JPH0671971B2 - テ−プ貼着装置におけるテ−プ端部保持装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば集積回路形成用の基盤となるシリコ
ンウエハのような円形の薄板と、この薄板のキヤリヤ治
具となる環状リングとに片面粘着テープを貼付けるよう
にしたテープ貼着装置のテープ端部保持装置に関するも
のである。

〔従来の技術およびその問題点〕

定位置に配置されたシリコンウエハ等の被着体の被着面
に対して接触・離反可能に、かつ被着面に沿つて平行移
動可能に転圧ローラを設け、この転圧ローラを被着面に
接触させた状態で被着面に沿つて移動して両者間に引き
出された片面粘着テープを被着体に貼付けるようにした
テープ貼着装置は従来から存在する。

ところで、上記テープ貼着装置は、片面粘着テープの貼
着後において、貼着完了位置から前方で片面粘着テープ
を切断するため、次回の貼着作業を行なう場合、片面粘
着テープの先端部を保持し、その片面粘着テープが転圧
ローラの外周に接触する状態で片面粘着テープを所定量
繰り出す必要がある。

従来は、片面粘着テープの切断後、テープの先端部を人
手で保持するようにしていたため、貼着の作業能率が悪
く、また装置内部に手を差し入れる必要があるため危険
であつた。

〔発明の課題〕

そこで、この発明は上記の不都合を解消し、テープ端部
を機械的に保持し得るようにして貼付作業の能率向上を
図り、安全性を高めることを技術的課題としている。

〔発明の構成〕

上記の課題を解決するために、この発明は、被着体の被
着面に片面粘着テープを貼付ける転圧ローラのテープ貼
着行程の後行側に転圧ローラと共に移動する挾持バーを
上記転圧ローラと平行に設け、この挾持バーの片面粘着
テープと対向する面の両端部に一対の凹部を形成し、こ
の凹部の底面とで片面粘着テープの両側部を挾持する一
対の挾持爪を挾持バーの両端部に回動自在に取付け、そ
の挾持爪の回動装置を上記挾持バーで支持した構成とし
たのである。

〔作用〕

上記の構成から成るテープ端部装置は、被着体に貼着さ
れた片面粘着テープがカツタにより切断されると、回動
装置が作動して一対の挾持爪を回動せしめ、その挾持爪
と挾持バーの凹部底面とで片面粘着テープの先端部の両
側部を挾持し、片面粘着テープを転圧ローラの外周部に
かかる状態で保持するようになつている。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて説明す
る。

第１図乃至第３図に示すように、フレーム１の前部には
テーブル支持枠２が取付けられ、その支持枠２の上部に
被着体支持用テーブル３が設けられている。このテーブ
ル３の上方に配置されたカツタフレーム４は、一対のア
ーム５を備え、そのアーム５の端部が上記フレーム１の
後部から立ち上がる一対の支持板６にピン７で回動可能
に支持され、そのピン７を中心としてカツタフレーム４
を回動して第１図の鎖線（イ）で示すように起こすと、
支持板６に設けたストツパ８にアーム５の端部が当接
し、カツタフレーム４は起立状態で保持される。

上記一対のアーム5,5間には複数のガイド軸９が架設さ
れ、そのガイド軸９に沿つてカツタ支持板10がスライド
可能に設けられ、そのカツタ支持板10に支持された円形
のカツタ11はその下方に配置した刃受台12に沿つて移動
し得るようになつている。

前記テーブル３の両側下方には、一対のガイドレール13
が設けられ、その各ガイドレール13に沿つてローラユニ
ツト20がスライド可能に支持されている。

ローラユニツト20は、ガイドレール13に沿つて移動可能
な一対のスライドブラケツト21,21を両側部に備え、そ
のスライドブラケツト21,21間の上部に案内ローラ22が
架設されている。また、スライドブラケツト21,21間に
は上記案内ローラ22の下方に転圧ローラ23が配置され、
その転圧ローラ23のローラ軸24を支持するローラアーム
25の上記はピン26を介してスライドブラケツト21に回動
可能に支持され、上記ピン26を中心にローラアーム25を
第２図の左方向に回転すると、ローラアーム25の側縁が
スライドブラケツト21の上部に設けたストツパ27に当接
する。また、ローラアーム25を上記の逆方向に回動する
と、そのローラアーム25に設けたボス（図示省略）がス
ライドブラケツト21の側縁に形成した切欠き28の側縁に
当接するようになつている。

上記転圧ローラ23のローラ軸24の端部には、第２図に示
すように板体29が回転可能に支持され、その板体29に連
結したスプリング30の弾力は、ローラアーム25の回動中
心とスプリング30の固定端と結ぶ直線をデツドポイント
としてローラアーム25のボスが切欠き28の側縁に当接す
る方向およびローラアーム25の側縁がストツパ27に当接
する方向のいずれかの方向にローラアーム25を偏向する
ようになつている。

さらに、前記スライドブラケツト21の外側部には、第２
図および第７図に示すように、係合板31が配置され、そ
の係合板31の中央部はピン32によつてスライドブラケツ
ト21に回動可能に取付けられている。この係合板31は、
一端に把持片33が設けられ、その把持片33寄りの端部に
切欠部34が形成され、この切欠部34を転圧ローラ23のロ
ーラ軸24の端部外側に嵌合することにより、ローラアー
ム25のボスが切欠き28の側縁に当接する状態に上記ロー
ラアーム25は保持される。

また、係合板31の他端部にはピン35が取付けられ、その
ピン35にキツクばね36の一端が連結され、そのキツクば
ね36の他端はスライドブラケツト21に設けたピン37に連
結されている。この構成により、係合板31の回動中心と
スライドブラケツト21のピン37を結ぶ直線をデツドポイ
ントとしてそのデツドポイントより上方に係合板31のピ
ン35が位置すると、係合板31の切欠部34が転圧ローラ23
のローラ軸24の外側に嵌合する方向に係合板31が偏向さ
れる。

前記ローラアーム25の下部には、第２図および第５図に
示すようにピン38が取付けられ、そのピン38でバー支持
アーム39の一端部が回動可能に支持されている。また、
ピン38の外側にはスプリング40が外嵌され、このスプリ
ング40の弾力は、バー支持アーム39の側縁がローラアー
ム25の外側面に設けたストツパ41に当接する方向にロー
ラアーム25を偏向している。

上記バー支持アーム39の他端部には、転圧ローラ23に平
行に配置した挾持バー42の端部が支持されている。この
挾持バー42の両端部には、第３図および第４図に示すよ
うに一対の孔43が形成され、各孔43に挿通したＬ字形挾
持爪44の中央部はピン45によつて回動可能に支持されて
いる。また、挾持バー42の上部には一対のシリンダ46が
支持され、そのシリンダ46のピストンロツド47に取付け
た二股片48にはピン49が支持され、このピン49は上記挾
持爪44に設けた長孔50に挿通され、上記ピストンロツド
47を前進すると挾持爪44が回動して挾持爪44の下端部が
挾持バー42の下面両端部に形成した凹部51の底面に当接
するようになっている。

さらに、挾持バー42の中央部下面には吸い口52が取付け
られ、図示省略した吸引装置を作動すると、吸い口52に
吸引力が付与される。

上記の構成から成るローラユニツト20のスライドブラケ
ツト21は、第１図に示すように、ガイドレール13の下方
に配置したスプロケツト−チエン機構のエンドレスチエ
ン60の一部に連結され、そのエンドレスチエン60をフレ
ーム１に支持されたモータ61で駆動してガイドレール13
の端部にローラユニツト20を移動させると、カツタフレ
ーム４のアーム５の中央部に設けた支持板62の下端のロ
ーラ63が挾持バー42の端部に当接してその挾持バー42を
下方に押し下げ、上記挾持バー42をほぼ水平の状態に保
持するようになつている（第２図および第４図参照）。

前記フレーム１の後部には、第１図に示すようにロール
ホルダ64が取付けられ、そのロールホルダ64でロール状
の片面粘着テープ（Ａ）が回転可能に支持されている。
ロールホルダ64から引き出される片面粘着テープ（Ａ）
は、フレーム１の支持板６に支持されたガイドローラ65
にかかり、それより前記案内ロール22の外周上部および
転圧ロール23の外周側部にかけられて転圧ロール23の外
周下部から接線方向に引き出され、挾持バー42の下方に
導き出される。

実施例で示す貼着装置は上記の構成から成り、この貼着
装置は、カツタフレーム４を第１図の鎖線で示す位置に
保持した状態において、テーブル３上に被着体（Ｂ）を
セツトする作業と、その被着体（Ｂ）に片面粘着テープ
（Ａ）を貼着する作業とを行ない、その貼着作業の完了
後にカツタフレーム４を第１図の実線位置に戻して片面
粘着テープ（Ａ）の切断作業を行なうようにする。

いま、テーブル３上に被着体（Ｂ）をセツトしたのち、
ローラユニツト20をガイドレール13に沿つて第１図の左
方向に移動し、そのローラユニツト20の挾持バー42の下
方に片面粘着テープ（Ａ）の先端部を臨ませた状態にお
いて、エンドレスチエン20を移動し、上記ローラユニツ
ト20をガイドレール13の左側から右側に移動させると、
転圧ロール23が片面粘着テープ（Ｂ）の非粘着面に沿つ
て転動してその片面粘着を被着面に押し付けるため、上
記片面粘着テープ（Ａ）は被着体（Ｂ）に貼着される。

貼着作業の完了後、カツタフレーム４を第１図の鎖線位
置から実線位置に向けて回動すると、アーム５に設けた
支持板62の下端のローラ63が挾持バー42の端部を押すた
め、挾持バー42は下方向に少し回動して第２図に示すよ
うに、ほぼ水平の状態に保持されると共に、カツタ支持
板10に取付けられたカツタ11の外周下部がその下方の刃
受台12に衝合する。

そこで、ガイド軸９に沿つてカツタ支持板10を手動によ
つて移動させると、上記カツタ11により片面粘着テープ
（Ａ）が切断される。その切断作業の完了後、挾持バー
42に支持された一対のシリンダ46が作動し、ピストンロ
ツド47が前進して一対の挾持爪44をピン45を中心に回動
させる。この挾持爪44は、下端部が挾持バー42の凹部51
の底面に向けて回動するため、片面粘着テープ（Ａ）の
先端部の両側部は挾持バー42の凹部51の底面と挾持爪44
とによつて第４図に示すように挾持される。一方、挾持
バー42の中央部に設けられた吸い口52には吸引力が付与
され、その吸引力によつて片面粘着テープ（Ａ）の先端
部の中央部が吸着される。

片面粘着テープ（Ａ）の先端部の保持後、カツタフレー
ム４を引き上げて第１図の鎖線で示す方向に回動し、ロ
ーラ63を挾持バー42の両端部から離反させると、この挾
持バー42を支持するバー支持アーム39はスプリング40に
よつて上方向に偏向されているため、バー支持アーム39
は上方向に回動してストツパ41に当り、挾持バー42と一
対の挾持爪44とで先端部が挾持された片面粘着テープ
（Ａ）は第６図に示すように上方に引き上げられ、片面
粘着テープ（Ａ）の先端部は刃受台12から剥離されると
共に、転圧ローラ23の外周にかかる状態に保持される。

なお、スプリング40の作用によつてバー支持アーム39を
偏向させたのちは、テーブル３上より被着体（Ｂ）を取
り出して次の被着体（Ｂ）をテーブル３上にセツトする
と共に、係合板31の把持片33を上方向に引き上げて切欠
部34とローラアーム25のボスとの嵌合状態を解除し、そ
れよりローラアーム25を上方向に回動し、第７図に示す
ように案内ローラ22の側方に転圧ローラ23を配置したの
ち、エンドレスチエン60の移動により、ローラユニツト
20をガイドレール13に沿つて第１図の左方向に移動せし
め、その移動によつて片面粘着テープ（Ａ）を繰り出
す。片面粘着テープ（Ａ）の繰り出し後は、ローラアー
ム25を下方向に回動して案内ローラ22の下方に転圧ロー
ラ23を位置せしめ、係合板31の把持片33の下方向の回動
により、ローラアーム25をロツクし、また挾持爪44をシ
リンダ46の作動により回動してテープ先端部の挾持を解
除し、同時に吸い口52の吸引を解除してテープ先端部の
保持を解除する。

また、前記実施例では、転圧ローラ23を引き上げて粘着
テープ（Ａ）の繰り出し作業を行なうようにしたものを
示したが、第８図に示すように、ガイドレール13および
エンドレスチエン60の支持体70を、エンドレスチエン60
の駆動用スプロケツト軸71を中心に揺動可能に支持し、
その支持体70の揺動側端部の下方に支持体揺動用シリン
ダ72を配置し、粘着テープ（Ａ）の繰り出し時にシリン
ダ72を作動して支持体70を持ち上げることにより、転圧
ローラ23を下げたままの状態でテープ（Ａ）の繰り出し
作業を行なうことができる。また、粘着テープ（Ａ）の
繰り出し後にシリンダ72を作動して支持体70を引き下げ
ることにより被着体（Ｂ）に粘着テープ（Ａ）を接着さ
せることができ、テープ（Ａ）の繰り出しと貼着の一連
の作業を自動的に行なうことができる。

〔効果〕

以上のように、この発明によれば、転圧ローラのテープ
貼着行程の後行側に転圧ローラに平行に挾持バーを配置
し、その挾持バーの両端部に一対の保持爪を回動可能に
取付け、その挾持爪の回動装置を挾持バーで支持したの
で、上記転圧ローラによつて被着体に貼着された片面粘
着テープの切断後、上記回動装置を作動することによ
り、粘着テープの先端部を挾持バーと挾持爪とを機械的
に保持することができると共に、粘着テープを転圧ロー
ラの外周にかかる状態で保持することができ、粘着テー
プの貼付作業の能率向上に大きな効果を挙げることがで
きる。また、挾持バーに形成した凹部の底面と一対の挾
持爪とで粘着テープの先端部両側を保持するため、安全
であると共に、軟質の粘着テープおよび硬質の粘着テー
プを問わず、各種の粘着テープを確実に挾持することが
でき、挾持バーの移動によって片面粘着テープを確実に
繰り出すことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るテープ端保持装置の一実施例を
示す縦断正面図、第２図は同上の要部を拡大して示す正
面図、第３図は第２図の一部切欠左側面図、第４図は第
３図の一部拡大断面図、第５図は第３図のＶ−Ｖ線に沿
つた断面図、第６図および第７図は同上の作動状態を示
す正面図、第８図は同上の他の実施例を示す縦断正面図
である。 Ａ……片面粘着テープ、Ｂ……被着体、23……転圧ロー
ラ、42……挾持バー、44……挾持爪、46……シリンダ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】定位置に配置された被着体の被着面に対し
   て接触・離反可能に、かつ被着面に沿って平行移動可能
   に転圧ローラを設け、この転圧ローラを被着面に接触し
   た状態で被着面に沿って移動して両者間に引出された片
   面粘着テープを被着面に貼着し、その貼着完了位置から
   前方位置においてカッタ装置により片面粘着テープを切
   断するようにしたテープ貼着装置において、前記転圧ロ
   ーラのテープ貼着工程の後行側に転圧ローラと共に移動
   する挾持バーを転圧ローラに平行に設け、この挾持バー
   の片面粘着テープと対向する面の両端部に一対の凹部を
   形成し、この凹部の底面とで片面粘着テープの両側部を
   挾持する一対の挾持爪を挾持バーの両端部に回動自在に
   取付け、その各挾持爪の回動装置を上記挾持バーで支持
   したことを特徴とするテープ粘着装置におけるテープ端
   部保持装置。