JP2014179522A - シート切断治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート切断治具6は、被着体WFに貼付された接着シートASを切断する切断手段5と、前記切断手段5を支持し、所定の位置を円中心とする円環形状に設けられたレールの当該円中心RCを回転中心として回転移動可能に設けられた回転体62と、前記切断手段5を前記レール61Cの円中心RC方向に付勢する付勢手段65とを備えている。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載のシート切断装置は、保護テープ(接着シート)が貼付されたウェハを支持するチャックテーブルの上方に設けられ、モータで回転駆動される回動軸と、回動軸に水平方向にスライド可能に支持されたアームと、アームの先端にブラケットを介して支持されたカッター刃(切断手段)と、ロッドの先端がブラケットに当接可能に設けられたエアシリンダとを備え、モータおよびエアシリンダでカッター刃を水平面内で移動させ、保護テープをウェハ外縁に沿って切断するように構成されている。
本発明のシート切断治具は、前記回転体を回転させたときに前記係止手段の係止を解除可能な係止解除手段を備えていることが好ましい。
本発明のシート切断治具は、前記付勢手段による前記切断手段の急激な移動を抑制する緩衝手段を備えていることが好ましい。
さらに、係止解除手段を設ければ、回転体を回転させるだけで係止手段の係止を解除することができるので、作業者の作業負担を軽減することができる。
本発明において、緩衝手段を設ければ、切断手段の急激な移動により当該切断手段等が損傷してしまったり、接着シートの貼付状態が悪化してしまったりすることを防止することができる。
なお、本明細書におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、水平面内の軸とし、Z軸は、水平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
ショックアブソーバ66は、コイルばね65と平行に設けられ、一端が支柱62Bに支持されるとともに、他端が第1スライド部材63に支持されている。
係止手段67は、左面が傾斜面67Aとされ、係止孔63Cに係止可能な係止爪67Bを備えた係止部材67Cと、回転フレーム62Eの上面に設けられ、係止部材67Cを回転自在に支持する回転支持台67Dとを備えている。
ローラ69は、係止部材67Cに回転自在に支持され、ローラ69がスロープ61Dに乗り上げることで、係止爪67Bが下方に移動するようになっている。
先ず、原反RSを図1に示すようにセットした後、第1スライド部材63をコイルばね65の付勢力に抗して引っ張り、係止孔63C内に係止爪67Bを位置させておく。このとき、傾斜面67Aによって引っ掛け部材63Dが係止部材67Cに突き当たることを防止し、係止爪67Bを係止孔63Cに導き易くなっている。次に、駆動機器等の図示しない搬送手段でウェハWFを内側テーブル25上に載置すると、支持手段2が図示しない減圧手段を駆動し、当該ウェハWFを吸着保持した後、リニアモータ21を駆動し、外側テーブル23を左方向に移動させる。そして、ウェハWFが所定の位置に到達したことが図示しない光学センサや撮像手段等の検知手段に検知されると、貼付手段3が外側テーブル23の移動に同期して回動モータ35を駆動し、原反RSを繰り出す。これにより、接着シートASが剥離板33で剥離シートRLから剥離され、剥離された接着シートASが押圧ローラ34でウェハWFおよび外側テーブル23に押圧されて貼付される。
また、取っ手62Cは、円中心RCよりもレール側であれば任意の位置に設けてよく、例えば、カッター刃5の近傍や直上さらには、カッター刃5を間に挟んで円中心RCの反対側に設けてもよい。さらに、取っ手62Cにかえて、回転体60、62を回転する際に駆動機器や手を引っ掛けるための穴を設けてもよい。
さらに、切断手段を直接ウェハWFに当接させることなく、例えば、第2スライド部材64にピンや板状部材等の当接部材を設け、当該当接部材をウェハWFや内側テーブル25の外縁に当接させて接着シートASを切断するようにしてもよい。この場合、接着シートASをウェハWFの外縁からはみ出るように切断することができる。
また、カッター刃5の下端部が上端部に対して円中心RCから離れるように当該カッター刃5を第1スライド部材63に斜めに取り付け、接着シートASがウェハWFの外縁からはみ出ることのないように切断したり、カッター刃5の下端部が上端部に対して円中心RCに接近するように当該カッター刃5を第1スライド部材63に斜めに取り付け、接着シートASがウェハWFの外縁からはみ出るように切断したりしてもよい。
さらに、上方から見たカッター刃5の向き(円中心RCに対するカッター刃5の側面の位置)を変更可能にする刃先方向変更手段を設けてもよい。
また、第1スライド部材63に対してカッター刃5を揺動可能に支持する揺動手段を設け、第1スライド部材63がコイルばね65の付勢力によって円中心RC方向に移動したときに、カッター刃5がウェハWFの外縁に当接し、当該カッター刃5の下端部が上端部に対して円中心RCから離れるように構成してもよい。
さらに、カッター刃5による切断方向は、時計回転方向でもよいし、反時計回転方向でもよく、それら両方向の切断を可能にするために、カッター刃5の前後両側で接着シートASを切断可能に構成したり、ローラ69がそれら両方向から乗り上げることができるようにスロープ61D、27Bの傾斜面を2面設けたりする構成としてもよい。
また、ウェハWFを囲むようにリングフレームを配置し、当該リングフレーム上で接着シートASを切断してもよい。このとき、切断手段が係止手段から離れて円中心RC方向に移動しても、切断手段がリングフレーム上に位置するように、当該切断手段の位置決め手段を設けるとよい。
係止解除手段は、レールベース61やテーブル27の上面から突出する凸状物、ピン状物、気体を噴出してトリガーを押し上げるものの他、レールベース61やテーブル27の上面から凹む凹状物、気体を吸引してトリガーを押し下げるもの等、係止手段67の係止を解除するものであれば足りる。
また、トリガーは、ローラ69以外にピン状物、レバー状物等、係止解除手段と共動して係止手段67の係止を解除するきっかけとなるものであれば足りる。
さらに、付勢手段や第2付勢手段は、駆動機器、板ばね、ゴム、樹脂等を採用することができる。
また、緩衝手段66は、駆動機器、板ばね、ゴム、樹脂等を採用することができる。
さらに、押圧ローラ34にかえて、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、エア噴き付けにより押圧する構成を採用してもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
6、6A シート切断治具
27A レール
61C レール
60、62 回転体
61D スロープ(係止解除手段)
65 コイルばね(付勢手段)
66 ショックアブソーバ(緩衝手段)
67 係止手段
AS 接着シート
RC 円中心
WF ウェハ(被着体)
Claims (4)
- 被着体に貼付された接着シートを切断するシート切断治具であって、
前記接着シートを切断する切断手段と、
前記切断手段を支持し、所定の位置を円中心とする円環形状に設けられたレールの当該円中心を回転中心として回転移動可能に設けられた回転体と、
前記切断手段を前記レールの円中心方向に付勢する付勢手段とを備えていることを特徴とするシート切断治具。 - 前記付勢手段の付勢力に抗して前記切断手段を所定の位置で係止可能な係止手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート切断治具。
- 前記回転体を回転させたときに前記係止手段の係止を解除可能な係止解除手段を備えていることを特徴とする請求項2に記載のシート切断治具。
- 前記付勢手段による前記切断手段の急激な移動を抑制する緩衝手段を備えていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のシート切断治具。
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