JPS61276231A - ウエハ保護フイルムの切断方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は例えば集積回路形成用の基板となる半導体ウ
ェハのようなウェハに貼着した粘着フィルムからなる保
護フィルムをウェハの周縁に沿って切断する方法に関す
るものである。

〔従来の技術〕

従来この種の保護フィルムの貼着方法として、前もって
一定寸法に切断された保護フィルムを、ゴムローラ等に
より、手作業でウェハ上に貼着した後、人手によりウェ
ハの外周にカッタナイフを当てがって切抜く方法が行な
われていた。

また、フローティング式の吸着テーブルとこのテーブル
上に吸着せしめたウェハ上面に粘着フィルムからなる保
護フィルムを貼着する動力駆動の貼着ローラと、保護フ
ィルムを貼着後に環状のガイドレールに沿って手動で移
動させる移動台に設けたカッタで保護フィルムを切断す
る半自動の装置もある。

（発明が解決しようとする問題点〕 上記のような従来方法において、全てを手作業で行なう
方法はウェハに対してカッタナイフを必要以上の力で押
し付けてウェハを損傷させたり、ウェハの外形と切抜い
た保護フィルムの寸法精度が悪くなったりして作業性が
きわめて悪いものであった。

また、半自動の装置は作業性は相当向上したが保護フィ
ルムの切断は手動にてガイドレールに沿ってカッタを動
かすものであるから、作業性の点でいま一歩というもの
であった。

〔問題点を解決するための手段〕 上記の問題点を解決するために、この発明はウェハを上
面に吸着して固定し、このウェハに保護フィルムの貼着
などを行なう真空吸引式の吸着テーブルを回動および昇
降自在とし、吸着テーブル上にウェハを吸着せしめると
ともに、このウェハにテープ状の保護フィルムを貼着し
たのち、ウェハに貼着されている保護フィルムをこれに
続くテープ状フィルムから切離し、ついで吸着テーブル
を上昇させることによって保護フィルムを不回転部分よ
り＃ｉＩＩＭシたのち、吸着テーブルを回転させつつカ
ッタをウェハの周縁附近に位置するようにガイドして保
護フィルムをウェハの周縁に沿って切断する方法を提供
するものである。

〔実施例〕

第１図において、１は基板、２はこの基板上に図示省略
しである複数の支柱により支持された支持板で、この支
持板２上に図示省略しであるブラケットを介して固定テ
ーブル３が設けである。

４は固定テーブル３に設けた円形の開口で、この開口内
に円板状の吸着テーブル６を設ける。

この吸着テーブル６の上面には第２図に示すような真空
吸引用の溝７を設け、テーブル６の下部中央にはスプラ
イン軸８を間怠に固定するが、この軸８には溝７に通じ
る連通孔１０を設け、軸８の下端にはロータリエルボ１
１を取付けて、このエルボ１１に図示省略しである真空
吸引装置に通じるホース１２を連結する。

１５は支持板２に固定した軸受で、この軸受１５内にニ
ードルベアリングを介して回転筒１６を回動自在で昇降
不可に取付け、その内部にボールスプライン１７を介し
て前記スプライン軸８を昇降自在で、回転筒１６ととも
に回転するように挿入する。

前記回転筒１６の中間部外側にはギヤ１８を一体に設け
、その上部において回転筒１６の外側にニードルベアリ
ングを介して回転自在にはめた筒体２０の下部外周のフ
ランジと、前記テーブル６の下部に着脱自在に固定した
カム２１の間には押バネ２２を取付けてテーブル６をフ
ローティング状とする。

第１図の２５は、基板１上に固定したエアまたは油圧あ
るいは電動式のシリンダで、このシリンダ２５により上
下に駆動されるリフタ２６に前記スプライン軸８の下端
に形成した丸棒部２７をベアリングを介して昇降および
回動自在に取付け、この丸棒部２７の下部外側の雄ネジ
にはストッパ２８とロックネジ２９をねじ込んで吸着テ
ーブル６の位置を決めている。

３１は支持板２上に固定した軸で、この軸３１に回転自
在に取付けたギヤ３２を前記ギヤ１８に噛合させる。

３３は支持板２上に固定した軸受（図示省略）に回動自
在に取付けた横向きの駆動軸で、この軸３３の外端にハ
ンドル３４を固定し、内端にはベベルギヤ３５を固定し
て、このギヤ３５を前記ギヤ３２上に固定したベベルギ
ヤ３６に噛合させる。

また、駆動軸３３をモータなどの動力駆動にしてもよい
。

第２図、第３図の３８は吸着テーブル６の側方において
、支持板２上に固定した軸、３９はこの軸３８を中心と
して回転するアーム、４０はアームの外端に取付けたカ
ムフォロア、４１はカムフオロア４０をカム２１の外周
に圧着させるためアーム３９と支持板２の間に張った引
バネである。

４５は前記アーム３９上に固定したブラケットで、その
上に円弧状の長孔とボルトなどによってカッタ取付台４
６が上下位置および取付角度が調節自在に固定されてい
る。

カッタ取付台４６上には、直線ガイドによりホルダ４７
を第３図の矢印方向に進退するように取付け、ホルダ４
７の先端にはカッタ４８を固定し、ホルダ４７の両側に
は、ホルダ４゛７を吸着テーブル６の方へ押すバネ４９
を設ける。

つぎに、上記実施例の作用を説明すれば、最初にウェハ
６０を下降位置の吸着テーブル６上に載せ、このテーブ
ル上に設けた指示線などにより正確に位置決めしたのち
、真空吸引を行ないウェハ５０をテーブル６上に固定す
る。

ついで、図示省略しである保護フィルム貼着装置を働か
せてテープ状の保護フィルム５１をその粘着面を下にし
てウェハ５０上に張り渡し、ついで、ゴムなどからなる
貼着ローラ５２をフィルム５１上に圧着しつつ転がして
フィルム５１をウェハ５０上に貼着する。

前記の貼着において、ローラ５２が吸着テーブル６上に
載ったとき、バネ２２の反力によりローラ５２とテーブ
ル６間の加圧力が一定となる。

こうして、ウェハ５０に保護フィルム５１を貼着し、ロ
ーラ５２がテーブル６上から去ったのち、図示省略しで
あるカッタにより保護フィルム５１を吸着テーブル６の
前後でテープ状のフィルムから切り離す。

つぎに、シリンダ２５を作用させて、スプライン軸８を
上昇させ、吸着テーブル６上のフィルム５１を固定テー
ブル３などから剥離させてテーブル３とともに回転し得
る状態とする。

そののち、アーム３Ｓを第２図、第３図のような作用位
置につけてバネ４１によりカムホロア４０をカム２１に
圧着させる。

また、カッタ取付台４６、ホルダ４７を調節してカッタ
４８をウェハ５０の周囲のフィルム５１に切込ませる。

つぎに、ハンドル３４により駆動軸３３を回すとベベル
ギヤ３５，３６、ギヤ３２．１８、回転筒１６、ボール
スプライン１７を介してスプライン軸８がカム２１、テ
ーブル６とともに回転するので、回転しないカッタ４８
がウェハ５０の周縁に沿ってフィルム５１を切断する。

上記のさい、カッタ４８がウェハ５０の円形の周縁を切
っているときはカムフォロア４０もカム２１の円形の周
縁に接していてカッタ４８は一定の位置で動かないから
フィルム５１が円形に切断されるが、ウェハ５０のオリ
エンテーションフラット５３がカッタ４８の部分にくる
と同時にカム２１のフラット部もカムフォロア４０の部
分にくるのでこの部分ではカムフォロア４０とともにカ
ッタ４８が若干動いて、フィルム５１をフラット５３に
沿って直線状に切り抜く。

ウェハ５０とカム２１の大きさと形状を近似とし、第２
図に示すようにカッタ４８の刃先と、カム２１とカムフ
ォロア４０の接点の垂直方向の位置が鉛直線上にあるよ
うにすればカッタ４８の刃先はカム２１に倣って動き、
フィルム５１をウェハ５０の形状の通りに切り抜（が、
カム２１をウェハ５０よりも小さくし、かつウェハ５０
と相似形としても同じ結果が得られる。

上記実施例はカム２１にカッタ４８を倣わせる方法であ
るが、カムを用いない切断方法を第４図ないし第７図に
基づいて説明すると、第４図のように表面に硬度を与え
た吸着テーブル６にカッタ４８の刃先をあて、ウェハ５
０の側面をガイドとして切断する方法と第５図のように
吸着テーブル６上にウェハ５０の外径と近似形の溝５４
を加工し、その溝の中にカッタ４８の刃先をあて切断し
ていく方法がある。また、ウェハ５０の外形よりの保護
フィルム５１の切断面のはみ出し量は、カッタ４８の傾
きにより調整可能である。

ウェハ５０の外形とほとんど同寸法に切断したい場合は
第６図のように、保護フィルム５１を吸着テーブル６の
上面に移しかえることにより可能である。

第７図のように吸着テーブル６上にウェハ５０と近似形
状の突部５５を設け、この上にウェハ５０を吸着させて
フィルム５１を突部５５の外周にはめたリング５６で押
えてフィルム５１に張力を与えた状態を保ち、カッタ４
８に熱を加えて溶断によりフィルム５１を切断する場合
もある。保護フィルム５１の基材が縮み易いものなどの
、溶断に不都答なものはカッタ４８に加える熱のコント
ロールをし、熱溶断とカッタ４８の刃先による切断を併
用しながら保護フィルム５１を切断する場合もある。

切断後、不用な外周のフィルムを剥ぎ取り、吸着テーブ
ル６の吸着を開放し、保護フィルム５１が貼着されたウ
ェハを取り外したのちテーブル６を元の位置に下げる。

〔効果〕

この発明は上記のようにウェハを上面に吸着して固定し
、このウェハに保護フィルムの貼着などを行なう真空吸
引式の吸着テーブルを回動および昇降自在とし、この吸
着テーブル上にウェハを吸着せしめるとともに、このウ
ェハにテープ状の保護フィルムを貼着したのち、ウェハ
に貼着されている保護フィルムをこれに続くテープ状フ
ィルムから切離し、ついで吸着テーブルを上昇させるこ
とによって保護フィルムを不回転部分より剥離したのち
、吸着テーブルを回転させつつカッタをウェハの周縁附
近に位置するようにガイドして保護フィルムをウェハの
周縁に沿って切断する方法であるからカッタの動きは極
くわずかとなり、従来の方法と異なり、手作業による熟
練度を必要とせず、カッタによりウェハの周縁を強く押
圧して損傷せしめるおそれもないなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明方法を実施する装置の一部縦断正面図
、第２図は同上要部の平面図、第３図はカッタ取付部の
正面図、第４図ないし第７図は切断方法の各側を示す一
部縦断正面図である。 ６・・・・・・吸着テーブル、４８・・・・・・カッタ
、５０・・・・・・ウェハ、５１・・・・・・保護フィ
ルム。 第１図 第２図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェハを上面に吸着して固定し、このウェハに保
   護フィルムの貼着などを行なう真空吸引式の吸着テーブ
   ルを回動および昇降自在とし、吸着テーブル上にウェハ
   を吸着せしめるとともに、このウェハにテープ状の保護
   フィルムを貼着したのち、ウェハに貼着されている保護
   フィルムをこれに続くテープ状フィルムから切離し、つ
   いで吸着テーブルを上昇させることによって保護フィル
   ムを不回転部分より剥離したのち、吸着テーブルを回転
   させつつカッタをウェハの周縁附近に位置するようにガ
   イドして保護フィルムをウェハの周縁に沿って切断する
   ことを特徴とするウェハ保護フィルムの切断方法。
2. （２）前記カッタのガイド方法はカッタの鋭利な刃先を
   吸着テーブルの境界位置に当てがって、カッタをウェハ
   の周縁によりガイドすることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載のウェハ保護フィルムの切断方法。
3. （３）前記カッタのガイド方法はウェハの形状と近似の
   外形カムを設け、このカムを吸着テーブルと同期回転さ
   せることによりカッタをガイドすることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項記載のウェハ保護フィルムの切断方
   法。