JP4922201B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、特許文献1に記載されたシート剥離装置にあっては、テープチャックとヒータ工具との間の剥離用テープに弛み等が生じたときに、当該剥離用テープがウエハの縁部やウエハ保持用のテーブル面に接着してしまう。そのような状態で剥離動作が行われると、ウエハの破損や接着シートの剥離ミスといった剥離不良を発生する、という不都合を招来する。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、剥離用テープが接着シート以外の部位に接着してしまうことを防止しつつ、接着シートを被着体から確実に剥離することのできるシート剥離装置を提供することにある。
前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰り出し可能に支持する支持手段と、当該支持手段から繰り出された剥離用テープを支持して接着シートに相対する位置に案内するガイドプレートを含む案内手段と、剥離用テープを接着シートに接着させる接着手段と、接着シートに接着された剥離用テープを介して前記保持手段との相対移動により接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記案内手段は、前記ガイドプレートに開口部又は切欠を設けることによって構成されたマスキング手段を備え、当該マスキング手段により、前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接着することを防止する、という構成を採っている。
また、前記案内手段が剥離用テープのガイドプレートを備えて構成され、当該ガイドプレートに開口部を設けることでマスキング手段が構成された場合には、繰り出された剥離用テープを安定して支持することができるとともに、マスキング手段の構成をシンプルにすることができる。しかも、開口部内に位置する剥離用テープを接着シートに向かって押圧することで、所望の部位にのみ剥離用テープを接着させることができる。
更に、前記開口部が、接着シートの外周縁部分に向き合うように位置して前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止する開口縁部を設けたことで、剥離用テープが接着シート以外の部位に接着してしまう不都合を一層確実に回避することができる。
また、切断手段を備えた構成では、帯状の剥離用テープを用いて必要な長さ毎に切断して利用が可能となり、剥離用シートの無駄な使用をなくし、ランニングコストの低減が図れる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 保持手段
12 支持手段
13 案内手段
14 接着手段
15 剥離手段
16 切断手段
27 ガイドプレート
30 マスキング
31 本体部
32 可動部
33 開口部
36A 開口縁部
PT 剥離用テープ
PR 剥離経路
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (5)
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記被着体を保持する保持手段と、前記剥離用テープを繰り出し可能に支持する支持手段と、当該支持手段から繰り出された剥離用テープを支持して接着シートに相対する位置に案内するガイドプレートを含む案内手段と、剥離用テープを接着シートに接着させる接着手段と、接着シートに接着された剥離用テープを介して前記保持手段との相対移動により接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記案内手段は、前記ガイドプレートに開口部又は切欠を設けることによって構成されたマスキング手段を備え、当該マスキング手段により、前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接着することを防止することを特徴とするシート剥離装置。 - 前記開口部は、前記ガイドプレートを構成する本体部と、当該本体部の一端側に位置する可動部とで形成され、前記案内手段は、前記可動部が変位することで接着シートの剥離を行うための相対移動方向に剥離用テープの剥離経路を確保することを特徴とする請求項1記載のシート剥離装置。
- 前記開口部は、接着シートの外周縁部分に向き合うように位置して前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接触することを防止する開口縁部を有することを特徴とする請求項2記載のシート剥離装置。
- 前記剥離用テープの切断手段を更に含み、当該切断手段は、前記剥離手段が接着シートの剥離を開始するときに剥離用テープを切断することを特徴とする請求項1ないし3の何れかに記載のシート剥離装置。
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記接着シートを被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記被着体を保持する工程と、
前記剥離用テープを繰り出す工程と、
繰り出された剥離用テープを支持し、接着シートに相対する位置に案内するガイドプレートを含む案内手段を介して案内する工程と、
剥離用テープを接着シートに接着させる工程と、
前記接着シートに接着した剥離用テープを保持して当該接着シートを剥離する工程と、からなり、
前記案内手段は、一部に開口部又は切欠を形成することによって構成されたマスキング手段を備え、当該マスキング手段により、前記剥離用テープが接着シート以外の部位に接着することを防止することを特徴とするシート剥離方法。
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