JPS6060800A - リングと薄板の貼着装置 - Google Patents
リングと薄板の貼着装置Info
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は例えば集積回路形成用の基盤となるシリコン
ウェハのような円板状などの薄板と、この薄板のキャリ
ヤ治具となる円形環状などのリングを１枚の粘着フィル
ムに貼情する半自動式の貼冷装置に関するものである。
ウェハのような円板状などの薄板と、この薄板のキャリ
ヤ治具となる円形環状などのリングを１枚の粘着フィル
ムに貼情する半自動式の貼冷装置に関するものである。
従来では上記のようなリング状のキャリヤ治具に対する
フィルムの貼情と、フィルムに対するシリコンウェハな
どの貼着は全て手作業で行ない、リングの周囲からはみ
田したフィルムの切り収りも手作業で行なっていたので
きわめて手数がかかり、かつ皺ができないように張るこ
とは困難で、熟練を要するなどの問題かあった。
フィルムの貼情と、フィルムに対するシリコンウェハな
どの貼着は全て手作業で行ない、リングの周囲からはみ
田したフィルムの切り収りも手作業で行なっていたので
きわめて手数がかかり、かつ皺ができないように張るこ
とは困難で、熟練を要するなどの問題かあった。
この発明にに記のようなりングｔこフィルムを旧誼する
ととも１こ薄板をフィルム１こ貼情する作業を半自動化
したもので、リングと薄板の配置灯手作業で行ない、リ
ングと￥ｉｋ板に対するフィルムの貼ｔｉ自動的ｌこ行
なり、リングｔこ張ったフィルムの切断は手動掃作では
あるが、θ゛イドレール沿って切断し後続のフィルムの
切断もｂ゛イ ドに沿って切断できるようにしたため、
熟練者でなくともフィルムの旧情ハ完全に行なえ、フィ
ルムの切断も容易にかつ安全＃実に行なえる半自動の貼
着装置を提供するものである。
ととも１こ薄板をフィルム１こ貼情する作業を半自動化
したもので、リングと薄板の配置灯手作業で行ない、リ
ングと￥ｉｋ板に対するフィルムの貼ｔｉ自動的ｌこ行
なり、リングｔこ張ったフィルムの切断は手動掃作では
あるが、θ゛イドレール沿って切断し後続のフィルムの
切断もｂ゛イ ドに沿って切断できるようにしたため、
熟練者でなくともフィルムの旧情ハ完全に行なえ、フィ
ルムの切断も容易にかつ安全＃実に行なえる半自動の貼
着装置を提供するものである。
以下ｌここの発明の旧情装置の詳細を図面に示す実ｔＩ
５例１こ基ついて説明する。
５例１こ基ついて説明する。
１にフレーム、２はフレーム上部１こ酬、置したリング
支持片−プルである。この云−プル２は、第２図のよう
１こフレーム１内の支持台１２上１こ設けた複数の支柱
１３で支えられたもので、このテーブル２］二にけ第４
図のようＩこリング３の位置決め、ｌ：ｉ−４，５が固
定してあり、片４はリング３の外周一部の］直線部６を
受け、左右の片４はリング３の内外周を受けるものて何
れの片もリング３の肉厚よりも簿いものである。捷だ、
この片のかわりＩこ凹入部を設けてもよい。
支持片−プルである。この云−プル２は、第２図のよう
１こフレーム１内の支持台１２上１こ設けた複数の支柱
１３で支えられたもので、このテーブル２］二にけ第４
図のようＩこリング３の位置決め、ｌ：ｉ−４，５が固
定してあり、片４はリング３の外周一部の］直線部６を
受け、左右の片４はリング３の内外周を受けるものて何
れの片もリング３の肉厚よりも簿いものである。捷だ、
この片のかわりＩこ凹入部を設けてもよい。
升−グル２の中央１こけ円形の開口１４を設け、この開
口１４に納板支持升−プルアを臨捷せる。
口１４に納板支持升−プルアを臨捷せる。
この云−グルアは第２図１こ示すような内筒形でその下
幅１の支持脚８がフレーム１内の前記支持台１２のθ°
イド孔Ｉこ昇降自在１こ岐合し、かっ云−グルアの」１
面か升−プル２の上面と同−而となるようｌこバネ１０
て押」二し、ストッパ１１て」１限を限定する。寸た、
この云−プルア１こは適当な回り止めを施す。
幅１の支持脚８がフレーム１内の前記支持台１２のθ°
イド孔Ｉこ昇降自在１こ岐合し、かっ云−グルアの」１
面か升−プル２の上面と同−而となるようｌこバネ１０
て押」二し、ストッパ１１て」１限を限定する。寸た、
この云−プルア１こは適当な回り止めを施す。
才た、このｉｖ板板支持−グルア上１こは薄板１５の位
置決め川の浅、い凹所寸たは目印を設け、さら１こ必四
・１こ応じ、複数の真空吸引孔を設けて升−プルアのｒ
ｄＸ仇を真空吸引により固定する場合もある。
置決め川の浅、い凹所寸たは目印を設け、さら１こ必四
・１こ応じ、複数の真空吸引孔を設けて升−プルアのｒ
ｄＸ仇を真空吸引により固定する場合もある。
第１図、第２図のＧけフレーム１内の上部のゲイト枠で
、両端の枠１６．１７を左右一対のθ゛イドレール１８
１より一体ｌこ結合したものである。
、両端の枠１６．１７を左右一対のθ゛イドレール１８
１より一体ｌこ結合したものである。
このｌ）’ （ド伜Ｇはその一端の枠１７を、フレーム
１（７） ｌ’ｌｉ７．冒こ、ｇけりＦ ！ｔ！ＩＪ軸
２０＋こｊ ｂ回ｋ）ｒ自在＋こ支承する。捷た、各Ｖ
゛イドレール１日は貼藩手段へを取伺けるための左右一
対の取付台１９を摺動自在１こ嵌合する。
１（７） ｌ’ｌｉ７．冒こ、ｇけりＦ ！ｔ！ＩＪ軸
２０＋こｊ ｂ回ｋ）ｒ自在＋こ支承する。捷た、各Ｖ
゛イドレール１日は貼藩手段へを取伺けるための左右一
対の取付台１９を摺動自在１こ嵌合する。
２１にフレーム１内１こおいて、前記ＰＦ、動Ｍ２Ｏ１
こ固定した左右一対のタイミングプーリで、このプーリ
２１とフレーム１の他端１こ設けた左右一対のタイミン
グプー９２２間に左右一対のタイミングベルト２３を係
合させ、この各ベルトの両端を名取（＝ｊ台１９１こ固
定して両ベルト２３＋こより面取（Ｘ１台１９を同時ｌ
こ移動させるよう１こ構成し、駆動４１１ｈ ２０を第
１図の正逆転モータ２４により駆動する。
こ固定した左右一対のタイミングプーリで、このプーリ
２１とフレーム１の他端１こ設けた左右一対のタイミン
グプー９２２間に左右一対のタイミングベルト２３を係
合させ、この各ベルトの両端を名取（＝ｊ台１９１こ固
定して両ベルト２３＋こより面取（Ｘ１台１９を同時ｌ
こ移動させるよう１こ構成し、駆動４１１ｈ ２０を第
１図の正逆転モータ２４により駆動する。
貼沿手段ＡＨ両収付台１９ｉこ両端を回動自在にｆｆＸ
（ｑけたゴム製の貼付ローラ２５と同じく取付台１９１
こ回１１の自在に収イ」けたグイトローラ２６と、前記
ローラ２５と同軸１こ収付けた左右一対の揺動片２７）
こ数例けた升−プ保持吸捨台２８と分−プ押Ｊ−０−ラ
２９とからなっている。捷だ、揺動片２７はバネ３０１
こよりローラ２９をローラ２６１こ１干ｄさせる伏褥と
吸緒台２８を下方へ回動させる状態に切換えられるよう
ｔこなっている。
（ｑけたゴム製の貼付ローラ２５と同じく取付台１９１
こ回１１の自在に収イ」けたグイトローラ２６と、前記
ローラ２５と同軸１こ収付けた左右一対の揺動片２７）
こ数例けた升−プ保持吸捨台２８と分−プ押Ｊ−０−ラ
２９とからなっている。捷だ、揺動片２７はバネ３０１
こよりローラ２９をローラ２６１こ１干ｄさせる伏褥と
吸緒台２８を下方へ回動させる状態に切換えられるよう
ｔこなっている。
第１図の３２はフレーム１の前部に設けた左右一対の支
持板で、この支持板３２ｉこ溶脱自在ｌこ収イ」けた巻
軸３４１こ巻いた云−プ状の粘偕フィルム３５のセパレ
ータ３３は上方の巻取軸３１ｉこ春取らねるように巻軸
３４と巻取軸３１を連動させる。
持板で、この支持板３２ｉこ溶脱自在ｌこ収イ」けた巻
軸３４１こ巻いた云−プ状の粘偕フィルム３５のセパレ
ータ３３は上方の巻取軸３１ｉこ春取らねるように巻軸
３４と巻取軸３１を連動させる。
ただし、セパレータのないフィルムを用いる場合は春収
山山３１は不用である。
山山３１は不用である。
曲記升−プ保４寺＠筐台２８に中空で下面に多数の吸気
孔を有し、図示省略しであるフレキシグルパイプによっ
て真空吸引装置１こ沖結され、切換弁の作ωＪ１こよっ
て吸む台２８の下面にｎｆ７記粘撰フィルム３５を粘潰
面を丁ｌこして吸潴するように構成する。
孔を有し、図示省略しであるフレキシグルパイプによっ
て真空吸引装置１こ沖結され、切換弁の作ωＪ１こよっ
て吸む台２８の下面にｎｆ７記粘撰フィルム３５を粘潰
面を丁ｌこして吸潴するように構成する。
捷だ、１１１記ゲイト枠Ｇの自由端側の内側１こは第２
図のよう１こ０−ラ３８を設け、このローラ３８の下方
において、フレーム１１こ投けた支持台３９上１こはエ
アシリンダ４０１こより〃−降する押上部財４１を設け
、この部材４１によってローラ３８を押トてきるよう１
こする。
図のよう１こ０−ラ３８を設け、このローラ３８の下方
において、フレーム１１こ投けた支持台３９上１こはエ
アシリンダ４０１こより〃−降する押上部財４１を設け
、この部材４１によってローラ３８を押トてきるよう１
こする。
第１図、第２図の４３はフレーム１の端部両側Ｉこ固定
した左右一対の取付枠で、この両収付枠４３の」１喘１
こ附支持枠４４の一端両側の腕４２を軸４５１こより起
伏自在１こ収付ける。
した左右一対の取付枠で、この両収付枠４３の」１喘１
こ附支持枠４４の一端両側の腕４２を軸４５１こより起
伏自在１こ収付ける。
支持枠４４の中テ１こは、この枠４４を水平ｌこしたと
き、升−グル２の開口１４と同心となる開口４６を設け
、この開口４６の上部外周１こはＴ形横断面の円形ゲイ
トレール４７をｉｆｆる。
き、升−グル２の開口１４と同心となる開口４６を設け
、この開口４６の上部外周１こはＴ形横断面の円形ゲイ
トレール４７をｉｆｆる。
Ｉ３はフィルムの５１抜き手段で、第２１喜１．第３図
のように３ （１；’・（のローラ４８によりグイトレ
ール４７に収イ（１けた移献部目４９と、この部材４９
に取付けた自由回転の円（屑状カッタ５０で構成されて
いる。捷だ、この移ｌｒ部材４９ト１こはハンドル５１
支持枠４４に設けた横方向のθ°イド孔５４に摺動自在
に挿入した縦軸５５の下端に移動体５６を固定し、この
移１ｌｒＪＪ体５６１こカッタ５７を固定し、縦１１ｉ
ｔｈ ５５の鍔と支持枠４４間Ｊこは押バネ５８を取付
けて移動体６６を支持枠４４の下面に圧階させ、縦軸５
５の」１唱１こに・・ンドル５９を設けて・・ンドル５
９をバネ５８１こ抗して押下するとカッタ５７がフィル
ム３５に切り込むようにしたものである。
のように３ （１；’・（のローラ４８によりグイトレ
ール４７に収イ（１けた移献部目４９と、この部材４９
に取付けた自由回転の円（屑状カッタ５０で構成されて
いる。捷だ、この移ｌｒ部材４９ト１こはハンドル５１
支持枠４４に設けた横方向のθ°イド孔５４に摺動自在
に挿入した縦軸５５の下端に移動体５６を固定し、この
移１ｌｒＪＪ体５６１こカッタ５７を固定し、縦１１ｉ
ｔｈ ５５の鍔と支持枠４４間Ｊこは押バネ５８を取付
けて移動体６６を支持枠４４の下面に圧階させ、縦軸５
５の」１唱１こに・・ンドル５９を設けて・・ンドル５
９をバネ５８１こ抗して押下するとカッタ５７がフィル
ム３５に切り込むようにしたものである。
オた、移動体５６１こけ支持枠４４のＲｔと接触する回
り止め兼用のゲイト片６０を設ける。なお、第２図、第
４図の５２はフィルム旧情後のリング３の収出用指入孔
である。
り止め兼用のゲイト片６０を設ける。なお、第２図、第
４図の５２はフィルム旧情後のリング３の収出用指入孔
である。
つぎに作用を説明する。
オす、第１１ン１のようｌこ支持枠４４をｈ方へ回して
おき、ぜＳ４図のよう１こリング３を云−プル２」−１
こ載、せて位置決め片４．５Ｉこより位置決めをする。
おき、ぜＳ４図のよう１こリング３を云−プル２」−１
こ載、せて位置決め片４．５Ｉこより位置決めをする。
つき゛に、助板１５を中央のテーブル７上に載せて位置
決めし、必要１こ応じて真′！？吸引により云−プルア
上ｌこ固定する。
決めし、必要１こ応じて真′！？吸引により云−プルア
上ｌこ固定する。
粘錆フィルム３５は第１図、第２図のようｆこセットし
、フィルムの先端は粘清向が下となり、吸溶台２８のＦ
面１こ真空吸引されて保持される。ついでシリンダ４０
を働かせて押上部側４１を上昇させ、ローラ３８を介し
てθ゛イド枠Ｇ押上し、貼皆手段Ａの旧情ローラ２５か
云−グル２上に接触しないようにする。
、フィルムの先端は粘清向が下となり、吸溶台２８のＦ
面１こ真空吸引されて保持される。ついでシリンダ４０
を働かせて押上部側４１を上昇させ、ローラ３８を介し
てθ゛イド枠Ｇ押上し、貼皆手段Ａの旧情ローラ２５か
云−グル２上に接触しないようにする。
この状態てモータ２４を正転させると、Ｋｙ、何台１９
ととも１こ貼 着手殺人か第２図１こ向って左方へ移動
を始め、フィルム３５を巻軸３４がう引出してｂく。こ
のとき巻軸３４１こ連動する巻取軸３１がセパレータ３
３を巻き収る。
ととも１こ貼 着手殺人か第２図１こ向って左方へ移動
を始め、フィルム３５を巻軸３４がう引出してｂく。こ
のとき巻軸３４１こ連動する巻取軸３１がセパレータ３
３を巻き収る。
こうして、フィルム３５がチーグル２上ｔこ浮いた状態
でリング３と薄板１５上ｌこ張り渡されたのぢ、シリン
ダ４０を働かせて押上部ト第４１を下降させ、活溌フィ
ルム３５を云−グル１上ｌこ接触させる。ついで、吸漬
台２日によるフィルム３５の吸腎を瞬き、モータ２４を
逆転させて、貼楕手段へか元の位置へ移動し始めると、
旧情ローラ２５￥ かフィルム３５をリング３や薄板１５に圧着しっっ移動
する。
でリング３と薄板１５上ｌこ張り渡されたのぢ、シリン
ダ４０を働かせて押上部ト第４１を下降させ、活溌フィ
ルム３５を云−グル１上ｌこ接触させる。ついで、吸漬
台２日によるフィルム３５の吸腎を瞬き、モータ２４を
逆転させて、貼楕手段へか元の位置へ移動し始めると、
旧情ローラ２５￥ かフィルム３５をリング３や薄板１５に圧着しっっ移動
する。
フィルム３５を貼着した旧情手段へが元の位置で停止し
たのち、前記支持枠４４を第２図のようｌこ升−プル２
上へ下げ、ハンドル５１を押下すると、リング３上のフ
ィルム３５＋こ切抜き手段Ｂのカンタ５０が押し付けら
入るので、この状態で移１の部材４９をグイトレール４
７に沿って移ｕコさせ一ル４７１こ沿って約２周させる
とフィルム３５はリング３−１．１とおいて円形ｔこ切
り抜力・れる。
たのち、前記支持枠４４を第２図のようｌこ升−プル２
上へ下げ、ハンドル５１を押下すると、リング３上のフ
ィルム３５＋こ切抜き手段Ｂのカンタ５０が押し付けら
入るので、この状態で移１の部材４９をグイトレール４
７に沿って移ｕコさせ一ル４７１こ沿って約２周させる
とフィルム３５はリング３−１．１とおいて円形ｔこ切
り抜力・れる。
その後、切り離し手段Ｃのハンドル５９を押し下げてカ
ッタ５７をフィルム３５の一端に切り込み、＃動体５６
をゲイト孔５４の一端から他端−移動させるとフィルム
３５が切り離される。
ッタ５７をフィルム３５の一端に切り込み、＃動体５６
をゲイト孔５４の一端から他端−移動させるとフィルム
３５が切り離される。
こうしてフィルム３５１こ貼請されたリング３と熱板１
５を云−プル２Ｊ：、から収出し、その周囲の残りのフ
ィルム３５を除去し、ついて１１１回同様１こ後続のフ
ィルム３５の先端を吸階台２８１こ吸峙させ、シリンダ
４０により押上部側４１をト昇させてつきの工程ｌこ入
る。
５を云−プル２Ｊ：、から収出し、その周囲の残りのフ
ィルム３５を除去し、ついて１１１回同様１こ後続のフ
ィルム３５の先端を吸階台２８１こ吸峙させ、シリンダ
４０により押上部側４１をト昇させてつきの工程ｌこ入
る。
この発明は上ンのよう１こリングと薄板を定位置１こ支
お！１する升−グルと、この升−グルＬを移−Ｉして帖
濱フ″゛イルムをリングと簿板トに貼請する貼着手段を
設け、升−プルの一端上方に起伏自在に収付けた支、ｌ
？伜１こＵ、リング上の粘酊フィルムをリングに沿って
切抜く、切抜き手段と、リングと薄板」−１こ［１占ｒ
１されたフィルムを後続の粘績フィルムからＶＪ蘭す、
切前し手段とを設けたものであり、ｒ６４仮とりジグｈ
？−グル上の定位置１こ手作業で配置するものであるか
ら、きわめて正確ＩこＩＶ１置できる。寸た、手作業で
上櫛Ｉこ張ることか困難なフィルムの貼請は貼着手段１
こよって自動的に行なえるので熟練者でなくともフィル
ムの貼皆作業は容易てあり、さらにその後のフィルムの
切抜きや切離ｌ一作業は手作業ではあるが、作業者はカ
ッタをフィルムに押しイ」けで移動部材をゲイトに沿っ
て動かすだけでよいので正確なフィルムの切抜きや切削
しかきわめて容易１こ行なえ、危険も少ないなどの効果
がある。
お！１する升−グルと、この升−グルＬを移−Ｉして帖
濱フ″゛イルムをリングと簿板トに貼請する貼着手段を
設け、升−プルの一端上方に起伏自在に収付けた支、ｌ
？伜１こＵ、リング上の粘酊フィルムをリングに沿って
切抜く、切抜き手段と、リングと薄板」−１こ［１占ｒ
１されたフィルムを後続の粘績フィルムからＶＪ蘭す、
切前し手段とを設けたものであり、ｒ６４仮とりジグｈ
？−グル上の定位置１こ手作業で配置するものであるか
ら、きわめて正確ＩこＩＶ１置できる。寸た、手作業で
上櫛Ｉこ張ることか困難なフィルムの貼請は貼着手段１
こよって自動的に行なえるので熟練者でなくともフィル
ムの貼皆作業は容易てあり、さらにその後のフィルムの
切抜きや切離ｌ一作業は手作業ではあるが、作業者はカ
ッタをフィルムに押しイ」けで移動部材をゲイトに沿っ
て動かすだけでよいので正確なフィルムの切抜きや切削
しかきわめて容易１こ行なえ、危険も少ないなどの効果
がある。
なお、実施例のよう【こ薄板支持六−グルをバネに」：
リフロー辷イング式１こ支持した場合は、フィルム貼溶
時１こおいて、薄轡夕が耐圧荷重により破損する以曲に
簿板支持升−プルかバネを圧縮して下降するため安全で
ある。しかし、その必配のない１１料の辺５合Ｉｉ ｌ
ｖ板板支持−プルをリング支持テーグルと一体にしても
よい。
リフロー辷イング式１こ支持した場合は、フィルム貼溶
時１こおいて、薄轡夕が耐圧荷重により破損する以曲に
簿板支持升−プルかバネを圧縮して下降するため安全で
ある。しかし、その必配のない１１料の辺５合Ｉｉ ｌ
ｖ板板支持−プルをリング支持テーグルと一体にしても
よい。
４、 図面の簡ｔ４’ｔな酸５明
第１図はこの発明のｊｋｌｉ ＊装置の一実施例を示す
側面ＩＸ１、第２１來Ｉ月回上の折、大縦断側面図、第
３図目間」−の拡大平面図、第４図は第２図Ｉ−Ｉ線の
横断平曲図、第５図は切離し手段の拡大縦断側面図であ
る。
側面ＩＸ１、第２１來Ｉ月回上の折、大縦断側面図、第
３図目間」−の拡大平面図、第４図は第２図Ｉ−Ｉ線の
横断平曲図、第５図は切離し手段の拡大縦断側面図であ
る。
２・リング支持六−グル、３・・リング、７・・薄板支
持升−グル、１５・・・薄板、３５・・粘ｎフィルム、
４４・・・支持枠、Ａ・・・貼酊手段、■３・・・切抜
き手段、Ｃ・・＋７Ｊ １ｉｌｌ１１一手段、Ｇ ・ゲ
イト枠。
持升−グル、１５・・・薄板、３５・・粘ｎフィルム、
４４・・・支持枠、Ａ・・・貼酊手段、■３・・・切抜
き手段、Ｃ・・＋７Ｊ １ｉｌｌ１１一手段、Ｇ ・ゲ
イト枠。
特許出願人 日東電気工業株式会社
同 代理人 鎌 １） 文 二
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ リングと薄板を定位置に支持する云−プルと、この
テーブル上を移動して粘着フィルムをリングと薄板ト１
こ貼情する旧情手段を設け、六−プルの一端」一方Ｉこ
起伏自在に取付けた支持枠ｌｃハ、リング上の粘着フィ
ルムをリングに沿って切抜く、切抜き手段と、リングと
薄板上ｌこ貼首されたフィルムを後続の粘着フィルムか
ら切離す、切離し手段とを設けたリングと薄板の貼情装
置。 ２ リング支持升−プルと薄板支持升−プルを別体とし
、リング支持升−グルをフレームに固定し、簿板支持分
−グルをフロー云イング式とした特許請求の範囲第１項
記載のリングと薄板の旧情装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58170393A JPS6060800A (ja) | 1983-09-13 | 1983-09-13 | リングと薄板の貼着装置 |
| US06/629,877 US4522679A (en) | 1983-09-13 | 1984-07-11 | Apparatus for sticking adhesive film on a ring and a thin article |
| GB08418096A GB2146305B (en) | 1983-09-13 | 1984-07-16 | Apparatus for sticking adhesive film on a ring and a thin article |
| DE19843427870 DE3427870A1 (de) | 1983-09-13 | 1984-07-27 | Vorrichtung zum anhaften eines klebefilms an einem ring und einem duennen gegenstand |
| FR8412516A FR2551918B1 (fr) | 1983-09-13 | 1984-08-08 | Appareil pour coller un film adhesif sur un anneau de support et un objet mince |
| KR1019840005410A KR900001038B1 (ko) | 1983-09-13 | 1984-09-04 | 링과 박판의 접착장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58170393A JPS6060800A (ja) | 1983-09-13 | 1983-09-13 | リングと薄板の貼着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6060800A true JPS6060800A (ja) | 1985-04-08 |
| JPS6317738B2 JPS6317738B2 (ja) | 1988-04-14 |
Family
ID=15904092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58170393A Granted JPS6060800A (ja) | 1983-09-13 | 1983-09-13 | リングと薄板の貼着装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4522679A (ja) |
| JP (1) | JPS6060800A (ja) |
| KR (1) | KR900001038B1 (ja) |
| DE (1) | DE3427870A1 (ja) |
| FR (1) | FR2551918B1 (ja) |
| GB (1) | GB2146305B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS61273461A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-12-03 | Nitto Electric Ind Co Ltd | テ−プ貼着装置におけるテ−プ端部保持装置 |
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| JP2014179522A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Lintec Corp | シート切断治具 |
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- 1983-09-13 JP JP58170393A patent/JPS6060800A/ja active Granted
-
1984
- 1984-07-11 US US06/629,877 patent/US4522679A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-07-16 GB GB08418096A patent/GB2146305B/en not_active Expired
- 1984-07-27 DE DE19843427870 patent/DE3427870A1/de active Granted
- 1984-08-08 FR FR8412516A patent/FR2551918B1/fr not_active Expired
- 1984-09-04 KR KR1019840005410A patent/KR900001038B1/ko not_active IP Right Cessation
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2146305B (en) | 1986-05-29 |
| GB8418096D0 (en) | 1984-08-22 |
| DE3427870C2 (ja) | 1987-02-05 |
| DE3427870A1 (de) | 1985-03-28 |
| FR2551918B1 (fr) | 1986-08-14 |
| GB2146305A (en) | 1985-04-17 |
| KR850002687A (ko) | 1985-05-15 |
| JPS6317738B2 (ja) | 1988-04-14 |
| US4522679A (en) | 1985-06-11 |
| FR2551918A1 (fr) | 1985-03-15 |
| KR900001038B1 (ko) | 1990-02-26 |
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