JPH0583170B2 - - Google Patents

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JPH0583170B2
JPH0583170B2 JP30118987A JP30118987A JPH0583170B2 JP H0583170 B2 JPH0583170 B2 JP H0583170B2 JP 30118987 A JP30118987 A JP 30118987A JP 30118987 A JP30118987 A JP 30118987A JP H0583170 B2 JPH0583170 B2 JP H0583170B2
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cutter
tape
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Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この発明は、集積回路等の製造工程中における
ウエハー上への保護テープの貼付け及び切り抜き
方法並びに装置に関するものである。
＜従来の技術＞ 集積回路は半導体ウエハーの表面にトランジス
ター、ダイオード等の回路を高密度に構成した
後、各素子に切断する。
この素子の小型化のためにはウエハーをできる
だけ薄くしなければならない。
このため、既に回路構成の工程が終わつている
ウエハーの裏面を水流を使用して研摩する等の作
業を行なうが、その前に回路構成面に保護テープ
を貼付し、この貼付した保護テープをウエハーの
外周に沿つて切断する工程が必要であるが、ウエ
ハーに対する保護テープの貼付は種々の方法が実
施されている。
例えば巻軸にロール状に巻いた貼着テープから
なる保護テープを、その粘着面を下にして展張
し、この保護テープの下部に位置決め後のウエハ
ーを搬送し、このウエハー上にテープを押し付け
てテープを貼付後、リング状のカツターでテープ
をウエハーに沿つて打ち抜き、打ち抜き後のテー
プは巻取軸で巻取り、テープを貼付されたウエハ
ーは適宜搬送するようにしたものがある。
＜発明が解決しようとする問題点＞ 上記のような従来の保護テープの貼付方法は保
護テープの下面前面をウエハーに押圧し、その後
貼付ローラーで貼付するのでウエハーと保護テー
プの間に気泡が入り易く、又カツターはウエハー
の外周に沿うようなリング状であるため極めて正
確な形状にする必要があるから、ウエハーの寸法
が変更になるとカツターを取りかえなければなら
ない等の問題点があつた。
＜問題点を解決するための手段＞ この発明は上記のような従来の保護テープの貼
付方法やその装置の問題点を解決するためになさ
れたもので、ウエハーを支持台の上面に支持して
固定した状態で、チヤツクと引き出しローラーに
よつて把持し、展張状態で巻軸から引き出した保
護テープを、貼付ローラーによつてウエハー上に
貼付すると共に、該貼付ローラーと共に移動する
カツターによつて、ウエハーのオリエンテーシヨ
ンフラツトに沿つて保護テープを切断し、次いで
上方に位置しているメインカツターを下降させて
旋回させることにより、該メインカツターにより
保護テープをウエハーの円周状の周縁に沿つて切
断し、その後切かれた抜き後の保護テープは適宜
の巻取軸に巻取ることを特徴とするウエハーに対
する保護テープの貼付け切り抜き方法及びこの方
法を実施する装置を提供するものである。
＜実施例＞ 第１図ないし第５図はこの発明の方法を実施す
る装置の一例を示すものである。
これらの図において、１は機台であり、その右
端上にローダー側のウエハーカセツト２、左端上
にアンローダ側のウエハーカセツト３がある。
該機台１の中間部上にはウエハー移送台４があ
り、この移送台４と前記ローダー側カセツト２間
及び移送台４と前記アンローダ側ウエハーカセツ
ト３の間にはそれぞれ左右一対の無端搬送ベルト
５，６を配置してある。
又、各カセツト２，３は適宜の昇降機構によ
り、ウエハー１枚分上昇又は下降するようにして
カセツト２内の最下端にあるベルト５上のウエハ
ー８が、該ベルト５の駆動により前記搬送台４上
に送り出されると、カセツト２が１ピツチ下降し
てカセツト２内の次のウエハー８がベルト５上に
載るようにし、又カセツト３はベルト６により搬
送されてきたウエハー８がカセツト３内に送り込
まれると、１ピツチ上昇して次のウエハー８の受
け入れ体勢となるようになつている。
１１はカセツト２の後方に設けたスタンド１２
上に装着した保護テープの巻軸で、この巻軸１１
にセパレーター１３と共に保護テープ１４がロー
ル巻きされている。
１５は前記機台１の後方上に設けたフレームで
あつて、このフレーム１５のスタンド１２側に
は、第１駆動ローラー１６とこのローラーに圧着
する従動ローラー１７を装着し、又、該スタンド
１２の下部にはセパレーター１３の巻軸１８を設
けて、機台１上のモーター９によりベルト伝動等
を介して該ローラー１６と巻軸１８を駆動するこ
とにより前記巻軸１１から保護テープ１４を引き
出すと共にセパレーター１３は巻軸１８に巻き取
るようにする。
２１は貼付ローラーで、このローラー２１はシ
リンダ２２により駆動される昇降枠２３に装着さ
れ、該シリンダー２２はモーター２４により駆動
される走行ベルト２５により移動する枠２６に固
定されたもので、その下部にはシリンダ２７によ
り昇降する昇降枠２８に装着された回転不可の昇
降ローラー２９が対向している。
３０は前記枠２６に固定したＺ形のブラケツト
で、このブラケツト３０にサブカツター１９の取
付板２０を固定し、この取付板２０にシリンダー
３１を固定して、このシリンダー３１により昇降
するサブカツター１９を下向きに設ける。
該取付板２０には複数箇所に取付孔３２を設け
て、この孔の任意のものを利用してブラケツト３
０に対する取付板２０の取り付け位置を変更する
ことによりサブカツター１９の位置を任意に変更
できる。
３３はチヤツクてで、シリンダ３４により昇降
し、モーター３５により駆動される走行ベルト３
６によつて左右方向に移動可能な移動体３７に取
り付けられている。
該移動体３７にはチヤツク３３の直下に位置す
るテープ引き出しローラー３８を取り付けてあ
る。
従つてチヤツク３３と引き出しローラー３８と
は一体となつて左右に移動できる。
又、該ローラー３８は第４図のように、ワンウ
エイクラツチ３９により第１図に向つて左方向の
移動時には回転せず、右方向の移動時にのみラツ
クピニオン４０により反時計方向に回転する。
前記フレーム１５上の支持板１０の正面中央に
は、第４図のようにシリンダ４１によりガイド４
２に沿つて昇降する昇降台４３を設け、この台４
３上にはモーター４５によりギヤ４６を介して回
転する回転枠４７を設け、この回転枠４７にはガ
イド枠４８に沿つて左右方向に移動するカツター
取付部材４９を設け、この取付部材４９にメイン
カツター５０を固定するが、該取付部材４９はシ
リンダー５１とバネ５２により左右方向の移動が
規制される。
５５は切断後のテープ１４′の巻取軸で、その
下方にはモーター５６で駆動される第２駆動ロー
ラー５７とこれに接触する従動ローラー５８が配
置され、更にその下方にはガイドローラー５９を
設ける。
前記の構造により巻軸１１から引き出した保護
テープ１４は第１駆動ローラー１６と従動ローラ
ー１７の部分でセパレータ１３と分離し、第１駆
動ローラー１６、貼付ローラー２１の下部を経
て、テープ引き出しローラー３８の上を通り、ガ
イドローラー５９を径てローラー５７，５８間か
ら巻取軸５５に巻取られる。
前記のウエハー移送台４は左右一対のガイドレ
ール６１に沿つてシリンダー６０によりウエハー
カセツト２，３の中心を結ぶ線の位置から前記メ
インカツター５０の旋回範囲の下方へと移動する
ようになつている。
この移送台４は第４図のように真空吸引口６２
を有する真空吸引式で、その上面にはウエハー８
の外側縁下部に沿う溝６３が形成してある。
＜作用＞ 次に上記実施例の作用を説明すれば、第５図に
示すスタート位置において、予め第２図のように
ローダー側のウエハーカセツト２からベルト５に
よつて移送台４上に送り出され、この部分に設け
た公知の位置決め装置（図示省略）によりオリエ
ンテーシヨンフラツト（以下オリフラと略称す
る）７を位置決めされた後、該ウエハー８が真空
吸引によつて移送台４上に固定される。
上記のようにウエハー８を固定した移送台４は
メインカツター５０の取付部の下方に移動して停
止する。
その後、チヤツク３３がシリンダー３４の作動
で下降して、保護テープ１４を、前記引き出しロ
ーラー３８上に固定した後、モーター３５による
ベルト３６の駆動で移動体３７が前方へ移動して
第６図のようにテープ１４を移送台４上のウエハ
ー８上に展張する。
次にシリンダー２２の作用により昇降枠２３が
下がり、貼付ローラー２１がテープ１４を押し下
げた後、モーター２４によるベルト２５の駆動で
貼付ローラー２１がウエハー８上を回転走行して
第７図のようにテープ１４をウエハー８上に貼付
けする。
又、このときサブカツター１９も共に走行する
から、シリンダー３１の作用でサブカツター１９
を第７図の鎖線のように下降させた後走行させる
と、該サブカツター１９が、ウエハー８のオリフ
ラ７に沿つて第１１図のａのようにテープ１４を
カツトする。
しかし、上記のように貼付ローラー２１がテー
プ１４を貼付した後、元の位置に後退する際にシ
リンダー３１を作用させてサブカツター１９を下
げて戻り工程でテープ１４をオリフラ７に沿つて
切断してもよい。
上記のように貼付ローラー２１が保護テープ１
４をウエハー８上に貼付して一旦停止している状
態において、シリンダー４１が働き昇降台４３が
下降して、これと共にカツター取付部材４９が下
降し、メインカツター５０がウエハー８の外周に
沿うようにテープ１４に切り込む。同時にシリン
ダー５１の作動でカツター５０がウエハーの周面
に接するようにバネ５２により付勢される。
次にモーター４５が回転軸４７を駆動してカツ
ター５０をウエハー８の外周に沿つて旋回させ、
第１１図のｂのようにテープ１４をウエハー８と
同形に切断する。
切断後はシリンダー４１とモーター２４の作用
により第９図のように貼付ローラー２１やサブカ
ツター１９が元の位置に戻る。
次にシリンダー３４の働きでチヤツク３３が上
昇してテープ１４を開放した後、前記モーター３
５によるベルト３６の駆動により移動体３７が戻
り、これに取り付けたチヤツク３３と引き出しロ
ーラー３８も最初の位置に戻り、第１０図のよう
に切抜き後のテープ１４を浮かせる。
また、このときシリンダ２２，２７の働きで貼
付ローラー２１と昇降ローラー２９を接圧し、こ
の間にテープ１４の一側を挟持して巻軸側の保護
テープ１４を一時的に係止すると共に、前記引き
出しローラー３８を反時計方向に回転せしめなが
ら最初の位置に戻すことにより、移送台４上に貼
り付けられた切り抜き後の不要なテープ部分は、
該移送台４上から容易に剥離されることになる。
上記のように保護テープ１４を貼付され、且つ
周縁に沿つてテープ１４を切断したウエハー８
は、移送台４と共に第２図実線のようにベルト
５，６間に戻り停止する。
次にウエハー８の真空吸引が解除され、適宜の
手段によりウエハー８がベルト６上に送り出さ
れ、同ベルト６によりアンローダー側のカセツト
３内に供給されて１工程が終了する。
なお、ウエハー８の寸法が変更になつたとき
は、取付板２０の複数の取付孔３２を利用して、
ブラケツト３０に対するサブカツター１９の取り
付け位置を変更し、又メインカツターの取付位置
を変更するにはブラケツト６４の複数の取付孔と
更にガイド枠４８の複数の取付孔を利用してメイ
ンカツターの取付位置を変更してメインカツター
５０の旋回半径を変更することによりカツターを
取り替えることなく容易に対応できる。
又、実施例ではサブカツター１９及びメインカ
ツター５０として切刃を有するナイフ状のものを
用いたが、その他に超音波カツター或いは発熱に
より保護テープを溶融切断するヒーター式カツタ
ー等も利用できる。
又、各シリンダーは、一般にエアシリンダーを
用いるとよいが、エアシリンダーに替えて、電磁
石等を用いてもよい部分もある。
＜効果＞ この発明は上記のように、移送台上のウエハー
の上方にチヤツクと引き出しローラーによつて保
護テープを把持して引き出すことによりテープを
展張した後に貼付ローラーを移動させてウエハー
の端からテープを押圧して貼付していくのでウエ
ハーとテープの間に気泡が挟み込まれるおそれが
ない。
又、ウエハーに設けたオリフラの部分では貼付
ローラーと共に直線的に移動するサブカツターに
よりテープが正確に切断され、続いてウエハーの
円形の外周の中心と同心の円を描いてメインカツ
ターが旋回しつつテープに切り込んでウエハーの
外周に沿つてテープを正確に接断するものである
から、ウエハーの寸法が変わればサブカツターの
取り付け位置とメインカツターの旋回半径を変え
るだけでよいのでカツターを替えることなくウエ
ハーの寸法の変更に容易に対応できる等の効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の実施例を示す正面図、第２
図は同平面図、第３図は貼付ローラー部とサブカ
ツター部の縦断側面図、第４図は移送台とメイン
カツター部分の縦断側面図、第５図ないし第１０
図は作用を示す各工程別の正面図、第１１図はサ
ブカツターとメインカツターで保護テープが切断
されていく様子を示す平面図である。 ４……ウエハー移送台、７……オリフラ、８…
…ウエハー、１４……保護テープ、１９……サブ
カツター、２１……貼付ローラー、３３……チヤ
ツク、３９……引き出しローラー、５０……メイ
ンカツター。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ ウエハーを支持台の上面に支持して固定した
    状態で、チヤツクと引き出しローラーによつて把
    持し、展張状態で巻軸から引き出した保護テープ
    を、貼付ローラーによつてウエハー上に貼付する
    と共に、該貼付ローラーと共に移動するサブカツ
    ターによつて、ウエハのオリエンテーシヨンフラ
    ツトに沿つて保護テープを切断し、次いで上方に
    位置しているメインカツターを下降させて旋回さ
    せることにより、該メインカツターにより保護テ
    ープをウエハーの円周状の周縁に沿つて切断し、
    切り抜き後の保護テープは適宜の巻取軸に巻取る
    ことを特徴とするウエハーに対する保護テープの
    貼付け切り抜き方法。 ２ ローダー側ウエハーカセツトから送り込まれ
    たウエハーを支持してメインカツターの作動範囲
    の下方まで移送するウエハー移送台と、互いに圧
    接し、その間に保護テープを把持して該保護テー
    プを巻軸から展張状態で引き出すチヤツク及び引
    き出しローラーと、前記チヤツク及び引き出しロ
    ーラーによつて引き出した保護テープを該移送台
    上のウエハー上に圧着しながら移動する貼付ロー
    ラーと、該貼付ローラーと共に移動して、保護テ
    ープをウエハーのオリエンテーシヨンフラツトに
    沿つて切断するサブカツターと、保護テープを貼
    付されて停止中のウエハーの上方にあつて、ウエ
    ハーの外側に沿つて保護フイルムを切断するメイ
    ンカツターと、切り抜き後の保護テープの巻取り
    手段からなることを特徴とするウエハーに対する
    保護テープの貼付け切り抜き装置。
JP62301189A 1987-11-27 1987-11-27 ウエハーに対する保護テープの貼付け切り抜き方法および装置 Granted JPH01143211A (ja)

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JP62301189A JPH01143211A (ja) 1987-11-27 1987-11-27 ウエハーに対する保護テープの貼付け切り抜き方法および装置
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