KR20080025701A

KR20080025701A - 시트 첩부용 테이블

Info

Publication number: KR20080025701A
Application number: KR1020077030787A
Authority: KR
Inventors: 츠요시 쿠리타; 코이치 야마구치; 켄지 코바야시
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2005-07-07
Filing date: 2006-06-26
Publication date: 2008-03-21
Also published as: DE112006001777T5; SG163561A1; US20090120587A1; JP2007043057A; TW200713486A; WO2007007533A1

Abstract

반도체 웨이퍼(W)의 상면에 접착시트(S)를 첩부할 때에 사용되는 테이블(13)이며, 당해 테이블(13)은 외측 테이블(51)과 내측 테이블(52)로 구성되어 있다. 외측 테이블(51)과 내측 테이블(52)은 각각 단축 로봇(54, 56)을 통하여 승강 가능하게 설치됨과 아울러, 내측 테이블(52)은 외측 테이블(51)을 승강시켰을 때에 동시에 승강 가능하게 설치되어 있다.

판상 부재, 시트 풀어내기 유닛, 가압 롤러, 시트 첩부용 테이블, 내측 테이블, 외측 테이블.

Description

시트 첩부용 테이블{TABLE FOR ADHERING SHEET}

본 발명은 시트 첩부용 테이블에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 판상 부재의 두께나, 판상 부재에 첩부되는 시트의 두께에 따라 높이 위치 조정을 행할 수 있는 시트 첩부용 테이블에 관한 것이다.

종래부터, 반도체 웨이퍼(이하, 간단히 「웨이퍼」라고 칭함)에는, 그 회로면을 보호하기 위한 보호시트를 첩부하거나, 이면에 다이본딩용의 접착시트를 첩부하거나 하는 것이 행해지고 있다.

이러한 시트를 웨이퍼에 첩부할 때에 사용되는 테이블로서는, 예를 들면 특허문헌 1에 기재된 테이블이 알려져 있다. 이 테이블은 승강 가능하게 설치되어 있고, 당해 테이블의 외주에 배치된 외측 프레임의 상면 위치와, 테이블 상의 웨이퍼 상면 위치를 일치시키도록 테이블이 승강 가능하게 되어 있다.

특허문헌 1: 일본 특개 2004-47976호 공보

(발명의 개시)

(발명이 해결하고자 하는 과제)

특허문헌 1에 기재된 테이블은 테이블 상에 배치되는 웨이퍼의 상면 위치를 외측 프레임의 상면에 일치시키는 승강을 가능하게 하는 것 뿐의 것이며, 시트의 두께 변화에 따라 테이블의 높이 조정을 행하는 구성으로는 되어 있지 않다. 즉, 특허문헌 1의 테이블은 웨이퍼의 두께에 의해 가압 롤러가 테이블의 상면으로부터 웨이퍼 상면으로 올라앉음으로써 발생할 수 있는 시트의 늘어남 등을 방지하기 위하여, 가압 롤러를 외측 프레임에 접촉시키면서 회전이동시킴으로써 테이블 상면에 대한 맞닿음을 회피시키는 것에 지나지 않는다.

일반적으로, 가압 롤러와 테이블과의 관계는 시트의 두께에 대하여 적정한 압력을 부여할 수 있는 높이가 되도록 가압 롤러와 테이블이 상대적으로 배치되어 있다. 따라서, 두께가 증대한 시트로 변경했을 때는, 과대한 압력이 부여되어 웨이퍼의 깨짐 등을 야기하게 되므로, 가압 롤러와 테이블의 위치를 변경하는 것이 필수요건이 된다.

그런데, 특허문헌 1의 구성에 있어서는, 테이블의 높이를 내리면, 상대적으로 외측 프레임의 상면 위치에 대하여 웨이퍼의 상면 위치가 낮아지게 되기 때문에, 결과적으로, 외측 프레임과의 높이 위치 어긋남에 의해 압력 부족이나, 시트에 의도하지 않은 늘어남 등을 발생해버린다고 하는 문제를 초래한다.

[발명의 목적]

본 발명은 이러한 문제에 착안하여 안출된 것으로, 그 목적은 시트의 두께나 웨이퍼의 두께에 따라 높이 위치 조정을 행할 수 있는 시트 첩부용 테이블을 제공하는 것에 있다.

(과제를 해결하기 위한 수단)

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 판상 부재의 상면에 시트 풀어내기 유닛으로부터 풀려나온 시트를 가압 롤러로 가압하여 첩부하기 위한 시트 첩부용 테이블에 있어서,

상기 판상 부재를 지지하는 내측 테이블과, 당해 내측 테이블을 둘러싸도록 배치된 외측 테이블로 이루어지고,

상기 내측 테이블은 상기 외측 테이블의 상면을 기준 위치로 하여 상기 판상 부재의 두께에 따라 승강하고,

상기 가압 롤러는 상기 외측 테이블의 상면을 기준으로 하여 상기 시트의 두께에 따라 승강 가능하게 설치된다는 구성을 채용하고 있다.

또, 본 발명은 판상 부재의 상면에 시트 풀어내기 유닛으로부터 풀려나온 시트를 가압 롤러로 가압하여 첩부하기 위한 시트 첩부용 테이블에 있어서,

상기 외측 테이블은 상기 내측 테이블의 상면을 기준위치로 하여 상기 판상 부재의 두께에 따라 승강하고,

상기 가압 롤러는 상기 외측 테이블의 상면을 기준으로 하여 상기 시트의 두께에 따라 승강 가능하게 설치된다는 구성을 채용할 수 있다.

또한, 본 발명은 판상 부재의 상면에 시트 풀어내기 유닛으로부터 풀려나온 시트를 가압 롤러로 가압하여 첩부하기 위한 시트 첩부용 테이블에 있어서,

상기 내측 테이블과 외측 테이블은 각각 승강 가능하게 설치된다고 하는 구성을 채용할 수도 있다.

본 발명에서, 상기 내측 테이블은 외측 테이블을 승강시켰을 때에 당해 승강 테이블과 함께 승강 가능하게 설치된다고 하는 구성을 채용하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 내측 테이블은 상기 외측 테이블의 상면을 기준위치로 하여 상기 판상 부재의 두께에 따라 승강하고, 상기 외측 테이블은 상기 가압 롤러의 가압면을 기준으로 하여 상기 시트의 두께에 따라 승강함으로써, 상기 가압 롤러의 압력을 일정하게 유지할 수 있다.

또, 상기 내측 테이블과 외측 테이블 사이에는, 판상 부재에 첩부된 시트를 당해 판상 부재의 외측 가장자리를 따라 절단하기 위한 간극이 형성되어 있다.

또한, 상기 내측 테이블의 평면형상은 판상 부재의 평면형상에 대략 일치하도록 설치되어 있다.

발명의 효과

본 발명에 의하면, 내측 테이블과 외측 테이블은 각각 승강 가능하기 때문에, 판상 부재의 두께 및, 시트의 두께가 바뀌어도, 그것들에 따라 최적인 첩부조건이 얻어지도록 조정이 가능하다. 또, 판상 부재의 두께만이 변경된 경우에는, 내측 테이블만 조정할 뿐이며, 외측 테이블의 조정은 필요 없게 된다.

또, 내측 테이블이 외측 테이블과 함께 승강할 수 있으므로, 시트의 두께만이 변경된 경우에는, 외측 테이블의 높이를 조정하는 것만으로, 내측 테이블의 높이도 최적인 높이 위치에 설정되게 된다.

도 1은 본 실시형태에 따른 시트 첩부장치의 개략 정면도.

도 2는 상기 시트 첩부장치의 개략 사시도.

도 3은 테이블의 개략 단면도.

도 4는 접착시트의 첩부동작 설명도.

도 5는 박리장치에 의한 불필요 접착시트의 박리동작 설명도.

(부호의 설명)

10 시트 첩부장치 12 시트 풀어내기 유닛

13 테이블 14 가압 롤러

51 외측 테이블 52 내측 테이블

C 간극 PS 박리시트

S 접착시트 W 웨이퍼(판상 부재)

(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1에는, 본 실시형태에 따른 시트 첩부장치의 개략 정면도가 도시되고, 도 2에는, 그 개략 사시도가 도시되어 있다. 이들 도면에서, 시트 첩부장치(10)는 베이스(11)의 상부에 배치된 시트 풀어내기 유닛(12)과, 판상 부재로서의 웨이퍼(W)를 지지하는 테이블(13)과, 웨이퍼(W)의 상면측에 풀려나온 접착시트(S)에 압력을 부여하여 웨이퍼(W)에 첩부하는 가압 롤러(14)와, 웨이퍼(W)에 접착시트(S)를 첩부한 후에 당해 웨이퍼(W)의 외측 가장자리를 따라 접착시트(S)를 절단하는 커터(15)와, 웨이퍼(W)의 외측의 불필요 접착시트(S1)를 테이블(13)의 상면으로부터 박리하는 박리장치(16)와, 불필요 접착시트(S1)를 권취하는 권취장치(17)를 구비하여 구성되어 있다.

상기 시트 풀어내기 유닛(12)은 띠 모양의 박리시트(PS)의 일방의 면에 띠 모양의 접착시트(S)가 임시 접착된 롤 모양의 원재료 시트(L)를 지지하는 지지 롤러(20)와, 이 지지 롤러(20)로부터 풀려나온 원재료 시트(L)를 급격하게 반전하여 접착시트(S)를 박리시트(PS)로부터 박리하는 필 플레이트(22)와, 박리시트(PS)를 권취하여 회수하는 회수 롤러(23)와, 지지 롤러(20)와 회수 롤러(23) 사이에 배치된 복수의 가이드 롤러(25~31)와, 가이드 롤러(25 ,26) 사이에 배치된 버퍼 롤러(33)와, 가이드 롤러(27, 28) 사이에 배치된 장력 측정 수단(35)과, 필 플레이트(22), 가이드 롤러(27, 28, 29) 및 장력 측정 수단(35)을 일체로 지지하는 첩부각도 유지 수단(37)과를 구비하여 구성되어 있다. 또한, 상기 가이드 롤러(27, 29)에는, 브레이크 슈(32, 42)가 병설되어 있고, 이들 브레이크 슈(32, 42)는 접착시트(S)를 웨이퍼(W)에 첩부할 때에, 실린더(38, 48)에 의해 대응하는 가이드 롤러(27, 29)에 대하여 진퇴함으로써 접착시트(S)를 사이에 끼우고 그 풀어내기를 억제하게 되어 있다.

상기 장력 측정 수단(35)은 로드 셀(39)과, 당해 로드 셀에 지지되고 상기 필 플레이트(22)의 기부측에 위치하는 장력 측정 롤러(40)로 구성되어 있다. 장력 측정 롤러(40)는 가이드 롤러(27)와 브레이크 슈(32)로 끼워져서 상기 가압 롤러(14)와의 사이에 풀려나온 접착시트(S)의 장력에 의해 잡아 당겨짐으로써, 로드 셀(39)에 그 장력을 전하도록 구성되어 있다. 그리고, 상기 로드 셀(39)은 상기 풀려나온 접착시트(S)의 장력을 측정하면서 첩부각도 유지 수단(37)을 통하여, 후술하는 풀어내기 헤드(49)가 도 1 중 비스듬히 하방으로 변위함으로써 접착시트(S)의 장력을 일정하게 유지하도록 되어 있다.

상기 첩부각도 유지 수단(37)은 상기 가압 롤러(14)와 서로 작용하여 웨이퍼(W)에 대한 접착시트(S)의 첩부각도(θ)를 일정하게 유지하도록 구성되어 있다. 이 첩부각도 유지 수단(37)은 가이드 롤러(27, 28 ,29), 로드 셀(39), 장력 측정 롤러(40), 브레이크 슈(32, 42), 실린더(38, 48), 필 플레이트(22) 및 이것들을 유지하는 1쌍의 슬라이드판(43, 43)에 의해 구성된 풀어내기 헤드(49)와, 당해 풀어내기 헤드(49)를 상하로 안내하는 1쌍의 가이드 레일(45, 45)과, 풀어내기 헤드(49)에 승강력을 부여하는 1쌍의 단축 로봇(46, 46)을 구비하여 구성되어 있다. 가이드 레일(45) 및 단축 로봇(46)은 경사 자세로 배치되어 있고, 이 경사각도를 따라 풀어내기 헤드(49)가 승강 가능하게 되어 있다. 또한, 필 플레이트(22)는, 슬라이드 판(43)의 내측에 배치된 실린더(50)에 지지되어 있고, 도 1 중 X방향으로 진퇴 가능하게 설치되고, 이것에 의해, 웨이퍼(W)의 직경에 따라 필 플레이트(22)의 선단 위치 조정을 행할 수 있게 되어 있다.

상기 테이블(13)은, 도 3에 도시되는 바와 같이, 평면으로 보아 대략 사각형의 외측 테이블(51)과, 평면으로 보아 대략 원형의 내측 테이블(52)로 구성되어 있 다. 이들 외측 테이블(51)과 내측 테이블(52) 사이에는, 후술하는 커터에 의해 접착시트(S)를 웨이퍼 외측 가장자리를 따라 절단하기 위한 간극(C)이 형성되어 있다. 외측 테이블(51)은 내측 테이블(52)을 수용할 수 있는 오목형으로 설치되어 있음과 아울러, 단축 로봇(54)을 통하여 베이스(11)에 대하여 승강 가능하게 설치되어 있다. 이 한편, 내측 테이블(52)은 단축 로봇(56)을 통하여 외측 테이블(51)에 대하여 승강 가능하게 설치되어 있다. 따라서, 외측 테이블(51)과 내측 테이블(52)은, 일체로 승강 가능함과 아울러, 서로 독립하여 승강 가능하게 되고, 이것에 의해, 접착시트(S)의 두께, 웨이퍼(W)의 두께에 따라 소정의 높이 위치로 조정할 수 있게 되어 있다. 또한, 내측 테이블(52)은 웨이퍼(W)의 평면 형상에 대략 일치하는 형상으로 설치되어 있다.

상기 가압 롤러(14)는 문형(門型) 프레임(57)을 통하여 지지되어 있다. 문형 프레임(57)의 상면측에는 실린더(59, 59)가 설치되어 있고, 이들 실린더(59)의 작동에 의해 가압 롤러(14)가 접착시트(S)의 두께에 따라 상하로 승강 가능하게 설치되어 있다. 또한, 문형 프레임(57)은, 도 2에 도시되는 바와 같이, 단축 로봇(60) 및 가이드 레일(61)을 통하여 도 1 중 X방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 여기에서, 실린더(59)는 그 이동량이 수치 정보로 제어되는 모터에 의해 구동되는 단축의 로봇 실린더를 사용하고 있다.

상기 커터(15)는 테이블(13)의 상방 위치에서 도시하지 않은 승강장치를 통하여 승강 가능하게 설치되어 있다. 이 커터(15)는 회전 중심축(65)에 고정된 회전 암(66)과, 이 회전 암(66)에 지지된 커터 날(67)로 구성되며, 당해 커터 날(67) 을 회전 중심축(65) 주위로 회전시킴으로써 웨이퍼(W)의 외측 가장자리를 따라 접착시트(S)를 절단할 수 있게 되어 있다.

상기 박리장치(16)는, 도 1 및 도 4, 도 5에 도시되는 바와 같이, 소직경 롤러(70)와, 대직경 롤러(71)로 구성되어 있다. 이들 소직경 롤러(70) 및 대직경 롤러(71)는 이동 프레임(F)에 지지되어 있다. 이 이동 프레임(F)은, 도 2 중 Y방향을 따라 상대배치된 전방부 프레임(F1)과, 이 전방부 프레임(F1)에 연결 부재(73)를 통하여 연결된 후방부 프레임(F2)으로 이루어지고, 후방부 프레임(F2)은, 단축 로봇(75)에 지지되어 있는 한편, 전방부 프레임(F1)은 상기 가이드 레일(61)에 지지되고, 이것에 의해, 이동 프레임(F)은 도 2 중 X방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 대직경 롤러(71)는, 도 1에 도시되는 바와 같이, 아암 부재(74)에 지지되어 있음과 아울러, 당해 아암 부재(74)는 실린더(78)에 의해 대직경 롤러(71)가 소직경 롤러(70)에 대하여 이간, 접근하는 방향으로 변위 가능하게 되어 있다.

상기 권취장치(17)는 이동 프레임(F)에 지지된 구동 롤러(80)와, 회전 아암(84)의 자유단측에 지지되며, 스프링(85)을 통하여 구동 롤러(80)의 외주면에 접하여 불필요 접착시트(S1)를 니핑하는 권취 롤러(81)로 구성되어 있다. 구동 롤러(80)의 축단에는, 구동 모터(M)가 배치되어 있고, 당해 모터(M)의 구동에 의해, 구동 롤러(80)가 회전하고, 권취 롤러(81)가 이것에 추종 회전함으로써 불필요 접착시트(S1)가 권취되도록 되어 있다. 또한, 권취 롤러(81)는, 권취량이 증대함에 따라, 스프링(85)의 힘에 저항하여 도 1 중 우측 방향으로 회전하게 된다.

다음에, 본 실시형태에서의 접착시트(S)의 첩부방법에 대하여, 도 4 및 도 5 도 참조하면서 설명한다.

초기 설정에서, 지지 롤러(20)로부터 풀려나오는 원재료 시트(L)는, 필 플레이트(22)의 선단 위치에서 박리시트(PS)로부터 접착시트(S)가 박리되고, 박리시트(PS)의 리드단은 가이드 롤러(28, 29)를 경유하여 회수 롤러(23)에 고정된다. 이 한편, 접착시트(S)의 리드단은 가압 롤러(14), 박리장치(16)를 경유하여 권취장치(17)의 권취 롤러(81)에 고정된다. 이 때, 풀어내기 헤드(49)의 선단을 구성하는 필 플레이트(22)는 최상승 위치(도 1, 도 4(a) 참조)에 있고, 당해 필 플레이트(22)와 가압 롤러(14) 사이의 접착시트(S)는, 도 1에 도시되는 바와 같이, 테이블(13) 상에 배치되는 웨이퍼(W)의 면에 대하여 소정의 첩부각도(θ)가 되도록 설정되어 있다. 또, 필 플레이트(22)는 당해 필 플레이트(22)와 가압 롤러(14) 사이의 접착시트(S)의 길이가 웨이퍼(W)의 일단으로부터 타단, 즉 도 4 중 우단으로부터 좌단까지의 길이보다도 약간(간신히) 길어지도록, 실린더(50)를 통하여 선단의 위치조정이 행해진다.

테이블(13)은 내측 테이블(52)에 웨이퍼(W)를 지지한 상태에서, 당해 웨이퍼(W)의 상면이 외측 테이블(51)의 상면에 일치하도록 미리 조정된다. 즉, 내측 테이블(52)의 상면은 웨이퍼(W)의 두께만큼 외측 테이블(51)의 상면 위치보다도 낮게 설정된다. 이것에 의해, 외측 테이블(51)의 상면에 부여되는 압력과 웨이퍼(W)에 부여되는 압력이 동일하게 되어, 접착시트(S)에 대한 첩부압력 부족이나, 과대한 압력부여는 생기지 않는다. 또한, 예를 들면 도 3에 도시되는 접착시트(S)보다 두꺼운 접착시트를 첩부하는 경우에는, 그만큼 외측 테이블(51)을 하강시킴으로써 내측 테이블(52)도 동시에 하강시킬 수 있고, 이것에 의해, 동일 판두께의 웨이퍼(W)를 대상으로 하는 한, 외측 테이블(51)의 상면 높이 조정을 행하면 충분하게 된다. 또한, 웨이퍼(W)의 두께가 상이한 것으로 변경된 경우에는, 그 두께에 대응하여 내측 테이블(52)의 높이 조정을 행하여, 당해 웨이퍼의 상면이 외측 테이블(51)의 상면에 일치하도록 조정되게 된다.

도시하지 않은 옮겨싣기 아암을 통하여 테이블(13) 상에 웨이퍼(W)가 세팅된 상태로 첩부동작이 개시된다. 또한, 첩부동작에 앞서, 가이드 롤러(27, 29)에는 브레이크 슈(32, 42)가 맞닿아 접착시트(S)의 풀어내기가 억제된다. 그리고, 테이블(13)이 정지된 상태에서, 가압 롤러(14)가 회전하면서 웨이퍼(W) 상을 도 4 중 좌측으로 이동한다. 이 가압 롤러의 이동에 따라, 접착시트(S)에는 장력이 가해지고, 장력 측정 롤러(40)가 X방향으로 잡아 당겨지게 된다. 그래서 로드 셀(39)이 그 장력을 측정함으로써, 소정 장력을 유지하기 위해 첩부각도 유지 수단(37)을 사용하여 풀어내기 헤드(49)를 비스듬히 하방으로 내린다. 즉, 로드 셀(39)이 장력을 측정하고, 그 데이터를 기초로 소정의 장력이 되도록 1쌍의 단축 로봇(46)에 지령을 내리도록 제어된다.

따라서, 결과적으로, 풀어내기 헤드(49)가 가이드(45) 및 단축 로봇(46)(도 1 참조)의 경사각도를 따라 점차로 하강하고, 이것에 의해, 필 플레이트(22)의 선단과 가압 롤러(14) 사이의 접착시트(S)의 길이가 짧아져도 첩부각도(θ)가 항상 일정하게 되도록 유지되게 된다.

본 실시형태에서는, 상기한 바와 같이 가압 롤러(14)가 첩부동작을 행하는 동안, 로드 셀(39)에 의해 접착시트(S)의 장력을 측정하면서 풀어내기 헤드(49)를 하강시키므로, 결과적으로 첩부각도(θ)가 유지되게 되는데, 풀어내기 헤드(49)의 하강 제어는 로드 셀(39)을 생략할 수도 있다. 즉, 도 4(a)에 도시되는 바와 같이, 가압 롤러(14)의 최하점의 위치와, 필 플레이트(22)의 첩부시 초기의 선단 위치를 각각 P1, P2로 하고, 접착시트(S)를 첩부 완료한 시점의 필 플레이트의 선단 위치를 P3로 하고, 각 P2, P1, P3의 첩부각도를 θ로 했을 때, 가압 롤러(14)가 이동하여 단축 로봇(60)에 의해 점 P1, P3의 거리가 짧아짐에 따라, 필 플레이트(22)의 높이 즉, 점 P2, P3 간의 거리도 짧아지도록 첩부각도 유지 수단(37)을 구성하는 풀어내기 헤드(49)를 가이드 바(45)를 따라 하강시켜, 항상 첩부각도(θ)를 유지하도록 단축 로봇(46, 60)을 동기 제어할 수도 있다. 또한, 풀어내기 헤드(49)의 이동량은 삼각함수에 의해 간단하게 도출할 수 있다. 이와 같이, 가압 롤러(14)의 이동거리의 검출에 기초하여 첩부각도(θ)를 일정하게 유지함으로써 로드 셀(39)을 사용한 장력제어와 동일한 작용, 효과를 생기게 할 수 있어, 본 발명에서는, 이것들의 제어를 선택적으로 채용할 수 있다.

도 4(d), (e)에 도시되는 바와 같이, 접착시트(S)의 첩부가 완료되면, 커터(15)가 하강하여 웨이퍼(W)의 바깥 둘레를 따라 접착시트(S)의 절단을 행하고, 그 후에 커터(15)가 상승하여 초기 위치(도 1 참조)로 복귀한다. 이 때, 필 플레이트(22)의 선단은 웨이퍼(W)의 좌단 근방에 위치하고, 이것에 의해, 필 플레이트(22)의 선단 위치로부터 좌측에 존재하는 접착시트 영역을 다음 웨이퍼(W)에 대한 접착영역으로 할 수 있어, 접착시트(S)를 불필요하게 소비하지 않도록 되어 있 다.

이어서, 웨이퍼(W)가 옮겨싣기장치를 통하여 테이블(13)로부터 제거되면, 도 5에 도시되는 바와 같이, 가압 롤러(14)가 상승하고, 박리장치(16)를 구성하는 소직경 롤러(70) 및 대직경 롤러(71)가 좌측으로 이동함과 아울러, 권취장치(17)의 구동 롤러(80)가 구동하여 불필요 접착시트(S1)를 권취함으로써 웨이퍼(W) 주위의 불필요 접착시트(S1)를 테이블(13)의 상면으로부터 박리할 수 있다.

그리고, 브레이크 슈(32, 42)가 가이드 롤러(27, 29)로부터 떨어져서 원재료 시트(L)의 풀어내기를 가능하게 함과 아울러, 구동 롤러(80)가 로킹된 상태에서 박리장치(16)와 권취장치(17)가 초기 위치로 복귀함으로써, 새로운 접착시트(S)가 인출되고, 새로운 웨이퍼(W)가 다시 테이블(13) 상에 옮겨실린다.

따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 접착시트(S)의 두께에 따라 외측 테이블(51)의 상면 높이 조정을 행하여 첩부압력을 최적화할 수 있는 한편, 웨이퍼(W)의 두께가 변경된 경우에는, 내측 테이블(52)을 독자적으로 높이 조정하여 대응할 수 있고, 이것에 의해, 가압 롤러(14)에 의한 최적의 압력으로 접착시트(S)를 정밀도 좋게 첩부할 수 있다고 하는 효과를 얻는다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있는데, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 본 발명은 주로 특정한 실시형태에 관하여 특별히 도시, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 목적의 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관하여, 필요에 따라 당업자가 여 러 변경을 가할 수 있는 것이다.

예를 들면, 상기 실시형태에서는, 판상 부재가 웨이퍼일 경우를 나타냈지만, 웨이퍼 이외의 판상 부재에 시트, 필름을 첩부하는 구성에도 적용할 수 있다.

또, 상기 테이블(13)은 평면 내에서 회전할 수 있는 구성을 채용할 수도 있고, 이 경우에는, 커터(15)측을 회전시키지 않고 접착시트(S)를 절단하는 것이 가능하게 된다.

Claims

판상 부재의 상면에 시트 풀어내기 유닛으로부터 풀려나온 시트를 가압 롤러로 가압하여 첩부하기 위한 시트 첩부용 테이블에 있어서,

상기 판상 부재를 지지하는 내측 테이블과, 당해 내측 테이블을 둘러싸도록 배치된 외측 테이블로 이루어지고,

상기 내측 테이블은 상기 외측 테이블의 상면을 기준위치로 하여 상기 판상 부재의 두께에 따라 승강하고,

상기 가압 롤러는 상기 외측 테이블의 상면을 기준으로 하여 상기 시트의 두께에 따라 승강 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부용 테이블.
판상 부재의 상면에 시트 풀어내기 유닛으로부터 풀려나온 시트를 가압 롤러로 가압하여 첩부하기 위한 시트 첩부용 테이블에 있어서,

상기 판상 부재를 지지하는 내측 테이블과, 당해 내측 테이블을 둘러싸도록 배치된 외측 테이블로 이루어지고,

상기 외측 테이블은 상기 내측 테이블의 상면을 기준위치로 하여 상기 판상 부재의 두께에 따라 승강하고,

상기 가압 롤러는 상기 외측 테이블의 상면을 기준으로 하여 상기 시트의 두께에 따라 승강 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부용 테이블.
판상 부재의 상면에 시트 풀어내기 유닛으로부터 풀려나온 시트를 가압 롤러로 가압하여 첩부하기 위한 시트 첩부용 테이블에 있어서,

상기 판상 부재를 지지하는 내측 테이블과, 당해 내측 테이블을 둘러싸도록 배치된 외측 테이블로 이루어지고,

상기 내측 테이블과 외측 테이블은 각각 승강 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부용 테이블.
제 3 항에 있어서, 상기 내측 테이블은 외측 테이블을 승강시켰을 때에 당해 외측 테이블과 함께 승강 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부용 테이블.
제 3 항에 있어서, 상기 내측 테이블은 상기 외측 테이블의 상면을 기준위치로 하여 상기 판상 부재의 두께에 따라 승강하고, 상기 외측 테이블은 상기 가압 롤러의 가압면을 기준으로 하여 상기 시트의 두께에 따라 승강함으로써, 상기 가압 롤러의 압력을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부용 테이블.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내측 테이블과 외측 테이블 사이에는, 판상 부재에 첩부된 시트를 당해 판상 부재의 외측 가장자리를 따라 절단하기 위한 간극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부용 테이블.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 내측 테이블의 평면형상은 판상 부재의 평면형상에 대략 일치하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부용 테이블.