JP3207714B2 - ウェハのスライスベース剥離装置及びその運転方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体インゴット等の
ワークからスライシング装置で切り出されたウェハか
ら、このウェハに接着されているスライスベースを剥離
させる装置及びその運転方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、高脆性材料である半導体インゴッ
ト（例えばシリコン単結晶）等のワークをスライシング
装置でスライスすることにより、薄肉のウェハを切り出
すことが行われている。このようにして切り出されたウ
ェハは、面取り加工等の諸工程を経て製品として市場に
提供される。

【０００３】しかし、上記ワークの切断終了時には、切
刃に作用する切断抵抗が急減し、これに起因してワーク
の最終切断部分が欠け易い。これを防ぐには、予め上記
ワークにカーボン等からなるスライスベースをワーク軸
方向に沿って接着しておき、このスライスベースごとワ
ークを切断する方法が有効である。ただし、この場合に
は、上記面取り工程等の次工程に移る前に、切り出され
たウェハに残存しているスライスベースを予め剥離させ
ておく必要がある。

【０００４】そこで、特開平５−６８８２号公報には、
上記ウェハからスライスベースを自動的に剥離させるた
めの装置が開示されている。この装置は、ウェハを水平
状態で保持するウェハ保持装置と、伸縮ロッドが下方に
突出するスライスベース剥離シリンダとを備え、上記ウ
ェハ保持装置でウェハを保持した状態で、上記スライス
ベース剥離シリンダの伸縮ロッドを下向きに作動させて
この伸縮ロッドによりスライスベースを上から押圧し、
その衝撃でスライスベースを上記ウェハから下方に剥離
させるものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記ウェハへのスライ
スベースの接着力は常に一定でかつ均一であるとは限ら
ず、ウェハによっては、比較的小さい荷重で容易にスラ
イスベースが剥離するものもあれば、比較的大きい荷重
をかけてもスライスベースが剥離しにくいものもある。

【０００６】ここで、上記装置は、伸縮ロッドの下端が
スライスベースに当たった瞬間から直ちにスライスベー
スに大きな荷重をかける（すなわち衝撃荷重をかける）
ものであるので、特にウェハへのスライスベースの接着
力が強い場合、ウェハからスライスベースを剥離させる
代わりにスライスベースやウェハ自体にひび等の損傷を
与えてしまうおそれがある。

【０００７】このような不都合を回避する手段として、
上記伸縮ロッドの下降速度を落すことが考えられるが、
上記のような損傷発生を回避するには伸縮ロッドを極め
て微小な速度で下降させなければならず、その分作業時
間が非常に長くなり、実用に供するのは極めて困難であ
る。

【０００８】本発明は、このような事情に鑑み、スライ
スベースやウェハを損傷させずにウェハからスライスベ
ースを良好に剥離させることができる装置及びその運転
方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、スライシング
装置で切り出されたウェハをこのウェハの周縁部に接着
されたスライスベースがはみ出す位置で保持する状態と
解放する状態とに切換えられるウェハ保持手段と、この
ウェハ保持手段により保持されたウェハのスライスベー
スをウェハの厚み方向と略等しい方向に押圧して上記ウ
ェハから剥離させるためのスライスベース剥離部材と、
このスライスベース剥離部材を上記スライスベースの押
圧方向に移動させる剥離駆動手段とを備えたウェハのス
ライスベース剥離装置において、上記スライスベース剥
離部材を上記ウェハの押圧方向に相対変位可能に支持す
る剥離支持部材を備え、この剥離支持部材を上記剥離駆
動手段に連結するとともに、上記スライスベース剥離部
材と上記剥離支持部材との間に上記スライスベース剥離
部材をこのスライスベース剥離部材が上記スライスベー
スを押圧する向きに付勢する剥離用ばね部材を設けたも
のである（請求項１）。

【００１０】より具体的には、上記スライスベース剥離
部材を上記剥離支持部材に対して上記スライスベースの
押圧方向と略直交する方向の軸回りに回動可能に取付
け、上記スライスベース剥離部材においてその回動中心
から回動径方向に外れた部分が上記スライスベースを押
圧する押圧部となるようにスライスベース剥離部材及び
剥離支持部材を配置するとともに、上記押圧部がスライ
スベースを押圧する向きに上記スライスベース剥離部材
を付勢するように上記剥離用ばね部材を構成したものが
好適である（請求項２）。

【００１１】上記ウェハの保持については、そのウェハ
保持手段として、上記ウェハを下から支持するウェハ支
持部材と、このウェハ支持部材上に載置されたウェハを
上から押圧するためのウェハ固定部材と、このウェハ固
定部材を同ウェハ固定部材によるウェハの押圧方向に相
対変位可能に支持する固定支持部材と、この固定支持部
材と上記ウェハ固定部材との間に設けられ、このウェハ
固定部材を同ウェハ固定部材が上記ウェハを押圧する向
きに付勢する固定用ばね部材とを備え、上記固定支持部
材を上記剥離駆動手段に連結するとともに、この剥離駆
動手段による下向きの駆動によってまず上記ウェハ固定
部材が上記ウェハと接触して上記ウェハ支持部材ととも
にウェハを挾持してから上記スライスベース剥離部材が
上記スライスベースを押圧するようにこれらウェハ固定
部材とスライスベース剥離部材との相対高さを設定して
もよいし（請求項３）、上記ウェハ保持手段として、上
記ウェハを下から支持するウェハ支持部材と、このウェ
ハ支持部材上に載置されたウェハを上から押圧するため
のウェハ固定部材と、このウェハ固定部材をこのウェハ
固定部材によるウェハの押圧方向に相対変位可能に支持
する固定支持部材と、この固定支持部材と上記ウェハ固
定部材との間に設けられ、このウェハ固定部材を同ウェ
ハ固定部材が上記ウェハを押圧する向きに付勢する固定
用ばね部材と、上記固定支持部材を上記剥離支持部材と
は独立して昇降させる固定用昇降手段とを備えるととも
に、上記ウェハ支持部材上に載置された上記ウェハを上
記スライスベースの突出方向と逆の方向に後退させるウ
ェハ後退手段を備えるようにしてもよい（請求項４）。
後者の場合、上記ウェハ支持部材上にウェハを載置し、
上記固定支持部材を下降させてウェハ固定部材とウェハ
支持部材とにより上記ウェハを挾持し、この状態で上記
剥離支持部材を下降させて上記スライスベース剥離部材
によりスライスベースを上から押圧した後、このスライ
スベース剥離部材及び剥離支持部材は上昇させずに上記
ウェハ固定部材のみを上昇させ、上記ウェハを上記ウェ
ハ後退手段により後退させるといった運転をすることに
より（請求項５）、後述のようなより優れた効果を得る
ことができる。

【００１２】

【作用】請求項１記載の装置によれば、ウェハ保持手段
によりウェハを保持した状態で、このウェハから突出す
るスライスベースに対してウェハの厚み方向と略等しい
方向に剥離支持部材を移動させ、この剥離支持部材に支
持されているスライスベース剥離部材で上記スライスベ
ースを押圧することにより、このスライスベースをウェ
ハから剥離させることができる。

【００１３】ここで、上記スライスベース剥離部材と剥
離支持部材との間には剥離用ばね部材が設けられている
ので、従来のようにスライスベース剥離部材がスライス
ベースに当たった瞬間からいきなり大きな衝撃荷重がス
ライスベースに加えられるのではなく、スライスベース
に作用する荷重は上記剥離用ばね部材の変形量にほぼ比
例して徐々に増大する。すなわち、荷重の衝撃性が低い
ので、比較的スライスベースの接着力が強い場合でも、
スライスベースあるいはウェハを損傷させずにスライス
ベースを良好に剥離させることができる。

【００１４】また、スライスベースの接着力が特に強い
場合には、上記押圧を行ってもスライスベースが剥離し
ない事態が予想されるが、この場合でも、上記スライス
ベース剥離部材が上記剥離用ばね部材の弾発力に抗して
押圧の向きと逆の向きに逃げることにより、スライスベ
ースの剥離に代えてスライスベースやウェハを破損させ
てしまうといった事態を回避できる。

【００１５】より具体的に、請求項２記載の装置では、
スライスベース剥離部材において剥離支持部材に対する
回動中心から回動径方向に外れた部分が押圧部としてス
ライスベースに当たり、その後はスライスベース剥離部
材の回動に伴って剥離用ばね部材の変形量が増大し、こ
れにほぼ比例してスライスベースへの荷重も増大する。

【００１６】請求項３記載の装置では、ウェハ支持部材
上の所定位置にウェハを載置し、この状態から剥離駆動
手段により固定支持部材と剥離支持部材の双方を同時に
下向きに駆動するだけで、ウェハの保持及びスライスベ
ースの剥離を実行できる。具体的には、上記下向きの駆
動により、まずウェハ固定部材が上記ウェハと接触し、
その後固定用ばね部材の変形量に略比例して徐々にこの
ウェハ固定部材と上記ウェハ支持部材とによるウェハの
挾持力が高まる。これに続いてスライスベース剥離部材
が上記スライスベースの上面に接触し、その後スライス
ベースに作用する荷重は上記剥離用ばね部材の変形量に
ほぼ比例して徐々に増大し、最終的にスライスベースが
ウェハから剥離される。

【００１７】一方、請求項４記載の装置では、上記剥離
駆動手段とは別の固定用昇降手段により固定支持部材及
びウェハ固定部材が下向きに駆動され、ウェハの挾持が
なされる。

【００１８】ところで、上記ウェハに対するスライスベ
ースの接着力は全接着面にわたって均一であるとは限ら
ず、例えば接着剤がスライスベースの端からはみ出して
スライスベースの中央部よりも端部の方が接着力が高く
なっていると、上記スライスベース剥離部材でスライス
ベースを押圧してもこのスライスベースの端部のみがウ
ェハから離れず、ウェハからスライスベースがぶら下が
るといった事態が生じるおそれがある。

【００１９】その対策として、上記請求項４記載の装置
の場合、上記スライスベース剥離部材によるスライスベ
ースの押圧完了後、請求項５記載のように、スライスベ
ース剥離部材及び剥離支持部材は上昇させずに上記ウェ
ハ固定部材のみを上昇させ、この状態のまま上記ウェハ
を上記ウェハ後退手段により後退させるといった運転を
行えばよい。これにより、スライスベースが上記スライ
スベース剥離部材に引掛って取り残されたままウェハの
みが後退するため、ウェハとスライスベースとが自動的
に完全分離することになる。

【００２０】

【実施例】本発明の第１実施例を図１〜図５に基づいて
説明する。

【００２１】図４及び図５において、１０は水平なウェ
ハ支持板（ウェハ支持部材）であり、このウェハ支持板
１０上にウェハＷが載置可能とされている。そして、上
記ウェハ支持板１０の左右両側にウェハ搬送装置（ウェ
ハ後退手段）１２が設けられている。

【００２２】このウェハ搬送装置１２は、左右一対のプ
ーリ１４，１５，１６，１７…を備えている。これらの
プーリ１４〜１７には左右一対の搬送ベルト１８が掛け
られており、この搬送ベルト１８の上面高さと上記ウェ
ハ支持板１０の上面高さとが一致するように各プーリ１
４〜１７が配置されている。プーリ１６の回転軸１９に
はスプロケット２０が固定されている。この回転軸１９
の近傍には搬送モータ２２が配置され、この搬送モータ
２２の出力軸２３にスプロケット２４が固定されてお
り、このスプロケット２４と上記スプロケット２０とが
チェーン２６を介して連結されている。従って、上記搬
送モータ２２の作動により各プーリ１４〜１７及び搬送
ベルト１８が駆動され、この搬送ベルト１８により上記
ウェハ支持板１０上のウェハＷが前進及び後退方向（図
４及び図５の左右方向）に駆動されるようになってい
る。

【００２３】上記ウェハ支持板１０において上記ウェハ
搬送装置１２が設けられている側と反対側の端部（図４
及び図５では右側端部）のすぐ下方には、スライスベー
ス回収装置２４が設けられている。このスライスベース
回収装置２４は、一対のローラ２５と、これらローラ２
５同士の間に掛けられた搬送ベルト２６と、これらを駆
動する図略のモータとを備え、後述のように上記ウェハ
Ｗから剥離されたスライスベースＳＢを受け取って上記
ウェハ搬送装置１２の搬送方向と直交する方向に搬送す
るように構成されている。

【００２４】なお、図４及び図５において２７は、ウェ
ハＷから剥離して落下したスライスベースＳＢを確実に
搬送ベルト２６上へ導くための案内板である。

【００２５】上記ウェハ支持板１０及びスライスベース
回収装置２４の上方には、図１及び図２に示すような昇
降駆動シリンダ（剥離駆動手段）２８が配置されてい
る。この昇降駆動シリンダ２８は、下向きに突出する伸
縮ロッド２９を備え、この伸縮ロッド２９の下端部に基
板３０が水平状態で固定されている。

【００２６】この基板３０において、上記ウェハ支持板
１０の上方に位置する部分には、シリンダ固定板３２が
水平状態で固定されており、このシリンダ固定板３２に
上下方向の伸縮シリンダ（固定支持部材）３４が固定さ
れている。この伸縮シリンダ３４は、その内部で上下動
するピストン３６を包容し、このピストン３６から下方
には伸縮ロッド３７が延設され、ピストン３６の上方に
はこのピストン３６を下方に付勢する固定用圧縮ばね
（固定用ばね部材）３８が設けられている。そして、上
記伸縮ロッド３７の下端部に水平なウェハ押圧板（ウェ
ハ固定部材）４０が固定されており、このウェハ押圧板
４０の外周には、ゴム等の弾性材からなる緩衝用のＯリ
ング４２が装着されている。

【００２７】一方、上記基板３０において上記スライス
ベース回収装置２４の略上方に位置する部分には、下方
に延びる剥離支持部材４４が固定され、この剥離支持部
材４４の下端に一対の軸支持部４６が設けられている。
これらの軸支持部４６には、前記ウェハ搬送装置１２に
よるウェハ搬送方向と直交する水平方向（図１及び図２
の奥行き方向）に延びる回動中心軸４８が回動可能に支
持され、この回動中心軸４８がスライスベース剥離板
（スライスベース剥離部材）５０の中央部を貫く状態で
両者が一体に固定されている。図３に示すように、スラ
イスベース剥離板５０の平面形状は、上記軸支持部４６
との干渉を避けるための一対の切欠５０ｂをもつ三叉状
とされ、このスペース剥離板５０において上記ウェハＷ
に対向する側の端部（図１〜図３では左側端部）の端面
５０ａは、ウェハＷの外周面とほぼ合致する凹方向の円
弧面とされている。

【００２８】上記剥離支持部材４４において上記伸縮シ
リンダ３４に対向する側の側面には、幅方向（図３の上
下方向）に延びるばね支持板５２が水平方向に突設さ
れ、このばね支持板５２の下面と、上記スライスベース
剥離板５０において上記ウェハ支持板１０に近い側の回
動端部の上面との間に、剥離用圧縮ばね（剥離用ばね部
材）５４が介設されている。この剥離用圧縮ばね５４に
より、スライスベース剥離板５０全体が上記回動中心軸
４８を中心として図１及び図２の反時計回り方向に付勢
されている。また、剥離支持部材４４において上記ばね
支持板５２と反対側の側面にはブラケット５５が水平方
向に突設され、このブラケット５５から下方にストッパ
５６が突設されており、上記剥離用圧縮ばね５４の弾発
力で付勢されたスライスベース剥離板５０の上面が上記
ストッパ５６の下面に当たり、これによってスライスベ
ース剥離板５０が水平状態に保たれるように、ストッパ
５６の高さ位置が設定されている。

【００２９】そして、上記昇降駆動シリンダ２８が最も
収縮した状態で、図２に示すように、上記ウェハ押圧板
４０がウェハ支持板１０から上方に十分離間するととも
に、このウェハ支持板４０の下面よりもスライスベース
剥離板５０の下面が上方に位置するように、両者の相対
高さが設定されている。また、スライスベースＳＢがウ
ェハ支持板１０よりもスライスベース回収装置２４側
（図１〜図３の右側）にはみ出す位置でウェハＷがウェ
ハ支持板１０上に載置された状態で、上記スライスベー
スＳＢの直上方に上記スライスベース剥離板５０におい
て上記伸縮シリンダ３４に近い側の回動端部の下面（以
下、この実施例において押圧面と称する。）５０ｃが位
置するように、スライスベース剥離板５０の水平方向の
位置が設定されている。

【００３０】この装置によれば、次の要領でウェハＷか
らスライスベースＳＢを剥離させることができる。

【００３１】昇降駆動シリンダ２８を最収縮させ、図
２に示すようにウェハ押圧板４０及びスライスベース剥
離板５０をウェハ支持板１０の上面よりも上方の位置に
吊下げる。この時、スライスベース剥離板５０は、その
押圧面５０ｃがある側の回動端部（図２では左側端部）
が剥離用圧縮ばね５４の弾発力で押し下げられて反対側
の回動端部がストッパ５６に当たることにより、水平状
態に維持されている。また、伸縮ロッド３７は、この伸
縮ロッド３７及びウェハ押圧板４０等の自重と固定用圧
縮ばね３８の弾発力とにより最も下方へ突出した状態に
あり、このためウェハ押圧板４０の下面はスライスベー
ス剥離板５０の下面よりも下方に位置している。

【００３２】ウェハ支持板１０上にウェハＷを載置す
る。このウェハＷの載置は、ウェハ搬送装置１２を利用
して行ってもよいし、他の専用装置を使用して行っても
よい。ウェハＷの載置位置は、このウェハＷに接着され
ているスライスベースＳＢがウェハ支持板１０よりもス
ライスベース剥離板５０側（図２では右側）にはみ出
し、スライスベース剥離板５０の押圧面５０ｃの直下方
に位置するような位置とする。

【００３３】昇降駆動シリンダ２８を伸長方向に作動
させて基板３０を所定速度で降下させる。これにより、
まずＯリング４２及びウェハ剥離板４０の下面がウェハ
Ｗの上面に接触し、その後、固定用圧縮ばね３８の圧縮
変形を伴いながら伸縮ロッド３７及びピストン３６に対
して伸縮シリンダ３４本体が相対的に下降する（すなわ
ち伸縮シリンダ３４が収縮する）。この時、上記固定用
圧縮ばね３８の圧縮変形量にほぼ比例して上記Ｏリング
４２及びウェハ剥離板４０によるウェハＷの押圧力（換
言すれば上記Ｏリング４２及びウェハ剥離板４０とウェ
ハ支持板１０とによるウェハＷの挾持力）が徐々に増大
する。

【００３４】次いで、スライスベース剥離板５０の押圧
面５０ｃがスライスベースＳＢの上面に接触し、その
後、剥離用圧縮ばね５４の圧縮変形を伴いながらスライ
スベース剥離板５０が回動中心軸４８を中心として図１
の時計回り方向に回動する。そして、図１に示すように
上記回動中心軸４８が上記ウェハＷとほぼ同じ高さとな
った時点で昇降駆動シリンダ２８が最伸長状態となり、
ここで各部材の下降が停止する。

【００３５】この時、押圧面５０ｃからスライスベース
ＳＢに与えられる荷重は、従来のように両者が接触した
時点から急激に立ち上がる衝撃荷重ではなく、剥離用圧
縮ばね５４の圧縮変形量にほぼ比例して経時的に増大す
る荷重となる。従って、ウェハＷへのスライスベースＳ
Ｂの接着力が比較的弱い場合には、剥離用圧縮ばね５４
の変形量がまだ小さい時点（すなわちスライスベース剥
離板５０の回動量がまだ小さい時点）でスライスベース
ＳＢがウェハＷから剥離され、上記接着力が比較的強い
場合には、剥離用圧縮ばねの変形量がかなり増大した時
点（すなわちスライスベース剥離板５０の回動量がかな
り大きくなった時点）でウェハＷから剥離される。この
剥離されたスライスベースＳＢはスライスベース回収装
置２４の搬送ベルト２６上に落下し、この搬送ベルト２
６の駆動によって所定の場所に回収される。また、上記
接着力が非常に強い場合には、ウェハＷからスライスベ
ースＳＢが剥離しないことが予想されるが、この場合、
スライスベースＳＢとウェハＷとがつながった状態で、
かつ、図１実線に示すようにスライスベース剥離板５０
が傾いた状態のまま、下降駆動が停止されることにな
る。

【００３６】従って、この装置によれば、ウェハＷへの
スライスベースＳＢの接着力にバラツキがあっても、良
好なスライスベースＳＢの剥離が保証され、最悪の場合
（接着力が強くてスライスベースＳＢが剥離しなかった
場合）でも、この剥離に代えてスライスベースＳＢやウ
ェハＷが破損されてしまう事態が回避される。

【００３７】剥離動作終了後、伸縮駆動シリンダ２８
を再収縮させ、ウェハ押圧板４０及びスライスベース剥
離板５０を引き上げる。そして、ウェハ搬送装置１２の
搬送モータ２２を作動させて搬送ベルト１８を図４及び
図５の矢印方向に駆動し、ウェハＷを上記スライスベー
スＳＢの接着個所と反対の側に移動させる（すなわち後
退させる）。

【００３８】この実施例では、伸縮シリンダ３４及び剥
離支持部材４４を共通の昇降駆動シリンダ２８に連結し
ているので、この単一の昇降駆動シリンダ２８の作動の
みでウェハＷの挾持、固定とスライスベースＳＢの剥離
とを自動的に連続して行うことができる利点があるが、
上記伸縮シリンダ３４と剥離支持部材４４とを個別に駆
動するようにしてもスライスベースＳＢの剥離が可能で
あることはいうまでもない。その例を第２実施例として
図６に示す。この実施例では、シリンダ固定部材３２及
び伸縮シリンダ３４を固定専用の昇降駆動シリンダ（固
定昇降手段）２８´の伸縮ロッド２９´の下端に固定
し、剥離支持部材４４のみを前記第１実施例で示した昇
降駆動シリンダ２８の伸縮ロッド２９に連結している。
この実施例の場合には、まず昇降駆動シリンダ２８´を
伸長させて伸縮シリンダ３４及びウェハ押圧板４０を下
降させ、ウェハＷを挾持した後、昇降駆動シリンダ２８
を伸長させて剥離支持部材４４及びスライスベース剥離
板５０を下降させるという手順を踏むことにより、前記
第１実施例と同様にスライスベースＳＢの剥離作業を自
動的に行うことができる。

【００３９】ところで、上記ウェハＷに対するスライス
ベースＳＢの接着力は全接着面にわたって均一であると
は限らず、例えば接着剤がスライスベースＳＢの端から
はみ出してスライスベースの中央部よりも端部の方が接
着力が高くなっていると、上記スライスベース剥離板５
０でスライスベースＳＢを押圧した時にこのスライスベ
ースＳＢの端部のみがウェハＷから離れず、ウェハＷか
らスライスベースＳＢがぶら下がる状態が生じるおそれ
がある。この場合、押圧動作後にウェハＷからスライス
ベースＳＢを完全分離させるといったフォローが自動的
に行われるようにすれば、作業能率はより高まることと
なる。

【００４０】その方法として、前記第２実施例装置の場
合、上記スライスベース剥離板５０によるスライスベー
スＳＢの押圧完了後、図７に示すように、スライスベー
ス剥離板５０及び剥離支持部材４４は上昇させずに（す
なわち昇降駆動シリンダ２８は収縮させずに）、昇降駆
動シリンダ２８´のみを収縮して伸縮シリンダ３４及び
ウェハ押圧板４０を上昇させ、この状態のまま上記ウェ
ハＷを上記ウェハ搬送装置１２により後退させるような
運転をすればよい。これにより、スライスベースＳＢが
上記スライスベース剥離板５０に引掛って取り残された
ままウェハＷのみが後退するため、この後退時にウェハ
ＷとスライスベースＳＢとが自動的に切り離されること
となる。

【００４１】なお、本発明は以上の実施例に限定される
ものでなく、例として次のような態様をとることも可能
である。

【００４２】(1) 前記各実施例では、ウェハ支持板１０
及びウェハ押圧板４０によってウェハＷを水平状態に保
持するものを示したが、例えばウェハＷを立直状態で保
持するようにしてもよい。この場合は、スライスベース
剥離部材を水平方向に作動させて同方向にスライスベー
スＳＢを押圧するようにすればよい。

【００４３】(2) 前記各実施例では、スライスベース剥
離板５０を剥離支持部材４４に回動可能に取付けたもの
を示したが、これに代え、同実施例に示した伸縮シリン
ダ３４と同様のシリンダの伸縮ロッドに上記スライスベ
ース剥離板５０を固定し、固定用圧縮ばね３８と同様の
圧縮ばね等で上記スライスベース剥離板５０を下方に付
勢するようにしても、スライスベースＳＢに作用させる
荷重を経時的に増大させることが可能である。ただし、
前記各実施例に示した構造にすれば、伸縮シリンダを用
いない簡素な構造で、スライスベース剥離板５０の押圧
面５０ｃを剥離支持部材４４に対して上下方向に相対変
位させることができる利点がある。

【００４４】(3) 本発明における剥離用ばね部材や固定
用ばね部材には、従来から知られている種々のばね部材
の適用が可能である。例えば、前記第１実施例の構造で
は、上記剥離用圧縮ばね５４に代え、回動中心軸４８の
周囲に剥離用ねじりばねを装着し、このねじりばねによ
ってスライスベース剥離板５０を図１の反時計回り方向
に付勢するようにしてもよい。

【００４５】

【発明の効果】以上のように本発明は、スライスベース
剥離部材を直接剥離駆動手段に連結するのではなく、上
記ウェハの押圧方向に相対変位可能に剥離支持部材に支
持するとともに、上記スライスベース剥離部材と上記剥
離支持部材との間に剥離用ばね部材を設け、上記スライ
スベース剥離部材をこのスライスベース剥離部材が上記
スライスベースを押圧する向きに付勢することにより、
従来のようにスライスベース剥離部材がスライスベース
に当たった瞬間からこのスライスベースに衝撃的に荷重
を与えるのではなく、上記剥離用ばね部材の変形量にほ
ぼ比例して徐々に荷重を増大させていくようにしたもの
であるので、スライスベースの接着力にバラツキがあっ
ても良好にスライスベースを剥離させることができ、ス
ライスベースを剥離できなかった最悪の場合でも、この
スライスベースあるいはウェハを無理に損傷させてしま
うのを回避することができる効果がある。

【００４６】ここで、請求項２記載の装置では、スライ
スベース剥離部材を剥離支持部材に回動可能に取付け、
このスライスベース剥離部材において剥離支持部材に対
する回動中心から回動径方向に外れた部分をスライスベ
ースの押圧部としているので、伸縮シリンダを用いない
簡素な構造で、上記押圧部を剥離支持部材に対して上記
押圧方向に相対変位させることができる効果がある。

【００４７】請求項３記載の装置は、上記ウェハ保持手
段を構成する固定支持部材を上記剥離駆動手段に連結
し、この剥離駆動手段による下向きの駆動によってまず
上記ウェハ固定部材が上記ウェハと接触して上記ウェハ
支持部材とともにウェハを挾持してから上記スライスベ
ース剥離部材が上記スライスベースを押圧するようにこ
れらウェハ固定部材とスライスベース剥離部材との相対
高さを設定したものであるので、単一の駆動手段を用い
た簡素な構造で、ウェハの挾持とスライスベースの押圧
とを自動的に連続して行わせることができる効果があ
る。

【００４８】これに対して請求項４記載の装置では、上
記剥離駆動手段とは別の固定用昇降手段により固定支持
部材及びウェハ固定部材を下向きに駆動し、ウェハの挾
持を行うようにしたものであるので、請求項５記載のよ
うに、上記スライスベース剥離部材によるスライスベー
スの押圧完了後、このスライスベース剥離部材及び剥離
支持部材は上昇させずに上記ウェハ固定部材のみを上昇
させ、この状態のまま上記ウェハを上記ウェハ後退手段
により後退させるような運転を行うことにより、スライ
スベースがウェハから完全に剥離せず一部のみでつなが
っている場合でも、上記ウェハ後退時に自動的にかつ確
実にスライスベースとウェハとを切り離すことができ、
さらに作業能率を高めることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例にかかるスライスベース剥
離装置においてウェハ押圧板及びスライスベース剥離板
が最下端位置まで下降した状態を示す一部断面正面図で
ある。

【図２】上記スライスベース剥離装置においてウェハ押
圧板及びスライスベース剥離板が最上端位置まで上昇し
た状態を示す一部断面正面図である。

【図３】上記スライスベース剥離装置の要部を示す平面
図である。

【図４】上記スライスベース剥離装置に付設されたウェ
ハ搬送装置の正面図である。

【図５】上記ウェハ搬送装置の平面図である。

【図６】本発明の第２実施例におけるスライスベース剥
離装置の要部を示す一部断面正面図である。

【図７】上記スライスベース剥離装置においてスライス
ベース剥離板を下降させた後にウェハ押圧板のみを上昇
させた状態を示す一部断面正面図である。

【符号の説明】

１０ ウェハ支持板 １２ ウェハ搬送装置（ウェハ後退手段） ２８ 昇降駆動シリンダ（剥離駆動手段） ２８´ 昇降駆動シリンダ（固定駆動手段） ３４ 伸縮シリンダ（固定支持部材） ３８ 固定用圧縮ばね ４０ ウェハ押圧板 ４４ 剥離支持部材 ４８ 回動中心軸 ５０ スライスベース剥離板 ５０ｃ 押圧面 ５４ 剥離用圧縮ばね Ｗ ウェハ ＳＢ スライスベース

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−208978（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−69986（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/304 611 B28D 5/04

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スライシング装置で切り出されたウェハ
   をこのウェハの周縁部に接着されたスライスベースがは
   み出す位置で保持する状態と解放する状態とに切換えら
   れるウェハ保持手段と、このウェハ保持手段により保持
   されたウェハのスライスベースをウェハの厚み方向と略
   等しい方向に押圧して上記ウェハから剥離させるための
   スライスベース剥離部材と、このスライスベース剥離部
   材を上記スライスベースの押圧方向に移動させる剥離駆
   動手段とを備えたウェハのスライスベース剥離装置にお
   いて、上記スライスベース剥離部材を上記ウェハの押圧
   方向に相対変位可能に支持する剥離支持部材を備え、こ
   の剥離支持部材を上記剥離駆動手段に連結するととも
   に、上記スライスベース剥離部材と上記剥離支持部材と
   の間に上記スライスベース剥離部材をこのスライスベー
   ス剥離部材が上記スライスベースを押圧する向きに付勢
   する剥離用ばね部材を設けたことを特徴とするウェハの
   スライスベース剥離装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のウェハのスライスベース
   剥離装置において、上記スライスベース剥離部材を上記
   剥離支持部材に対して上記スライスベースの押圧方向と
   略直交する方向の軸回りに回動可能に取付け、上記スラ
   イスベース剥離部材においてその回動中心から回動径方
   向に外れた部分が上記スライスベースを押圧する押圧部
   となるようにスライスベース剥離部材及び剥離支持部材
   を配置するとともに、上記押圧部がスライスベースを押
   圧する向きに上記スライスベース剥離部材を付勢するよ
   うに上記剥離用ばね部材を構成したことを特徴とするウ
   ェハのスライスベース剥離装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載のウェハのスライ
   スベース剥離装置において、上記ウェハ保持手段とし
   て、上記ウェハを下から支持するウェハ支持部材と、こ
   のウェハ支持部材上に載置されたウェハを上から押圧す
   るためのウェハ固定部材と、このウェハ固定部材を同ウ
   ェハ固定部材によるウェハの押圧方向に相対変位可能に
   支持する固定支持部材と、この固定支持部材と上記ウェ
   ハ固定部材との間に設けられ、このウェハ固定部材を同
   ウェハ固定部材が上記ウェハを押圧する向きに付勢する
   固定用ばね部材とを備え、上記固定支持部材を上記剥離
   駆動手段に連結するとともに、この剥離駆動手段による
   下向きの駆動によってまず上記ウェハ固定部材が上記ウ
   ェハと接触して上記ウェハ支持部材とともにウェハを挾
   持してから上記スライスベース剥離部材が上記スライス
   ベースを押圧するようにこれらウェハ固定部材とスライ
   スベース剥離部材との相対高さを設定したことを特徴と
   するウェハのスライスベース剥離装置。
4. 【請求項４】 請求項１または２記載のウェハのスライ
   スベース剥離装置において、上記ウェハ保持手段とし
   て、上記ウェハを下から支持するウェハ支持部材と、こ
   のウェハ支持部材上に載置されたウェハを上から押圧す
   るためのウェハ固定部材と、このウェハ固定部材をこの
   ウェハ固定部材によるウェハの押圧方向に相対変位可能
   に支持する固定支持部材と、この固定支持部材と上記ウ
   ェハ固定部材との間に設けられ、このウェハ固定部材を
   同ウェハ固定部材が上記ウェハを押圧する向きに付勢す
   る固定用ばね部材と、上記固定支持部材を上記剥離支持
   部材とは独立して昇降させる固定用昇降手段とを備える
   とともに、上記ウェハ支持部材上に載置された上記ウェ
   ハを上記スライスベースの突出方向と逆の方向に後退さ
   せるウェハ後退手段を備えたことを特徴とするウェハの
   スライスベース剥離装置。
5. 【請求項５】 請求項４記載のウェハのスライスベース
   剥離装置の運転方法であって、上記ウェハ支持部材上に
   ウェハを載置し、上記固定支持部材を下降させてウェハ
   固定部材とウェハ支持部材とにより上記ウェハを挾持
   し、この状態で上記剥離支持部材を下降させて上記スラ
   イスベース剥離部材によりスライスベースを上から押圧
   した後、このスライスベース剥離部材及び剥離支持部材
   は上昇させずに上記ウェハ固定部材のみを上昇させ、上
   記ウェハを上記ウェハ後退手段により後退させることを
   特徴とするウェハのスライスベース剥離装置の運転方
   法。