JP2010028061A - シート剥離装置および剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1次貼付工程にて第1押圧ヘッド33によりテープTの第1接着領域を接着シートSに貼付し、1次剥離工程にて接着シートSの端部をウェハWから剥離してから、2次貼付工程にて第2押圧ヘッド34によりテープTの第2接着領域を接着シートSに貼付し、2次剥離工程にて接着シートS全体をウェハWから剥離することで、接着シートSを段階的に剥離することができる。従って、ウェハWの起き上がりに伴う割れを防止して接着シートSをウェハWから円滑に剥離することができる。
【選択図】図1
Description
このようなウェハWの起き上がりや割れを防止するためには、接着領域90のウェハWの中心に向かう径方向の長さ(距離d0)を短くすれば、解消されるが、ウェハWの全面から接着シート91を剥離する張力にその接着力が耐えられず、剥離途中で剥離用テープTが接着シート91から分離してしまい、剥離不良を生じてしまうという不都合を生じる。特に、近年ウェハ外径が大型化するに伴い、接着シートの剥離に要する張力は大きくなる傾向にある。
以上のような本発明のシート剥離装置およびシート剥離方法によれば、段階的に剥離用テープを接着シートに貼付して剥離することで、被着体の起き上がりを抑制しつつ、接着シートを被着体から円滑に剥離することができる。
さらに、1次剥離においては、第2接着領域を超えた領域までを剥離しておくことが好ましい。このようにすることで2次剥離において、第2接着領域の接着部分が面状に起き上がっても、被着体に何ら影響を与えることなく接着シートを被着体から円滑に剥離することができる。
なお、第2実施形態以降において、次の第1実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材、および同様な機能を有する構成部材には、第1実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
図1は、第1実施形態に係るシート剥離装置1を示す側面図である。
図1において、シート剥離装置1は、被着体としてのウェハWの表面に貼付された接着シートSを剥離用テープであるテープTを用いて剥離する装置であって、ウェハWを保持する保持手段であるテーブル10と、テープTを繰出す繰出手段である繰出ユニット20と、繰出されたテープTを接着シートSに貼付する貼付手段である貼付ユニット30と、ウェハWとテープTとを相対移動させる移動手段40とを備えて構成されている。なお、ウェハWはダイシングテープDを介してリングフレーム12と一体化されている。
ウェハWから接着シートSを剥離する手順としては、先ず、図1に示すように、ウェハWがテーブル10の所定位置に保持されるとともに、シート剥離装置1の各部が初期位置設定された状態において、テープ切断部26および貼付ユニット30が上方に移動して退避してから、単軸ロボット41を介してチャック部材28が繰出ユニット20に向かって移動する。そして、下方に位置する把持爪27がテープ受け板253に当接すると、テープ受け板253をブッシュ251方向に押し込み、テープTの先端を上下の把持爪27間に受け入れる。そして、チャック部材28は、把持爪27を閉じてテープTの先端を把持するとともに、テープTを把持したままで繰出ユニット20から離れる方向に移動し、テープTを所定長さ引き出して停止する。
また、第1接着領域R1としては、図4(B)に示すように、点付けのような形状であってもよく、この場合には、第1ヘッド先端部332は、細長棒状に形成されている。すなわち、第1接着領域R1の形状および接着面積としては、以下の1次剥離工程にて接着シートSの端部をウェハWから剥離するのに十分なものであればよく、ウェハWの径寸法や接着シートSの接着強度などに応じて適宜に設定することができる。
すなわち、第1押圧ヘッド33および第2押圧ヘッド34により2回に分けてテープTを接着シートSに貼付し、1次剥離工程および2次剥離工程にて接着シートSをウェハWから剥離することで、テープTとともにウェハWが起き上がることを抑制することができ、接着シートSを端部から確実に剥離することができる。
さらに、1次剥離工程で先に接着シートSの端部を剥離しているため、2次剥離工程においてウェハWが起き上がって割れてしまうことを確実に防止することができる。
次に、本発明の第2実施形態を図5に基づいて説明する。
図5(A)には、シート剥離装置1Aの動作のうちの1次貼付工程が示され、図5(B)には、2次貼付工程が示されている。
本実施形態のシート剥離装置1Aでは、貼付手段としての貼付ユニット60の構成が単一の押圧ヘッド64からなることが前記第1実施形態と相違するものの、その他の構成は、前記シート剥離装置1と略同様である。
また、前記実施形態では、剥離用テープとして感熱接着性の接着テープであるテープTを用いたが、これに限らず、剥離用テープが感圧接着性の接着テープ等で構成されてもよいし、また、剥離対象の接着シートとして接着シートSを示したが、これに限らず、適宜なシート、フィルム、テープ等であってもよい。
また、前記実施形態では、ウェハWとテープTとの両方を移動させて相対移動させる移動手段40を構成したが、これに限らず、ウェハWとテープTとのいずれか一方のみを移動させるように移動手段40を構成してもよい。また、ウェハWとテープTとを相対移動させるのは、1次剥離工程および2次剥離工程の両方であってもよいし、いずれか一方であってもよい。
10 テーブル(保持手段)
20 繰出ユニット(繰出手段)
30,60 貼付ユニット(貼付手段)
33 第1押圧ヘッド
34 第2押圧ヘッド
35 ヒータ(加熱手段)
40 移動手段(貼付位置移動手段)
64 押圧ヘッド
R1 第1接着領域
R2 第2接着領域
S 接着シート
T テープ(剥離用テープ)
W ウェハ(被着体)
Claims (6)
- 表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、
前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段とを備え、
前記貼付手段は、第1押圧ヘッドおよび第2押圧ヘッドを含んだ少なくとも2つの押圧ヘッドを有して構成され、前記第1押圧ヘッドにより前記剥離用テープの第1接着領域を前記接着シートに貼付し、前記第2押圧ヘッドにより前記剥離用テープの第2接着領域を前記接着シートに貼付することを特徴とするシート剥離装置。 - 表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置であって、
前記被着体を保持する保持手段と、
前記剥離用テープを繰出す繰出手段と、
前記繰出された剥離用テープを前記接着シートに押圧して貼付する貼付手段と、
前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させる移動手段と、
前記被着体と前記貼付手段とを相対移動させて前記剥離用テープを前記接着シートに貼付する位置を第1貼付位置および第2貼付位置を含んだ少なくとも2箇所の貼付位置に移動させる貼付位置移動手段とを備え、
前記第1貼付位置において前記貼付手段により前記剥離用テープの第1接着領域を前記接着シートに貼付し、前記第2貼付位置において前記貼付手段により前記剥離用テープの第2接着領域を前記接着シートに貼付することを特徴とするシート剥離装置。 - 前記剥離用テープの第1接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて1次剥離を行い、この1次剥離の後に、前記剥離用テープの第2接着領域を前記接着シートに貼付してから、前記移動手段により前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて2次剥離を行うことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート剥離装置。
- 前記剥離用テープは、感熱接着性の接着テープであって、
前記貼付手段は、加熱手段によって加熱される押圧ヘッドを有して構成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のシート剥離装置。 - 前記剥離用テープの第1接着領域は、前記被着体の端縁に沿って設けられ、前記第2接着領域は、前記第1接着領域よりも前記被着体の中央寄りに位置するとともに、当該第1接着領域よりも広い接着面積を有して設けられることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のシート剥離装置。
- 表面に接着シートが貼付された被着体と前記接着シートに貼付した剥離用テープとの相対移動によって前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法であって、
前記被着体を保持する工程と、
前記剥離用テープを繰出す工程と、
前記繰出された剥離用テープの第1接着領域を前記接着シートに押圧して貼付する1次貼付工程と、
前記1次貼付工程に続いて、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートの端部を剥離する1次剥離工程と、
前記1次剥離工程に続いて、前記剥離用テープの第2接着領域を前記接着シートに押圧して貼付する2次貼付工程と、
前記2次貼付工程に続いて、前記被着体と前記剥離用テープとを相対移動させて前記接着シートを剥離する2次剥離工程とを備えることを特徴とするシート剥離方法。
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