KR900001038B1 - 링과 박판의 접착장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

링과 박판의 접착장치

제1도는 본 발명 접착장치의 일실시예를 나타낸 측면도.

제2도는 제1도의 확대 종단측면도.

제3도는 제2도의 확대 평면도.

제4도는 제2도의 Ⅳ-Ⅳ선의 횡단평면도.

제5도는 분리수단의 확대 종단측면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2 : 링지지테이블 3 : 링

7 : 박판지지테이블 15 : 박판

35 : 접착필름 44 : 지지틀

A : 접착수단 B : 도려내기수단

C : 분리수단 G : 가이드틀

본 발명은 예를들면 집적회로 형성용의 기반이 되는 실리콘박판(Silicone Wafer)과 같은 원판형상등의 박판과, 이 박판의 캐리어지그(carrier jig)가 되는 원형 환형상등의 링을 한장의 접착필름에 붙이는 반자동식의 접착장치에 관한 것이다.

종래에는 상기와 같은 링형상의 캐리어지그에 대한 필름의 접착과, 필름에 대한 실리콘박판등의 접착은 모두 손작업으로 행하고, 링의 주위에서 삐져나온 필름을 도려내는 것도 수작업으로 행해지고 있었기 때문에 매우 많은 잔손질이 필요하며, 또한 주름이 생기지 않도록 필름을 펴는 일은 곤란하여, 숙련을 필요로 하는 등의 문제가 있었다.

본 발명은 위와 같은 링에 필름을 붙임과 동시에 박판을 필름에 붙이는 작업을 반자동화한 것으로서, 링과 박판의 배치는 수작업으로 행하고, 링과 박판에 대한 필름의 접착은 자동적으로 행하며, 링에 펼쳐진 필름의 절단은 수동조작이기는 하나, 가이드레일을 따라 절단하여 후속하는 필름의 절단도 가이드를 따라서 절단할수 있도록 하였으므로, 숙련자가 아니더라도 필름을 완전하게 접착할 수 있고 필름의 절단도 쉽고 또한 안전 확실하게 행해지는 반자동의 접착장치를 제공하는 것이다.

이하 본 발명의 접착장치의 상세한 것을 도면에 표시한 실시예에 따라 설명한다.

(1)은 프레임, (2)는 프레임상부에 배치한 링지지테이블이다. 이 테이블(2)은, 제2도와 같이 프레임(1)내의 지지대(12)위에 착설한 복수개의 지주(13)로 지지되어 있으며, 이 테이블(2)위에는 제4도와 같이 링(3)의 위치 결정편(4)(5)이 고정되어 있고, 편(4)은 링(3)의 외주 일부의 직선부(6)을 받아, 좌우의 편(4)은 링(3)의 양외주를 받는 것으로서 어느 편도 링(3)의 두께보다도 얇은 것이다. 또, 이 편(片)대신에 요부(凹部)를 형성하여도 된다.

테이블(2)의 중앙에는 원형의 개구(14)를 형성하고, 이 개구(14)에 박판지지테이블(7)이 배치되게 된다. 이 테이블(7)은 제2도에 나타낸 바와 같은 원통형이고, 그 하단의 지지다리(8)가 프레임(1)내의 상기 지지대(12)의 가이드구멍에 자유로이 오르내릴 수 있게 끼워 맞추어져 있고, 또한 테이블(7)의 상면이 테이블(2)의 상면과 동일한 면이 되도록 스프링(10)으로 밀어올리고, 스토퍼(11)로 상한의 높이를 한정한다. 또, 이 테이블(7)에는 적당한 회전방지 장치를 설치하게 된다.

또, 이 박판지지테이블(7)위에는 박판(15)의 위치결정용의 얕은 요소 또는 표를 형성하고, 또한 필요에 따라서, 복수의 진공흡인구멍을 형성하여, 테이블(7)의 박판을 진공흡인에 의한 방법으로 고정하는 경우도 있다.

제1도, 제2도의 (G)는 프레임(1)내의 상부의 가이드틀이고, 양단의 틀(16)(17)은 좌우한쌍의 가이드레일(18)에 의하여 일체가 되게 결합한 것이다. 이 가이드틀(G)은 그 일단의 틀(17)을, 프레임(1)일단에 착설한 구동축(20)에 의하여 자유로이 회동할 수 있게 받쳐진다. 또, 각 가이드레일(18)에는 접착수단(

着手段)(A)을 부착하기 위한 좌우한쌍의 부착대(19)가 자유로이 슬라이딩 운동할 수 있게 끼워 맞추어지게 된다.

(21)은 프레임(1)내에 있어서, 상기 구동축(20)에 고정된 좌우한쌍의 타이밍풀리(timing pully)이고, 이 풀리(21)와 프레임(1)의 타단에 착설한 좌우한쌍의 타이밍풀리(22)사이에 좌우한쌍의 타이밍벨트(23)를 결합시키고, 각 벨트의 양단을 각 부착대(19)에 고정해서 양벨트(23)에 의하여 양부착대(19)를 동시에 이동시키도록 구성하고, 구동축(20)을 제1도의 정역전모우터(24)에 의하여 구동한다.

접착수단(A)은 앙부착대(19)에 양단이 자유로이 회동할 수 있게 부착한 고무제의 로울러(25)와 같이 부착대(19)에 자유로이 회동할 수 있게 부착한 가이드로울러(26)와, 상기 로울러(25)와 같은 축에 부착한 좌우한쌍의 요동편(27)에 부착한 필름 지지흡착대(28)와 필름 누름로울러(29)로 구성되어 있다. 또, 요동편(27)은 스프링(30)에 의하여 로울러(29)를 로울러(26)에 압착시키는 상태와 흡착대(28)를 아래쪽으로 회동시키는 상태로 절환될 수 있도록 되어 있다.

제1도의 (32)는 프레임(1)의 앞부분에 착설된 좌우한쌍의 지지판이고, 이 지지판(32)에 자유로이 착탈할 수 있게 부착된 권축(34)에 감은 테이프 형상의 접착필름9(

着 film)(35)의 세퍼레이터(Separator)(33)는 윗쪽의 권취축(31)에 감겨지도록 권축(34)과 권취축(31)을 연동시킨다. 단, 세퍼레이터가 없는 필름을 사용할 경우는 권취축(31)은 소용없다.

상기 테이프 지지흡착대(28)는 중공(中空)이고 하면에 다수개의 흡기구멍을 가지고, 도시하지 않은 가요성파이프에 의하여 진공흡인 장치에 연결되어, 변환밸브의 작동에 의하여 흡착대(28)의 하면에 상기 접착필름(35)을 접착면이 아래로 향하게 흡착하도록 구성한다.

또, 상기 가이드틀(G)의 자유단축의 안쪽에는 제2도와 같이 로울러(38)를 착설하고, 이 로울러(38)의 아래쪽에 있어서, 프레임(1)에 착설된 지지대(39)위에는 에어실린더(40)에 의하여 승강하는 압상부재(押上部材)(41)를 착설하고, 이 부재(41)에 의하여 로울러(38)를 압상할 수 있게 한다.

제1도, 제2의 (43)은 프레임(1)의 단부 양측에 고정된 좌우한쌍의 부착틀이고, 이 양부착틀(43)의 상단에는 지지틀(44)의 일단양측의 아암(42)을 축(45)에 의하여 기복자재하게 부착한다. 지지틀(44)의 중앙에는, 이 틀(44)을 수평으로 하였을때, 테이블(2)의 개구(14)와 동심이되는 개구(46)를 형성하고, 이 개구(46)의 상부외주에는 T형 횡단면의 원형 가이드레일(47)을 착설한다.

(B)는 필름의 도려내기 수단이며, 제2도, 제3도와 같이 3개의 로울러(48)에 의하여 가이드레일(47)에 부착한 이동부재(49)와, 이 부재(49)에 부착된 자유회전의 원판형상 커터(50)로 구성되어 있다. 또, 이 이동부재(49)위에는 핸들(51)을 착설한다.

(C)는 필름의 분리수단이며, 제3도, 제5도와 같이, 지지틀(44)에 형성한 가로방향의 가이드구멍(54)에 자유로이 슬라이딩 운동할 수 있게 삽입한 종축(55)의 하단에 이동체(56)를 고정하고, 이 이동체(56)에 커터(57)를 고정하고, 종축(55)의 턱과 지지틀(44) 사이에는 누름스프링(58)을 부착하여 이동체(56)를 지지틀(44)의 하면에 압착시키고, 종축(55)의 상단에는 핸들(59)를 착설해서 핸들(59)을 스프링(58)에 대향해서 누르면 커터(57)가 필름(35)에 절단해 들어가도록 한 것이다. 또, 이동체(56)에는 지지틀(44)의 가장자리에 접촉하는 회전방지겸용의 가이드편(60)을 착설한다. 또한, 제2도, 제4도의 (52)는 필름접착후의 링(3)의 뽑아내기용의 손가락구멍이다.

다음에 그 작용을 설명한다.

먼저, 제1도와 같이 지지틀(44)을 위쪽으로 돌려놓고, 제4도와 같이 링(3)을 테이블(2)위에 올려놓고 위치결정편(4)(5)으로 위치결정을 한다.

다음에, 박판(15)을 중앙의 테이블(7)위에 올려놓고 위치결정을 하고, 필요에 따라서 진공흡인방법으로 테이블(7)위에 고정한다. 접착필름(35)은 제1도, 제2도와 같이 세트하고, 필름의 선단은 접착면이 아래에 위치하도록, 흡착대(28)의 하면에 진공흡인으로 지지한다. 이어서 실린더(40)를 작용시켜서 압상부재(41)를 상승시키고 로울러(38)를 개재해서 가이드틀(G)를 압상하고, 접착수단(A)의 접착로울러(25)가 테이블(2)위에 접촉하지 않도록 한다.

이 상태로 모우터(24)를 정회전시키면 부착대(19)와 함께 접착수단(A)이 제2도의 왼쪽방향으로 이동을 시작하고, 필름(35)을 권축(34)에서 끌어내어간다. 이때 권축(34)에 연동하는 권취축(31)이 세퍼레이터(33)를 감는다.

이렇게해서, 필름(35)이 테이블(2)위에 뜬상태로 링(3)과 박판(15)위에 펼쳐진 뒤, 실린더(40)를 작용시켜서 압상부재(41)를 하강시키고, 접착필름(35)을 테이블(1)위에 접촉시킨다. 이어서, 흡착대(28)에 의한 필름(35)의 흡착을 풀고, 모우터(24)를 역전시켜서, 접착수단(A)이 원위치로 이동하기 시작하면, 접착로울러(25)가 필름(35)을 링(3)이나 박판(15)에 압착하면서 이동한다.

필름(35)을 접착한 접착수단(A)이 원위치에서 정지한 후, 상기 지지틀(44)을 제2도와 같이 테이블(2)위에 내리고, 핸들(51)을 내리면 링(3)위의 필름(35)에 도려내기수단(B)의 커터(50)가 눌려지므로, 이 상태에서 이동부재(49)를 가이드레일(47)에 연해서 이동시키면, 커터(50)는 회전하면서 필름(35)을 원형으로 잘라나간다. 이렇게해서 이동부재(49)를 가이드레일(47)을 따라서 약 2회전시키면 필름(35)이 링(3)위에서 원형으로 도려지게 된다.

그 뒤, 분리수단(C)의 핸들(59)을 눌러서 커터(57)가 필름(35)의 일단을 잘라내게 한다. 이동체(56)를 가이드구멍(54)의 일단에서 타단으로 이동시키면 필름(35)이 분리된다.

이렇게해서 필름(35)에 접착된 링(3)과 박판(15)을 테이블(2)위에서 꺼내고, 그 주위의 붙어있는 나머지필름(35)을 제거하고, 이어서 앞서와 마찬가지로 후속하는 필름(35)의 선단을 흡착대(28)에 흡착시키고, 실린더(40)에 의하여 압상부재(41)를 상승시켜서 다음공정으로 들어간다.

본 발명은 상기한 바와 같이 링과 박판을 정위치에 지지하는 테이블과, 이 테이블위를 이동하여 접착필름을 링과 박판위에 접착하는 접착수단을 착설하고, 테이블의 일단 상방에 자유로이 기복(起伏)할 수 있게 부착된 지지틀에는 링위에 부착된 접착필름을 링을 따라 도려내는 도려내기 수단과 링과 박판상에 접착된 필릅을 후속 접착필름으로부터 분리시키는 분리수단을 착설한 것이며, 박판과 링은 테이블위의 정위치에 수작업으로 배치하는 것이므로, 매우 정확히 배치할 수 있다.

또, 수작업으로 정확히 펴는 일이 곤란한 필름의 접착은 접착수단에 의하여 자동적으로 행해지므로 숙련자가 아니더라도 필름의 접착작업은 용이하고, 또한 그 뒤의 필름의 도려내거나 분리작업은 수작업이기는 하지만 작업자는 커터를 필름에 꽉 눌러서 이동부재를 가이드에 따라 움직이기만 하면 되므로 정확한 필름의 도려내거나 분리가 매우 용이하게 할 수 있고, 위험도 적은 등의 효과가 있다.

또한, 실시예와 같이 박판지지테이블을 스프링에 의하여 부유(浮游)식으로 지지한 경우는 필름접착시에 있어서, 박판의 내압하중에 의하여 파손하기 이전에 박판지지테이블이 스프링을 압축하여 하강하기 때문에 안전하다. 그러나, 그 걱정이 없는 재료의 경우는 박판지지테이블을 링 지지테이블과 일체가 되게 해도 된다.

Claims (2)

1. 링(3)과 박판(15)을 정위치에 지지하는 테이블(2,7)과, 이 테이블(2)위를 가이드틀(G)을 따라 왕복운동하는 접착수단(A)를 설치하고, 이 접착수단(A)에는 접착면을 하면으로하여 권축(34)에서 인출된 접착필름(35)의 선단을 흡취하여 접착수단(A)의 왕복시에 접착필름(35)이 상기 링(3)과 박판(15)위에 접착하지 않도록 펼친후 접착필름(35)의 흡착을 해제하는 필름지지 흡착대(28)와 접착수단(A) 후퇴시에 상기 펼쳐져 있는 접착필름(35)을 링(3)과 박판(35)위에 접착시키는 접착로울러(25)가 설치되어 있고, 상기 테이블(2)의 일단 상방에 있어서 축(45)을 지점으로 자유로이 기복할 수 있는 지지틀(44)을 배치하여 이 지지틀(44)의 중앙에 환상형의 가이드레일(47)을 설치하고 이 가이드레일(47)에는 이 레일(47)을 따라서 이동하는 이동부재(49)와 이 이동부재(49)에 부착된 커터(50)로 이루어진 필름도려내기수단(B)을 설치하고, 또, 상기 지지틀(44)의 상기 권축(34)쪽에는 가로방향의 가이드구멍(54)을 따라 이동하고 또 자유로이 승강할 수 있는 이동체(56)와 이 이동체(56)의 하부에 부착된 커터(57)로 이루어진 필름 분리수단(C)을 설치하고, 상기 지지틀(44)을 링(3)과 박판(15)상에 접착된 상태의 접착필름(35)위에 내리고 상기 도려내기수단(B)을 가이드레일(47)을 따라 이동시키는 방법으로 상기 링(3)위에 접착된 필름(35)을 도려내고 상기 필름분리수단(C)을 눌러서 커터(57)로 필름(35)을 분리하도록 구성한 것을 특징으로 하는 링과 박판의 접착장치.
2. 제1항에 있어서, 링 지지테이블(2)과 박판지지테이블(7)을 별개체로 하고, 링지지테이블(2)을 프레임(1)에 고정하고 박판지지테이블(7)을 스프링(10)에 의하여 부유식으로 구성한 것을 특징으로 하는 링과 박판의 접착장치.

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