JP2006095606A - 保護テープ切断方法およびこれを用いた装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエハ2に貼り付けた保護テープ4にカッタ刃35を突き刺して貫通させた状態で、ウエハ外周に沿ってカッタ刃35を移動させながら保護テープ4を切断する際、保護テープ切断用溝22の下方から溝内部を排気して切断後の余剰保護テープ4の端部を下方に吸引して折り曲げる。または、切断後の余剰保護テープ4の端部の非粘着面に押圧部材を押圧して下方に折り曲げる。
【選択図】 図5
Description
前記カッタ刃により前記保護テープを切断しながら、切断後の余剰保護テープの端部を折り曲げることを特徴とする。
前記半導体ウエハを吸着保持する保持手段と、
前記保持手段により吸着保持された半導体ウエハ表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付手段と、
カッタ刃を備え、当該カッタ刃を前記保護テープに貫通させて前記半導体ウエハの外周に沿って移動させることにより、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープを切断する保護テープ切断手段と、
前記保護テープ切断手段により切断された後の余剰保護テープの端部を、その非粘着面と前記カッタ刃の側面とが略対向するように下方に折り曲げる折り曲げ手段と、
を備えたことを特徴とする。
3 … 保持テーブル
4 … 保護テープ
10 … 保護テープ切断部
20 … 保持部
21 … 外周部材
22 … 保護テープ切断用溝
30 … 貼付けローラ
35 … カッタ刃
41 … 排気管路
42 … 排気手段
Claims (9)
- パターンが形成された半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープを、前記半導体ウエハの外周に沿ってカッタ刃を移動させることにより切断する保護テープ切断方法であって、
前記カッタ刃により前記保護テープを切断しながら、切断後の余剰保護テープの端部を折り曲げる
ことを特徴とする保護テープ切断方法。 - 請求項1に記載の保護テープ切断方法において、
切断後の余剰保護テープ端部の折り曲げは、余剰保護テープ端部の非粘着面とカッタ刃の側面とが略対向するように折り曲げる
ことを特徴とする保護テープ切断方法。 - 請求項1または請求項2に記載の保護テープ切断方法において、
切断後の余剰保護テープ端部の折り曲げは、余剰保護テープ端部の粘着面側から吸引して折り曲げる
ことを特徴とする保護テープ切断方法。 - 請求項1または請求項2に記載の保護テープ切断方法において、
切断後の余剰保護テープ端部の折り曲げは、余剰保護テープ端部の非粘着面を押圧部材により押圧して折り曲げる
ことを特徴とする保護テープ切断方法。 - パターンが形成された半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープを切断する保護テープ切断装置であって、
前記半導体ウエハを吸着保持する保持手段と、
前記保持手段により吸着保持された半導体ウエハ表面に保護テープを貼り付ける保護テープ貼付手段と、
カッタ刃を備え、当該カッタ刃を前記保護テープに貫通させて前記半導体ウエハの外周に沿って移動させることにより、半導体ウエハの表面に貼り付けられた保護テープを切断する保護テープ切断手段と、
前記保護テープ切断手段により切断された後の余剰保護テープの端部を、その非粘着面と前記カッタ刃の側面とが略対向するように下方に折り曲げる折り曲げ手段と、
を備えたことを特徴とする保護テープ切断装置。 - 請求項5に記載の保護テープ切断装置において、
前記折り曲げ手段は、切断後の余剰保護テープ端部の粘着面側から吸引する吸引手段である
ことを特徴とする保護テープ切断装置。 - 請求項5に記載の保護テープ切断装置において、
前記折り曲げ手段は、切断後の余剰保護テープ端部の非粘着面を押圧して折り曲げる押圧部材である
ことを特徴とする保護テープ切断装置。 - 請求項7に記載の保護テープ切断装置において、
前記押圧部材は、前記カッタ刃の移動方向に転動するローラであり、当該ローラをカッタ刃の側面または後方に配備した
ことを特徴とする保護テープ切断装置。 - 請求項7に記載の保護テープ切断装置において、
前記押圧部材は、前記カッタ刃先端側から後ろ斜め外方に伸びる傾斜面を有する折り曲げ部材である
ことを特徴とする保護テープ切断装置。
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