동일하게 접착시트(S)가 박리되게 된다.

따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 박리 보조 수단(15)이 접착시트(S)를 웨이퍼(W)측에 누르도록 작용해도, 엔드리스 부재(45)가 회행 동작함으로써, 박리저항을 억제하면서 접착시트(S)의 박리를 안정하게 행할 수 있어, 웨이퍼(W)와 같은 깨지기 쉬운 물성을 갖는 것을 대상으로 한 경우의, 당해 웨이퍼(W)의 손상을 효과적으로 방지하는 것이 가능하게 된다. 또, 끼워넣기 수단(16)이 접착시트(S)를 엔드리스 부재(45) 사이에 끼워넣도록 작용하기 때문에, 접착시트(S)의 절곡 가장자리를 항상 당해 엔드리스 부재(45)에 밀착시킬 수 있고, 이것에 의해, 종래와 같은 박리 지연을 발생하지 않고, 접착시트(S)를 박리하는 것이 가능하게 된다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 본 발명은 주로 특정한 실시형태에 관하여 특별히 도시, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관하여, 필요에 따라 당업자가 여러 변경을 가할 수 있는 것이다.

예를 들면, 실시형태에서는, 도 4(A), (B)에 도시하는 바와 같이, 복수의 롤러(52)를 설치함과 아울러, 이들 롤러(52)에 엔드리스 부재(45)와 동일한 끼워넣기용 엔드리스 부재(60)를 회행 가능하게 설치하고, 당해 끼워넣기용 엔드리스 부재(60)와 박리 보조 수단(15)의 엔드리스 부재(45) 사이에 접착시트(S)를 끼워넣도록 하고, 이것에 의해, 절곡 가장자리(B)를 엔드리스 부재(45)에 밀착시킨 상태로 유지하도록 해도 된다.

또, 도 4(C)에 도시하는 바와 같이, 전술한 에지 부재(42) 대신 롤러(62)를 설치하여 절곡 가장자리(B)를 형성 가능하게 하고, 당해 롤러(62)와 제 2 롤러(44) 사이에서의 엔드리스 부재(45)의 외면측에 롤러(63)를 설치하는 한편, 내면측에 플래튼(64)을 설치하여 접착시트(S)를 끼워넣도록 해도 된다.

또한, 도 4(D)에 도시하는 바와 같이, 상기 선단 첨예부(42A)와, 제 2 롤러(44)에 마주 대하는 위치에 롤러(65, 66)를 각각 배치하여 접착시트(S)를 끼워넣도록 구성할 수도 있다.

또, 엔드리스 부재(45), 끼워넣기용 엔드리스 부재(60), 롤러(63, 65, 66)를 접착시트(S)의 박리에 따라 수동적으로 회전시키거나, 구동 수단 등을 통하여 능동적으로 회전시키거나 하도록 구성해도 된다.

또한, 엔드리스 부재(45)는, 1장의 고무벨트를 사용하여 구성하는 것에 한하지 않고, 가이드 부재(41)의 길이방향을 따라 소정 간격을 두고 둘러 걸쳐지는 복수의 벨트로 구성해도 된다.

또, 피착체는 반도체 웨이퍼(W)에 한정되는 것은 아니고, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지판 등, 그 밖의 피착체도 대상으로 할 수 있고, 반도체 웨이퍼는 실리콘 웨이퍼나 화합물 웨이퍼이어도 된다.

또한, 엔드리스 부재(45)나 끼워넣기용 엔드리스 부재(60)는 고무 벨트 이외에, 수지 벨트, 실리콘 벨트, 가죽 벨트, 금속 벨트, 섬유 벨트 등으로 구성해도 된다.

또, 박리용 테이프(T)는 감열접착성의 접착테이프나 감압접착성의 접착테이프를 사용해도 된다. 또, 박리용 테이프(T)는, 상기 실시형태와 같이 절단해서 사용하는 이외에, 특허문헌 1과 같은 띠 형상의 테이프를 접착시트의 직경에 걸쳐서 전역에 첩부하도록 구성해도 된다.

또한, 접착시트(S)의 박리동작은 박리 헤드(13) 또는 테이블(17) 중 일방을 정지상태로 하고, 타방의 박리동작 방향과 동일한 방향으로 당해 타방의 박리동작 속도의 절반의 속도로 박리 보조 수단(15)을 이동시키도록 구성해도 된다.

10 시트 박리 장치
11 지지 수단
12 이동 수단
13 박리 헤드(잡아당김 수단)
14 테이프 공급 유닛(테이프 첩부 수단)
15 박리 보조 수단
16 끼워넣기 수단
41 가이드 부재
42 에지 부재
42A 선단 첨예부
43, 44, 52, 62, 65, 66 롤러
45 엔드리스 부재
60 끼워넣기용 엔드리스 부재
64 플래튼
B 절곡 가장자리
T 박리용 테이프
S 접착시트
W 반도체 웨이퍼(피착체)

Claims

접착시트가 첩부된 피착체를 지지하는 지지 수단과, 상기 접착시트에 박리용 테이프를 첩부하는 테이프 첩부 수단과, 상기 박리용 테이프를 잡아당기는 잡아당김 수단과, 상기 접착시트 위에 위치하는 가이드 부재에 감아 장착됨과 아울러 접착시트의 박리동작에 추종하여 회행 가능한 엔드리스 부재를 포함하는 박리 보조 수단을 구비하고, 당해 박리 보조 수단이 접착시트에 절곡 가장자리를 형성하도록 잡아당김 수단으로 박리용 시트를 잡아당김으로써 접착시트가 박리 가능하게 설치된 시트 박리 장치에 있어서,
상기 엔드리스 부재에 대향하는 위치에 배치되고, 당해 엔드리스 부재와의 사이에 상기 접착시트를 끼워넣고 상기 절곡 가장자리를 엔드리스 부재에 밀착시킨 상태로 유지함과 아울러, 접착시트의 박리동작에 따라 회행 혹은 회전 가능한 끼워넣기 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 가이드 부재는 선단 첨예부를 구비한 에지 부재를 포함하고, 당해 에지 부재의 선단 첨예부에 의해 상기 접착시트의 절곡 가장자리가 형성되는 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 끼워넣기 수단은 상기 엔드리스 부재에 대하여 이간/접근 가능하게 설치된 롤러에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 끼워넣기 수단은 상기 엔드리스 부재에 대하여 이간/접근 가능하게 설치된 복수의 롤러와, 이들 롤러에 둘러 걸쳐진 끼워넣기용 엔드리스 부재에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 끼워넣기 수단은 상기 엔드리스 부재의 외주측에 위치하는 롤러와, 엔드리스 부재의 내주측에 위치하는 플래튼을 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
피착체에 첩부된 접착시트에 박리용 테이프를 첩부하고, 이 박리용 테이프를 소정의 박리방향으로 잡아당김으로써 상기 접착시트를 피착체로부터 박리하는 시트 박리 방법에 있어서,
상기 접착시트에 당해 접착시트의 박리동작에 추종하여 회행 가능한 엔드리스 부재를 접촉시키고,
상기 박리용 테이프를 잡아당겨 접착시트를 엔드리스 부재의 외면에 접하도록 박리방향으로 반전하고,
이어서, 상기 엔드리스 부재에 이간/접근 가능하게 설치된 끼워넣기 수단을 엔드리스 부재에 접근시키고, 접착시트를 끼워넣고 절곡 가장자리를 엔드리스 부재에 밀착시킨 상태로 유지하여 접착시트의 박리를 행하는 것을 특징으로 하는 시트 박리 방법.